Você está na página 1de 2

Untukmengetahuimorfologisenyawapadatatandankomposisiunsuryangterdapatdalamsuatu

senyawadapatdigunakanalatscanningelectronmicroscope(SEM).ScanningElectron
Microscopeadalahsuatutipemikroskopelectronyangmenggambarkanpermukaansampel
melaluiprosesscandenganmenggunakanpancaranenergyyangtinggidarielectrondalamsuatu
polascanraster.Elektronberinteraksidenganatomatomyangakanmembuatsampel
menghasilkansinyaldanmemberikaninformasimengenaipermukaantopografisampel,
komposisidansifatsifatlainnyasepertikonduktivitaslistrik.
TipesinyalyangdihasilkanolehSEMdapatmeliputielektronsekunder,sinarXkarakteristik
dancahaya(katodaluminisens).Sinyaltersebutdatangdarihamburanelektronpermukaanunsur
yangberintaraksidenganspecimen.Semmenghasilkangambardenganresolusiyangtinggidari
suatupermukaansampel,menangkapsecaralengkapdenganukuransekitar15nm.SEMdapat
menghasilkankarakteristikbentuk3dimensisehinggamampumemberikandatayanglebih
mudahtentangsampleyangdianalisa.AgarmenghasilkangambaryangdiinginkanmakaSEM
mempunyasebuahlebarfocus25250.000kali.
Cara kerja SEM yaitu sebuah elektron diemisikan dari katoda tungsten dan diarahkan kesuatu
anoda. Tungsten digunakan karena mempunyai titik lebur yang paling tinggi dan tekanan uap
paling rendah dari semua jenis logam, sehingga dapat dipanaskan untuk keperluan pemancaran
elektron. Berkas elektron yang memiliki beberapa ratus eV dipusatkan oleh satu atau dua lensa
kondeser kedalam suatu berkas cahaya dengan spot 1 nm sampai 5 nm. Berkas cahaya
dipancarkan melalui sepasang coil scan pada lensa obyektif yang dapat membelokkan berkas
cahaya secara horizontal dan vertikal sehingga membentuk daerah permukaan sampel persegi
empat.
Ketika berkas elektron utama saling berinteraksi dengan sampel, maka elektron kehilangan
energi oleh penyebaran berulang dan penyerapan dengan setetes volume spesimen yang dikenal
sebagai volume interaksi yang meluas kurang dari 100 nm sampai sekitar 5 nm pada permukaan.
Ukuran dari volume interaksi tergantung pada berkas cahaya yang mempercepat tegangan,
nomor atom spesimen dan kepadata spesimen. Energi berubah diantara berkas elektron dan hasil
sampel hasil pada emisi elektron dan sampel hasil pada emisi elektron dan radiasi elektromagnet
yang dapat dideteksi untuk menghasilkan suatu gambar.

SEM dapat Mengamati struktur maupun bentuk permukaan yang berskalah lebih halus,
Dilengkapi Dengan EDS (Electron Dispersive X ray Spectroscopy) dan Dapat mendeteksi
unsure-unsur dalam material. Pada pengambilan data dengan alat SEM-EDX, sampel bubuk
yang telah diletakkan di atas specimen holder dimasukkan kedalam specimen chamberdengan
tingkatkevakumanyangtinggiyaitusekitar2x106Trorr. kemudian dimasukkan dalam alat
SEM-EDX dan alat siap untuk dioperasikan.

Dalam pengukuran SEMEDX untuk setiap sampel dianalisis dengan menggunakan


analisis area. Sinar electron yang di hasilkan dari area gun dialirkan hingga mengenai sampel.
Aliran sinar electron ini selanjutnya di fokuskan menggunakan electron optic columb sebelum
sinar electron tersebut membentuk atau mengenai sampel. Setelah sinar electron membentuk
sampel, akan terjadi beberapa interaksi pada sampel yang disinari. Interaksi interaksi pada
sampel yang disinari. Interaksi interaksi yang terjadi tersebut selanjutnya akan dideteksi dan di
ubah ke dalam sebuah gambar oleh analisis SEM dan juga dalam bentuk grafik oleh analisis
EDX.

Você também pode gostar