UNIVERSIDADE DE SO PAULO

ESCOLA DE ENGENHARIA DE SO CARLOS

DEPARTAMENTO DE ENGENHARIA MECNICA
SEM 0545 Sistemas Micro Eletro Mecnicos 30/05/2014




1) Numere os processos listados abaixo de acordo com a figura respectiva. A seguir, descreva-os.


_________________________________________________________________________________________________


( ) Si Epitaxial Deposition






( ) Boron doping






( ) Eatching






( ) Lithography






( ) Si oxidation









2) Considerando as propriedades dinmicas impostas a elementos do tipo viga por diversas condies de contorno, considere os
trs sistemas ilustrados abaixo:

a) esboce o 1 modo de vibrar de cada sistema. Indique na figura, as assntotas em cada extremidade das vigas (ou seja, se h
deslocamento e/ou rotao) em cada caso.




(I) (II) (III)


b) Sendo as dimenses b, h e L arbitrrias e idnticas entre
os sistemas I, II e III, indique-os ao lado, a relao entre as
freqncias de ressonncia destes sistemas (=, >, <, , , etc).




3) Indique com um X qual tipo de substrato de silcio foi usado na confeco de cada uma destas peas:



110 ( ) ( ) ( ) ( ) ( )

100 ( ) ( ) ( ) ( ) ( )
h

4) Considere uma viga de sesso transversal constante e
comprimento L, engastada em uma extremidade e sujeita a
uma fora f na outra extremidade. Sendo a relao entre a
fora concentrada e o deslocamento u dada por
) 3 (
3
L EI u f determine:


a) a expresso para a rigidez equivalente da viga
b) qual seria o efeito sobre a rigidez equivalente e a freqncia natural do sistema original, caso a espessura
da viga dobre (sem alterar as outras dimenses)?
c) qual o efeito de escala global sobre a massa, rigidez e freqncia natural da viga? Adote L1, L2, L3, etc. para
descrever grandezas que escalam em proporo linear, quadrtica, cbica, etc.














































(I)
u
f
5) O modelo mais simples de um capacitor ajustvel (micro-dispositivo de alta freqncia) consiste em uma mola k
conectada a uma das placas do capacitor C. Observe que a massa do terminal mvel desprezada e a fora da mola
(F=kx) equilibra a fora eletrosttica gerada pela diferena de potencial. Um aumento na tenso V deve diminuir a
distncia (x-d) entre as placas eletrodos. Porm, a uma dada tenso, o equilbrio estvel de foras se torna
marginalmente instvel, e a partir deste valor, as placas so atradas e fazem contato. Esta tenso V
P
conhecida como
Pull-in Voltage. Calcule V
P
e o deslocamento correspondente x
P
dados:
Capacitncia ) ( x d A C
Energia potencial
2 2
2
1
) ( 2
1
kx V
x d
A
E E E
k e

Fora resultante na placa
x
E
F
R

Critrio de estabilidade 0 x F
R
estvel


k
C V
+
-