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  • طراحی اجزای سیستم های الکترو مکانیکی

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    1

    sensor
    processor
    3
    actuator
    4
    chip
    5
    )Micro Electro Mechanical System (MEMS
    2

    .

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    akbari@sharif.edu
    masoudinejad@mech.sharif.edu

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