12.

Conceitos de Vcuo
Muitos processos de microeletrnica, como a deposio de filmes finos por CVD, assim
como, plasma etching, sputtering e evaporao, so feitas em cmaras de vcuo, em regimes
de presso reduzida e/ou em ambientes com fluxo de gases. importante portanto, para a
melhor compreenso destes processos, o conhecimento da terminologia e conceitos da
tecnologia de vcuo. Abordaremos de forma bastante resumida nesta seco as definies
bsicas e os equipamentos utilizados para a produo e medidas de vcuo.
12.1. Comportamento dos Gases em Vcuo
As molculas do gs numa cmara se movimentam de forma aleatria sem nenhuma
direo preferencial (Fig. 1), pois no estado gasoso as molculas so mais independentes um
do outro. O estado do gs descrito pelas seguintes caractersticas: espcie e massa do gs,
o volume da cmara que contm o gs, presso e a temperatura do gs. A presso exercida
pelo gs sobre as paredes da cmera causada pelas colises das molculas do gs com as
respectivas paredes.

V, T, p
Figura 1 : Gs em Equilbrio numa Cmera
O comportamento do gs em vcuo pode ser descrito usando o conceito de "gs ideal".
Um "gs ideal" um gs cujo estado tal que o volume total de todas as molculas
desprezvel comparado com o volume da cmera em que esto confinadas e a energia de
atrao entre as molculas desprezvel comparada com a energia trmica mdia do gs.
Num gs ideal o volume, a presso e a temperatura esto relacionadas por:
p.V = cte , se T = cte ; lei Boyle e Mariott
p/T = cte , se V = cte ; lei de Gay-Lussac
V/T = cte, se p = cte ; lei de Gay-Lussac
e
pV = nRT ; lei de Boyle/Gay-Lussac
onde
R = 8.314 J/K.mol
(constante molar dos gases)

Num gs ideal as molculas gasosas so tratadas como se fossem minsculas esferas de

massa m movendo em direes aleatrias. A figura 1 ilustra o movimento molecular do gs numa
cmara de volume V, contendo N molculas. A densidade n de molculas no gs n = N/V.
Devido ao grande nmero de colises entre as molculas e destas com as paredes internas da
cmara, as velocidades esto continuamente mudando de direo e valor. Para um gs em
equilbrio e uniformemente distribudo no espao, Maxwell encontrou que a distribuio das
velocidades das molculas dada por:
(1/n)(dnv/dv) = [(2m3)/(
k3T3)].v2.exp[-(mv2/2kT)
que d a frao das molculas com uma velocidade absoluta v num intervalo unitrio em torno de
v.
n = nmero de molculas/volume; dnv = no de molculas com velocidades entre v e v+dv ; m =
massa da molcula; k = constante de Boltzman = 1.38x10-23 J.K-1; T = temperatura absoluta.
A figura 2 ilustra a distribuio das velocidades das molculas de nitrognio em 2
temperaturas. As curvas representam, numa dada temperatura e num dado instante, o nmero de
molculas que tm uma determinada velocidade. O pico da curva d a velocidade mais provvel e
a maioria das molculas apresentam velocidades desta ordem. Mas existem uma pequena frao
das molculas que se movimentam a velocidades relativamente lentas, assim como, as que se
movimentam a velocidades mais rpidas. A velocidade mdia denotada por v. Nota-se tambm
que no h molculas com velocidade zero ou com velocidade infinita.

Figura 2 : Distribuio das Velocidades das Molculas

A partir da equao de Maxwell, podemos determinar :

velocidade mais provvel: vmx = (2kT/m)

(1)

velocidade mdia: v = [(8kT)/(

m)] = 1.13 vmx

(2)

velocidade quadrtica mdia: vrms = v2 = [(3kT)/m] = 1.22 vmx

(3)

Observamos que quanto maior a temperatura T, maior a velocidade mdia e que para
gases diferentes, a velocidade mdia ser maior para o gs com molculas de menor massa
(menor M). Alguns valores tpicos de velocidade mdia a temperatura ambiente: hidrognio - 1760
m/s; hlio - 1245 m/s; nitrognio - 470 m/s, Argnio - 400 m/s; vapor de gua - 587 m/s.

Presso e Livre Caminho Mdio

A presso P exercida pelo gs pode ser calculado a partir de :
P = (1/3)nmv2rms = nkT

(4)

Como a presso P devida a fora exercida sobre a parede da

cmara, resultante do impacto das molculas do gs com as paredes
da mesma : a presso total depende do nmero de impactos e do
momentum (= massa x velocidade) das molculas que colidem com
as paredes (dependncia com n e T ).
Se h mais de um gs no sistema, a presso total a soma das
presses parciais exercidas por cada um dos gases.
Temos ainda da equao (4) : temperaturas altas levam a
presses tambm altas.

Note-se que, para uma dada temperatura, a presso exercida

pelo gs depende somente da densidade n de suas molculas e no
da sua identidade qumica. Assim, por exemplo:
os gases hlio e nitrognio exercem a mesma presso a uma
dada temperatura, se as suas densidades n forem iguais, apesar de
terem diferentes massas moleculares.
A razo que as molculas leves de hlio, embora eles
movimentem bastante rpidos na mdia e tenham alta taxa de
colises sobre as paredes da cmara, transportam momentum mais
baixos.

Outros dois parmetros importantes para compreender o

comportamento dos gases em vcuo so o fluxo das molculas que
incidem sobre as paredes e o livre caminho mdio.
Como j vimos as molculas do gs numa cmara esto
aleatoriamente distribudos e movem com velocidades diferentes. Isto
implica que cada um deles caminham uma distncia em linha reta
diferente (caminho livre) antes de se colidir com uma outra partcula.

caminhos livres, , chamado

como livre caminho mdio,
dado por :
= 1/[21/2.
.do2.n]
onde :
do o dimetro molecular e
n a concentrao do gs

Movimento
Molculas

Aleatrio

das

Nem todos os caminhos livres

so de mesmo comprimento.
Segundo a teoria cintica dos
gases, o valor mdio destes

A concentrao n geralmente
no e conhecida. Substituindo
na expresso por n = p/kT,
temos:
= kT/21/2.
.do2.p

O livre caminho mdio claramente dependente da

densidade do gs, aumentado a medida que este diminui. Depende
tambm da temperatura e da presso.
Para o caso do ar a temperatura ambiente, o livre caminho
mdio pode ser estimado atravs de uma relao mais simples e
conveniente.
= 6.6/p(Pa) = 0.05/p(torr)
Nesta aproximao, o modelo indica que :
- 63% das colises das molculas do sistema ocorrem numa
distncia menor do que ,
- cerca de 35-37% entre e 5
, e
- somente cerca de 0.6% das molculas movem distncias
maiores que 5
sem sofrer a coliso.
Para o
atmosfrica, a
molecular. No
3.3x10-3 mm a
mtorr.

nitrognio temperatura ambiente e presso

distncia de 6.6x10-8 m ou 200 dimetros
caso do argnio a temperatura ambiente temos :
presso de 1.5 torr e de 333 mm a presso de 1.5

Quanto ao dimetro das molculas, as molculas diatmicas

simples como N2 e O2 da ordem de 3 .
A densidade de fluxo das molculas ou nmero de colises
de molculas por unidade de rea na parede por unidade de tempo
dado por:
J = nv/4 = p/(2
mkT)1/2 = [(3.5x1022)/(MT)1/2]p colisesxcm-2s-1
onde : p = presso em torr;
M = peso molecular em grama; e T = temperatura em K.
Gs de
atmosfrica :

nitrognio

temperatura

ambiente

presso

J de aproximadamente 6x1029 colises/(cm2xs).

Unidades de Presso e Fatores de Converso

- pascal (Pa = 1 N/m2) unidade de medida de P no sistema SI.
- so tambm utilizadas vrias outras unidades.
- torr, por exemplo, que mede a presso que suporta 1 mm de
altura de coluna de mercrio tem sido amplamente usada para
especificar os equipamentos de vcuo.

Fatores de converso para algumas unidades:

1 pascal (Nm-2) = 7.5x10-3 torr
1 torr
= 133.3 Pa = 1.316x10-3 atm = 1.333x10-3 bar
1 bar
= 1x105 Pa = 750 torr
1 atm
= 1.013x105 Pa = 760 torr = 760 mm Hg = 1.013 bar
1 PSI (lbf.in2)
= 6.895x103 Pa = 51.71 torr

Fluxo e Escoamento de Gases

O escoamento provocado por um gradiente na presso ou
temperatura. Mesmo um pequeno gradiente na presso faz com que
o gs flua da regio de alta para a de baixa presso.

Um dos aspectos importantes do fluxo de gases que sua

natureza pode variar consideravelmente, dependendo da presso e
da geometria da cmara ou da tubulao em que o mesmo est se
movendo.

A presses altas o livre caminho mdio curto, portanto, o

comportamento das molculas praticamente regido pelas colises
com outras molculas do gs. Em fluxos de gs deste tipo, as
molculas movem como um jato(figura a). O regime de escoamento
de gases deste tipo so chamados de fluxo viscoso e podem ser:
- tipo laminar quando as camadas de fluxo forem paralelas,
- ou viscoso turbulento quando a velocidade do gs exceder
a certos valores. As camadas de fluxo no so mais
paralelas, havendo a formao de bolses de baixa presso
entre as camadas.

Representao esquemtica das velocidades das molculas em

um tubo estreito: (a) - em fluxo viscoso e (b) - em fluxo
molecular.

A presses baixas, os livres caminhos mdios podem ser bastante

longos e as colises das molculas so quase que exclusivamente
com as paredes da cmara ou do tubo e no entre si.

Os movimentos das molculas so independentes, ao contrrio

do caso de fluxo viscoso, quando h movimento coletivo. Fluxos
deste tipo so chamados de fluxo molecular (figura b).

Em geral, temos :
- um fluxo viscoso quando a dimenso D da cmara de vcuo
ou dimetro do tubo em que o gs est fluindo for maior do
que o livre caminho mdio (D >> ) e
- regime de escoamento molecular quando (
>> D).
As presses tais que D o escoamento chamado de regime
intermedirio, e a freqncia de colises molcula-molcula so da
mesma ordem que a freqncia de colises das molculas com as
paredes do tubo.

Como uma conseqncia das diferenas de comportamento do

gs de um regime para outro, as condutncias e correntes
moleculares so diferentes nos trs regimes.

Critrio para se determinar o regime de escoamento :

- laminar se nmero de Reynolds Re, Re < 1100; e
- turbulento se Re > 2100.
- O limite entre o escoamento turbulento e laminar um
nmero entre 1100 e 2100, que depende entre outros
fatores, da rugosidade interna do tubo.

Definies das Grandezas Fundamentais

Velocidade de Bombeamento e Corrente Molecular do Gs

Velocidade de Bombeamento e Corrente Molecular do Gs

O escoamento se processa na direo indicada pela seta. Seja
P a presso numa seo transversal da tubulao. Por essa seo
escoa um certo volume V do gs no intervalo de tempo t.
Chamamos de velocidade de bombeamento S, na seo
considerada, a relao:
S = V/
t

(l/s)

A corrente molecular do gs:

Q = P.S

(torr.l/s)

logo, a corrente molecular do gs dada por:

Q = P.
V/
t

(torr.l/s)

Admitindo : T = constante; Q pode ser equacionado em funo

do nmero de molculas N que atravessam a seo do tubo no
intervalo de tempo t. Inicialmente, derivando a equao de estado
de um gs ideal em relao ao tempo temos:
P(dV/dt) + V(dP/dt) = kT(dN/dt)
Se o escoamento se processar em regime estacionrio, isto , P
independente do tempo, teremos dP/dt = 0. Ento:
P(dV/dt) = Q = kT(dN/dt)

As bombas de vcuo so geralmente especificados pela

velocidade de bombeamento.

Condutncia do Tubo
Condutncia do Tubo

Se no tubo mostrado na figura acima existe um fluxo de gs,

porque h uma diferena de presso entre dois planos quaisquer A e
B transversais ao tubo. A direo do fluxo a do plano de presso
maior para o de menor.
Fazendo uma analogia com o fluxo de corrente eltrica num condutor,
temos a definio da condutncia do tubo limitado pelos dois planos
A e B:
CAB = Q/(PA - PB)

(l/s)

com a diferena de presso P = PA - PB anloga a diferena de

potencial eltrico. Como em eletricidade, ao inverso da condutncia
d-se o nome de impedncia:
ZAB = (CAB)-1 = (PA - PB)/Q

(s/l)

A condutncia geralmente medida em litro/segundo e a

impedncia em segundo/litro.
Fisicamente, o conceito de impedncia est associado com a
dificuldade (resistncia) oferecida pelo tubo passagem do gs.
fcil imaginar, por exemplo, que quanto mais fino for um tubo
maior ser a dificuldade de passagem do gs e portanto maior a sua
impedncia.

Um outro conceito importante est relacionado com a

conservao da corrente molecular: a corrente molecular Q tem o
mesmo valor em qualquer seo de uma tubulao. Essa
afirmao verdadeira, mesmo que a seo reta do tubo no seja
uniforme. fcil entender a conservao da corrente, se lembrarmos
que uma variao da mesma ao longo do tubo implicaria num
acmulo (ou diminuio) do gs em certas regies, o que causaria
variaes de P com o tempo, contrariando a hiptese de escoamento
estacionrio.
Enquanto Q constante, os valores de S e P variam de ponto
para ponto ao longo do comprimento de uma tubulao.
Condutncias em Srie
Os componentes de vcuo tambm podem ser associados em
srie ou em paralelo.

Associao em Srie de 2 Tubos

Na figura acima, se C1 e C2 so as condutncias dos dois tubos
conectados em srie.e P1, P2 e P3 so as presses nos planos das
sees retas 1, 2 e 3, temos:
P1 - P2 = Q/C1

P2 - P3 = Q/C2

Somando as duas equaes:

P1 - P3 = Q[(1/C1) + (1/C2)] = Q/Ctot
onde Ctot a condutncia total da associao :

1/Ctot = 1/C1 + 1/C2

Generalizando para n tubos associados em srie:
1/Ctot = 1/C1 + 1/C2 +

+ 1/Cn

Condutncias em Paralelo

Associao em Paralelo de Tubos

Se C1 e C2 so as condutncias dos dois tubos associados em
paralelo e PA e PB so as presses nos planos A e B, tomando cada
tubo em separado temos:
C1 = Q1/(PA - PB)
somando,

C2 = Q2/(PA - PB)

C1 + C2 = (Q1 + Q2)/(PA - PB)

Considerando a associao como um todo, a condutncia total

da associao ser:
Ctot = Qtot/(PA - PB)
onde,
Qtot a corrente molecular total (Q1 + Q2)
logo :

Ctot = C1 + C2
Generalizando para n tubos associados em paralelo temos:
Ctot = C1 + C2 +

+ Cn

Variao da Velocidade de Bombeamento ao Longo da

Tubulao

Variao da Velocidade de Bombeamento ao Longo do Tubo

A velocidade de bombeamento S em um plano qualquer de uma

tubulao pode ser determinada em funo da velocidade de
bombeamento noutro plano e da condutncia entre os dois planos.
Consideremos um tubo como a mostrada na figura acima. A e B so
dois planos perpendiculares ao eixo do tubo e PA e PB so as
presses nos planos.
No plano A a velocidade de bombeamento :
SA = Q/PA

1/SA = PA/Q

No plano B a velocidade de bombeamento de:

SB = Q/PB

1/SB = PB/Q

A subtrao das equaes acima resulta em:

1/SA - 1/SB = (PA - PB)/Q = 1/CAB

Portanto,

SA = (SBCAB)/(SB + CAB)

(l/s)

Como CAB/(SB + CAB) 1, isto implica em SA SB, ou seja, a

velocidade de bombeamento na regio de mais alta presso
sempre menor que a velocidade de bombeamento na regio de mais
baixa presso.

Faixas de Presso
Ambiente de vcuo : vrias faixas de presso.
A diviso no entanto, bastante flexvel, sendo aproximadamente :
baixo(primrio ou grosso) vcuo : 0.1 a 760 torr ou
10 a 105 Pa
mdio vcuo :
10-4 a 10-1 torr ou
10-2 a 10 Pa
alto vcuo :
10-8 a 10-4 torr ou
10-7 a 10-2 Pa
ultra alto vcuo :
< 10-8 torr ou
< 10-7 Pa

Aplicaes por faixa

- vcuo grosso e mdio : CVD, sputtering, plasma etching
- alto vcuo : limpeza da cmara, evaporao, implantao
de ons
- ultra alto vcuo : MBE

Bombas de Vcuo
- Ambiente de vcuo: dividido em vrias faixas.
- No existe bomba capaz de bombear a cmara em toda a
sua extenso, ou seja, da presso atmosfrica para o alto
vcuo ou ultra alto vcuo.
- H muitas bombas mas cada qual operam efetivamente entre
os nveis de presso especficos.
- A figura abaixo mostra as faixas de presso operacional de
uma variedade de bombas de vcuo.

Regio de Presso das Bombas de Vcuo

Para bombear da presso atmosfrica para o alto vcuo, usa-se

inicialmente uma bomba de vcuo primrio para a evacuao da
cmara at a regio de mdio vcuo e ento, com a bomba de alto
vcuo se faz o bombeamento at a presso de alto vcuo.
Basicamente, as bombas de vcuo podem ser classificadas em
duas diferentes categorias:
- bombas de transferncia e
- bombas de captura.
No primeiro caso, a bomba simplesmente transfere o gs bombeado
de uma regio do sistema de vcuo para outra. Por exemplo, de uma
cmara para um tubo de exausto que canaliza o gs para fora do
ambiente do laboratrio. Nas bombas de captura, as molculas do
gs por elas bombeadas, ficam presas nas prprias bombas.
Dois fatores de grande importncia em bombas de vcuo:

a) a presso mais baixa que uma bomba pode alcanar,

geralmente chamado de presso final, e
b) a qualidade do vcuo produzido.
Com relao a este ltimo aspecto, algumas bombas de vcuo, como
as bombas de difuso, podem emitir vapores de leo para o interior
do sistema de vcuo, o que para algumas aplicaes, no podem ser
tolerado.
A seleo ou escolha da bomba de vcuo a ser usada
definida pelos parmetros como : presso desejada; o intervalo de
presso; a velocidade de bombeamento; e a presso de exausto.
a) Presso desejada: presso mnima na boca da bomba;
b) Intervalo de presso: aquele no qual a bomba pode bombear;
c) Velocidade de bombeamento: no e constante, no entanto,
funo da presso;
d) Presso de exausto: a presso atravs da qual a bomba pode
ser operada, que ocorre de trs formas diferentes: 1)
bombeamento a partir da presso atmosfrica, como por exemplo,
a bomba rotativa de palheta; 2) bombeamento a partir de presses
bem abaixo da presso atmosfrica, como por exemplo, a bomba
difusora, roots e a turbomolecular; 3) imobilizao do gs, por
exemplo, a bomba de soro e a de ionizao, que s podem ser
ligadas quando a presso da cmara estiver bem baixa.

Velocidade de bombeamento de vrias bombas em termos da

velocidade mxima de bombeamento Smx. (1) - bomba rotativa
de palheta de um estgio sem gs ballast; (2) - a mesma, com
gs ballast; (3) - bomba roots; (4) - bomba ejectora; (5) - bomba
difusora; (6) - bomba turbomolecular.

Bombas Mecnicas
As bomba utilizadas para baixo vcuo so de deslocamento
positivo do gs obtido atravs de movimento mecnico de um piston,
palheta, mbolo, ou diafragma. Estas bombas envolvem trs etapas:
captura de um volume do gs; compresso do volume capturado
e expulso do gs. A imagem conceitual mais simples deste tipo de
bomba a bomba de piston. Inicialmente, o movimento do piston
arrasta consigo o gs a ser bombeado para dentro do cilindro atravs
da vlvula. No ciclo seguinte, a vlvula se fecha e o gs
comprimido. Por final, abre-se a segunda vlvula e o gs expelido
para a regio de alta presso. Em geral, as vlvulas abrem
automaticamente em resposta a diferena na presso. A taxa de
compresso das bombas de piston bastante baixa. Por exemplo, se
a presso de exausto for de 1 atm e a taxa de compresso da
bomba de piston de 100:1, a presso mais baixa que pode ser
alcanada por esta bomba de 0.01 atm ou 7.6 torr.

a) - Bomba de piston que comprime e expele o gs. B) - Bomba de

diafragma comprimindo e expelindo o gs, devido ao movimento do
eixo fora de centro.
As bombas de piston no so muito utilizados em processos de
microeletrnica.
As bombas mais comuns utilizadas nas regies de baixo e
mdio vcuo so as bombas mecnicas de palhetas rotativas,
mostrada na figura abaixo.

Bombas Rotativas de Palheta

Neste tipo de bomba, um rotor excntrico com palhetas gira

no interior de uma cavidade tambm cilndrica (estator). O rotor
movimentado por um motor eltrico e seu eixo paralelo ao eixo de
simetria do estator na parte superior. Ele encosta bem justo no
estator, com uma pequena folga da ordem de 0.001 cm, de forma
para fazer a vedao entre a entrada e a sada da bomba. O rotor
gira na direo que mostra a flecha. Durante o movimento, as
palhetas ficam permanentemente em contato com a superfcie
interna do estator, devido as molas que existem entre elas dentro
do canal do rotor, no qual estas esto encaixadas.
O leo usado para selar as palhetas e auxiliar na sua
lubrificao. O leo auxilia tambm no resfriamento da bomba,
dissipando o calor gerado pela frico e compresso do gs.
Um dos problemas associados com as bombas do tipo
compresso a condensao de vapores. Quando o gs
comprimido, se a presso parcial de vapor dos gases for maior do
que a presso de vapor do correspondente liquido na temperatura
do gs, poder condensar formando gotculas de vapor
condensado. Estas gotculas misturam com o leo da bomba e
podem causar a corroso do mesmo. No caso da gua por
exemplo, como a presso de vapor a temperatura ambiente de 20
torr, se o gs comprimido por um fator de 104, a gua se
condensar se a presso parcial da gua na cmara for maior do
que 2 mtorr. O problema mais srio quando bombeamos gases
corrosivos condensveis como o Cl2 e clorosilanas. A formao de
vapores condensveis pode ser evitado utilizando um pequeno fluxo
de gs inerte, N2 na cmara da bomba(gs ballast). Porm, o uso
do gs ballast limita a presso final da bomba.

Curvas de velocidade de bombeamento vs. Presso

das bombas rotativas de um e dois estgios

A figura 14 mostra as curvas de velocidade de bombeamento em funo da presso

para duas bombas rotativas de palhetas com um e dois estgios. O eixo horizontal refere-se a
presso na entrada da bomba. A linha cheia refere-se a bomba sem o gs ballast e linha
tracejada com o gs ballast. A velocidade de bombeamento aproximadamente constante
numa ampla faixa de presso. Note-se que o uso do gs ballast aumenta a presso final
alcanada pela bomba. O intervalo de presso mostrado na figura tpico para bombas
rotativas de palhetas.
A curva de velocidade de bombeamento em funo da presso em geral o primeiro
dado que se examina quando se considera uma bomba para uma dada aplicao. A velocidade
de bombeamento nominal definida como velocidade correspondente ao mximo da curva.
Para as curvas da figura 14, a velocidade nominal das bombas de aproximadamente 18 m3/h.
Nas bombas rotativas de palhetas a corrente molecular Q (torr.l/s) aproximadamente
proporcional a presso de entrada da bomba. Para aumentar este parmetro temos duas
alternativas: usar uma bomba de capacidade maior ou usar uma segunda bomba entre a

cmara e a bomba rotativa. Em muitos casos a segunda opo a escolha mais econmica. A
bomba projetada para este propsito a bomba Roots.
Figura 15 : Ilustrao do principio de funcionamento da bomba rotativa Roots

Figura 16 : Taxa de Compresso vs. presso de entrada da bomba Roots

As bombas Roots so bombas de transferncia com dois rotores em forma de 8,
paralelos que giram sincronamente em sentidos opostos dentro de um estator, conforme
mostrado na figura 15. Durante o movimento, um pequeno espaamento constante menor que
0.1 mm mantido em relao a cada um dos rotores e a superfcie do estator. Como no h
contato (selagem mecnica entre as superfcies), a taxa de compresso destas bombas baixa
sendo dependente da presso, geralmente da ordem de 30:1, como mostra a figura 16. Mas
como os rotores podem girar em altas velocidades (3000 - 3500 rpm) sem produo de calor
devido ao atrito, favorece a produo de rpidos deslocamentos de gs, ou seja, altas
velocidades de bombeamento para bombas de dimenses relativamente compactas. Como a
Roots comprime o gs e compresso produz calor, h o aquecimento dos rotores e estator. Se
este calor for excessivo, pode ocorrer, devido a expanso trmica, contato entre os rotores,
danificando a bomba. Devido a isso, as bombas Roots so usualmente operadas em srie com
as bombas rotativas que tenham aproximadamente 1/10 da velocidade das Roots.
Bombas Difusoras
As bombas para a regio de alto vcuo utilizadas nos processos de fabricao de
microeletrnica pertencem a duas categorias: as bombas que bombeam o gs por
transferncia de momentum para as molculas gasosas e as bombas por aprisionamento das
molculas gasosas. Dentre estes, as bombas da primeira categoria tm sido preferidos para o
bombeamento de gases corrosivos e/ou txicos, ou quando bombeamos elevados fluxos de
gases. Enquanto que os de aprisionamento so empregados para o bombeamento de fluxos
pequenos de gases inertes ou quando bombeamos a cmara para o pr-processamento. Os
dois tipos de bombas mais populares de transferncia de momentum, so as bombas de
difuso e as bombas turbomoleculares.
.

Figura 17 : Diagrama esquemtico do princpio de funcionamento da bomba difusora

As bombas difusoras so simples e robustas
A figura 17 ilustra o principio de funcionamento de uma bomba difusora. Um aquecedor
eltrico ajustado na base do corpo da bomba, aquece o fludo (leo) a uma temperatura tal que

ocorra a formao de vapor. O vapor de leo sobe pelo tubo de vapor e ejetado atravs de
uma abertura anular estreita no topo do tubo, em direo parte inferior da bomba. Devido a
uma diferena de presso relativamente grande entre as regies interna e externa do tubo, o
jato de vapor ejetado a uma velocidade muito alta (supersnica). Estes vapores colidem com
as paredes refrigeradas da bomba, que condensam e escorrem de volta para o reservatrio de
fludo. Os gases so bombeados pela transferncia de momentum entre o jato de vapor e as
molculas do gs, mas estas tambm podem ser transportadas diludas no vapor. Como as
molculas do fludo tem peso elevado, elas transferem eficientemente momentum s molculas
do gs a ser bombeado, impulsionando-as para a parte de baixo, onde existe a sada
conectada a uma bomba de apoio. Como em outros tipos de bombas, as bombas de difuso,
necessitam de uma bomba de apoio para operar, geralmente uma bomba rotativa de palhetas.
As bombas difusoras possibilitam obter taxas de compresso da ordem de 108. Estas
bombas tm uma velocidade de bombeamento bastante elevada se a presso de entrada
estiver em regime de fluxo molecular.

Figura 17 : Bomba difusora de mltiplo estgio com armadilha(trap) na parte superior

A grande maioria das bombas de difuso empregadas tem vrias aberturas de ejeo
de fludo e so chamadas de bombas multiestgio. A figura 17 ilustra uma bomba com trs
estgios(ejetores) e alguns acessrios. A cmara a ser bombeada conectada no flange
superior e a bomba de apoio acoplada no flange inferior(foreline). Um problema inerente as
bombas de difusoras a perda de fludo cujo vapor se difunde para fora da bomba. A perda
atravs do tubo de sada pode ser diminuda usando srie de placas refrigeradas(baffle), que
re-condensam o fludo, devolvendo-o ao reservatrio. A perda atravs do topo da bomba pode
ter conseqncias mais srias uma vez que o vapor de leo pode migrar para o sistema de
vcuo(backstream), contaminando a cmara de vcuo e o processo de fabricao. Este
problema pode ser evitado em grande parte pela utilizao de um dispositivo chamado de
"armadilhas" (traps), com superfcies frias muito eficientes para reter o vapor de fludo. A
primeira dessas armadilhas(baffle) projetada de tal forma que as molculas de gs ou vapor
no atravesse sem colidir pelo menos uma vez com a superfcie da placa. As molculas de

vapor que cruzam esta armadilha, tero chance de serem capturadas na segunda
armadilha(cold trap) resfriada baixa temperatura, com nitrognio lquido.
Bombas Turbomoleculares
A bomba turbomolecular uma bomba do tipo compresso que funciona de forma
similar a bomba difusora. A diferena de que ao em vez da transferncia de momentum por
colises com jato de vapor ejetado a alta velocidade, no caso da bomba turbomolecular, o
momentum transferido por impacto das molculas com as palhetas que giram em alta
velocidade. Uma bomba turbomolecular moderna, conforme mostrada na figura 18a, apresenta
uma estrutura semelhante a uma turbina de avio a jato. Vrios sistemas de palhetas so
presos a um mesmo eixo impulsionado por um motor de alta rotao (rotor). Este sistema
movimenta a uma velocidade extremamente alta, maior do que 20 000 rpm. Um outro sistema
de palhetas est preso carcaa da bomba (estator). O espaamento entre o estator(palhetas
fixas) e rotor(palhetas mveis) da ordem de 1 mm.

Figura 18a : Ilustrao de uma bomba turbo molecular - Corte longitudinal.

As bombas turbomoleculares sempre necessitam de uma bomba de apoio, geralmente

uma bomba rotativa de palhetas, que conectado no lado da alta presso, visto que a presso
de sada deve ser mantida a baixa presso. Como a transferncia de momentum depende da
massa da molcula gasosa, a taxa de compresso tambm depende do gs a ser bombeado.
A taxa de compresso das bombas turbomoleculares podem chegar a 109. A figura 18b mostra
o comportamento da velocidade de bombeamento e da taxa de compresso de uma bomba
turbomolecular tpica, em funo da presso de entrada, para vrios gases. Uma bomba tpica
que tenha taxa de compresso de 109 para N2, ter uma taxa de compresso de 103 para H2.

Figura 18b : Velocidade de bombeamento e taxa de compresso de uma bomba

turbomolecular tpica em funo da presso de entrada

Medidores de Presso
Regio da tecnologia de vcuo: estende a cerca de 19 ordens
de grandezas abaixo da presso atmosfrica, isto ,
aproximadamente 10-16 torr.
No existe medidores para medir intervalos to grandes.
Na prtica, existem vrios medidores para diferentes regies.
Conforme mostra a figura abaixo, cada tipo de medidor sensvel a
variao de presso numa regio especfica.

Regio de presso dos medidores de vcuo

Quando vamos escolher um medidor para um determinado
propsito devemos levar em considerao:
- a regio de presso para o qual o medidor desejado;
- se queremos medir a presso total ou parcial;
- se a leitura do medidor pode ser dependente do tipo de gs ou
no;
- a preciso da medida desejada e tipo de montagem.

Medidores Bordon

Medidor Bordon
O medidor Bordon consiste basicamente de um tubo flexvel
recurvado. Uma das extremidades do tubo ligada ao sistema de
vcuo e a outra selada. Quando h uma mudana de presso no
interior do tubo, a sua curvatura se modifica, o que causa uma
mudana da indicao do ponteiro.

Medidor de Diafragma
Principio: a presso causa uma deformao no diafragma.
O movimento de deformao do diafragma, desloca o ponteiro que
se move sobre uma escala calibrada.
As escalas dos medidores Bordon e Diafragma independem do gs.
So calibrados nos intervalos de 0 - 25; 0 - 50; 0 - 125 e 0 - 1000
mbar. Preciso : 5%.

Medidores de Membrana Capacitiva - Baratron

Medidor de Membrana Capacitiva (Barocel)

Um medidor de membrana consiste basicamente de uma
placa sensora (um lado de um capacitor plano) isolada do meio por
uma membrana sensvel.
A variao de presso exercida pelo meio na membrana,
provoca uma deflexo desta em relao placa sensora.
Se mantermos o dieltrico constante, teremos uma variao
da capacitncia proporcional presso exercida sobre a membrana.

O circuito eletrnico bsico usado para a medida da variao

da capacitncia, um oscilador "LC" onde um dos capacitores o
prprio elemento sensor. Assim, pela variao da capacitncia
deste, teremos uma variao da freqncia do oscilador, que
convertida em tenso.
O medidor mede desde a presso atmosfrica at 10-6 mbar,
com a preciso de 0.05 - 3 %.
Vantagens: robustez, vida til longa, maior sensibilidade,
maior faixa de operao, e pode ser utilizado em temperaturas
elevadas e em ambientes altamente corrosivos.

Medidor de Condutividade Trmica (Pirani)

O principio de funcionamento de um medidor de vcuo tipo
Pirani o da condutividade trmica dos gases.
Um filamento aquecido por uma corrente eltrica na
atmosfera do gs cuja presso se quer medir. Devido a presena do
gs, o filamento ir dissipar energia trmica por conduo. A
dissipao ser tanto maior quanto maior for a presso.
Consequentemente, a temperatura do filamento uma funo da
presso (T P), decrescendo monotonicamente com a mesma.

a) circuito para o medidor Pirani; b) cabea do medidor; (1)

filamento; (2) suporte do filamento; (3) capa (envelope)

O sensor de um medidor Pirani consiste de um tubo contendo

o filamento e se acopla ao sistema de vcuo.
No esquema do circuito eltrico de medio associado ao
sensor, o filamento Rf constitui um dos braos da ponte de
Wheatstone. Os outros braos so R2, R3 e R4.
R2 um resistor idntico a Rf encapsulado a vcuo dentro de
um tubo de vidro. Esse tubo colocado em posio adjacente a Rf
de modo a compensar flutuaes de voltagem na ponte devida as
variaes de temperatura na regio onde se instala o sensor. R3 e
R4 so resistores variveis.
Uma maneira de se medir Rf (e consequentemente determinar
P, quando se conhece a curva de calibrao), ajustar os valores
de R3 e R4 de modo a zerar a corrente do galvanmetro G. Nesse
caso:

Rf = R2 x R3/R4
Como a condutividade trmica varia conforme o gs, implica
em curvas de calibrao distintas para diferentes gases.
Quanto menor for a condutividade trmica de um gs, menor
ser a temperatura do filamento para um mesmo valor de P.

De um modo geral a escala de um medidor Pirani calibrada

para nitrognio. A curva de calibrao de um medidor Pirani no
PxT, mas P em funo da resistncia eltrica R do filamento.

Esses dois grficos so na realidade equivalentes, uma vez

que a resistncia eltrica de um condutor uma funo da sua
temperatura.

Componentes e Acessrios de Sistemas de Vcuo

Armadilhas(traps)

Armadilha de nitrognio lquido. (1) - nitrognio lquido; (2)

- local de gradiente trmico; (3) - anteparo(baffle) refrigerado
a gua

Seo transversal de uma armadilha de nitrognio (trap)

Vlvulas

Vlvula de Isolao tipo fole

Vlvula tipo borboleta (1/4 de volta)

Vlvula agulha para controle de entrada de gs na cmara

Flanges, Anis de Vedao, Selagem e Ligao de componentes

Componentes diversos de vcuo

Dois tipos de selagem com o'ring para vcuo mdio e flange

Conflat para selagem de sistemas auto vcuo

O'rings de viton - usado para vedao at alto vcuo. P > 10-7 torr
apresenta vazamentos.
Flange "conflat" com anel de Cu e CuAg, usado para alto e ultra alto
vcuo.

Ligao de duas componentes tubular e grampo tipo

dobradia em vrios estgios de funcionamento