8

Annexes du Chapitre 2
Rappels et les relations utiles
Table de matires
quations de Maxwell. Propagation des ondes lectromagntiques 9
Relations de continuit une interface entre deux milieux 9
Formules utiles sur le rgime de rflexion totale 10
Rappel sur les relations de Fresnel 12
Relation de dispersion : une interface entre deux milieux semi-infinis 14
Couplage optique par un rseau mtallique en relief 16
Rappels sur la fonction de Lorentz 17
Rappel sur la rgle de 5 de la loi dcroissance en proportion de l'exposant 20
Caractristiques de la performance de dtecteurs thermiques conventionnels 21
Performance dun capteur effet SPR 22
Rappel sur la notion du contraste 23
Prsentation du modle numriques du capteur SPR 24
Rappels utiles sur la thorie de solides 29
nergie de Fermi des mtaux 29
Vitesse de Fermi 29
quation de mouvement dun lectron de conduction dans modle de Drude 29
Conductivit lectrique des mtaux en hautes frquences 29
Conductivit lectrique 0 des mtaux dans le modle de Drude-Sommerfeld 30
Dfinition de la permittivit dilectrique dun milieu mtallique 31
Conductivit thermique dune couche mince de gaz dans le rgime du transfert thermique
molculaire 32
Transfer thermique par le champ vanescente : cas de deux surfaces planes 34
Forces mises en jeu lintrieure dun gap de faible paisseur 35
Approche dun cantilever mcaniquement quivalent 37
quation diffrentielle des modes propres de vibration dun cantilever 39
Rappel sur le facteur de qualit de la rsonance 41
Frquence de rsonance dun cantilever immerg dans un liquide incompressible 42
Absorption du rayonnement par matire 43
Cantilever non-uniforme 47
9


quations de Maxwell. Propagation des ondes lectromagntiques
La thorie lectromagntique de Maxwell est matrise depuis longtemps, sa base est bien
dtaille dans les sources bibliographiques largement rpandues. Afin de ne pas alourdir la partie
principale de la thse par les relations de base de la thorie dlectromagntisme, il est utile de les
mettre en annexe.
Objet Relation correspondante
Milieu non magntique
0

B
H
r
r
=
Milieu linaire
( ) [ ]E r D
r
r
r
, =
Milieu homogne
( ) [ ]E D
r r
=
Milieu isotrope
( )E D
r r
=
Milieu sans des charges libres 0 ) ( >
reel

Onde plane progressive
monochromatique
( ) r k t i
e E E
r
r
r r
. .
0

=


1
e
forme des quations de Maxwell
0
0
=

+
=
t
B
E rot
D div
r
r
r

t
D
B rot
B div

=
=
r
r
r
0
0

2
e
forme des quations de Maxwell
0
0
=
=

B i E rot
E div
r r
r

0 . .
0
0
= +
=

E i B rot
B div
r r
r

quation de propagation dune onde
lectromagntique
0
0
2
r r r
= +

E E

Relations de continuit une interface entre deux milieux
Dune forme gnralise, les relations de continuit (ou les conditions aux frontires) une
interface S sparant deux milieux scrivent :
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
S S
S m S
S
S
S
S
D n
B n
J H n
M E n

=
=
=
=
(1)
Cas particuliers :
- Continuit de la composante tangentielle du champ lectrique :
[ ] 0
2 1
= E E t
r r
r
, soit
2 1 t t
E E = (2)
10

- Continuit de la composante normale de linduction magntique :
[ ] 0
2 1
= B B n
r r
r
, soit
2 1 n n
B B = (3)
- Discontinuit de la composante normale de linduction lectrique D :
= +
12 2 21 1
n D n D
r
r
r
r
(4)
- Discontinuit de la composante tangentielle du champ magntique H :
[ ]
S
J H H t =
2 1
r r
r
(5)
De ces relations on retient la continuit de la composante tangentielle du vecteur donde :
x x x
k k k = =
2 1
(6)
, o et JS sont respectivement une densit surfacique de charges statiques et une densit de
courant en surface ;
12
n
r
et
12 21
n n
r r
= dsignent des vecteurs unitaires normaux.
Remarque : si =0
1
, la composante normale du vecteur dplacement D doit tre alors
continue :
2 1 n n
D D = (7)
Par consquent :
2 2 1 1 n n
E E = (8)
Formules utiles sur le rgime de rflexion totale

Fig. 1

1
Rappelons quun plasma (gaz lectronique) est globalement neutre.
Z
X
n2
n1

z
Intensit I0/e
l
I0
11


1. Le champ lectrique dans le milieu 2 diminue exponentiellement selon z (mode
vanescente) :
( )
(
(

z
c
n n n
E
1 sin
exp
2 2
2 1 2
2

(9)
2. La profondeur de pntration du champ optique dans le milieu dindice n2 vaut :
( )
Critique
n
l

>

=
1 sin 2
2
12
(10)
Par exemple, pour = 43 ; 5 . 1
2 1 12
= = n n n et nm 633 = , on obtient :
nm l 467
3. Si
Critique
, le flux dnergie dans le milieu 2 tend vers zro. En effet, dans ce milieu la
composante z du vecteur de Poynting scrit :
( ) ( )
{
0 Re
2
1
) ( Re
2
1
) ( Re
2
1
Re
2
1
2
2
cos
2
0 0
2 2
*
2
2
2 2
0
*
2 2
0
*
2
0
2
=
|
|

\
|
=
|
|

\
|
=
= = = =

=
E k z z E k E E k
z E k E z B E S z S
imaginaire k
z

3 2 1
(11)
4. Les changements de phase pour les polarisations p et s (p et s) scrivent comme suit :
2 2
2
) (
b a
ab
tg
p

= et
2 2
2
) (
d c
cd
tg
S

= (12)
o
cos
2
n a = et 1 sin
2
2
1
1

|
|

\
|
=
n
n
n b (13)
cos
1
n c = et 1 sin
2
2
1
2

|
|

\
|
=
n
n
n d


12

Rappel sur les relations de Fresnel
-pour la polarisation p (TM) : (14)

Fig. 2
- pour la polarisation s (TE) : (15)

Fig. 3

1. En amplitude :
' cos ' cos
cos 2

n n
n
T
' cos ' cos
' cos ' cos


+

=

n n
n n
R
2. En nergie :

= R et =1
x
z


n
n'
A
R
T
x
z


n
n'
A
RII
TII
1. En amplitude :
) ' cos( ) ' sin(
cos ' sin 2
' cos cos '
cos 2

=
+

=
n n
n
T
II

) ' (
) ' (
' cos cos '
' cos cos '




+

=
+

=
tg
tg
n n
n n
R
II

2. En nergie :
) ' (
) ' (
2
2

=
tg
tg

13


-rflectivit dune couche mince dpose sur un substrat transparent :

Fig. 4
) 2 exp( 1
) 2 exp(
2 2 23 12
2 2 23 12
d ik r r
d ik r r
R
z
z
+
+
= (16)
, o r12 et r23 sont les coefficients de rflexion des interfaces 1-2 et 2-3, respectivement, d2 est
lpaisseur de la couche. La composante z du vecteur donde k2 scrit :

2 2
1
2
2 2
sin
2
n n k
z
= (17)
Les coefficients de rflexion pour londe TM (polarisation p) scrivent :
z z
z z
k k
k k
r
2 1 1 2
2 1 1 2
12


+

=
z z
z z
k k
k k
r
3 2 2 3
3 2 2 3
23


+

= (18)
Les coefficients de rflexion pour londe TE (polarisation s) scrivent :
z z
z z
k k
k k
r
2 1
2 1
12
+

=
z z
z z
k k
k k
r
3 2
3 2
23
+

= (19)
Si { } { } { } 0 Im 1 Re ; 0 Re
2 2 2
>> < et , la relation (16) au voisinage de langle de
SPR devient :
( ) ( )
2 2
4
1
r i
m
xr x
r i
k k
R
+ +

= (20)
Avec :
z
d2
n2
n1
n3
r12
r23
x

14

sin
2
1
n k
x
= et
x x x
m
xr
k k k k +
+
= + =
3 2
3 2 0
2

(21)
Les termes i et r spcifient, respectivement, lattnuation du plasmons de surface par leffet
joule et par la rmission.
noter : { } { }
x r x i
k et k = = Im Im
0


Relation de dispersion : une interface entre deux milieux semi-infinis
Considrons une interface entre deux milieux semi-infinis dilectrique (1)/mtal (2)
2
:

Fig. 5
Pour une faible densit surfacique de charges statiques et de courants en surface de linterface,
les relations de continuit (voir ci-dessus) scrivent :
2 1 y y
H H = (22)
2 1 x x
E E = (23)
2 1 z z
D D =
2 2 1 1 z z
E E = (24)
Par ailleurs :
D H
t
rot = (25)
Soit :

2
Dans le cas dun capteur micromcanique, le milieu 1 est lair (=1) et le milieu 2 est une couche dun
mtal noble.
Z
X
Y
1
2
15

1 1 0 1 1 x y z
E i H ik = et
2 2 0 2 2 x y z
E i H ik = (26)
Ce qui donne avec la relation (23) :
0
2
2 0
2
1
1 0
1
= +
y
z
y
z
H
k
H
k

(27)
Alors (voir la relation (22)) :
0
2
2
1
1
= +

z z
k k
(28)
Par consquent, un mode SP ne peut exister que si les signes de parties relles de permittivits
dilectriques sont opposs (par exemple, le milieu 1 est un dilectrique, dont 0
1
> et le milieu 2 est
un mtal avec 0
2
< ).
Dans un milieu dilectrique :
2
0 1
2
1
2
k k k
z x
= + et dans un mtal :
2
0 2
2
2
2
k k k
z x
= +
Finalement, on obtient une relation de dispersion reliant le vecteur d'onde et la pulsation de
l'onde :
2 1
2 1
0


+

= = k k k
SP x
(29)
16


Couplage optique par un rseau mtallique en relief
Les SPs peuvent tre excits de manire trs efficace par un faisceau en incidence normale de
gamme de longueurs donde [600 ; 900] nm, si le priode du rseau est entre 430nm et 680nm
(donnes de calculs pour linterface or/eau ), [93].

Fig. 6.
La forme optimale de ce rseau est sinusodale et la profondeur optimale varie dans la gamme
[14 ; 22] nm.
Longueur donde, nm Longueur donde, nm
P
r
o
f
o
n
d
e
u
r

o
p
t
i
m
a
l
e
,

n
m

P

r
i
o
d
e

d
u

r

s
e
a
u
,

n
m

17


Rappels sur la fonction de Lorentz
3

Cette fonction est illustre sur la figure suivante.

Fig. 7
1. La premire drive de la fonction de Lorentz sera maximale si :
3
0 ) ( ' '
2
2
max
2
k
x f = = = (33)
Alors :
k
L
x f
MAX
8
3 3
) ( ' = (34)
Dans ce cas :
L M x f
4
3
) ( = (35)

3
Cette fonction spcifie le modle du pic dabsorption, le plus utilis dans les approches analytiques
relatives leffet SPR (nous lavons utilise dans lapproche par faibles perturbations).
M
m
L/2
2k
x0 x

2 2
2
) (
k
L k
M x f
+

= (30)
( )
2
2 2
2
2 ) ( '
k
L k
dx
df
x f
+

= = (31)
( )
3
2 2
2 2
2
2
2
3
2 ) ( ' '
k
k
L k
dx
f d
x f
+

= = (32)
L
x
y
18


Fig. 8
En un point K, o la drive premire est maximale ( 3
2 2
k = ), la fonction de Lorentz peut
tre approxime (srie de Taylor) comme suit :
A f f x f
K K
) ( ' ) ( ) ( + = (36)
Le segment A reprsente une distance entre le point K et un point N, o cette approximation est
faite.
En posant L=M=1, on obtient :
A
k
x f
8
3 3
4
1
) ( + = (37)
Le contraste dfini comme le rapport
) ( ) (
) ( ) (
+ +
+
=
f A f
f A f
c scrira, alors :
A f f
A f
f A f f
f A f f
c
K K
K
K K K
K K K
) ( ' ) ( 2
) ( '
) ( ) ( ' ) (
) ( ) ( ' ) (
+

=
+ +
+
= (38)
Soit :
A k
A
c
+
=
3 3
4
(39)
La plus petite valeur de A quon peut mesurer (la rsolution) sera, par consquent :
0
0
min
1 3 3
4
c
c
k A

(40)
o c0 dnote un seuil de contraste.
M
m
2k
x0
max
x
y
K
A
N
19

Remarque : dans la bibliographie relative SPR, une autre forme dcriture de la fonction de
Lorentz est couramment utilise :
( ) ( )
2
2
4
1 ) (
r i
m
xr x
r i
k k
x f
+ +

= (41)
Afin de la convertir en une forme classique, on utilise les substitutions suivantes :
( )
m
xr x
r i
r i
r i
k k
L
k
M
=
+

=
+ =
=
2
4
1
(42)
Alors, lquation (34) scrit comme :
( )
3
2
3 3
) ( '
r i
r i
MAX
x f
+

= (43)
Une drivation de cette expression par r permet de la maximiser :
( )
( )
( ) ( )
( ) ( )
( )
4
2
3
2 3
'
3
'
2
2
3 3
3
2
3 3
2
3 3
) ( '
r i
r i
i
r i
r i r r i
i
r i
r
i r
x f
+


=
+
+ +

=
|
|

\
|
+

=
(44)
Alors,
MAX
x f ) ( ' sera maximale si :
2
i
r

= (45)
Dans ce cas, la relation (43) scrit comme :
i
dx
x df
MAX
r

= |

\
|

1
9
3 2 ) (
(46)
Finalement, en injectant la relation (45) dans la relation (40), on obtient la fonction de
Lorentz optimise pour limagerie effet SPR :
( )
2
2
2
25 . 2
2
1 ) (
i
m
xr x
i
x
k k
k f
+

= (47)
20


Fig. 9

Rappel sur la rgle de 5 de la loi dcroissance en proportion de
l'exposant
La Fig.10 donne linterprtation graphique de cette loi.

Fig. 10
t
A0

A0/e
5
A(5)
) exp(
0
t A A =
A
( ) 0 ) 5 ( 10 6 5
0 0
3
> <<

t A A A A
1 =
f
kX
8/9
4/9
3i
x0
0,11
21


Caractristiques de la performance de dtecteurs thermiques
conventionnels
1. Rponse dun dtecteur
Sensibilit (Rponse)
spectrale, S
Le signal (courant lectrique) la sortie du dtecteur par unit de
puissance incidente une longueur d'onde particulire.
Longueur d'onde de
coupure
(cutoff wavelength)
La longueur d'onde la plus grande o la rponse du dtecteur ou sa
dtectivit tombe un pourcentage spcifi (par exemple, 1/e) de la
rponse crte.
nm
eV E
g
c
) (
10 24 . 1
3

=
(48)
o Eg est la largeur de la bande interdite du matriau photosensible
du dtecteur.
Constante de Temps
Le temps ncessaire pour que le signal sur la sortie de dtecteur
atteigne le niveau prdfinit (couramment, 0.707) de sa valeur maximale
aprs le dbut d'une puissance incidente fixe. Le temps caractristique de
rponse dun bolomtre est typiquement 1-20 ms
2. Bruits propres du dtecteur
Courant d'obscurit Courant lectrique en sortie en absence du rayonnement incident, iB
3. Rapport entre les bruits propres/la sensibilit dun seul dtecteur
Puissance quivalente
de bruit,
NEP ; [W Hz
-1/2
]
La puissance du flux de rayonnement incident monochromatique,
modul sinusodalement, qui produit en sortie du dtecteur un photo-
courant gal au courant dobscurit une longueur donde :

S
i
Rponse
Bruit
NEP
Bruits
= =
(49)
Autrement dit, cest une puissance radiante, qui produit un rapport
Signal sur Bruit de un la sortie du dtecteur.
Dtectivit spectral,
D, W
-1

D=(NEP)
-1
(50)
D-Star, D* ;
W
-1
cm Hz
1/2

Le rapport signal-sur-bruit une frquence particulire et dans une
bande passante de 1 Hz, quand un faisceau lumineux de 1 Watt tombe sur
un dtecteur de surface active 1 cm
2
:
A D
NEP
A
D = = *
(51)
o A est la surface sensible du dtecteur. Plus la valeur D* est leve,
meilleur est le dtecteur.
4. Performance dun dtecteur matriciel
NETD (Noise Equivalent
Temperature Difference)
) ( * dT dP D
f A
NETD
pixel
pixel

=
avec

d
dT
dM
FN
A
dT
dP
pixel pixel

=
2
1
2
4
(52)
Apixel est laire dun pixel ; F est le rapport F/D de lobjectif photo ; est
la transparence du systme optique ; M est lmittance de la source.

22


Performance dun capteur effet SPR
Le critre de performance dun capteur effet SPR, le plus utilis par des chercheurs est donn
dans [23, 40]. D'aprs ce critre, la crdibilit de mesure est caractrise par un facteur de bruit,
dfini comme un rapport (N) entre le la puissance quivalente du bruit du photodtecteur (NEPph)
4
et
la puissance de londe incidente (Pinc) multicouche plasmonique :
inc
ph
P
NEP
N = (53)
En injectant le facteur de bruit dans l'quation (46) crite en termes dangle dincidence, on
obtient :
( ) N
N
d 6 , 2
3 2
9
lim = (54)
La valeur N rapporte dans la bibliographie stend, typiquement, sur une plage de 10
-3
10
-2
.
Notons quen rgle gnrale, dans la bibliographie, son choix est fait de faon trs arbitraire
5
, [23, 40].
Alors, la rsolution angulaire typique vaut :
( ) d 026 , 0 lim (55)
Considrons, titre dexemple, un dispositif de Kretschmann-Raether, o la couche
plasmonique est faite dargent (=-18+0,5i) dpaisseur 50nm ; lindice du prisme est np=1.515. La
largeur du pic SPR, dans ce cas, est denviron 0,1. Alors, la limite thorique de la rsolution angulaire
de ce capteur vaut 0,003 environ.
En ce qui concerne la rsolution de lecture effet SPR sur lpaisseur (lindice de rfraction)
dune couche, elle peut tre crite, tout simplement, comme un produit de la drive premire de
langle SPR par rapport cette paisseur (lindice de rfraction) et la limite thorique de la rsolution
angulaire.
Il est vident que ce critre, similairement au notre, implique un seuil du contraste.
Par ailleurs, ce critre ne concerne que les capteurs idaux , o on remplace le pic SPR rel
par une courbe de Lorentz et on suppose que ce pic se dplace en conservant sa forme initiale.
Finalement, dans ce critre, on se limite lanalyse de problme pour un seul angle dincidence de
londe lumineuse. Par consquent, ce critre nest pas adapt pour caractriser un systme
dimagerie effet de SPR. Cependant, on peut utiliser lide de base de ce critre (le concept du
seuil de contraste ).

4
Ainsi, ce critre ne tient compte que le bruit du photo- dtecteur.
5
Cest pourquoi lors dune tude bibliographique, on rencontre toujours une divergence entre les
estimations de la rsolution des capteurs leffet SPR.
23

Rappel sur la notion du contraste
Le contraste dune image quantifie la capacit de distinguer deux rgions de limage, par exemple,
un objet sur le fond de limage. Il est dfini par un rapport de Michelson, [45-46] :
min max
min max
L L
L L
C
+

= (56)
, o Lmax et Lmin sont respectivement la luminance maximale et minimale (celle de lobjet et du fond
de limage).
Pour une faible variation de la luminosit, cette expression scrit :
fond
L
L
L L
L L
C
2
min max
min max

= (57)
Dans le cas dun capteur micromcanique, par exemple, L et Lfond sont respectivement un
changement de la luminance caus par un flchissement du cantilever et la luminosit du fond de
limage (soit de limage dun cantilever de rfrence).
24


Prsentation du modle numriques du capteur SPR
Dans ce paragraphe, on prsente le logiciel de modlisation numrique dvelopp dans le
cadre de notre tude. Ce modle numrique ralise lalgorithme de calcul matriciel du coefficient de
rflexion du multicouche plasmonique du capteur propos.
Remarque : on ne dtaille pas ici des algorithmes auxiliaires (comme, par exemple,
linterpolation directe et inverse etc.) encapsuls au logiciel dvelopp puisquils sont bien connus
dans dautres domaines.
La figure suivante prsente larchitecture des multicouches modlises par ce logiciel : a)
dOtto ; b) de Kretschmann-Raether.

Fig. 11.
(a) (b)

1
2
3
4
5

2
3
4
5
1
1- Absorbeur ;
2- Couche Mtallique ;
3- Couche protectrice ;
4- Gap ;
5- Prisme
25


Fentres de dialogue :
1. Fentre Principale : permet de dfinir des paramtres optiques du systme de couplage
optique, ainsi que du multicouche plasmonique. Dans cette fentre :
1- on calcule le coefficient de rflexion en fonction de langle dincidence du faisceau de lecture
(et langle de SPR) ;
2- on peut optimiser les indices de rfraction du systme plasmonique ;

Fig. 12. Fentre principale (configuration de Kretchmann-Raether)

1
2
Courbe de rflectivit
Pour copier la courbe ou rafrachir,
pousser le bouton droit de la souris
Angle de SPR Angle de rflexion interne totale
26


Fig. 13. Fentre principale (configuration dOtto)
Pour changer le mtal
plasmonique, pousser le
bouton droit de la souris
Paramtres du schma
Temprature du
prisme
RECALCULER la rflectivit du multicouche
Calculer la rflectivit en fonction de la temprature du multicouche
Rinitialisation des
paramtres
Pour voir les paramtres THERMIQUES du multicouche
27


2. Fentre Paramtres thermiques : dfinit les paramtres thermiques (les capacits
calorifiques et les conductivits thermiques des couches minces) de la partie
thermosensible/micromcanique du dtecteur.

Fig. 14. Fentre Paramtres thermiques
Par dfaut : du verre crown
Par dfaut : dor
Minimum dtectable de
lnergie absorbe
Configuration de Kretchmann-Raether Configuration dOtto
Notation/Remarque :
CV est la capacit calorifique volumique du matriau
C Total= Volume CV
C Pixel est la capacit calorifique du pixel
Bilame par dfaut = Au /SiO2
28


3. Fentre Performance du capteur : donne les rsultats de la simulation numrique : la
rponse thermique et micromcanique du dtecteur SPR.

Fig. 15 Fentre Performance du capteur
29


Rappels utiles sur la thorie de solides
nergie de Fermi des mtaux
(
(

|
|

\
|

2
2
) 0 ( 12
1 ) 0 ( ) (
F
F F
E
T k
E T E

(58)
o ( )
3
2
2
2
3
2
) 0 (
e
e
F
n
m
E

=
h
, ne et me sont respectivement la densit des lectrons
libre (10
28
-10
29
m
-3
) et la masse dun lectron (0,9110
-30
kg).
Dans le cas des mtaux solides, ) 0 (
F
E T k << dans toute la gamme de tempratures
(
Fusion
T T << ). Par consquent, ( )eV E T Const E
F F
12 5 ) 0 ( ) (
Mtal EF(0), eV
Al 11,7
Ag 5,5
Au 5,53
Cu 7,04
Sn 10,2
Zn 9,46
Vitesse de Fermi
e
F
F
m
T E
v
) (
= (59)
quation diffrentielle de mouvement dun lectron de conduction dans le modle de Drude
) exp(
0
2
2
t i E
m
e
dt
dx
dt
x d
c
= + (60)
Conductivit lectrique des mtaux en hautes frquences, ()
i
i
2 2
0
2 2
0 0
1 1 ) 1 (
) (

+
+
+
=

= (61)
o
m
e n

=
2
0
est la conductivit du courant continu.


30

Conductivit lectrique 0 des mtaux dans le modle de Drude-Sommerfeld
trs basse temprature
-la loi de Mathiessen
( )
1
eff i
S n ~ ) (

= T Const
o ni est la concentration des impurets ; Seff est la section efficace
de dispersion dun lectron libre sur une molcule dimpuret.
A temprature ambiante
-la formule de Sommerfeld
1
T
A temprature intermdiaire
-La contribution des collisions du
type lectron -phonons dans la
rsistivit est prpondrante
-5
0
T ~ ) (

Fig. 16. Exemple : la variation de la rsistivit lectrique ( / 1 = ) du cuivre en fonction de la
temprature
31


Dfinition de la permittivit dilectrique () dun milieu mtallique
La permittivit dilectrique est dfinie comme :
( )
(

+ =

0
1 ) (
i
(62)
Rappelons que cette dfinition provient de lquation dune onde lectromagntique propage
dans un milieu dilectrique (Helmholtz) :
( )
) , (
) (
1 ) , (
0
2
0 0
2

x E x E
4 4 3 4 4 2 1
(

+ =

i
(63)
o ) ( / ) ( ) ( j E = est sa conductivit en hautes frquences.
32


Conductivit thermique dune couche mince de gaz dans le rgime du
transfert thermique molculaire
Considrons deux plans parallles spars dune distance L faible par rapport au libre parcours
des molcules du gaz et maintenus des tempratures T1 et T2.
Lorsquune molcule de gaz entre en collision avec la surface froide T1, elle change avec celle-
ci une certaine quantit dnergie. tant donn quen gnral la dure du contact molcule-paroi nest
pas suffisante pour que stablisse lquilibre thermique, la molcule quittera la surface une
temprature T1 suprieure T1. Sur la surface chaude T2 pareillement, la dure du contact
molcule-paroi nest pas suffisante pour atteindre lquilibre thermique. La molcule quittera donc la
surface une temprature T2 infrieure T2. Afin de quantifier cet cart lquilibre thermique, on
dfinit le coefficient daccommodation :

=
= =
chaude surface la pour
T T
T T
froide surface la pour
T T
T T
E
E
a
r
2 1
2 1
1 2
1 2
max
'
' '
'
' '
(64)
o Er est nergie rellement change lors de la collision, Emax est lnergie maximum
thoriquement changeable.
Les coefficients daccommodation dpendent la fois de la nature du gaz, de la nature de la paroi
et de la temprature. Le Tableau suivant donne des valeurs approximatives pour quelques gaz.
Tableau 1 : Coefficients daccommodation des gaz diffrents, [82]
Temprature Hlium Hydrogne Non Air
300 0,29 0,29 0,66 0,7-0,9
78 0,42 0,53 0,83 1,00
Lors dun choc, le changement dnergie totale de la molcule est gal au changement dnergie
interne, laquelle sajoute un terme dnergie cintique :
( ) ( )
1 2 1 2
' '
2
' ' T T
k
T T c
B
V
+ = (65)
Daprs la relation de Mayer, cv sexprime comme :
1
=

k
c
V
, avec :
V p
c c / = et R c c
V p
= (66)
Rappelons que si le mouvement des molcules possde l dgre de libert :
l
l 2 +
= (67)

33

Alors :
( )
1 2
' '
1
1
2
T T
k
B

+
=

(68)
Pour un gaz diatomique (l=5), on obtient =7/5=1,4 et, par consquent :
( )
1 2
' ' 3 T T k
B
= (69)
Le nombre de molcules heurtant lunit de surface pendant lunit de temps :
M
T R
n n
h
2
= (70)
Alors, la puissance transmise entre les deux parois par unit de surface :
( )
1 2
' '
1
1
2 2
T T
M
T R k n
n q
B
h fm

+
= =

(71)
En rappelant que la pression du gaz sexprime comme T k n p
B
= , on dduit :
( )
1 2
' '
1
1
2 2
T T
T M
R p
q
fm

+
=

(72)
o T est la temprature du dtecteur.
De lquation (1) on dduit :
( ) ( )
2 1 2 1
2 1
1 2 1 2
' '
a a a a
a a
T T T T
+
= (73)
En supposant que les coefficients daccommodation thermique des parois sont
identiques a a a = =
2 1
, on obtient :
( ) ( )
a
a
T T T T

=
2
' '
1 2 1 2
(74)
Finalement, la puissance transmise entre les deux parois scrit comme :
( )
a
a
T T
T M
R p
q
fm

+
=
2 1
1
2 2
1 2

(75)
Le coefficient dchange thermique en rgime des molcules libres vaut :
34

a
a
T M
R p
fm

+
=
2 1
1
2 2

(W.m
-2
.K
-1
) (76)
Afin destimer la conductivit thermique de lair (=1,4 ; a=0,755 ; M=2910
-3
kg) en rgime
molculaire, on peut utiliser ainsi lquation suivante :
5
1 300
10 1 . 1 18 , 19
atm p K T
fm
p
T
p
= =
(W.m
-2
.K
-1
) (77)
Dans ce cas, la puissance transmise dune paroi lautre vaut :
( ) ( )
1 2 1 2
T T S T T G q
fm fm
= = (78)
Pour un pixel 300m50m on obtient, par exemple :
K W S G
fm
/ 10 1 , 1
3
= (79)

Transfert thermique par le champ lectromagntique vanescent :
cas de deux surfaces planes
Si lpaisseur du gap est suprieure 20 nm, la contribution du composant p de londe
vanescente au transfert thermique peut tre compltement ignore, [83, 84]. Cela permet de
simplifier considrablement le modle du transfert thermique ralis par les ondes vanescentes. Le
flux de la chaleur change entre deux plaques, dans ce cas, vaut, [83, 84] :
{ }{ }
{ }
{ } [ ]
3 2 1
h
h
0
2 1
0
/
2
2 1
2
2 1
2 2
3
0
/
2 1 2
2 1
2
2
2
2
1 2
3
) ( ) (
) ( ) ( 1
) ( Im ) ( Im
2
) ( ) (
) ( ) ( 1
) ( 1 ) ( 1
8

>

<
+

+
+

=


p s n n
R R e
R R
e q d d
n n
R R e
R R
q d d S
c q
s s
d p
s s
d p
c q
s s
pd i
s s
Z

(80)
Avec :
( )
1
/
1
1 ) (
1

=
T k
B
e n

h
et ( )
1
/
2
1 ) (
2

=
T k
B
e n

h

( ) 1 4
/ 2 3
2
0

=
T k
B
e c
I

h
h
(Distribution statistique de Boltzmann)
i
i
is
s p
s p
R
+

=
2
2
q
c
s
i i
|

\
|
=

35

o i est la permittivit dilectrique du milieu i ; q dnote la composante du vecteur donde parallle
la surface et
2
2
q
c
p
|

\
|
=



Forces mises en jeu lintrieure dun gap de faible paisseur
Les forces agissant lintrieure du gap dair les plus importantes sont :
1. Les forces de capillarits ;
2. Les forces lectrostatiques ;
3. Les forces attractives de Van der Waals.
Force de van der Waals :
Il sagit dune interaction de faible intensit entre atomes, molcules, ou une molcule et un
cristal. A lorigine de ce phnomne quantique, on retrouve des fluctuations de la distribution
lectronique auxquelles s'associent des moments dipolaires instantans. Linteraction de Van der
Waals comporte trois composants principaux :
Effet de 1
e
ordre Type de liaison Ordre de grandeur de lnergie de liaison
Forces de Keesom ou effets
d'orientation
entre molcules polaires 0,5 3 kJ/mol
Forces de Debye ou effets
d'induction
entre molcules polaires et
diples induits
0,02 0,5 kJ/mol
Forces de London ou effets de
dispersion
entre diples instantans 0,5 30 kJ/mol
Habituellement, on crit l'nergie de la liaison de van der Waals sous la forme :
( )
London Debye Keesom London Debye Keesom tot
W W W
R
E E E E + + = + + =
6
1
(81)
Avec :
( ) T k
W
Keesom

=


0
2 1
4 3

( )
2
0
1
2
2 2
2
1
4


+
=
Debye
W
( )
2
0
2 1
4
4
3

=
h
W
London

, o 0, k, T, R, , , h et sont respectivement la permittivit dilectrique du vide, la constante de
Boltzmann, la temprature absolue, la distance moyenne entre les molcules considres, moments
36

dipolaires des molcules considres, la polarisabilit lectrique, la constante de Plank et la
frquence lectronique d'absorption
Pour calculer les forces de Van der Waals on doit driver cette expression par rapport R. Par
consquent, ces forces varient en R
-7
: elles diminuent trs vite avec la distance.
Notons que l'expression des forces de Van der Waals (81) peut tre modifie selon la nature des
corps mis en interaction. Dans notre cas, lune des couches est mtallique (bon conducteur lectrique)
et le cantilever peut tre fabriqu dun matriau conducteur. Alors, on doit prendre en considration
leffet de la force de Casimir.
Force de Casimir
Cette force agit entre deux plaques conductrices spares par un trs faible gap. A lorigine de
ce phnomne, on retrouve des fluctuations quantiques du vide
6
.
La densit dnergie du vide dans le rsonateur form par ces deux plaques est fonction du
nombre de photons qui peuvent y exister. Plus les plaques sont proches, moins de photons peuvent
exister dans le gap
7
, donc moins dnergie peut tre associe ltat du vide. La force agissant entre
ces deux plaques (tant la drive de lnergie par rapport lpaisseur du gap) est donc attractive.
On peut montrer que la force de Casimir, pour les plaques des conducteurs parfaits, la
temprature nulle, vaut, [90] :
4
2
240 L
c
dA
dF h
=

(82)
, o A et L sont respectivement, laire de surface des plaques et lpaisseur du gap (A>>L
2
). Soit,
en units SI :
4
27
10
L
A
F
Casimir
=

(83)
Notons quen pratique, cette expression peut tre utilise sans tre modifie pour une
temprature de 0K 300 K, [90].

6
Il sagit des fluctuations du champ lectromagntique prvues par la thorie de l'lectrodynamique
quantique.
7
En effet, en rduisant le gap, on exclut les photons, dont la longueur donde est suprieure son paisseur.
37


Approche dun cantilever mcaniquement quivalent
Dans un cas gnral, un micro- cantilever comporte des matriaux diffrents. Pour construire une
section homogne quivalente la section initiale, on normalise les largeurs de chaque couche mince
par le module de Young :
Fig. 17. Section homogne mcaniquement quivalent
(Ei est le module de Young de la i
e
couche mince).
a. La position de la fibre neutre Zn (associe au barycentre des surfaces de la section
quivalente) est donne par la relation suivante :

=
i
i
i
i i
n
S
Z S
Z (84)
o Si la section de la i
e
couche mince.
b. Le module de Young quivalent (associ au barycentre des modules de Young des diffrents
matriaux) :

=
i
i
i
i i
Total
V
V E
E
(85)
o Vi est le volume de la couche quivalente.
Notons que cette approche offre une autre faon dobtenir la formule de la dflexion dun bilame :
- le moment de flexion, incit par les contraintes 1 et 2 agissant aux sections des couches
minces scrit :

) (
i
i norm
i
E Max
E
b b =

b
Section initiale Section quivalente
Z
Fibre neutre
bi
38

( )
1
12 12 1 1
2
2
1
1
2 1
1
2
2 1

+
|
|

\
|
= + =

h E
h
h b E
E E
dz z b dz z b M
h h

(86)
En quilibre mcanique, il doit tre gal :
( )
2 2 1 1
1
I E I E
R
M + = (87)
o I1 et I2 sont les moments quadratique dinertie des sections de couches minces 1 et 2 par
rapport laxe passant par la fibre neutre. Daprs le thorme des axes parallles ces moments
dinertie scrivent comme :
( )
2
12 12
2
1
3
1
1
1
2 12

+
|

\
|
+

= h E
h
h b
h b
I (88)
( ) ( )
2
12 12
2
2
12 12 2
3
2
2
1
2 12

+
|

\
|
+

= h E
h
h E h b
h b
I
Alors, la dflexion du cantilever vaut :
( ) ( ) ( ) ( ) [ ]
1
12 12
2
12 21 21
2
12
2
12 12
1
2
2
2
1
1
2
1 1 3
3
2

+ + + + +
|
|

\
|
=

= h E h h E h h h
h
L
E E R
L
Z

(89)

39


quation diffrentielle des modes propres de vibration dun cantilever
Lquation des vibrations dun cantilever de masse linique m, de modules dYoung E et de
moment quadratique dinertie I scrit :
0
2
2
4
4
= +
dt
z d
EI
m
dx
z d
(90)
En posant
EI
m
k
2
4

= et ) exp( ) ( ) , ( t i x Z t x Z = , on obtient :
0
4
4
4
= + Z k
dx
Z d
(91)
La solution de cette quation, dans le cadre de lhypothse de flexion faible, scrit sous la forme :
) ( ) ( ) cos( ) sin( ) ( kx ch d kx sh c kx b kx a x Z + + + = (92)
Pour un cantilever encastr une de ses extrmits, les conditions aux limites scrivent :
d b Z + = = 0 ) 0 (
c a
dx
dZ
+ = = 0 ) 0 (
( ) ) ( ) ( ) cos( ) sin( 0 ) (
2
2
2
kL ch d kL sh c kL b kL a k L
dx
Z d
+ + = =
( ) ) ( ) ( ) sin( ) cos( 0 ) (
3
3
3
kL sh d kL ch c kL b kL a k L
dx
Z d
+ + + = =
Ce systme nadmet une seule solution (a, b, c, d) que si son dterminant est nul.
Alors, lquation aux pulsations propres dfinies par ces conditions aux limites :
1 ) cos( ) ( = L k L k ch
i i
(93)
Avec les racines : 0=1.875 ; 1=4.695 etc. qui dfinissent les modes et frquences propres de
vibration libre dun cantilever (autrement, les frquences de vibration autorise).
2
2
1
2
1
L m
EI
f
i i
=

(94)
Dans le cas du cantilever de section rectangulaire, on obtient :
40

2
2
.
12 2
1
L
h E
f
i
rect
i

(95)
Par exemple, la frquence du mode fondamental (i=0 et 0=1,875) vaut :
2
.
0
161 , 0
L
h E
f
rect
=

(96)
Le profil damplitude de dforme associ chacune des frquences propres (appel mode
propre de vibration) scrit sous la forme :
} cos ) (cos
sin ) (sin {
sin 2
1
) ( ) (
|

\
|
|

\
|

|

\
|
+ +
+ |

\
|
|

\
|

|

\
|
=
L
x
ch
L
x
ch
L
x
sh
L
x
sh
sh
L Z x Z
i i i i
i i i i
i i
i i



(97)

41


Rappel sur le facteur de qualit de la rsonance
Le facteur de qualit de la rsonance caractrise les pertes totales d'nergie mcanique par un
oscillateur.

Fig. 18 Facteur de qualit
tant donn que le systme cantilever-substrat possde un seul degr mcanique de
libert, le spectre de vibration mcanique obit une loi Lorentz (voir Fig.18).
( )
( )
2
0
2
2 2
0
2 1
|
|

\
|
+

Q
A


(98)
Dans cette relation, Q dnote le facteur de qualit de la rsonance dfinit comme :
=
0
Q (99)
o est la largeur du pic de rsonance (correspondant lamplitude : 2 A )
Dans le cas dun oscillateur de Lorentz : , 2 = o est sa constante
damortissement.
Frquence angulaire
A
m
p
l
i
t
u
d
e

d

o
s
c
i
l
l
a
t
i
o
n
s

A
2 A

0
Accroissement de Q
42


Frquence de rsonance dun cantilever immerg dans un liquide incompressible
h
b
f
f
cantilever
liquide
liquide

4
1+
= (100)
o : b, h, f, liquide, cantilever sont respectivement la largeur, lpaisseur du cantilever, sa frquence
de rsonance mcanique, la densit du liquide et du matriau de cantilever, [92].
Dans le cas dun cantilever rectangulaire, on obtient, alors :
2 / 1
2
2 .
4
1
12 2
1

(

=
h
b
L
h E
f
cantilever
liquide
cantilever
i
rect
i

(101)
Soit :
2 / 1
2
4
1
3 2
1

(

+ =
h
b
m
k
f
cantilever
liquide
i i

(102)
En drivant cette formule par rapport m, on dduit la frquence de rsonance du cantilever en
fonction de la masse m (m<<m) absorbe par sa surface :
|

\
|
= = =
m
m
f m
m
f
f f f f
i
i i
i
i i i
new
i
2
1
2
(103)
Ainsi, on constate que la sensibilit du cantilever augmente avec sa raideur.

43


Absorption du rayonnement par la matire
quation de conduction de la chaleur
Dans cette tude, on se limite la considration de linteraction du rayonnement avec un matriau
absorbant et isotrope. De plus, on suppose que le transfert thermique par convection soit ngligeable.
Dans ce cas, lquation de conduction de la chaleur scrit comme :
) , ( ) , ( ) , (
1 1 2
t r A K t r T t r T
t
=

(104)
Rappelons que cette quation peut tre dduite de l'quation de conservation de la chaleur en
tenant compte de la loi de Fourier sur le transfert de chaleur :
) , ( ) , ( ) , ( t r A t r T C t r J
t
= +

(105)
) , ( ) , ( t r T K t r J = (106)
Dans ces relations, les notations utilises ont la signification suivante :
) , ( t r A
Densit volumique de la puissance dpose au point r
r

) , ( t r T
Temprature locale [K]
) , ( t r J
Flux de chaleur par unit de surface
C Capacit thermique par unit de volume [J kg
-1
K
-1
]
K Conductivit thermique du matriau [W m
-1
K
-1
]
K
Tenseur de conductivit thermique

C
K
=
Diffusivit thermique [m
2
s
-1
]
La solution analytique gnralise de l'quation de conduction de la chaleur, dans le formalisme
de fonctions de Green, scrit comme :
' ) , ( ) ' , ' , ( ' ) , (
1
'
dr K t r A t r t r G dt t r T
t
r
=



(107)
o ) ' , ' , ( t r t r G est la fonction de Green associe aux conditions aux limites qui sont dfinies
par la gomtrie du problme.
Ainsi, pour trouver les solutions de l'quation de la chaleur, on doit spcifier, tout dabord, les
conditions aux limites associes au problme (il sagit du champ de temprature l'instant initial
aux frontires du corps solide).
Remarque : il est trs important de noter que la forme analytique de ces solutions est
excessivement complexe, mme pour les corps solides de gomtrie primitive. Pour cette raison,
gnralement, elle ne reprsente quun intrt purement acadmique , illustratif. Notons, par
ailleurs, que la seule mthode efficace de modlisation du problme (107) est lapproche numrique
(par les calculs en lments finis).
44

Dans cette tude sur linteraction entre le rayonnement et le matriau, on se limite lanalyse
dune gomtrie la plus simple : une plaque semi infinie (z>0) :
En fonction de lefficacit dabsorption du rayonnement par le matriau, on peut distinguer trois
cas gnraux :
A Gnration volumique de la chaleur, qui correspond une faible absorption du rayonnement
en z = 0 ;
B Gnration surfacique de la chaleur. Dans ce cas, le rayonnement est absorb dans une
couche d'paisseur infiniment mince.
C Chaleur induite par un faisceau attnu exponentiellement le long de laxe Z.
A. Dans le premier cas, le flux de chaleur travers la surface compense les pertes par
rayonnement thermique. Alors, en admettant que la temprature de surface est trs proche de la
temprature du milieu environnant (la condition de Dirichlet), on peut formuler la condition aux limites
de manire suivante :
0 ) , ( = t r T
z
(108)
En effet :
( )
( ) 0 ) , ( 4
) , ( ) , (
0
3
Taylor de Srie
4
0
4
Boltzmann - Stefan de Loi
=

=
=

=
e z e
surface
e z
surface
z
T t r T T
K
T t r T
K
t r T



Dans ces relations, les notations utilises ont la signification suivante :
Te Temprature du milieu environnant
Constante de Stefan- Boltzmann
surface
missivit de la surface
La fonction de Green correspondant cette condition aux limites scrit :
[ ]
( ) ( ) ( ) ( )
(
(

+
+
(

=

) ' ( 4
'
exp
) ' ( 4
'
exp
) ' ( 4
'
) ' ( 4
'
exp ) ' ( 4 ) ' , ' , (
2 2 2 2
2 / 3
t t
z z
t t
z z
t t
y y
t t
x x
t t t r t r G

(109)
B. Dans le deuxime cas (la gnration surfacique de la chaleur), l'nergie gnre en volume est
nulle ( ) , ( t r A ). La condition aux limites s'crit, alors :
( )
0 0
0
4
0
4
) , (
1
) , (
1
) , ( ) , (
= =
=
=

=
z z e z
surface
z
t r I
K
R
t r I
K
R
T t r T
K
t r T
4 4 4 4 4 3 4 4 4 4 4 2 1

(110)
o R est le coefficient de rflexion de la surface.
La solution de lquation de la chaleur, dans ce cas, scrit :
45

( ) [ ] ( )
( )

)
`

+ + +

=
t
K
R I
t t
rr z r r
t t
t q r f
d dr r dt t z r T
0
max
2 2 2 2
0
2 / 3
1
' 4
' cos ' 2 '
exp
' 4
) ' ( ) ( 2
' ' ' ' ) , , (

(111)
C. Enfin, dans le troisime cas, le terme dcrivant la source peut s'crire :
) ( ) ( ) 1 ( ) , (
max
t q r f e R I t r A
z
=

, (112)
o :
max
I Intensit maximale du rayonnement incident
Coefficient d'absorption
) (r f et ) (t q Distributions spatiale et temporelle du rayonnement incident
La solution de lquation de la chaleur, dans ce cas, scrit :
( ) [ ] ( )
( ) ( ) ( )
K
z R I
t t
z z
t t
z z
t t
rr z r r
t t
t q r f
dz d dr r dt t z r T
t
) ' exp( 1
) ' ( 4
'
exp
) ' ( 4
'
exp
' 4
' cos ' 2 '
exp
' 4
) ' ( ) (
' ' ' ' ' ) , , (
max
2 2
0
2 2 2 2
0
2 / 3
0

(
(

+
+
(

)
`

+ + +

=



(113)
Pour extraire de ce modle les conclusions utiles en pratique, tudions la rponse thermique
dun absorbeur massique dont le coefficient dabsorption . Ce qui corresponde au modle de
gnration en surface (voir ci-dessus, le deuxime cas). Admettons, de plus, que le faisceau incident
est un pulse de dure , uniforme sur toute la surface de labsorbeur :
1 ) ' ( = r f
sinon 0
0 1
) (

=
t
t q
Cette configuration permet de simuler un pixel thermique avec une prcision admissible en
pratique. Dans ce cas, la solution (113) de lquation de la chaleur devient :

0t
( )
( )
( ) (
(

=
2
1
2
1
max
2
1 2
) , (
t
z
ierfc
K
R I
t z T

t>
( )
( ) ( )
( )
( )
( )
)

(
(

(
(

=

2
1
2
1
1
2
1
2
1
1
2
1
max
) ( 2
1
2
1 2
) , (

t
z
ierfc t
t
z
ierfc t
K
R I
t z T


Dans ces relations, les notations utilises ont la signification suivante :

46

) (x ierf

x
dy y erfc ) (
) (x erfc ) ( 1 x erf
) (x erf ( )

0
2
exp
2

d
Ainsi, la variation de temprature en surface (z=0) scrit comme :
0t
( )
2
1
max
1 2
) , 0 ( |

\
|

t
K
R I
t T

t>
( )
( ) ( ) { }
2 / 1
1
2 / 1
1
2
1
max
1
1 2
) , 0 ( |

\
|

t t
K
R I
t T

La Figure suivante donne lillustration simplifie de cette quation :

Fig. 19. Variation de la temprature (rponse thermique) en surface de plaque semi infinie dclenche
par un pulse du rayonnement incident de dure ).
On peut constater que la monte de temprature des corps se droule gnralement plus vite que
la relaxation vers lenvironnement froid. Par consquent, en pratique, le temps de monte peut tre
compltement ignor.

Temps, t
Te
Tmax
Temprature, T

47

Cantilever non-uniforme
Un cantilever, dont la section et/ou le module dlasticit diminuent lorsque l'on se rapproche de
lextrmit libre, montre une flche plus importante que celui de section et/ou de module dlasticit
constante. On se limitera ici au cas dun cantilever triangulaire contraint par une force F applique sur
lextrmit libre, exemple simpliste, mais suffisant pour illustrer cette rgle gnrale.

Fig. 20 : Comparaison dun cantilever triangulaire et celui rectangulaire.
Lquation diffrentielle dun tel cantilever scrit :
x F x M
dx
y d
x EI = = ) ( ) (
2
2
(114)
o I et I(x) sont le moment dinertie de section, respectivement dun cantilever rectangulaire et
celui triangulaire (Fig.20).
L
x
I
L
x b h x b h
x I =

=
12 12
) (
) (
0
3 3
(115)
Alors, lquation prcdente scrit :
L F
dx
y d
EI =
2
2
(116)
Il est facile de vrifier que sa solution est :
(

+ =
2
2 3
2 1
2
) (
L
x
L
x
EI
FL
x y (117)
y
x
z
h
b0
F
L
b0
F
L
48

Alors, la flche de lextrmit libre du cantilever triangulaire sera :
EI
FL
y
triang
2
) 0 (
3
= (118)
En ce qui concerne la flche de lextrmit libre dun cantilever rectangulaire, comme dans le cas
prcdent, on lvalue de lquation (114), mais avec Const x I = ) ( . Ce qui nous donne :
EI
FL
y
rect
3
) 0 (
3
= (119)
Ainsi, un cantilever triangulaire offre une plus grande sensibilit que celui rectangulaire :
5 , 1
) 0 (
) 0 (
= =
rect
triang
rect
triang
y
y
S
S
(120)
Cela explique lintrt particulier d'une conception du cantilever en couches minces dpaisseurs
variables et de la technologie du dpt travers un masque mobile (voir Chapitre consacr la
fabrication du dtecteur).