Captulo VI Bombas de Vcuo

Introduo
A fim de reduzir a densidade molecular e, portanto, a presso, em um recipiente, as molculas do gs devem ser dele retiradas. Isto feito pelas assim chamadas bombas de vcuo (que j se procura designar como compressores de gases rarefeitos). De um modo muito geral, as bombas de vcuo podem ser classificadas em dois grupos: o primeiro designado de bombas de transferncia, que so bombas que transportam o gs do recipiente para a atmosfera ou para recipientes ou ou outras bombas com presses maiores que as de sua entrada; o segundo so as bombas de aprisionamento, que retiram as molculas do recipiente prendendo-as em suas paredes por processos fsicos ou qumicos. As bombas do primeiro grupo, as de transferncia, podem ser divididas em trs tipos: a) bombas que operam criando volumes de cmaras que periodicamente crescem e decrescem (ou expandem e comprimem), como acontece nas bombas de pisto, de membrana, e outros tipos; b) bombas cujo volume interno fixo e que de algum modo transferem o gs da regio de baixa presso para a de alta presso (compresso, arraste molecular), como as bombas Roots e as turbomoleculares; c) bombas em que o bombeamento se d por arraste por viscosidade ou por difuso, como acontece nas bombas ejetoras de vapor e nas difusoras. As bombas do segundo grupo, as de aprisionamento, podem ser divididas em dois tipos: a) bombas que aprisionam o gs permanentemente por processos fsico-qumicos, como nas bombas inicas e de aprisionamento qumico (getters); b) bombas que aprisionam o gs enquanto uma certa condio fsica mantida (em geral, temperatura baixa), como acontece nas bombas por adsoro e nas criognicas. A Fig. 6.1 descreve esquematicamente os principais tipos de bombas disponveis para a produo de vcuo em laboratrio ou na indstria. Nesta apostila, trataremos apenas os tipos mais usados academicamente, e que so marcados em amarelo na Fig. 6.1. Bombas Mecnicas Bombas de deslocamento positivo Deslocamento reciprocativo Membrana Pisto Pisto Rotativo (gaveta) Pisto Rotativo (Trocide) Palhetas Rotativas Palheta Seca tipo Deslizante "Tongue (pndulo) and Groove" Seca tipo Roots Engrenagen s Anel lquido Bombas moleculares Bombas Turbomoleculares Bombas Hbridas

Bombas Rotativas

Bombas utilizando fluidos

Bombas Ejetoras

Bombas difusoras

Jato de fluido Jato de gua

Ejetoras de Vapor

No Fracionadoras Fracionadoras

Ejetoras de vapor Ejetoras de d'gua Mercrio

Ejetoras de vapor de leo (boosters)

Difusoras base de mercrio e de leos

Difusora base de leos

Bombas de condensao Condensao na fase slida Bombas criognicas

Condensao na fase lquida

Armadilhas frias Anteparos de vapor

Condensadores

Bombas de Soro

Adsorsor termicamente regenervel

Filmes aprisionadores continuamente renovveis

Armadilhas de adsoro

Bombas de adsoro

Evaporao Trmica Evaporao catdica (Sublimao) Bombas inicas

Fig. 6.1: Principais tipos de bombas (arquivo Relacao bombas cap 6 05 02.sdw)

Parmetros definindo diferentes tipos de bombas

A seleo do tipo de bomba a ser usado em cada caso especfico funo dos requerimentos que o sistema a ser evacuado impe. As bombas so caracterizadas por possurem alguns parmetros intrnsecos sua construo e ao princpio de bombeamento em que se baseiam. Os principais parmetros so: a presso mais baixa que alcanam, o intervalo de presses em que podem ser usadas, a velocidade de bombeamento e a presso de exausto (ou de sada). No caso de ultra-alto-vcuo dois outros parmetros so importantes: a seletividade da bomba para gases e a composio do gs residual. A presso mais baixa que pode ser alcanada na entrada de uma bomba determinada ou por vazamentos internos a ela, ou pela presso de vapor do fluido utilizado na bomba. Esta presso mais baixa , evidentemente, o limite inferior do intervalo de presso em que a bomba pode trabalhar. A Fig. 6.2 mostra a classificao das bombas pelo seu limite inferior de presso e tambm pelo seu intervalo de trabalho (ver tem a seguir). O intervalo de presso em que uma bomba pode trabalhar aquele em que sua velocidade de bombeamento pode ser considerada til. As Figs. 6.2 e 6.3 mostram o intervalo de trabalho e a velocidade de bombeamento normalizada para diferentes tipos de bombas. Bombas de mesmo tipo mas de diferentes tamanhos ou estgios podem ter intervalos de presso diferentes e adjacentes, ou seja, o mesmo tipo de bomba pode apresentar intervalo de presso diferente do intervalo de presso para uma bomba especfica daquele mesmo tipo.

Fig. 6.2: Intervalo de presses de alguns tipos de bombas de vcuo (Fig. 5.1 Roth, pg 201)

Fig. 6.3: Velocidades de bombeamento normalizadas para alguns tipos de bombas de vcuo (Fig. 5.2 Roth, pg 202)

Outro parmetro muito importante a velocidade de bombeamento de uma bomba, pois este parmetro, combinado com dados do sistema, permite o dimensionamento de sistemas de vcuo. Em geral, a velocidade de bombeamento no constante em todo o intervalo de presso de trabalho, apresentando formatos como os ilustrados na Fig. 6.3. Todavia, vrios tipos de bombas apresentam velocidades de bombeamento razoavelmente constantes em alguns intervalos de presso, o que acaba justificando a aproximao de S = cte feito para alguns clculos simplificados de sistemas de bombeamento. A presso de sada ou presso de exausto a presso "contra" a qual a bomba deve trabalhar, ou seja, a presso mnima qual ela deve comprimir o gs rarefeito para ele ser ou recolhido por outra bomba ou ser jogado atmosfera. Em relao a este tem, podemos colocar 3 tipos de bombas. O primeiro corresponde s bombas que trabalham a partir da presso atmosfrica e que jogam o ar retirado do sistema para a prpria atmosfera, ou que recolhem o gs a baixa presso de outra bomba e o comprimem at poder jog-lo na atmosfera. Estas bombas so chamadas "primrias" (roughing pumps) ou de apoio (ou auxiliares ou "respaldo") (backing pumps). O bombeamento de um sistema a partir da atmosfera chamado bombeamento primrio ("roughing out"). A manuteno de uma baixa presso na sada de outra bomba chamada de bombeamento primrio (backing). Bombas mecnicas rotativas e ejetores so tpicas bombas de apoio ou respaldo. O segundo tipo so as bombas que fazem a exausto a presses sub-atmosfricas, ou seja, que necessitam de uma bomba de respaldo ou apoio em sua sada. Bombas difusoras e Roots so exemplos tpicos desta classe de bombas. O terceiro tipo corresponde s bombas que no tm sada, ou seja, que aprisionam o gs em suas paredes, como as bombas de sorpo e inicas. A Fig. 4.1 mostra um tpico sistema de vcuo de laboratrio, no qual a cmara bombeada por uma bomba difusora, que por sua vez respaldada por uma bomba mecnica de palhetas rotativas. No incio da evacuao do sistema, quando a cmara tem gs na presso atmosfrica, a bomba difusora isolada da cmara pela vlvula 11 e da bomba mecnica pela vlvula 9, e a retirada do gs iniciada pela bomba primria atravs da vlvula 6. Quando a presso atinge valores no intervalo de 10-2 torr, a vlvula 6 fechada, e as vlvulas 11 e 9 so abertas, e a cmara passa a ser evacuada pela bomba difusora, que por sua vez bombeada pela bomba primria. Vamos passar agora descrio de algumas bombas importantes para o trabalho acadmico.

1) Bomba mecnica de palhetas rotativas

Esta bomba constituda de um estator cilndrico que recebe um rotor excntrico, como mostrado na Fig. 6.4. Este rotor possue duas fendas diametrais, nas quais correm duas palhetas que so foradas contra a parede do estator por molas e/ou pela fora "centrfuga" do movimento de rotao do rotor. Tanto o estator quanto o rotor so fabricados em ao, enquanto as palhetas podem ser de ao ou de um compsito polimrico (lembrar nome !). As extremidades do estator so fechadas por placas convenientes, que suportam o eixo do rotor. O estator tambm contm orifcios que so a

Fig. 6.4: Seco transversal esquemtica de uma bomba de palhetas rotativas (Fig. 5.9 Roth, pg. 207) (completar descrio dos tens) entrada e a sada do gs. A entrada de gs ligada ao sistema que se quer bombear por conexes e tubulaes apropriadas, em geral contendo um filtro de p, enquanto a sada ligada a algum sistema conveniente de exausto para a atmosfera. Esta sada fechada por uma vlvula que usualmente uma lmina de metal ou de borracha (neoprene) que se dobra em uma lateral. Esta vlvula normalmente fica imersa em leo, como mostrado na fig. 6.4. A fig. 6.5 d uma viso explodida de um conjunto estator-rotor.

Fig. 6.5: Vista explodida de uma bomba de palhetas rotativas. (Fig. 5.10 Roth pg. 208) Como j colocado acima, o rotor um cilindro excntrico ao estator, colocado de modo a que a linha de contacto entre ambos separe a entrada da sada de gs. Como os dimetros so diferentes, esta morfologia d origem a uma cmara, que onde o gs ser admitido a baixa presso e comprimido a uma presso ligeiramente acima da presso atmosfrica de modo a poder abrir a vlvula de sada e ir para a atmosfera. Os outros limites desta cmara so as placas laterais que fecham o conjunto estator-rotor, e sustentam este ltimo. Esta cmara ser dividida em uma cmara de admisso (baixa presso) e em uma cmara de compresso (alta presso) medida que as palhetas passam pelas aberturas de entrada e de sada. Note que ambos, estator e rotor, no podem se tocar, mas devem manter uma distncia muito pequena entre si, pois o filme de leo que se localiza entre eles que forma o selo entre as cmaras de entrada e de sada, denominado selo superior. O leo tambm faz o selo dinmico nas laterais do conjunto, onde o rotor e as palhetas "encontram" as placas laterais. Em geral, estes espaamentos devem ser da ordem de 2 a 3 m para os selos funcionarem, e isto demonstra o nvel de preciso da usinagem necessrio para a fabricao deste tipo de bomba. As palhetas so placas retangulares que se encaixam com folga muito pequena nas fendas do rotor e que podem deslizar livremente nestas fendas, tendo a extremidade que toca a superfcie do estator arredondadas. Em geral, elas so mantidas separadas e em contacto com o estator por molas. Como h contacto contnuo entre as duas superfcies, elas devem estar sempre muito bem lubrificadas. Alm disso, o leo que faz a lubrificao tambm prov um filme de vedao (selo dinmico) que isola as cmaras de alta e baixa presso uma da outra. Todo o conjunto estator-rotorplacas imerso em leo, que fornece lubrificao, selagem e resfriamento a este conjunto. A Fig. 6.6 ilustra o funcionamento deste tipo de bomba. Quando a palheta A passa pelo orifcio

Fig. 6.6: Esquema de funcionamento de uma bomba de palhetas de um estgio. (Fig. 5.11 Roth pg 209) entrada de gs, a cmara a ser evacuada colocada em contacto com o volume limitado pelo estator, pelo selo superior, pelo rotor e pela prpria palheta. Este volume aumenta medida que a palheta avana, produzindo um abaixamento de presso na cmara, que continua at que a palheta B passe pela entrada, quando ento o gs neste volume isolado entre as duas palhetas. medida que a rotao continua, o gs isolado passa a ser comprimido pela palheta B, at atingir presso suficiente (aproximadamente 850 torr) para abrir a vlvula de sada e ir para a atmosfera. Uma vez que ambas as palhetas atuam sequencialmente, em uma rotao um volume igual ao dobro do mostrado na Fig. 6.6b retirado da cmara pela bomba, ou seja, a velocidade de bombeamento deste tipo de bomba pode ser escrito: S 2 V n , em que V o volume entre as palhetas na posio da Fig. 6.6b e n o nmero de rotaes do motor por unidade de tempo. Os contactos das palhetas e do rotor com o estator formam 3 cmaras separadas (veja Fig. 6.6d) que contm gs em diferentes presses, e devem portanto serem estanques para vcuo (vacuum tight), principalmente o selo superior, que deve conter gs a presso acima da atmosfrica. Por essa razo, como j apontado acima, as superfcies interna do estator e externas do rotor e das palhetas devem ser cuidadosamente usinadas, e deve-se ter o mximo cuidado para evitar a presena de qualquer elemento abrasivo nestas superfcies, ou qualquer gs corrosivo nesta cmara interna. Em princpio, a menor presso que este tipo de bomba pode alcanar determinado apenas pelo fato de que o gs comprimido em um pequeno, mas finito, volume morto. Quando a presso do sistema evacuado fica to baixa que na mxima compresso o gs no atinge a presso necessria para abrir a vlvula de sada, o gs fica retido no corpo da bomba, e subsequente

bombeamento apenas re-expande e re-comprime o mesmo gs, sem mais abaixamento da presso da cmara evacuada. A razo entre a presso de exausto e a presso de entrada da bomba chamada taxa de compresso da bomba. Para produzir presses da ordem de 10-2 torr, deve-se ter bombas com taxas de compresso de 105. Alm de fornecer lubrificao e selamento, o leo tambm serve para diminuir o volume morto, aumentando a taxa de compresso. A mnima presso obtida por uma bomba de palhetas rotativas de um estgio, medida por um medidor tipo McLeod (ver cap.VII) da ordem de 5.10-3 torr. Esta mesma presso medida por um medidor tipo Pirani (ver cap. VII) d valores da ordem de 10-2 torr. Esta discrepncia jaz no princpio de medida dos dois medidores, evidentemente, e tem sua origem na presso de vapor do leo da bomba e nos produtos gasosos de sua decomposio. A conexo em paralelo de dois sistemas rotor-estator dar duas vezes a velocidade de bombeamento, mas com a mesma presso mnima. Por outro lado, a conexo em srie de dois conjuntos rotor-estator (dois estgios de bombeamento) resulta em presso mnima significativamente menor para o conjunto. A fig. 6.7 ilustra a curva de velocidade de bombeamento para um estgio e dois estgios.

Fig. 6.7: Curvas de velocidades de bombeamento para bombas de palhetas rotativas de um e de dois estgios (Fig. 5.12 Roth, pg 210) V-se que a bomba de duplo estgio pode alcanar presso mnima da ordem de 10-4 torr (McLeod) ou 2.10-3 torr (Pirani). Nota-se tambm que a velocidade de bombeamento constante desde a presso atmosfrica at da ordem de 10 torr, quando comea a variar, chegando at zero para a mnima presso da bomba.

Lastro de Gs (gas ballast)

Muitas vezes encontramos situaes em que a bomba mecnica deve bombear vapores condensveis junto com o ar da cmara. Em geral, trata-se de gua, mas pode-se encontrar tambm solventes como acetona, ter, etc.. Em todos estes casos existe a possibilidade do vapor condensar durante o estgio de compresso da bomba, uma vez que, como j citado acima, estas bombas tm grandes taxas de compresso (105). A fig. 6.8a ilustra a situao do bombeamento de uma mistura de ar-vapor sem o uso de lastro de gs. Fig. 6.8: Bombeamento sem (lado esquerdo) e com (lado direito) lastro de gs para bomba de palhetas rotativas (Fig. 11.1, cat. Leybold, pg 11)

Observa-se a condensao do vapor no estgio final de compresso. Quando isso acontece, a mistura ar-vapor pode no atingir a presso de abertura da vlvula de exausto, e neste caso o lquido condensado pode se misturar ao leo. Se o vapor for um solvente, esta mistura pode alterar profundamente as propriedades lubrificantes e selantes do leo, levando a uma degradao da performance da bomba. Se o vapor for gua, ela pode se emulsionar ao leo, novamente levando a uma grande perda de performance, alm de propiciar a corroso das superfcies usinadas do rotor e do estator. Em 1935 Gaede introduziu o dispositivo denominado de lastro de gs para prevenir a condensao de vapores no estgio de compresso (veja a Fig. 6.8b). Trata-se de uma vlvula que se abre para a atmosfera aps o volume da mistura ar-vapor ter sido isolada da cmara a ser evacuada, e que deixa entrar uma quantidade pr-determinada de ar (ou de um gs seco) na cmara. Esta quantidade de ar tem a funo de reduzir a taxa de compresso da bomba a um nvel que no permita a condensao do vapor. Em outras palavras, o ar que entra no volume isolado entre as palhetas abaixa a presso parcial do vapor, de modo que, quando a mistura comprimida, o vapor no atinge a presso de saturao na temperatura de trabalho da bomba, e, portanto, no condensa, e retirado da bomba junto com o ar. O dispositivo do lastro de gs permite usar bombas de palhetas rotativas (e outras bombas mecnicas) para bombear sistemas fortemente carregados com vapores condensveis, como no caso de secagem de alimentos, por exemplo, sem estragar o leo e a bomba. No entanto, a performance da bomba diminuda com o uso do lastro de gs, pois a presso mnima que a bomba pode atingir com ele maior que sem ele. Por isso, em geral, para sistemas que contm pequena quantidade de vapores, usa-se o lastro de gs no estgio inicial de bombeamento, e fecha-se-o aps este estgio inicial, de modo que a plena performance da bomba usada no estgio final de bombeamento.

2) Bombas tipo Roots

Este tipo de bombas, tambm conhecido como sopradores Roots, tm ampla utilizao na tecnologia de vcuo. Elas tambm podem ser consideradas um tipo de bombas secas, mas so descritas parte devido a razes histricas e sua importncia para a tecnologia de vcuo. Elas so usadas em combinao com bombas de apoio (bombas de palhetas rotativas, de pisto rotativo, de anel lquido, etc.) e, quando de um estgio, estendem o intervalo de trabalho at a regio de mdio vcuo (at 10-3) torr. Usando-se bombas Roots de dois estgios, elas podem atingir o intervalo de alto vcuo (at 10-5 torr). O princpio de funcionamento das bombas Roots permite a construo de sistemas de bombeamento de altssima velocidades de bombeamento, at 100.000 m3/h, que so mais econmicos que, por exemplo, bombas ejetoras de vapor para trabalho no mesmo intervalo de presses. A Fig. 6.9 ilustra um corte transversal de uma bomba tipo Roots.

Fig. 6.9: esquema de uma bomba Roots (Fig. 13.1 manual Leybold, pg 13) Uma bomba Roots uma bomba rotativa de deslocamento positivo na qual dois rotores simtricos em forma de 8 giram em direes opostas dentro de um estator (Fig. 6.9). Os rotores so usinados como uma engrenagem de dois dentes, e por isso guardam sempre a mesma separao entre si, qualquer que seja a sua posio angular, e guardam tambm uma distncia constante em relao ao estator. Ou seja, as partes da bomba Roots movem-se sem qualquer contacto entre si, e por isso podem ser acionadas sem lubrificao. Os seus movimentos so sincronizados externamente por um conjunto de engrenagens (que so lubrificadas) movimentadas por um motor. Em geral, a distncia entre as partes da ordem de 0,1 mm. Por isso estas bombas podem funcionar com grandes velocidades de rotao, o que permite as grandes velocidades de bombeamento que so tpicas de conjuntos contendo bombas Roots. Tambm por essa razo, estas bombas praticamente no se desgastam, sendo bastante insensveis presena de ps. A Fig. 6.10 ilustra o funcionamento de uma bomba Roots.

Fig. 6.10: Ao de uma bomba Roots (Fig. 5.20 Roth, pg. 216) Por outro lado, por no terem um slo de leo, elas apresentam o problema de retro-migrao (ou retro-difuso), que significativo em presses relativamente altas, tornando-se menos importante na regio de baixas presses. Este efeito limita a taxa de compresso efetiva deste tipo de bomba, e por essa razo elas sempre trabalham associadas a uma bomba de apoio, como j mencionado acima. Dependendo da separao entre rotores e entre estes e o estator, a taxa de compresso atinge um mximo para uma presso de sada (presso de apoio) no intervalo de 4.10-1 a 2 torr, e, para presses mais baixas, decai muito devido ao fenmeno de retro-migrao. A fig. 6.11 ilustra uma tpica curva de velocidade de bombeamento em funo da presso para uma bomba Roots.

Fig. 6.11: Curva de velocidades de bombeamento para uma bomba Roots. (Fig. 5.21 Roth, pg 217) Em presses altas, a taxa de compresso atinge valores mximos da ordem de 3:1. A aproximadamente 1 torr, uma bomba Roots de um estgio pode atingir taxas de compresso da ordem de, ou maiores que, 50:1. Isto significa que as bombas Roots tm um comportamento bastante distinto das demais bombas, tendo uma taxa de compresso varivel e dependente tanto da presso de entrada quanto da presso da bomba de apoio. No caso das bombas com selo de leo, elas comprimem o gs at a presso atmosfrica independentemente da presso da entrada, e as bombas de vapor comprimem fazem o mesmo at uma presso de exausto fixa abaixo da atmosfrica. 3) Bombas Secas

3.1) Bombas tipo Lngua-Cavidade ("Tongue and Groove") Bomba de princpio similar ao das bombas Roots, com formato diferente dos lobos (lobos assimtricos), que no caso presente, um deles tem duas salincias arredondadas (lnguas) que se encaixam em cavidades rasas no segundo lobo, como ilustrado pela Fig. 6.12.

Fig. 6.12: Esquema de funcionamento de bomba tipo "Tongue and Groove" (Fig. Pg F4 catlogo Pfeiffer 2000) Esta figura ilustra tambm o funcionamento deste tipo de bomba. Notamos que, como no caso das bombas Roots, os lobos giram em sentidos opostos e mantm sempre uma distncia entre si e entre eles e o estator, e seus movimentos so sincronizados por engrenagens externas. Para este tipo de bomba, apenas o lobo com lnguas comprime o gs, enquanto o lobo com as cavidades rasas arrasta o gs para a sada, havendo um intervalo em que o gs varrido por este ltimo lobo mistura-se com o gs que comprimido pelo lobo com lnguas (estgio 4 e 5 da Fig. 6.12). Estas bombas podem atingir altas velocidades de bombeamento (at 50 m3/h), com altas velocidades de rotao (3600 rpm), e alcanando presses mnimas de at 5.10-2 mbar). Podem ser combinadas com bombas tipo Roots, atingindo presses significativamente mais baixas e velocidades de bombeamento significativamente mais altas.

3.3) Bombas de Engrenagens tipo Garras (Claws)

uma bomba bastante similar anterior, que apresenta os lobos simtricos em formato que lembra uma garra, como ilustrado pela Fig. 6.13.

Fig. 6.13: Esquema de funcionamento de bomba de engrenagens tipo garras (fig. Pg 44 catlogo Edwards 98/99) Como anteriormente, os lobos giram em sentidos opostos e so acionados por engrenagens externas bomba. Em uma determinada posio dos lobos a entrada do sistema a ser bombeado exposta cmara formada pelos lobos (Fig. 6.13A), o gs preenche essa cmara, ento isolado e comprimido pelo movimento dos lobos Fig. 6.12 B e C), e finalmente a sada exposta e o gs expelido para a atmosfera (Fig. 6.13 D).

Fig. 6.14: Velocidade de Bombeamento de bomba de garras com velocidade nominal de 80 m3/h (grfico pg 46 catlogo Edwards 98/99) Estas bombas podem ter velocidades no intervalo de 90 a 540 m3/h, atingindo presses mnimas da ordem de 8.10-2 torr. A Fig. 6.14 mostra o grfico da velocidade de bombeamento de uma bomba deste tipo com velocidade nominal de bombeamento de 80 m3/h. Estas bombas, tais como as anteriores, podem ser combinadas com as bombas tipo Roots para obter presses mnimas mais baixas e velocidades de bombeamento significativamente mais

elevadas.

3.3) Bombas tipo Diafragma (ou Membrana)

um tipo de bomba seca em que o sistema a ser bombeado isolado da bomba por uma membrana ou diafragma elstico, e que, portanto, tambm o elemento que promove a expanso e compresso necessrios para deslocar o ar do sistema para a atmosfera.

Fig. 6.15: Bomba de Membrana (fig. da apostila do curso de vcuo)

Fig. 6.16. Velocidades de bombeamento para bombas de diafragma (Fig. Pg 27 catlogo Edwards 98/99) O diafragma acionado de modo reciprocativo por um motor. A Fig. 6.15 ilustra o princpio de funcionamento, e a Fig. 6.16 d as velocidades de bombeamento para dois modelos deste tipo de bombas. Embora a presso mnima atingida por estas bombas esteja no intervalo de baixo vcuo (de centenas de torr at 5.10-1 torr), as bombas que alcanam as menores presses podem servir de bombas de apoio para bombas turbomoleculares que possam iniciar sua operao em presses de

entrada relativamente altas. Tais arranjos formam conjuntos de bombas totalmente secas em todo o intervalo de bombeamento. Por outro lado, bombas cujas mnimas presses esto no intervalo de centenas de torr tm muitas aplicaes industriais, tais como em processos de evaporao, de secagem de alimentos ou outros tens, filtrao a vcuo, impregnao, etc..

3.4) Bomba Seca de Rolos ("Scroll")

Este tipo de bomba utiliza cilindros fixos e outros com movimento orbital, que se movimentam sem contacto, para formar bolses de ar de formato em crescente que so continuamente comprimidos pelo movimento orbital at serem expelidos para a atmosfera. Podem ter velocidades de bombeamento at 30 m3/h, atingindo presses mnimas da ordem de 1.10-2 mbar. A Fig. 6.17 mostra o grfico de velocidades de bombeamento versus presso para uma bomba com capacidade nominal de 15 m3/h.

Fig. 6.17: Velocidade de bombeamento para bomba de rolos de velocidade nominal de 15 m3/h. (Fig. Pag 25 catlogo Edwards 98/99) Este tipo de bombas podem ser usadas como bombas de apoio para bombas turbomoleculares, para detectores de vazamentos e outras aplicaes que requeiram vcuo limpo na sua faixa de presses de trabalho, que mdio vcuo.