UNIVERSIDADE DE SAO PAULO NSM OMO mW ctelal oe CURSO DE TECNOLOGIA DO VACUO cpt ch z ont BOMBAS reDE__vkcuo As bombas de vacuo poder ser divididas em duas clas- ses: 1) Bombas de pré-vScuo - sao as borhas que comecan a ope rar a pressao atmosférica e produzem vacuo de 1072-1073 orr, p.eX, bombas mecénicas € bombas de sorpcao. 2) Bombas de alto-vacuo - s3o aquelas que so poder come - car a operar en pressdes mais haixas que a atmosférica e atingem pressdes de 10™° a 1072" torr, p.ex., dorba de di fusdo, bomba iénica, bomba criopénica e bomba turbo-nole cular. Fstas bombas precisan de uma auxiliar da classe Q) para fazer o pré-vacuo. camara de vacuo Qo medidor de ionizacao valvula de alto vacuo )_- Bomba de Difusao “Boos ter" (bomba de difusao auxiliar) O Armadilha de nitrogénio lee 1iquido (ig “Nedidor de pré-vicuo ACs Bomba Potativa armaditha “ criogénica | i ! 1 Pressao (mm Hg) Fig. 1~Distribuigao de pressdes em um sistema de vacuo com Bomba Mecanica (rotativa) mais Bomba de DifusaoEm geral, para atingir um alto vacuo usam-se duas bombas em série, uma de pré-vacuo e outra de alto vacuo ligada no sistema a ser evacuado. Neste laboratério, varos usar sonen te para pré-vacuo bomba mecdnica e,para alto vacuo, bombas de difusdo. Pig. 2 - Um sistema de Vacuo tTpico 1 - bomba rotativa 9- 2 - armaditha para vapores 3.- valvula de entrada de ar 10 - 4 - valvula de isolagio ne 5 - linha de pré-vacuo eee 6 - valvula de pré-vacuo 13 - 7 = linha de pré-vacuo inicial 14 - 8 - medidor Pirani 15 - 16 - valvula de pré-vacuo da bom ba de difusao bomba de difusio valvula de alto vacuo camara de vacuo passador de eletricidade eixo giratorio medidor de descarga (Penning) visorEALXA: ——— uI tra-alto vise [ate vice = 197 107107" 10710? 1078 1077 107 107 107" 1 BOMBA DE DIFUSAO =< } soma rurso-novecuune | TURBO-MOLECULAR BOMBA 4 SUBLIMACKO BOMBA IONICA owen rvscn (ora BOMBA IONICA (SPUTTER-ION) fess is ee BOMBA CRIOGENICA DE PRESSAG DE TRABALHC DoS UiFERENTES TI 8 bE 2 [soma rors | (eae Pu: BOMBAS pré-vacuo LTT BOMBA MECANICA DE 1 ESTAGIO }OMBA MECANICA ESTAGIOS A ROOTSmedidor de ionizaca’o Z sc 4 4 “by pass" “e ar valvula automatica valvula de alto vacuo “7 conexdo flextvel valvula | bomba ce difusio bonba rotétiva Fig. 3 - Sistema convencional de vacuo com Bomba Mecanica e Bomba de Difusao camp§nula de vidro guarnigao de Viton valyula bomba de sorpgao valvula de isolagao da bomba idnica bomba de Titanio auxiliar bomba idnica ("Sputter-ion") Fig. 4 - Sistema de ultra-alto vacuo isento de vapores de Sleo e todo metalico (pode ser aquecido)BOMBA ROTATIVA ¥4 varios tipos de bombas rotativas, mas o princ{pio de funcionamento @ o mesmo. Um rotor cilindrico varre o pas ¢a regi3o A (sistema de vacuo) para a regido B 3 pressao atmosféri- ca. © rotor cilindrico de aco, cujo eixo & acoplado por gases expelidos valvula Y dleo rotor palheta C - Seqliéncia de bombeamentoconexao p/ vacuo filtro saTda de gases ~. a | Co f ter_gotpiculas de Gleo visor do nivel —~ do Sleo valvula de des~ carga oriffcio do “gas ballast” parafuso do dreno de deo Fig. 7 -Desenho em corte de uma Bomba Rotativa ("Speedivac", fabri- cada pela Edwards) meio de una polia a um motor elétrico, gira dentro de um cilin - aro de ago fixo, Na parte de cima (ponto 7 no desenho), o roter enco_sta bem justo no cilindro, com uma folsa pequene da order de 0,00lem. Isto @ para fazer a vedagao entre a entrada e a sai da aa bomba.9 rotor gira na direcao que mostra a flecha. Puas palhetas C e D sao colocadas num canal diametral do rotor. fs palhetas so separadas por uma mola, de modo que sempre as suas pontas !! e L enco_stan com pressao na parede co cilindro fixo Todo esse conjunto esta colocado dentro de dleo, que serve para vedar e lubrificar o sistema Quando o rotor gira e a ponta lL. aa palheta C passa a entrada A Je ar, o volume Y, dtras da palheta se expande, fazen- do com que a pressio diminua. Ao mesno tempo, o volume V dimi - nui, comprimindo o g&s e aumentando @ pressio, até que a valvula Y¥ se abre e o cas & expelido para fora. Assim, em cada revolu ~ gao por ter duas palhetas, 4 valvula se abre duas vezes e o volu me 2V de ar @ expelido. Se 5 é a velocidade da bomba e n o nine ro de revolugdes por segundo, entdo: § = 2nV 1/ser.placa de metal da valvula de safda tubo de entrada cojunto | tt guarnic&o de neoprene da val- | . vula do "gas ballast" palhetas Sis selo do ¢ixo placa lateral placa lateral oriffcio estator de saTda Fig. 8 - Partes componentes de uma Bomba Rotativa de um estagio Fig. 9 - Partes componentes de uma Bomba Rotativa de dois estagiosDisso, parece que § @ independente da pressdo. Na pratica, $ € independente da pressao até ~ 10 torr, mas, para pressdes mais baixas, ha varios efeitos secundarios: a) ha um vazamento de ar, devido & folga entre o rotor 2 o cilindro fixo: 'b) a pressdo do vapor do dleo é alta; ¢) devido ao aquecimento, quando a bomba est @ funcionando , © dleo se decompde em gases: d) para baixas pressdes a impedancia da entrada da bomba au menta de modo que a pressao no volume “ nao atinse a pressdo da camara onde se faz o vacuo. Estes fatores determinan também o limite mais baixo da pressao que pode ser atingida, da ordem de 10°? torr. Para conseguir pressao mais baixa, usam-se bombas de dois estagios, i.e., duas bo~bas acopladas em série. Com este sistema, pode-se conseguir pressdes de até 10°" torr. Fig. 10 - Esquema de Bomba Mecanica (modelo Kinney) de dois estagios.cate tl + . = = al- dois + L = estagios ge ! a: a j—_}_) 3 {Tum estagio i = 3 +—|—} oe j——} |_| i} o { Sette en ee eto m0 Pressao (torr) Fig. 11 - Curvas de Velocidade de Bombeamento para bombas rotativas de ume de dois estagios Fig. 12 - Bomba de palhetas desenvolvida por Gaede Fig. 13 - Modelo de pistao Fig. 14 - Bomba de uma sé oscilante de Kinney palheta da Cenco geFig. Fig. valvula do "gas ballasc" entrada saida 15 - Desenho de Bomba Mecanica, marca Welch 1405 (USA) usada Vmin no laboratério didatico (dimensdes em polegadas) Velocidade a w 1 ce "7 cy " Pressao (torr) 16 - Curva de Velocidade de Bombeamento da Bomba Mecanica Welch 1405, de dois estagios, mostrada acimaCome a bomba rotativa funciona comprimindo o gas an- tes de expeli-lo, entdo, se este cas contiver grande proporgio de vapor d'agua, ao comprimi-lo vai haver condensagao de agua Uma parte desta agua em vez de ser expelida, v: se misturar com Géleo. Isto é prejudicial para o Gleo. Para diminuir este efei- to, usa-se ‘gas ballast’, i.e., introduz-se por meio de uma valvu- la P, um pouco de ar em cada ciclo,o que aumenta a pressdo nes- ta regiao, forgande a abrir a valvula antes do tempo normal e minuindo, assim, a razdo de compressdo. A pressio final no sis- tema fica mais elevada por um fator 10 - 10%, mas como o vapor = = = A sem “gas 3 ballast" 3 B= com “gas 3 ballast" A = com "gas ballast” B - “gas ballast” fechado C - sem "gas ballast" Pressao (torr) leitura com Ter- mopar Tempo (min) (b) Fig. 17~@) Curva de Velocidade de Bombeamento de uma Bomba Mecanica de um estagio com e sem “gas ballast" b) Tempo necessario para bombear um recipiente de aco com e sem "gas ballast"d'agua @ significante 6 no comego do bomheamento, pode-se fe - char a valvula de “gas pallast, reduzindo assim a pressdo. No caso da bomba de dois estagios, o gas ballast esta localizade no 2? estagio (o de pré-vacuc) e a diferenga da pressdo com € sem‘ballast’ é menor. valvula do (4 "gas ballast’ | ( o © @ Fig. 19 - Esquema de funcionamento do “gas ballast": a) “gas ballast" ainda fechados b) 0 “gas ballast” abre, admitindo a entrada de ar na camara da bomba. 0 oriffcio de entrada da bomba ja estava fechado; c) e d) expulsao dos gases_e vapores nao condensa~ dos (nao ha formacao de goticulas no oleo). - 2 -atmosfera Detalhe da valvula do "gas ballast" lastro de gas ("gas ballast") entran- do na bomba exaustio compressao — fase sem compressdo sucgao Fig. 20 - Principio de funcionamento do "gas ballast* 13 12 n 10 Fig. 21 - Desenho em corte de uma 8omba Mecanica de acoplamento direto, de dois estagios (Balzers, série DUO) 1+ vilvula do “gas - 6 = canal de entrada 12 - 19 estagio ballast" 2 7 o vaiaie fee oriffcio do "gas 13 - 20 estagio = valvula da entrada allast® 2 da bomba Ae eS 14 - dreno do Sleo a onteada 7 15 - visor do nivel 9 - rotor do dleo A tei 10 - estator 16 = nivel do dle0 5 - valvula da safda 1 motor - 13 -(Um estagio) Pressio (torr) Pa we oo xo o 10" e x 10 UNO O60A UNO 0308 2 3 3 UNO 012A 3 UNO 008A 2 UNO 004A - 0" o 7 o Pressao (mbar) (Dots estagios) Pressao (torr) vo ww wt 1" ot wo wo o D0, . DUO 060A e Duo 0308 2 ol DUO 012A 8 DUO 008A = DUO 004A a = = o 0° Pressao (mbar) ---- com "gas ballast" — sem “gas ballast" Fig. 22 - Curvas de Velocidade de Bombeamento das Bombas Mecinicas de acoplamento direto de ume dois estagios (BalzersBOMBA DE SORPCAO As movicuxas de gas podem ser removidas por adesdo a superficie sdlida (adsoreao) e por penetragao dentro do sélido (absorgao). Nas veag3Ses gas-sdlico, estes dois processos sac praticamente indistingufveic, ¢ usa-se © termo geral sorpqao Bombeamerto por sorpgo :2fexe-se 2 estes processos, quando v: produzir vacuo num sistena. 4 bomba de corpeao consiste de um recipiente com um material que tem grande aova superficial efetiva, e grande poder de sorpgdo de gases. Hm geral, usa-se zeolita sintética, i. e. silicato de cdlciogaluminio. Istes silicatos cristaiizam-se er forma ciibica, com uma molécula de agua cristalizada. A Agua cris talizada & expelida por aquecimento deixando um"buraco’ aue fica & disposigao do gas adsorvido. 0 diametro destes"buracos" € de & 5-10 8, portanto, correspondem 3 dimensao das moiéculas do a ser adsorvido. 0 zeolita mais usado é ce § 8. Para aumentar @ capacidade de bombeamento, costuma ~ se usar temperaturas daixas, colocando o vecipiente com zeolita em nitrogénio 1fquido. Precisa-se lembrar cue zeolita é um mau condutor, portanto, @ aconselhavel colocar palhetas de cobre sol dadas na parede do recipiente para distribuir a temperatura mais uniformemente na zeolita. Uma bomba de sorpgdo usando 2kp de zeolita pode bom- bear um sistema de 28 litros de pressao atmosférica até 107!torr em 15 minutos, com pressdo final de 2.107*torr. Mas uma vez que a zeolita é saturada de gis, comega entéo a desorpeao. Por- tanto, cada bomba é provida de uma valvula para poder isola - la do sistema e regenerar @ zeolita. Para isso, basta tirar o ni ~ trogénio 1iquido e abrir a bomba para pressdo atmosférica. Se tiver muito vapor de agua adsorvido precisa aquecer a bomba a ~ 300°C. Em sistemas grandes costuma-se usar duas ou trés bom bas de sorpcao em paralelo. Primeiro, abre-se uma bomba por al- guns minutos, depois fecha-se e abre-se outra. Pesta maneira , consegue-se pressdes < 1072 “Sm bem pouco tempo. Vantagen: 1) £ uma bomba limpa. Serve muito bem principalmente para sistemas que n&o podem ser contaminados com vapor de dleo, e para fazer pré-vacuo para bombas idnicas.2) N&o produz trepidagdes ¢ barulho 3) Facil manutengao. Desvantagens Fig. b) 1) Necessita de nitrogénio 1fquido 2) Baixa eficiéncia de bombeamento para Hélio, Hidrogénio 3) Se tiver muito vapor de agua, satura rapidamente- 23 Bomba de Sorpgao - vista externa (sem o “dewar") 1 = oriffcio de saTda de gases da fase de recuperagao (aqueci- mento) q 2 - suporte do recipiente de nitrogénio ITquido (“dewar" Duas bombas de sorpcdo interligadas 1 = bomba sendo reativada (por 6 - zeolita aquecimento) 7 = “dewar" (garrafa térmica 2 - bomba em operagao 8 - valvula fechada 3 - nitrogénio 1fquido 9 - valvula aberta 4 - orificio de saida de gases fechado 5 - oriffcio de saTda de gases aberto (fase de recuperacao)Fig. 24 - Exemplo de sistema tipico com Bomba de Sorpgao ad bomba de im jonizagio pe er Gi] medidor de ionizacdo il {| valvula de ultra-alto vacuc bomba de hae Titanio Tempo (min) (a) Fig. 25 Tempo (min) jpmedidor Pirani Fivatvula de isolacio bombas de sorpcao Tempo (min) (b) (c) a) Uma Bomba de Sorpcao (ULTEK modelo 236-1500) bombeando um volume de 46 litros. b) Duas Bombas de Sorpgao em série (idem) bombeando um volume de - 100 litros. ¢) Trés Bombas de Sorpcao em série (idem) bombeando 180 litros de - volume, * Nos trés casos, antes de iniciar o bombeamento, as bombas fo- ram deixadas resfriando em nitrogénio ITquido por 15 minutos.BOMBA DE DIFUSAO Um jato de vapor com alta velocidade na direcdo A vai empurrar as moléculas de ar, do ponto B pera A, criando um gradiente de pressdo de tal maneira que P, > Py. Este fato foi utilizado na construgao de bombas de difuséo, ae jato de va- por € produzido pelo dleo em ebuligao. 9 esquema seguinte, mostra uma bonba de difusao tipi ca. 0 vapor de dleo aquecido sobe pela chaminé e sai do “nozzle” com uma velocidade supersénica dirigida para baixo. Ao colidir com as moléculas de gis, transmite a elas um morentum para bai - xo. Assim, o gas fica comprimido na parte inferior de bomba, de onde ent&o a bomba mecanica pode bombed-lo para fora. As pare - des da bomba de difus&o sdo resfriadas a ar ou gua, para ajudar a condensagdo do vapor do éleo, e impedir que ele suba e entre no sistema de vacuo. Serpentina de refrigeracao Bomba de pré-vacuo Fig. 26 - Esquema de uma Bomba de Difusdo de trés estagios eae g eenozzles Agi 3 7 a7 1 | vepor de Seo produzi- |, de no aquecedor circuito de dgua 4 p/ refrigeragao © Sleo na forma Ifquida retorna Fig. 27 para 0 aquecedor Desenho esquematico mostrando o funcionamento de um estagio de Bomba de Difusao. 0s cfrculos pretos representam as moléculas de gas e os brancos as moléculas de vapor de dleo. 4 velocidade de bombeamento é determinada pela aber- tura da entrada da bomba e a distancia entre o "nozzle" do Glti- mo estagio e a parede. Quanto maior esta distancia, maior a ve- locidade. Esta velocidade é aproximadamente constante para pres ses menores de 10°? torr até 1077 - 107® torr, dependendo das caracter{sticas da pomba. 609} 1200) Fig. 28 Velocidade (1/seg) at 4 ee Ft we Pressao (torr) Curva de Velocidade x Pressao tipica de uma Bomba de DifusioPara evitar o ‘backstreaming", costuma-se colocar um "baffle", ou seja, um anteparo na boca da bomba. HA varios ti - pos de anteparos: o mais simples € um disco, preso por duas has tes finas na boca da bomba. Mas qualquer anteparo reduz a velo cidade em 30-50%. Armadilhas de ar 1{quido servem também para diminuir © “backstreaming" condensando o vapor do dleo nas paredes. Arma dilhas, também bombeiam o vapor d'4gua, baixando bastante a pres s&o no sistema. No esquema ao lado, temos uma armadilha t{pica de ar lfquido. A velocidade de bombeamento em geral, fica redu- zida de uns 50%, devido 4 sua alta impedancia. armadilha de nitrogénio Tiquido serpentina de —~] refrigeracao "7B pré-vacuo "paffle’ de pré-vacuo leo aquecido aquecedor elétrico Fig. 29 - Bomba de Difusao com "baffle" chevron e armadilha de Nitrogénio Ifquido ("cold trap")Com a bomba de difusSo precisa-se tomar o cuidado de nunca deixé-lhcom pressdo alta enquanto o dleo esta quente, por - que as moléculas de dleo se decompdem facilmente em gases, em al tas temperaturas e pressdes. Assim, é preciso primeiro fazer o Pré-vdcuo com a bomba mecdnica até 107’mm e entao lipar a bomba de difusdo. A refrigeragdo da bomba serpre precisa ser ligada Para evitar que o vapor do Sleo entre no sistema de vacuo e o con, tamine. (a) (b) Fig. 30 - Esquemas de Bombas de Difusao de trés estagios a) desenho mais antigo; 0 d1e0 aquecido nao sofre nenhum precesso de purificagao b) com tubos concéntricos permitindo a purificacao do Sleo por - destilac3o fracionada, durante o funcionamento (o vapor de dleo mais aquecido e limpo sai pelo chapéu ("nozzle") 1\ Bleo 200.4 oC | Bleo 190,9 % oy \ escala: 10 polegadas placa de aquecimento 193 °C (Weston) Fig. 31 - Diagrama isotérmico de uma Bomba de Difusao de 32". Os pontos numerados representam a localizagao dos termopares utilizados nas medigdes das temperaturas.entrada sada (p/ a Bomba Mecanica) saida de agua chapéu difusor 6 ejetores paralelos entrada de agua aquecedor mercirio Fig. 32 - Bomba de Difusao de merciirio com seis ejetoresFig. 33 - Sistema de Vacuo moderno (Edwards) 1 - Bomba de Difuso com valvula § - Serpentina de refrigeracao acoplada (“Diffstak") 6 - interruptor térmico 2 - Valvula de isolagdo (3 vias) 7 @ g - Medidor de pré-vacuo 3 - Bomba Mecanica (acoplamento (Pirani) direto) 9 - Medidor de_alto yacuo (0 4 - Componentes modulares sensor esta na camara)Fig.34 ~ Desenho em corte de uma Bomba de Difusao modelo “Diffstak" (Edwards) montada j@ com as valvulas. 1+ Valvula de alto vacuo (tipo 6 borboleta) : 2 - safda para a Bomba Rotativa 7 3 - Valvula de pré-vicuo (3 vias) 4 - estagio ejetor 5 - Gleo aquecido 10 dreno para troca de 61eo aquecedor elétrico "nozzle" serpentina de refrigera- 30a agua “baffle” refrigerado a agua jE Wt valvula de entrada de gas Fig. 35 - Camara padrao para medir velocidade de bombeamento de uma Bomba de Difusao.BOMBA ROOTS Esta bomba é utilizada em sistemas de vacuo onde uma grande quantidade de gases precisa ser bombeada. Sua faixa de - trabalho, de 10 torr até 107° torr, & justamente aquela onde 0s outros tipos de bombas sao menos eficientes em termos de velo cidade de bombeamento. Nestes casos, a bomba Roots, também chama da "Booster", atua como auxiliar de um sistema de, por exemplo, uma bomba mecdnica e uma bomba de difusao. . Sua maneira de bombear € semelhante 4 da bomba meca- nica com uma diferenga importante: os dois rotores (em forma de um oito) nao tocam o estator; existe uma folga da ordem de 0,1 mm entre eles e o estator. Por este motivo, esta bomba nao precisa de dleo lubrificante para funcionar, exceto na caixa de engrena- gens que fica fora da camara de vacuo, n3o contaminando, portan- to, o sistema. Os dois rotores giram em sentidos opostos, e seu mo- vimento @ sincronizado por engrenagens como se pode ver no dese- nho. 0s gases (e vapores) a serem bombeados entram na bomba pela flange de entrada e preenchem a drea sombreada mostrada em (a). K medida que os rotores giram, os gases ocupam a area entre os - rotores e a parede do estator (visto em b) até serem aprisiona- dos como se vé em (c). Seguindo o seu movimento, os rotores ex- pulsam os gases pela flange de saida, normalmente conectada a - uma bomba mecanica. 0s rotores girando em alta rotagdo, na maio- ria das bombas 3.000 rpm, nao permitem que as moléculas voltem através da folga existente entre eles e o estator. Isto, contudo deixa de ser valido para pressdes muito baixas; daf o limite de 107° torr para estas bombas. Estas bombas sao empregadas em uma ampla variedade - de aplicagées que determinardo as caracterfsticas particulares - para cada caso. Assim, existem no mercado bombas com velocidades de bombeamento desde 125 m’/h até 33.000 m°/h, operando em di. ferentes faixas de pressdo: quando for preciso pressées finais - baixas, 10° torr por exemplo (s6 bomba Roots e mecdnica), usa- se bombas de dois ou mais estdgios.a) oo Fig. 36 - Seqléncia de funcionamento de uma Bomba Roots A quantidade de gés efetivamente transportada pela - bomba € obtida da equagdo: Ree ee onde Q, € a quantidade tedrica de gas transportado e Q, @ a quantidade de gas que retorna ao sistema (o "backstreaming") A velocidade de bombeamento tedrica da bomba Roots é obtida por: zon: Vv, (m3 ny onde n @ 0 niimero de revolugdes por unidade de tempo e V, © volume varrido pelo rotor (visto em ¢, no ro- tor superior) - 27 -1 - corpo da bomba 8 - conexdes elétricas do 2 - superficie interna (nao toca motor os rotores) 9 - refrigeracao a agua do 3 e 4 - rotores (no se tocam) motor (bombas grandes) eo cngrensgens 10 - bomba de Sleo para as ee engrenagens ea 11 = reservatério de leo 7 - estator do motor lubrificante (sd para as engrenagens) Fig. 37 - Esquema de uma Bomba Roots. Fig. 38 - Vista em corte de uma Bomba Roots de um estagio.Velocidade de bombeamento Bomba Roots Bomba Rotativa 2 3 wot 1 10 107 10 Fig. 39 Pressio (mbar) Conhecendo-se a pressao P, na entrada da bomba, pode se caleular a quantidade tedrica de gas transportad A quantidade de gés Q, que retorna ao sistema pos- sui dois componentes: Q, © Q,- A parte Q, é devida 4 deficiéncia na vedagéo entre 0s rotores e as tampas laterais da bomba. Pode ser calculada por: &, DeCh Ee) onde L @ a condutancia dos "vazamentos" entre os rotores e as tampas laterais P, @ a pressdo no lado de pré-vacuo P, @ a pressGo na entrada da bomba (alto vacuo) A parte Q,, reune os demais fatores que nao depen De ui dem de uma perfeita vedagao entre as pecas da bomba. Podemos men: cionar aquelas moléculas que ficam adsorvidas nas paredes dos ro- tores na passagem pela regiao de alta pressdo (a saida) e que, ao passarem pela regido de baixa pressao (a entrada) escapam das pa- redes dos rotores, retornando ao sistema. Além destas, temos ainda 29a degasificagao das cavidades das partes metdlicas. Estas influén- cias todas podem ser calculadas pela relaga ee Com estas relagdes combinadas, chega~se 4 quantidade - efetiva de gas bombeado eet Pode-se a seguir calcular o segundo parametro mais im- portante de uma bomba Roots (o primeiro é a velocidade de bombeamento nominal S,) a razio de compressao maxima Kyi, cs os 8.4L ‘max Be S,+b Como L & muito pequeno em relagdo a S,, se pode sim- plificar a relagdo para: Knax = Na faixa de altas pressdes (P, > 10 torr) o valor de ~ 8, pode ser desprezado. Jd em pressdes baixas (P, < 10°! torr) - predomina o fluxo molecular e o valor de L se torna desprezfvel em relagdo a S,. Como a magnitude da condutancia L aumenta coma - pressao na regido de fluxo viscoso e, por outro lado, o valor de - S,, aumenta com o abaixamento da pressao, a razdo de compressao mi xima K,s, diminui tanto com o aumento da pressdo P,, quanto com a sua diminuigdo, atingindo um pico em torno de 1 torr (razdes de 5 ndo vai além de 3:1). Acima de 300 torr, a bomba Roots nao conse- ou mais sAo assim obtidas; em pressdes elevadas, esta razao - gue mais empurrar o gés para a atmosfera; @ preciso entdo uma bom- ba rotativa para completar o ciclo de bombeamento. A pressdo final atingfvel sera dada pela relagao: peer!Para bombas de dois estagios o tratamento matematico - exposto acima continua valido. Com isto, o valor de Knax Passa a ser aproximadamente igual ao quadrado do valor K,=. de uma bomba max de um sé estagio e do mesmo tamanho, resultando em uma pressao fi- nal mais baixa. x 86 el Ruvec WA: 3 el Ruvec WA 150- 3 oS = a+ 7 + . 2 =o Ty e Tt 4 HiT + + 107 1 Ww 707 0 Pressao na satda da bomba ee (torr) Fig. 40 - Variag&o da taxa de compressio k,z, coma Pressio saTda da bomba. Poona Fig. 41 - Bomba Roots de dois estagios (Leybold-Heraeus, modelo RUVAC WS152)As varias aplicagdes destas bombas incluem, como exem- plo, as seguintes: (mbar) Pressao - secagem de componentes elétricos (fase de pré-impreg nagao = degasificagao a vacuo em metalurgia - tineis de vento para testes aercespaciais - criogenia; produgdo de He’, e He® - produgdo de vacuo em camaras grandes - transporte de He e SF de alta pureza - indistria quimica e farmacéutica, etc. Possuem as seguintes vantagens: - n3o & afetada por entrada siibita de ar - @ eficiente para bombear grandes quantidades de gas - possui faixa de trabalho eficiente bastante ampla = custo operacional reduzido ~ nlo é afetada por gases contaminantes, vapores ou poeira - auséncia de vapores de Sleo permitindo a passag: do gas através da bomba sem ser contaminado = € robusta e facil de desmontar e limpar - pouca ma- nutengdo, funcionamento regular oe oe nuta: Jruta 00072 ro rurasoors yf 1UTA250/2 2 RuTAISOI2 10° Fig. 42 Tempos para Bombas de dois estagios bombear uma camara 10° de 10m? UTA 20012 UTA S0012| 10? 0 30 $0 70 90 WO Tempo (min)Pressio (torr) =P RUTA 6001/2 RUTA 3001/2 RUTA 2000/2 108 RUTA 1000/2 | | 4 & RUTA 180 /2 RUTA 250/2 10! RUTA 500/2 Velocidade de bombeamento (m?/n) 0 107 10% 10" 107 10° Pressao (mbar) Fig. 43 Fig, 44 - Sistema de Bomba Roots mais Bomba Rotativa (Leybold-Heraeus, RUTA 150/2)Fig. 45 = 10.000 S a] = 1,000 8 = 100 ee ioe to 0 1 10 107 10° Pressio na entrada (mbar) Ta EH500/E2M40 2 EHS500/E2M80 5 EH2600/E2M175 Tb EHS00/E2M40 com “ballast” 3 EHT200/E2M80 «6 _—EH2600/E2M275 Te EHS00/E1M40 4 EHI200/€2m175 —7-_EH4200/E2N275 1d EHS00/E1M40 com "ballast” 8 £H4200/€S7500 EH2600/E1M275 Vv = 1900 mh £H500/E2M80 Vv = 400 wh P= 10° mbar Fig. 46 - sistema Bomba Roots + Bomba Rotativa da EDWARDSBOMBA LONICA H3 varios tipos de bombas iénicas, mas neste labora- tério, usamos bombas tipo drbitron principalmente. 0 Grbitron consiste de um anodo central, feito de uma barra de tungsténio de 1/2", com um tarugo de titanio de isu" x 1" a meia altura, e mantido em 5-10k”, 0 c&todo € um ci lindro concéntrico com o anodo de diametro de 2" - 4". 0 fila mento esta colocado numa das extremidades do cilindro como mos tra a figura serpentina de refrigeracao cilindro de Titanio anodo (haste de Tungsténio) catodo filamento blindagen Fig. 47 - Desenho esquematico de umm Bomba de Ionizacao do tipo Srbitron com sublimador de Titanio montado na haste de alta tensao (aquecido por bpmbardeio eletronico). © funcionamento do drbitron @ haseado no principio pelo qual os eléctrons injetados, com um certo momentum angular, num campo elétrico cilindricamente simétrico, desereverao Orbi - tas helicoidais em volta do Snodo central, Nesta raneira, 0 percurso médio dos eléctrons aumenta muito, atingindo cerea de 1000cm, o que produz um nimero grande de ionizacdes. 8 fons se vo captados pelo cdétodo. Além deste bombeamento idnico que é especialmente importante no caso de gases nobres, temos bombea - mento por sorpgao na parede do c&todo que é de Titanio, NevideAs assimetrias no campo elétrico produzido pelo Titanio e file ~ mento, os eléctrons perden o momentum modificando as suas 6rbi tas e chocando-se com o 4nodo, especialmente com o Titanio cujo diametro é maior, aquecendo-o até a temperatura de sublimacas - 0 Titanio sublimado fica depositado nas paredes. elétrons que vao bombardear o Ti sublimando-o corpo da bomba anodo elétrons que irao ionizar o gas Orbita dos elétrons que chegam mais perto do anodo (a) blindagem filamento blindagem (b) Fig. 48 * a) Mecanismo de bombeamento do Srbitron. Nesta bomba os dois filamentos estao polarizados com tensdes dife- rentes para facilitar o inicio de funcionamento. b) Linhas equipotenciais no Grbitron. Os elétrons sao emitidos do filamento tangencialmente; no podem ir direto para o anodo por causa da blindagem, orbitan- do assim como em (a)Fig. 49 3 (a) (b) a) Esquema de Bomba Iénica ("evapor-ion", um dos primeiros modelos) 1 - bobina de fio de Ti 5 - eixo da bobina de fio de Ti 2 - fio de Titanio 6 - guia do fio de Ti 3 - cadinho 7 - serpentina de refrigeracio 4 - grade 8 - filamento b) Esquema de Bomba iénica do tipo Srbitron 1 - Gnodo de Tungsténio 4 - suporte do filamento e blin 2 - cilindro de Titanio dagem para os elétrons 3. filamento 5 - blindagem do anodo 6 - parede da bomba (catodo) Para poder dar partida, este tipo de bomba necessita do por homba mecanica e difu um pré-vacuo < 5x107* torr, produ: sao. Em pressdes mais altas ocorre descarga. Uma variente do Srbitron, que esté sendo usada no la boratério do Acelerador Pelletron, e fabricado pela N.F.C., usa © sublimador de Titanio separaco do @nodo e aquecido por um fila mento auxiliar. A vantagem deste sistema é que pode ser dada partida com pré-vécuo 1072 torr, i.e. usando sé bomba mecdnica. Em se guida, liga-se o sublimador, que baixa a pressdo até 107° - 10 torr, permitindo ligar a alta tensio e filamento. As vantagens de bombas iénicas: a) produzem vacuo limpo, i.e. sem vapor de dleo : et b) alcangam facilmente pressGo 10°” torr, podendo chegar- sea TostFig. 50 o - a) Primeira Bomba lénica do tipo “getter-ion". Um fio de Tita- nio (T) € sublimado no cadinho de grafite (C). Os elétrons emitidos pelo filamento (F) sdo acelerados pela grade (G). b) Primeira Bomba Idnica do tipo Orbitron operacional. Os ci- lindros de Titanio so montados sobre a haste de alta ten- sio (Gnodo), sublimando gragas ao bombardeio eletronico. grade filamentos filamento haste de alta tensio —->% sublimador de Ti pL sublimadores de Ti flange de entrada Fig. 51 - Bomba Idnica produzida pela NEC (a f@brica do Pelletron). Os sublimadores de Ti sdo aquecidos separadamente baixan- do a presséo até 1075 torr; dai até + 1079 torr & ne- cessario ligar a parte do Grbitron (alta tensao).sublimador de Titanio Gnodo grade catodo filamentos Fig. 52 - Bomba Ténica do tipo “getter-ion" (trfodo). Bao quatro Srbitrons com grade polarizada circundando um dnico su- blimador central, independente (Granville-Philips) catodos Fig. 53 - Desenho esquematico de uma Bomba Iénica do tipo magnético.campo magnético ctodo de titanio i yes Jnodo de ago inox I E ay 1 Wo I ] 7 eRe catodo de titanio ae st Fig. 54 - Mecanismo de bombeamento de uma Bomba Idnica com campo magnético (tipo dfodo ou “sputter-ion"): a) percurso tipico de um elétron liberado por emissao de cainpo. b) 0 elétron mais proximo do anodo, depois de ionizer uma molé cula colidindo com ele; 0 eletron secundario gerado nesta co lisdo nao @ mostrado. ¢) tomo de Titanio arrancado do catodo pelo bombardeamento de Tons positivos; as_regides do catodo que sofrem desgaste (5) e deposi¢ao de titanio (T) estao indicadas pelas chaves. 4) uma molécula ativa_de gs @ aprisionada no anodo por combina Ga0 quimica com o atomo de Titanio arrancado do catodo (so- ae freu "sputterin e) um fon de gas inerte & “enterrado" na regiao de deposicao (T) do catodo pelo bombardeamento de Tons positivos e posterior recobrimento com atomos de Titanio. f) este mesmo mecanismo ocorre para fons de gases leves, acres- centado 0 mecanismo de difusao destes Tons no material do ca todo. : nuvem de = elétrons elétron oscilando apristonados entre os cétodos omo arrancado do todo ("sputtering") ati v7 ca Ton positivo parede da bomba Fig. 55 ~ Outra forma de visualizar o bombeamentoentrada campo magnético titiniog duas bombas (0 conjunto tem quatro) = alta tensio Yelocidade (1/sec) Pressao (torr) Fig. 56 a) Bomba Tdnica com campo magnético (tipo “getter-ion"). Vé-se apenas os elétrodos; os fmas e a parede da bomba foram remo vidos. b) Vista externa (em cima) e desenho em corte visto de cima. ¢) Curva de velocidade de bombeamento tipica desta bomba.Fig. 57 - Bomba Idnica com campo magnético: etapas de bombeamento citodo de Magnésio barras de Tungstenio (para diminuir a campo citodo de Titinto superfTcie magnético fas anodo exposta do g citodo Mg) & _ AUN 1éctrons olécula_do gas on do gas catodo de Magnésio ae barras de Tungstenio \ catodo de Titanio campo magnético anodo Se ; ~ the 44.75 KV molécula do gas ®= Ton do gas @ = tomo de Magnésio © = atomo de Titanio b) “sputtering” e “gettering"catodo de Magnésio barras de Tungsténio catodo de Titanio a Gnodo campo magnético --] 1 + 44.75 KV © = eléctron © = Gtomo ‘de Magnésio @ = Ton de Magnésio c) formago de fon metdlico (o Magnésio atua meThor que o Titanio em pressdes abaixo de 1077 torr 5 Curva de Pressao x Tempo oe Bomba de ionizagao do tipo . "sputtering" em uma camara 'S de ago inoxidavel de 100 & 2 S A. 13/@h a 3000 ¢ B. 33/4h a 2500 C c.5 oh a 3500 C D. 6 1/2h a 4000 ¢ E. 15 h a 2600 C Tempo (min.) PTS a oe ots0 (horas) Fig. 5810-8 10-7 10-6 10-* 1o-* Pressao (mm Hg) Fig. 59 - Curva de Velocidade de bombeamento para ar, de uma Bomba Idnica do tipo “sputter-ion" (Ultek, 20-451) Fig. 60 Getter" usado para fazer o vacuo final em uma antiga - valvula eletronica (c) de - envdlucro metalico. A tira de metal contendo o “getter® (a) @ montada em (b), dentro da valvula, sendo aquecida - externamente com bobina de - etter". R.F., evaporando ofonte de Tons eletrotma defletor tubulagio do feixe de Tons (em alto -__ vacuo) aa tanque para gas a alta pressao (SF¢) anéis equipotenciais —+ | bomba fonica visor ——~ i+} carapaga de alta tensio terminal de alta tensdo ~~ —{ elevador interno — correia de carga —|~ 4+-+ bomba iSnica es “stripper™ (trocador de carga) | plataforma de manutencac porta de acesso \ ee Fig. 61 Exemplo de aplicacao de Bombas IGnicas: o tubo acelerador deste Laddertron (Inglaterra) precisa de varias bombas para produzir © alto vacuo necessario para manter livre o caminho dos Tons acelerados. Todos os aceleradores nucleares (inclusive os nos- sos Aceleradores Lineares e Pelletron) necessitam de uma tubula gH nantica en alto vacuo (107° torr). a5BOMBA TURBOMOLECULAR Uma bomba turbomolecular funciona em regime molecu - lar e portanto, necessita de uma bomba rotativa para pré-vacuo 0 funcionamento consiste em uma superficie metdlica que est4 girando rapidamente em relagdo a outra superficie adja- cente fixa: dentro de um espago suficientemente pequeno entre as duas superficies, as moléculas de g4s adquirem momento na dire~ G0 do movimento da superficie mével. Considere uma molécula ou &tomo como na fig. en - tre a superficie mével (A) e fixa (B). Quando a molécula colide com a superficie A, ela permanece grudada na superficie durante certo tempo. Quando a molécula deixar a superficie A, além da sua velocidade térmica, terd uma componente de velocidade na direcdo de movimento da superficie A. Desta maneira, a molécula faz 0 percurso a,b,. Fig. 62 Ao atingir a superficie B, ela desprende-se e movi - menta-se $6 com sua velocidads térmica porque a superficie B é fixa, até qve colida com superficie A, onde o processo é repeti- do. A forcga exercida pela superficie mével sobre as moléculas estabelece um gradiente de pressa e, portanto, o bombeamento do gis. f evidente que para este borbeamento ser efetivo, o espaca mento entre as superficies A ¢ B tem que ser pequeno e a rotacao bem grande (isto é, a velocidade da superficie * nao pode ser desprezivel em comparscao com a velocidade térmica das moléculas).+ figura, wostra esquematicamente, uma bomba tur bomolecular Pfeiffer. A carcage da bomba @ um cilindro meta lico. 0 rotor esté em forma de dois conjuntos de discos parale- los com orificfos radiais (pare fecilitar a passagen do gis) fixas num 2 Lal acuplado ao motor externo, Cada conjunto também contém 18 discos. Outros dois conjuntos simetricamente i ticos ao primeivo, sdo fixos na carcaca da bomba de tal mane, ra que cada disco do rotor gira entre dois discos fixos. Fig. 63 1 - Bomba Mecanica 4.- Entrada da bomba 2 - Saida de gases 5 - Estator (discos fixos) 3 - Rotor (discos méveis) 6 - Gases saindo da Turbo A entrada do gas (D) tem um acesso direto 4 regiao - entre os dois conjuntos de discos. 0 gas que entra divide-se si- metricamente em duas correntes, uma para cada conjunto de discos rotor-estator. A safda do gas & através dos tubos que se unem em (6), onde esta ligada uma bomba rotativa.entrada b Fig. 64 . a) Esquema de funcionamento de uma Bomba Turbomolecular horizontal. b) Aspecto externo da bomba.(Welch, modelo 3102B), Uma tomba turbomolecular tipo THP 990 tem as seguin- tes caracteristicas: velocidade de bombeamento 260 1/s, pressao ninima 107’ torr, velocidade de rotagao do rotor 16.000npn, espa gamento entre os disccs rovor-estator ~ Imm A grande vantagem desta bomba @ que produz um vacuo limpo, sem vapor de 6leo, o que é essencial em pesauisa de fisi- ca nuclear, espectrometria de massa etc. Por outro lado, esta bomba tem a desvantagem de usar discos finos e préximos girando em alta velocidade o que pode provocar facilmente danos mecani - cos. Além disso, a manutengao desta bomba & bastante sofistica- da.13 2 5 4 6731 9 10 " 12 13 0 9 Fig. 65 - Desenho em corte de uma Bomba Turbo-molecular horizontal (Balzers, modelo TPU 270) 1 - rolamento para alta rotacao 8 - reservatorio de dleo 2 - motor 9 - feltro para conduzir o 3 - vedacdo para dleo dleo . 4 = rotor (60.000 rpm) HOT; retorno. doroleg 5 - fralnge para alto vacuo aM auee Ce crew ecee 6 - disco com ranhuras do rotor __'2 ~ aquecedor . 7 = disco com ranhuras do estator |3 ~ linha de refrigeracao a agua Fig. 66 Qs discos moveis do rotor e os fixos do estator possuem ranhuras orienta- das como mostra a figura; desta for- ma as moléculas do gas nao podem vol tar para a regiao de alto vacuo (4). (cada renhura do rotor com outra do estator constituem um estagio).Fig. 67 - Desenho em corte de uma Bomba Turbo-molecular vertical (Balzers, modelo TPU 040) - flange de entrada 6 - flange de pré-vacuo - Ima permanente (mancal 7 - motor magnetico) 8 - conexées elétricas e aqucecdon 9 - flange para entrada ce ar = rotor (90,000 rpm) (vatvuta) = estator2 04 -— ee =a el 3 3 10} -— = — oo _ a wo? wt 0 www? 0 Pressao (mbar) Curva 1: flange ISO-K (70 mm @ I) Curva 2: flange KF (um pouco menor) Fig. 68 - Curva de Velociddde de Bombeamento da Bomba Turbo- molecular mostrada na figura anterior (Balzers TPU 040) & Velocidade (1/seg) 104 NOt OO 10 ot oe son Pressdo (mbar) Curva 1: flange DN 500 ISO-K (500 mm 91) Curva 2: flange DN 400 ISO-k (400 mm pI) Fig. 69 - Grafico do mesmo tipo de bomba, porém de maior capacidade (Balzers TPH 5000).A bomba Molecular, mais tarde aperfeigoada na atual forma (e denominada Turbo-Molecular) foi idealizada por Gaede ~ em 1913, um dos pioneiros da Técnica do Vdcuo, Um cilindro gi- vando em alta rotagZo proporcionava uma componente 4 velocidade das moléculas que com ele colidiam, fazendo com que estas molé- — HAZ. (ce) Fig. 70 - Bomba Molecular de Gaede a) vista frontal em corte; b) vista lateral em cortes c) desenho mostrando varios estagios da bomba. rotor com varios estagios corpo da bomba regiao de maior pressao regiao de menor pressao _ Satda para a bomba de pré-vacuo entrada da bomba va4s30>Fig. 71 - Bomba Molecular de Holweck. As moléculas do gas entra do pelo centro sao empurradas para os lados pelo rotor em alta velocidade. Disco em alta rotacao Canaletas em espiral , > ‘ Wy West Diagrama esquematico da Bomba Molecular de Siegbahn Fig. 72 - 54 cm) (didmetro do disco: 53 -S. 251 dl campinula metalica a at | Licoine: i zg aif Bomba Turbo-molecular Bomba Mecanica Fig. 73 - Exemplo de Sistema de Vacuo com Bomba Turbo-molecular. culas se acumulassem no oriffcio de safda da bomba sendo entao removidas por una Bomba Rotativa. Em 1925 Holweck desenhou um - modelo melhorado, onde o rotor dirigia as moléculas para os do~ is lados, partindo do centro, duplicando assim a velocidade de pombeamento. Siegbahn propds uma nova versdo, usando um disco - no lugar do rotor; isto em 1940, Estes modelos todos, contudo, nao eram operacionais j4 que a distancia entre o rotor (ou dis- co) e 0 estator teria de estar entre 10 e 20 um para se conse guir uma alta taxa de compressdo. Desta forma, variagées de tem peratura ou presenga de particulas de poeira eram suficientes - para travar o rotor parando a bomba. As atuais bombas Turbo- Moleculares s6 apareceram no mercado no ano de 1958, comerciali zadas pela Arthur Pfeiffer da Alemanha, e desenhadas por Becker Eram do tipo horizontal, consistindo de um rotor com varios dis cos ranhurados girando entre discos fixos, também ranhurados, do estator. As moléculas de gas sao dirigidas para os lados, sendo retiradas por uma bomba rotativa, como 44 explicado anteriormen te.BOMBA CRIOGENICA A bomba criogénica, assim como a iénica, nio é propria mente uma bomba no seu estrito sentido j4 que as moléculas de gas no sdo removidas do sistema de vacuo e transferidas para a atmos- fera, mas ficam presas no interior do volume sem, contudo, produ- zir pressao. As bombas iénicas retém as moléculas em uma camada - delgada sélida enquanto as bombas criogénicas o fazem retirando - energia das moléculas, nao permitindo que estas retornem ao siste- ma: d&-se assim a ago de bombeamento. 0 uso deste mecanismo para preduzir alto vacuo foi proposto por Grassmann em 1950. A velocidade de bombeamento das bombas criogénicas po- de chegar até milhdes de 1/s; as altas velocidades destas bombas - sdo limitadas essencialmente pela condutancia do duto ou da boca - de entrada da bomba. Sua faixa de trabalho se estende de 107? torr até bem abaixo de 10719 torr. precisa, portanto, de uma bomba de - pré-vicuo para iniciar o bombeamento; dada a partida, esta bomba - auxiliar serd desconectada, selando o sistema (o que & vantajoso quando falta eletricidade). Vejamos um pouco da teoria de funcionamento destas bom bas. Em uma primeira aproximagao a temperatura da superficie gela- da (crio-superficie) determina a pressao final atingivel e a potén- cia de refrigeragao, a velocidade de bombeamento A figura abaixo mostra as pressdes de vapor dos gases mais encontrados em sistemas de vacuo em baixas temperaturas. A - pressao existente nas condicdes de equilfbrio na crio-superficie se rd dada pela soma das pressdes de vapor dos componentes na tempera tura da crio-superficie (ou temperatura de condensagdo se uma cama- da de moléculas suficientemente espessa se formou na crio-superff- cie isolando-a, aumentando assim a temperatura na superficie exter na). Geralmente a bomba ecriogénica se constitui em um anexo da camara onde se produzird 0 alto vacuo, ou se situa em um dos ex tremos da mesma e a pressdo final na cdmara serd igual 4 pressio - final da bomba multiplicada pelo fator de transpiragio térmica: - (Ty/T,)7/? onde T, & a temperatura ambiente e Ty a temperatura da ceio-superficie ambas em graus Kelvin. As pressées medidas na camaer Fig. 74 o He He Ne x, flo, che A Mio Es 7 . 7 3 oo, ich, 3 of 2 ¢ ws 3 Pe a5 F020 304030 40 00 Temperatura absoluta (Kk) ra incluirdo, naturalmente, este fator. Para um determinado gas, estando a temperatura da crio- superficie abaixo do seu ponto de congelamento, e na regiao de flu- xo molecular, podemos calcular a velocidade de bombeamento para es- te gés, usando a relagao s = 12,6 (2am)? fa - cep) a t/s onde A - 4rea da crio-superficie P, - pressao parcial do gds 4 temperatura do sistema - de vacuo como um todo (geralmente a temperatura - ambiente) P, - pressdo parcial do gas 4 temperatura da crio-su- perficie M - massa molecular do gas Quando P, for muito pequeno em relagdo a P,, a formula se torna mais simples s = 12,6 (2am? a als 0 namero 29 é a massa molecular do ar.As bombas criogénicas sdo eficientes a 30K, onde a - pressdo de vapor para o nitrogénio @ da ordem de 3x 10" torr e aS K este valor cai abaixo dos limites de nedigao. Uma vez que a pressdo de vapor é assim tao sensivel as variagdes de temperatura, geralmente, nao & permitido "misturar” temperaturas no volume res- friado, isto é, ndo se pode usar o refrigerante que mantém a crio- superficie a 20 K para resfriar uma blindagem de radiagdo adicional a 30 K, ja que o bombeamento nesta blindagem iria limitar a press3o final 4 pressdo de vapor de saturagao correspondente a 30 K. Se hé- lio lfquido for usado como refrigerante, ent&o a crio-superficie — agora 4 temperatura de 4,2 K, bombeando hidrogénio e nednio— pode- rd ser circundada com uma blindagem de radiag&o a 20 K bombeando as sim a carga correspondente ao nitrogénio. Em todos os casos, um bom projeto, do ponto de vista termodinamico, & importante para utili zar totalmente a cara porém pequena poténcia de refrigeragdo reque- rida. A figura mostra arranjos tipicos de bombas criogénicas. YM Fig. 75 - (a) até (d): Varias disposigdes das superficies crio- génicas dentro da bomba e) detalhe - radiagio - gas - "baffles" tipo chevron (100 Kk) superficie condensadora (20 K) - superficie protetora (100 K) - parede da camara de vacuo (300 kK)A quantidade de calor que € preciso remover através da crio-superficie determina a poténcia de refrigeragdo necessdria e - aumenta com: 1 ~ a radiagao e condugao térmica ao longo dos supor- tes da crio-superficie; 2 - a condugdo térmica do gés residual e 3 - a carga de condensagao dos gases bombeados. Para minimizar a carga devida radiagdo, a crio-super ficie é completamente circundada por uma blindagem de baixa emissi vidade resfriada com nitrogénio 1fiquido e separada da regiao por - onde chegam as moléculas de gas. Nesta regiao monta-se um "baffle" do tipo chevron com superffcies negras que, apesar de limitar a ve locidade de bombeamento, vai pré-resfriar o gas 4 temperatura de 77, veduzindo assim a carga na crio-superficie. A quantidade de calor a ser removida devido 4 radiagao nao depende da pressao e pode ser calculada, A blindagem citada - acima possui velocidade de bombeamento para vapor de Agua bastante elevada. Atransferéncia de calor por condugao térmica através - do gas residual vai depender da abundancia de moléculas de gas ca- pazes de atravessar a regiao entre as superficies de 77 Ke 20 Ke este fato, por sua vez, depende da probabilidade da molécula se fi xar na cric-superficie na sua primeira colisao. As probabilidades - de aprisionamento de um gs a 77 K em uma crio-superficie a 20 K fo ram medidas e estado entre os valores de 0,8 e 1,0. Com probabilida des t&o elevadas, poucas moléculas poderao contribuir efetivamente para a condugao de calor e sob condigdes ideais a carga térmica - produzida por esta via pode ser desprezada. A carga de calor devida 4 condensagao do gas é direta- mente proporcional ao "throughput" e, para nitrogénio pré-resfria- do a 77 K, atinge o valor de 0,49 W/torr.l.s"'. Desta forma, a - carga devida 4 condensagdo do gés depende da pressao e geralmente se torna desprezivel quando comparada com o valor proveniente da - radiagio em pressdes abaixo de 107° torr, onde 1.000.000 1/s cor responde a uma carga de calor de 0,49 W. Para um dado arranjo é, portanto, possivel plotar a mi xima velocidade de bombeamento por Watt de refrigeragdo em fungao da pressdo. Se a carga de calor proveniente de radiag&o for W,, Watts, entao (1 - W,) Watts estara disponivel para o bombeamento eriogénico.1- W, = 0,43 sp ou seja, eee oo 0,49 p onde § € a velocidade de bombeamento na crio-superficie, admitindo- se uma probabilidade de retengio igual a1 e que a drea da cric-su perficie seja grande o suficiente para manter a velocidade de bom- beamento sob condigdes de fluxo molecular livre A velocidade de bombeamento efetiva por Watt de refri- disponivel na camara da bomba pode ser determinada - Cp do "baffle" chevron 4 temperatura do geragdo Sy também pela condutancia nitrogénio liquido (aproximadamente igual a um oriffcio com 1/u da area do baffle") ou seja, a 0,49 p = oy l= Wy, Sc x p & mostrada na figura abaixo, onde e, em pressdes altas A curva de em presses baixas, Sg se aproxima de C, a curva segue uma linha de "throughput" constante. Velocidade. 76 Press&o (torr)Considerando a disponibilidade de 1 Watt de refrigera ga0 a 20 K, por exemplo, entao o tamanho fisico da crio-superfi: e do "baffle" chevron pode ser aumentado, com um conseqliente aumen to na velocidade maxima permissfvel, até o valor de 1 Watt ser - atingido para a carga de calor por radiagdo. Com a velocidade de - bombeamento maximizada desta forma, o bombeamento criogénico p se dar com cargas de condensagio baixas, ou seja, baixos "through- puts" e pressdes de operagdo baixas. A medida que o "throughput" aumenta, a carga de calor se desiquilibra e o bombeamento cessa, - provocando um aciimulo de g&és impondo assim uma carga de calor por condugao acrescida; com isto, a temperatura das crio-superficies au menta, liberando os gases antes bombeados, provocando isto tudo um processo em cascata, Este processo em avalanche pode ser detido — em baixas pressSes somente —pelo fato de que geralmente um aumen- to na temperatura das crio-superficies produz uma maior disponibi! dade de poténcia de refrigeragdo. Entretanto, uma vez que o proces so tenha ocorrido, o bombeamento criogénico 56 pode ser restabeie cido pelo abaixamento de pressdo com uma bomba auxiliar. A pre na qual este processo em cascata se inicia pode ser chamada pres- so de partida e com uma velocidade de bombeamento maximizada a - pressio de partida pode se tornar inconvenientemente baixa. Com um bom projeto de bomba criogénica esta pressao de partida est em - torno de 107? torr, permitindo assim o infeio do bombeamento crio- génico tao logo se complete o ciclo de pré-vdcuo. Tal bomba permi- te uma velocidade de cerca de 10° 1/s com uma poténcia de refri- geragio de 1W a 20 K. Com pressdes da ordem de 107 torr (regime viscoso ou de transigdo) e com poténcias de refrigeragao elevadas, observa-se um aumento consideravel na velocidade de bombeamento; tanto que - bombas criogénicas especialmente projetadas para funcionar nesta - faixa sao comercializadas. 0 fluxo de gas para a crio-superficie é acelerado 4 velocidade sdnica e pode-se obter velocidades de bom- beamento para nitrogénio de até 20 1/s por om’ de area de crio perffcie e isto com pequena influéncia da probabilidade de aprisio namento das moléculas. # um ganho elevado comparado ao valor obti- do nas condigdes de fluxo molecular de 11,7 1/s por om? de area - de crio-superficie e ainda dependendo da probabilidade de aprisiona mento. Pequenas velocidades de bombeamento para hidrogénio, - hélio e nednio tém sido observadas, pela reteng’o destes gases nascamadas de condensagdo ("cryotrapping") e o efeito deste processo tem sido aumentado pelo recobrimento da erio-superficie com um ma terial capaz de bombed-los por sorpgao ("charcoal ou zeolita) Desta forma a bomba criogénica poderd remover estes gases do sis- tema mas a saturagao deste material é rapida necessitando manuten gao mais freqlente. A seqiléncia de partida para uma bomba criogénica é - primeiro gelar as blindagens de radiago e o "baffle" chevron com nitrogénio liquido assim que o ciclo de pré-vdcuo se complete: - com isto se consegue reduzir substancialmente a carga inicial so- bre a superficie de condensagdo e também o tempo de partida. Fig. 77 - Desenho esquematico de uma bomba criogénica. - H8lio 1fquido > Nitrogénio 1fquido - Regiao de ultra-alto vacuo - Pressao atmosférica Regiao de vacuo (isolada) - Refletor de calor - Separador > Parede da camara (onde est& instalada a bomba) evans uon aAs aplicagdes das bombas criogénicas sdo, basicamente 1 - para produzir velocidades de bombeamento extrema- mente altas para tineis de vento de baixa densida de, instalagdes para testes de foguetes, ete 2 - para produzir pressdes muito baixas para camaras de simulagao de ambiente espacial, sistemas de al to-vacuo ultra-limpos e de grande volume, etc 3 - para produzir ultra-alto vacuo em ciclos curtos - em sistemas que nao possam ser aquecidos. As duas primeiras aplicagdes requerem unidades refr: geradoras a hélio de alta poténcia especialmente desenhadas para © projeto em particular, J& o terceiro tipo pode usar como fonte de refrigeragdo, hélio liquido ou ent&o gdés hélio a baixa tempera bomba rotativa @ 0h fae 2 bomba oe 3 wh 7 5 s criogenica 2 3 ° wok ‘B 3 3 2 2 = ek ho Ww es Tempo (min) Fig. 78 - Curva de bombeamento de uma camara de 150 1, feito em duas etapas: a primeira com uma bomba rotativa de 350 I/min de capacidade e a segunda com bomba criogénica de alta veloci. dade.tura circulando através de um compressor, semelhante ao encontra- do em geladeiras domésticas, dotado apenas de um filtro especial para impedir a circulagdo de vapor de dleo que de outro modo iria congelar, entupindo a tubulagio. Estas bombas dotadas de compressor nao requerem recar gas constantes, produzindo temperaturas entre 12 e 15 K, exigindo uma poténcia da ordem de 1 W. Sdo capazes de produzir pressdes - entre 107° e 1072 torr em um sistema que nio foi aquecido, den- tro de 3 - 4 horas, partindo de pressdo atmosférica. Dentre as vantagens podemos citar a extrema limpeza, alta velocidade , pressdes extremamente baixas, auséncia de baru- lho e vibragdes, grande liberdade de desenho e posigao, facilida- de de operagao, velocidades de bombeamento préximas para diferen- tes tipos de gases (vide tabela) Varian VK-12C Edwards CRPS @ da flange en an agua 4.100 1/s 4.200 I/s ar 1.050 1/s 1.150 1/s argénio 950 1/s 1.050 1/s hidrogénio 1.400 I/s nitrogénio hélio poténcia Apresenta como desvantagem o fato do material de sorp- g&o poder bombear pouco gds; entradas de ar acidentais saturam a - bomba sendo necessario reiniciar o processo de partida com bomba - auxiliar; o gas hélio para refrigerac3o precisa ser 99,999% puro; manutengao especializada se bem que nao freqllente.vista de baixo entrada de CT gas helio u saTda_ de gas hélio conectado ao compressor Fig. 79 - Desenho em corte de uma Bomba Criogénica (CTI, IM oll 4 5 modelo "Cryo-Torr 8", de 1500 1/seg para ar) flange de entrada superficies condensa- doras de 15 « superficies condensa- doras de 80 K corpo da bomba termémetro a gas unidade refrigeradora blindagem de radiagao de 80K superffcie de adsorgio de 15Ke2,uouzata epdorsouaiw e4ed sagdeuedaud syejsazew ap esinbsad epoedse oeSe_nwis aeayonu oesny ap ozuauedynbs sewsetd ap esinbsad sapopsuadns ap eotsty sope6lep saui1s ap oesnpoud seunqesadway sexjeq wa estnbsad onaea 2 oseabouzoadsa suouzata ap oeSeasip ap oyuawedinba s09,uouqala soydoosouayu seinojaued ap sevopesaiace Suoy ap sequos 4e[n2a[ow axyay ap ozuauedynba e5seu ap ougauQ439adse OWSS3¥d 30 SVXIVS S¥NS F ONOyA ol Oot oo Or or or or (4403) TeaTwEND 3 Poysya Wa esyAsog Sp Sopapyedoqey (e 0d S3Q5VIIIaV SVMNOT L orowadyB64eosap ap soqny ap oednpoud Soldodsaujo a sedzuguzaia seinaten ap oednpoud sepedue| ap ogsnposd S02 ,;ng2eWIey soynposd ap ajuelaGbuo> waberassap SOJUSWL Le ap ajue,aGuor waberassap Savopejost siaded ap wabeoas sodt3seid ap wabeoas sede, a seusau ap opsny SopinbyL ap ovdeoisisebap oedewiqns 8 4etnaow ese. iasap S183S}42 ap oeSnpoad @ euoz sod oesny syeqau ap ,bus4agands, ovsesodens sod ,s6urzeoo, 091u043a[ a OJUEMeapuRquog 4od seplos 09}uQi3a1@ oyuameapuequog 40d oesny 05k ap opdeo1yssebap SOPipuny Siezam ap oeSeris1seBap Speqew ap oesny S}e3au ap euaduas (4403) FSpepaysnpuy TOssas0Ig (q“TIT 9 WHE ap se6my ou *(, ux y ~ ed) TEOSEd O a TeGW ‘(, uD x seutp) FG o vas e wessed oessoud ap SiRLD}SO Sapepiun se ‘,Sz1UN Jo WezSks [euOL>euJaqUT,, OP Seabed SeAoU se wor opuore ag t go OlXORLSLE*L golxp2zeee’L pezecest -OLxpzzeee sk w4Oy | 094 L golxszelott | ,olxszeLocL SzeLo‘l wet z-olxzgoose'a | ¢.01x626986°0 U ‘1 2900820 g-01¥E26986'0 zol Ll equ 290°0SL £26986°0 got cot L 4eq 4103 uae ed equ ueq ONIYA) OySsaud 30 S30VGINN z SOTONGdYAPENDICE 3 Pressao nQ de moléculas em um volume de uma area de mbar torr 22,4 2 4,8x103cm? 1000 - 750 6 x 1023 4,8 x 1020 100 75 8B x 1022 3. « 1920 10 7,5 8 x 1021 2 x 1020 1 7,5 « 107! | Bx 1020 1028) 107! 7,5 x 107? | 8 x 101? 5 10se 107? 7,5 x 107" | 8 x 1017 1 x 1078 yo7® 7:5 = 1082 | 6. 107% 5 10le 107? Tess One|) 8 pee 1 x 1078 107° 745 x 1072} 8 x 10"! a lon APENDICE 4 COMPOSICAO DO AR (SECO E AO NIVEL DO MAR) % em Volume Pressao parcial (torr) Nitrogénio 78,1 593 Oxigénio 20,9 159 Argonio 0,93 ™) Didxido de Carbono 0,03 0,23 Criptanio 1,14x10 7,6x10"4 Nednio 18,2x1074 137x1074 H8lio 5,24x10~4 aox1o74 Hidrogénio 0,5x1074 3,8x1074 Metano zxro-4 Xendnio 8,7x107° 0,68x10"4 Vapor d'agua — 7 (depende da umidade)soue gis] Seip aL ‘4 Gp] usu giz 18 ots epeo e {| epese (| epere {| eperey epeo e $7, 01xS'9]8/, O1xS'9 | $/, OLx949/5/, O1xS'9 | S/,_01xS*9]/S/e0LxS°9 : seinoat rou auqua saositt > ap eipaw exer 9OLXS'E | gOLxStE zrOlxs'e |, OLxSte +S /_u9 1 wa opuageg set Taajow ap ovawny, zOLxe'e nOlXe'E aOLXere erOLxete w2 sod se, Foatow ap ovauny wy 0ixc| 8X .OLxL wy wo ¢ . op : Bw aaay, oyuywes (uo) oyssaud Findlaw Wenivesanal ¥ Wy Od Soave SNHOTY § a0T0Nad¥2 ooot & (+) _ oe a OLX6L'L OLxa" BE | o.0lxod'pt |g olxsz'y | 01x pee | ofanosaw s , ve ap soden ‘ . I< < ee “ o oe en6y uit poze'y | coats | cox sts | joists ee g0lX 9b | 42.01% 6°62 i eel oxeo'e OLX B°bL oxze'e ouxgste ee | go1xsi's 016s» | 201K of es ouoqueg ot ? . ap opt xoig 22 Oxia’ A0LX S*L OLx20'S pOlXtete OL -OLXEZ*6. geOlXSL€ p2-0l% 9°9b ouoque ou ap opixouoy ad pp OlXZo°€ g Ol 2°02 |g 01x LS polxor'e EG | g.0lxe6'6 gOUXLOE | Ole LES Oyuabsxo oe plOlels’e g OLX 9°LL g-0l¥ 99'S polly S6'P 9-0 X62°6 g OSL" p2-0l¥ 3°98 OLuabo4riN 69'2 plOlME2"€ | g.Olxctze | cotreste | yoixsete | sits | goies's | 5 olxs9'e |, o1x 2°99 Otugbay ave wl ZOL | g.0lxly"6L | gor erve | youxzs'zi | ol | g.oixsetzz | golxel'z |, o1xpa'9 oLLgH 0'L pole HL | g.Olxsc'B | lolx Gtky | olxsstct | 26 | gowmep'et | ooixse'z |, o1xse'e | otua6oupiH ont a OLX Lat -OLX9LSS OLxE9' y Us oe ae ae ay $ s ' (s) (aszod) [()(wos)/te2] (s/w) (wo) (wo) (wo) (6) wo sod 404 4403 9-01 002 8 2°) 002 e| 4403 9-01 200 @ c-0l| 4403 ogc se[nsaow e'sad 3 002] 4403 092] 9 002 e|ooze 2 ooze | _ eno 589 ap epewes| -einoaiou}a 4103 997 e eoiw feotzauy ise 3,ow ewn etna wn sewaoy | sa0st{oo e ap| 123 apep eipaw Oy pau 5p orpaw | -ajow ewn ued odwal | ap O4sunn| -eplsoosia | FAt3npuoy Japepro0l 3a A4ALL OyUtue? | ovqewelg ap essen — _ SISVD SNNOV VuVd SODTLaNID Soava 9 FOTONaaYAPENDICE 7 TAXA DE DEGASIFICACKO DE MATERIAIS USADOS EM SISTEMAS DE VACUO + Taxa de Degasificagao torr: cet cm”? a 1 hora em vacuo 4 horas em vacuo Aluminio 60 x 101° 5x 101! Duraluminio 1700 x 10°77° 350 x 10°1° Cobre (polido) 35 x 107?° x 10720 Cobre OFHC (nao poli, . do) 2005 10s 15 x 10729 Cobre OFHC (polido) 20 x 10°79 2 = 107° Aco 44000 x 107?° 150 x 107° Molibdénio 50 x 10°7° 4 107° Aco inoxidavel (nao . . polio) 200 x 1072° 15 x 1072 Aco inoxidavel (ele- . ~ tropolimento) 50x 107° 4x 197°? Aco inoxidavel (poli i = mento mecanico) 20 107° 4x 10720 Porcelana 65 x 107° 0 10ce Esteatita oe 10 5 10ee Vidro-molibdénio 70 x 10°° eats Pirex (Corning 7740) 75 = One 6 x 10° aAPENDICE 7 (continuagao) TAXA DE DEGASIFICAGAO DE MATERIAIS USADOS EM SISTEMAS DE VACUO Taxa de Degasificagao -2 100 x 10 torr 2s”? cm | 1 hora em vcuo 4 horas em vacuo Celuldide 1000 x 107° 500 x 10°° kel F 4x 107% 2 dee Mylar 250 x 107° 50 x 107° Nylon 1200 = 107® 600 « 107° Plexiglass 300 « 107° 200 x 107° Polietileno 25 x 107° 2x 107° Poliuretano 50 x 107° 25 x 107° Teflon (PTFE) 30 x 107° 15 l0ee Pvc fo 2 «107°APENDICE 8 PROPRIEDADES DE SOLVENTES MAIS COMU! Pressac de ve|Ponto de | Toxidez: por 8 tenpera|ebulicao |ma concentr: Formula | ture ambiente cao permitida (torr) (0C} (ppm) PTrictoretiteno | CcHC13 60 87 100 Tetraclorete de} y carbono cel ee 77 | 10 Cloroférmio cue; | 180 61 50 Benzeno Cyne 80 80 25 Tolueno CoHe 23 10 200 Xi101 Celio 5 140 200 Eter etitico | CeHi00 440 3s | 400 Acetona | C2HeO Vee 56 1000 lwetil-etil-ceto : ne =| Cyt 90 n 80 250 Ricool metTlico (metanol) CHAO 98 65 200 Kicool etilico | C2H<0 46 78 1000 1 Bicol isopropi . [ lice | C2Hed 38 82 400 Freon WF CC13F 700 24 1000 Freon TF CCIOFCCIF 2 284 48 1000 Freon BF ceipFeciaF| $7 93 1000 gua HO 17,535, 100 : Mercurio Hg 142x110 356.6 0,05mg/m?APENDICE 9 PRESSKO DE VAPOR DE ALGUNS MATERIAIS Pressao de vapor a 20 0C Ponto de fusao (torr) (0c) Graxa Apiezon L < 197? 3 Graxa Apiezon M < 107 free wives [oO eS 10ces 47 Graxa Apiezon AP100 Graxa Apiezon AP101 Celvacene “light” Celvacene “medium” Celvacene “heavy* Vacuseal "light" Vacuseal “heavy” Graxa de Silicone Graxa Lubriseal Araldite (*) £m temperaturas elevadas nao chega a fundir (+) A 25 0CAPENDICE 10 DLEOS PARA BOMBAS DE DIFUSKO [- : oe: oe fe | Ga ee) 2) a Seo composigéo quimica S| ,8| 22 [B2 g3| 52 83] 82) so Ti 7 Apiezon A hidrocarboneto de petrdieo 190 | 354 | 0,862 Apiezon B i ” . 220| 420 | 0,869 Apiezon C : . " 255] 479 | 0,872 Apiezon AP2O1 . . . 160| 310 | 0,862 Apiezon AP3O1 &ster organico 225 | 584 | 0,965* Silicone 702 metil polisiloxano 185 | 530 | 1,071 Silicone 703 . . 206 | 570 | 1,089 Silicone 704 tetrafeni] tetrametil trisiloxano 223 | 484 | 1,066 Silicone 705 pentafeni trimetil trisiloxano 254] 546 | 1,095 Santovac 5 Ster polifenilico 295} 446 | 1,195 Fomblin YVAC 18/8 e 25/9 | poliéter perfluorado 240 | 2650 | 1,89 Edwards L9 naftaleno 251 407 | 0,901 Neovac SY &ter mono-N-alquildifentlico | 220] 405 | 0,94 Alcatel 200 Sleo mineral 180 | 400 | 0,88 Alcatel 211 poliéster perfluorado 190 | 2000 | 1,9 Alcatel 214 (DC 704) | tetrametil tetrafenil trisiloxano 185 | 484 | 1,066 Alcatel 215 (DC 705) | pentafenil trimetil trisiloxano 240 | 546 | 1,095 Alcatel 220 elcosil naftaleno 250 | 408 | 0,93 Octoil di-2-etilexilftalato 183 | 391 | 0,9827 Octoil S di-2-etilexilsebacato 199 | 427 | 0,9122 Convaclor 8 hidrocarboneto clorado @ifenil) | 122] 290 | 1,447 Convaclor 12 7 . 130 | 326 } 1,538 Convalex 10 @ter polifentlico 275 | 454 | 1,198 Convoil 10 hidrocarboneto de petroleo 135 | 250 | 0,91 Convoil 20 : . 190 | 400 | 0,86 Buty] Phthalate di-n-butilftalato 135 | 278 | 1,044 Narcoil 10 difenil clorado 150 | 326 | 1,538 Narcoil 20 di-2-etilexilsebacato 2is | 427 | 0,912 Narcoil 40 di-(3,5,5-trimetilexil)ftalato | 215 | 419 | 0,973 Nercirio Hg 127 |200,6] 13,6 (*) a 20.0(continuacao) Viscosidade a (0C): Presso de Vapor Sleo (torr) (cSt) Apiezon A Apiezon B Apiezon ¢ ‘Apiezon AP20 Apiezon AP301 Silicone 702 Silicone 703 Silicone 704 Silicone 705 Santovac 5 Fomblin YVAC 18/8 e 25/9 Edwards L9 Neovac SY Alcatel 200 Alcatel 211 Alcatel 214 (DC 704) Alcatel 215 (DC 705) Alcatel 220 Octoil Octoil S Convaclor 8 Convaclor 12 Convalex 10 Convoil 10 Convoil 20 Butyl Phthalate Narcoil 10 Narcoil 20 Narcoil 40 Mercirio 27 0¢ 138 0G} 54 o| (*) a 2000 (4) a 25 0c (a) a 40.0C (b) a 50 0¢ (c) a 30.0CAPENDICE 11 PROPRIEDADES DE ELASTOMEROS g| Z| 2| 2 ez] =] = zg) | 2 e| E| 3] 2138] 2] 2) 2] 2] e] 3 dale; ery pep ay fe 3] SF] 5) 8/8 3 & =| . = a 8 = Tipo de ar au-ey or | cs] eco] st_| acu} rem | 11@ timer 40-| 50- | 20-[ s0-[ s0-| 40-| 40-| 60-[20-| 30- 98] 100] 95] 90] 80] a5] 90] 90) 75] 100 Dureza Shore “A” Maxima tenperatura de trabalho w nf x21} 93} 50] 420 260 197} 107 cont favo {ec s| 93] 12 50] 121] 260] 175 7 Minima temperatura de trabalho esas fi} 4 | 54 -54| -5¢ |-45 | -40| -68 |-r19] -29 | -23 Coupressio permanente e[n[wl[e[els[elele|wlalo Restiancia (capactdade de voltar & oan 8 frr[es|we} me) a] wie jw} wis |e TnpermeabiTiaade Hee eure fee] | ses es eo | eee Resistencia § abrasia efepelepele]e[wleletete Reststancta a0 calor e{w[e[e[e{s|-lefelefule Resistencia» baixa temperatura wlefetefelfal-[ejwlels|oe 1 Resisténcia aos acidos efe[al[™ lesfel-|eolw els Resistencia a0 Slee de baixo ponto ailing we trelrele |e lee|« |e festa |» Resistencia 20 dleo de alto ponte ae w]e teeters} es jo jas}s|o| me] x | w Resistincie 5 gasoline aronética | W | mafa-e[as| a |e | x [mal «| we] » | x Resistincia & gasolina ndo aronitica| w | me] ma[a-o] es |e feel oe |e | wal » | w Resistincie a0 alcool etflico wlee[wfefe[-lelelals fe Resisténcia & agua ef alesfn [ele] - [esl feel s lee Resistencia aos_solventes alifaticos (hexano, aguarrés, solventes para =| 6 | me] ms] e/a |e) x] ma |e] mej |» orracha) Resistencia aos solventes aroniticos (benzeno, tolueno, x1Teno} Resisténcia aos solventes oxigenados (cetonas) Resistancia aos solventes nalogena- dos (tetracloreto de arbono, tricilo| m| a} m| x im iro} |u| m irol™ | w retileno, freon) 4 Mou R ~ Regular NB = Muito Bom E - Excelente 0s tipos de elastéeeros mais comumente enpregados em sistemas de vacuo sdo 0 Neoprene © 2 Borracha Nitrilica (Bune K). 0 Viton € enpregado com sucesso en presses muito bainas - (uitra Alto vicuo)APENDICE 12 TAXA DE EVAPORACAO DE ALGUNS MATERIAIS APOS TRAMENTO PREVIO WORKS bi gon | Temrceavuar oc] otuasificacno oeeasinieagan Stancaro~ | cotinento Tea oui ene ie es | ae torr craven? Arsteste ATI ws : 2.600 + 10° 1,300 + 10° we 100 m4 51 : 225 Arataste ct200 + 1901 ws 7 rt08 380 ce) se 100 2 1 te) 51 . 150 98 Aratéite C1200 + nyS06e139/ 1266 ws - 400 200 (ey 95 100 13 0.6 es : 380 Ms (a) 52 20 10 (o) 300 " me os : ns 3 nyion 31 ast : a0 oY (o) #0 120 ‘ 3 te) 51 7 e 3 nyton $1 a0 te (0) a 20 oe oe test : 6 30 fersper ws 1000 soo (») 102 es «0 30 tos a 500 250 Clantinere oe erounan (F860) ws : ~ 2.000 7 i) : . (ere : 2 : Siastoner 60 8 a ae : (0) 101 200 n : (51 - 100 : Neoprene (a) arcunes : : wort yee : : : vitor A ws G we 200 : Tefvon (a) sigue : 2 () 2 250 : (gums : a eg tte ee 400 wor! 10 (2) stgume : : or? = te () 2 400 : rots sents reset (ay so 108 : . a Lowe 0 : rote ett fa) ates ee fazer 0 ceairente [eh tactyerae 240 ge craveente nr 20APENDICE 13 ALGUNS AGENTES DESSECADORES Volume de ar por m1 de dessecador Vapor de Dessecador formula a (2) cNTP (mg) Sulfato de Calcio CaSO, 0,45 - 0,7 2,8 Cloreto de Calcio (granulado) CaCl, 6,1 - 24,2 1,5 Sulfato de Cobre cuso, — 4 Brometo de Zinco znBr, — 1,16 Cloreto de Zinco (1) ZnCly 0,8 - 2,1 0,85 (granulado) Perclorato de bario Ba(C104), | 2,3 - 3,7 0,82 (anidro) Hidrdxido de Sédio (granulado) NaOH 2,3 - 8,9 0,80 Cloreto de Calcio (1) (anidro) CaCl, 4,0 - 5,8 0,34 Brometo de Calcio CaBry —_— 0,18 Clorato de magnésio | Mg(C103)5.6H,0 | 4,0 - 7,2 0,031 (hidratado) Hidroxido de Sddio NaoH — 0,016 Hidrdxido de Potassio (granulado) (2) KOH 3,2 - 7,2 0,014 Silica Gel (3) _— 2,1 - 5,3 0.006 (Sulfato de Calcio (anidro) Cas0g —_— 0,005 Rcido sulfirico (4) Concentrado Hy$04 — 0,003 1) Nao deve ser usado com NH,, aminas, HE ou alcool 2} Nao deve ser empregado cof gases que contenham CO,- 7 (3) Pode ser regenerado a “200-300°C. {4} Evitar o uso com HyS, NH3, HBr, CoH, ov HCN. gases sensiveis a alcalis nem comALGUNS _AGENTES DESSECADORES (cont.) Volume de ar por m1 de dessecador Vapor de agua residual Dessecador formula por £ de ar (2) enTe (mg) Dxido de Calcio (2) Cad 7,6 - 10,1 0,003 Clorato de Magnésio {anidro) Mg (C103), 2,8 - 5,9 0,002 Hidroxido de potassio(2) | KOH — 0,002 Gxido de Aluminio Al,03 Seateeeecerame 0,001 Oxido de bario Bad 10,6 - 25 6,5x1074 Perclorato de Magnésio(5) | Mg(C104), _ sxto"4 Pentdxido de fosforo (6) | P20, - 2,0x10°5 Charcoal refrigerado com ar liquido - _ 1,6x10723 (2) nio deve ser empregado com gases sensiveis @ Slcalis nem com gases que contenham CO.. . (5) Cuidado quando usado com compostos organicos! (6) Nao usar com NH, ou haletos de hidrogenio.Temperatura (0C) APENDICE 14 CURVAS DE PRESSAO DE VAPOR Dt MATERIAIS USADOS EM TECNOLOGIA DO VACUO 100 8 7 0 i 783 ls é 60) 561 4O 20 tricloretileno [ 1] -20 tetracloreto de carbono -ho . U3 s -60 -80 3 -100 Litt : 10 (oe 105. 10 10 1 10 105 10 Pressio de Vapor (torr)(continuasdo) (4403) ode, ap ogssaud om = Jooor Joos oor mioiti loose toetiiiil g TemperaturaAPENDICE 15 BOMBAS DE DIFUSKO EFEITO DE ACESSORIOS PRESSDES FINALS TIPICAS EM TORR FLuTDGS PARA BOMBA OF OIFUSRO wercirie | giticone 702 | siticone 700 | siticone 705 ipveton't ighesen'e* | Convstes Je PRESSRO OC VAPOR A 15°C 10" s+ 10 sete fonda ge 2ifusie,+ 7 = Seiket de meta 1 ss10 seve! Tonbe de Difuite * " - zi CRE ate 10 seit seit 1? Bombe oe a = os pine © 510 1 set tombe oe Vaveute-botte = z z : epateet Gel Nite 0 set see" s+ 0 Genoa oe bitusto,» Bati¥e » -20"E a = as ioetmethn io 1 ro" <0 Gombe ge Difurdo + SarTle « “20°C a ” a 5 Shaded ae Viton 1 we 1 1 Tombs Ge Difurie + Trap com Mitre é oe a 7 Semis Canine gostet de mete! 0 <0 «10 <0"! Tome ¢ O/fusdo + Trap con Mitre aR ; i es sare Cfautgo a sestet de viton 1 1 1 1" Gombe ge oifurio 2 fat{ de e208 toma tek at eeSgeate tHtutaa™ © oa ae a0 Serkeh aeTaceat <0 <0 <1! Tome de Dituste + Gat le «20 0 L°Pdo fon nitrosinto tiauteo = : ] “s Sartet ee viton we 10 1 16 age ifuaie « baffle @ VEC © - af Tea e gesket det viton w +10 10 fa ya de Difuate «Battie # 20% + . = = SetedisTe gaatet ge viton 1 0 S210 ss + somente pers os Sie0s de s4Ticone WELOCIOAOES 9 EMBEMMENTO OE LH ROMA DE SOO 4/5 (ELOCIOADE NOMINAL ar] Oxigenie | Vapor ae Kove fons de Difusio apenas 500 $00 500 Bomba de Di fuss + uate 20 260 300 Bomba de Difus + trap com nitre senso VFauise v0 V8 1900 Bonbe Tariee tipo “sputter = son soa 20s sesCusto ($/ */s) APENDICE 16 COMPARACAO DE CUSTO ENTRE DIFERENTES TIPOS DE BOMBAS Pressao (torr) - Bombas Mecanicas - Bombas Roots Bombas de Difusao - Bombas Turbo-moleculares - Bombas Ténicas mooa> Segundo M.H. Hablanian, em “Vacuum Physics and Technology” editado por G.L. Weissler e R.W. Carlson - Academic Press - 1979.Impresso na Grafica do Instituto de Fisica da USP * 1992 # reimpressao