EN3827

Engenharia de Filmes Finos

1 Quadr. 2013
Prof. Mrcia T. Escote


Lista de Exerccios 1

1) Liste pelo menos 5 aplicaes de filmes finos. Para cada aplicao, listes as propriedades
necessrias para o filme ser funcional nesta aplicao.
2) Uma clula solar fabricada pela difuso de fsforo (n dopante) em uma fonte constante de
superfcie de 1020 tomos/cm3 em um wafer de Si tipo-p contendo 1016 tomos/ cm3 de boro. A
difusividade do fsforo de 10-12 cm2/s, e o tempo de difuso de 1 hora. Quo longe da superfcie
a profundidade de juno, ou seja, onde Cn = Cp?
3)
Descreva o processo e todos os parmetros envolvidos no processo de evaporao trmica.
4)
Duas fontes de evaporao de pequena rea esto separadas por 100 cm de distncia e a 50
cm abaixo um substrato planar. A linha entre as fontes paralela do plano do substrato.
Uma fonte evapora o material A, enquanto a segunda fonte evapora o material B. Suponha que a
presso de vapor de A 10 vezes maior do que a de B com temperatura de evaporao de 1300 K.
(a) A que distncia ao longo do substrato o filme ter composio de 60% A e 40% B?
(b) Se a presso de vapor de A 15 vezes maior do que B, a uma temperatura de evaporao de
1500K, qual a diferena entre os calores de vaporizao para A e B?
5)
O nvel de metal fundido em um cadinho que se comporta como uma fonte de evaporao
de superfcie inicialmente uma distncia h de uma superfcie do substrato planar. Durante a
deposio o nvel do metal recua uma distncia h. Derive uma expresso para a mudana fracional
na espessura do filme, em qualquer ponto ao longo do substrato em funo do h/ h