Mikro-Elektro-Mekanik Sistemler

(MEMS)

Y.Doç.Dr. Tayfun AKIN

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

 Micro-Electro-Mechanical Systems
(MEMS)

+ =
Micromachining
Microelectronics
MEMS
ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.
ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.
 MEMS’in Avantajlarõ

! Gelişmiş yarõiletken teknolojisi

! Seri üretim (batch fabrication)
! Ucuz
! Küçük, hafif
! Elektronik devre ile beraber

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

 Yeni Terminilojiler

! MEMS (ABD)
! MicroSystems Technology (MST) (Avrupa)
! Micromachines (Japonya)
! Silicon Micromachining (Silisyum Mikroişleme)
! Microsensors, microactuators
! Solid-State Sensors

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

 Gövde Mikroişleme (Bulk Micromachining)
Circuits 1-20µm

Deep Boron Diffusion

250-500µm
Silicon
Substrate
(a)

Active Devices
Dielectrics

4-40µm
Circuits epi layer

Boron Buried Layer

250-500µm

(b)

Active Devices

2-40µm
Circuits epi layer

p-n Junction 250-500µm

Electrochemical
Etch-Stop
(c)

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

 Yüzey Mikroişleme
(Surface Micromachining)

Support Microstructure Free-Standing Undercut

Anchor Material Microstructure

Sacrificial
Layer
Silicon Substrate Silicon Substrate

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.
ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.
 Honeywell Soğutmasõz
Kõzõlötesi Dedektörü (320x240)
Kõzõlötesi Işõnõm
Birim Eleman Köprü

50µm

Odak Düzlem Matrisi

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

 Elektrokaplama (Electroplating)

Polymer Mold
Sacrificial Layer

Thick Plated
Substrate Substrate Microstructure

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

 LIGA Teknolojisi

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.
ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.
ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.
ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.
 İvme Sensörü Uygulamasõ

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

 Jiroskop Uygulamalarõ
Conventional MEMS
Inertial Measurement Unit

Mass : 1587.5 grams 10 grams

Size : 15 cm x 8 cm x 5 cm 2 cm x 2 cm x 2 cm
Power : 35 W ~1 mW
Survivability : 35 g’s 100K g’s
Cost : $20,000 $500

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

 MİKROİŞLENMİŞ JİROSKOP
The University of Michigan ve General Motors

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

 ÇİFT TİTREŞİM MODLU
ÇEMBER YAPILI JİROSKOP
Minimum ölçülebilir açõsal hõz: 9°/saat

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

 Inertial Sistem Pazarõ
3500

3000

2500 Military
$ Value (Millions)

Commercial
2000

1500

1000

500

0
1995 1996 1997 1998 1999 2000
Year

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

 Dünya MEMS Pazarõ
Projected Growth of Worldwide MEMS Market
16
Optical Pressure Market Segments
14 Sw ithching Sensors in 2000
21% 25%
Mass Data
12
Storage
10 6%
Sales ($B)

Fluid
8 Inertial Regulation
Sensors Other and Control
6 20% 9% 19%

0
1993 1994 1995 1996 1997 1998 1999 2000
Year

2002 Yõlõ Beklentisi: $34 milyar ürün, $96 milyar sistem

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.
 MEMS Ürünü Olan Şirketler
! Honeywell, Motorola,
! Hewlett-Packard, Analog Devices
! Siemens, Hitachi
! Vaisala, Texas Instruments
! Hughes, Lucas NovaSensors
! EG&G-IC Sensors,Nippon Denso
! Xerox, Delco, Rockwell

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

 Kore
Hollanda Üniversiteler/Federal
Laboratuvarlar
İsveç
Şirketler
İsviçre Küçük Şirketler
Fransa
İngiltere
Almanya
Japonya
Amerika

0 20 40 60 80 100 120 140

Organizasyon Sayõsõ

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

 Dünya’da MEMS Yatõrõmlarõ
(1995 yõlõ değerleri, Milyon Dolar)

! ABD Hükümet Yatõrõmõ = $35/yõl

! ABD Endüstri Yatõrõmõ = $120/yõl
! Japonya Hükümet Yatõrõmõ = $30/yõl
! Japonya Endüstri Yatõrõmõ = $50/yõl
! Avrupa Hükümet Yatõrõmlarõ = $40/yõl

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

 ODTÜ’de Mevcut Çalõşmalar
! Ulusal projeler
! Henüz Desteklenen Proje Yok
! Başvurular Var
! Genel Kurmay, KKK, MSB ArGe, ASELSAN

! Uluslararasõ projeler
! NATO SfS TU-MICROSYSTEMS (350,000 USD)
! National Science Foundation (30,000 USD)

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

 NATO SfS TU-MICROSYSTEMS
Proje Yürütücüsü: Tayfun Akõn
TÜBİTAK-BİLTEN ve ODTÜ

! CMOS PtSi Kõzõlötesi Dedektör (T. Akõn)

! IMEC, Belçika; ASELSAN

! InSb Kõzõlötesi Dedektör (C. Beşikçi)

! Northwestern University; ASELSAN

! Silisyum basõnç sensörü (T. Akõn)

! The University of Michigan; ELİMKO

! Isõlküme tipi kõzõlötesi dedektör (T. Akõn)

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.
 Kapasitif Basõnç Sensörü
! Endüstriyel Uygulamalar İçin
silisyum

metal
cam

! Biyomedikal Uygulamalar İçin

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

 Üretim Aşamalarõ (1)
Silisyum Kõsmõ

P++

Silisyum
(a) (c)

P++

(b) (d)

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

 Üretim Aşamalarõ (2)
Cam Kõsmõ

(a) Cam

(b)

(c)

(d)

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

 Üretim Aşamalarõ (3)

~1000 V

~ 300-400 ºC

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

 12 Sensörün Serimi

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

 Sensör Boyutlarõ

8.6 mm

11.7 mm

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

 Isılçift Isılküme
(Thermocouple) (Thermopile)

T1 T1

T0 T0

+ - + -
V1 V2=4.V1
ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.
 Yeni Isılküme Yapısı
p+-difüzyon/n-polisilisyum
Avantajlarõ
Oksit "n-polisilisyum ve p+-difüzyon
katmanlarõnõn yüksek õsõl voltaj
katsayõlarõ
"İmalat kolaylõğõ
"Düşük maliyet

p+ metal n-polisilisyum
Aşõndõrõlmõş bölge
Dezavantajlarõ
p-taban #Aşõndõrmayõ p+-difüzyonda
durdurma zorluğu

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

 metal-1 n-polisilisyum

p+ p+
n-kuyu

p-taban

p+ p+
(a) n-kuyu

p-taban

p+ p+
n-kuyu

p-taban

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

 Isılküme Tipi Kızılötesi Dedektör
320 µm

185 µm
ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.
 ODTÜ’de CMOS ile Soğutmasõz
Kõzõlötesi Dedektör Çalõşmasõ

n+ n+
n-kuyu

p-taban

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

 Sensör ve devre beraber

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

 IMEC Soğutmasõz Kõzõlötesi
Dedektör

! poliSi0.7Ge0.3 alaşõmõ
! 20µm x 20µm
! 640 x 480

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

 ODTÜ’de MEMS Grubu
! Orhan Akar, Yüksek Lisans, Doktora öğrencisi
! Selim Eminoğlu, Doktora öğrencisi
! Deniz Sabuncuoğlu, Doktora öğrencisi
! IMEC, Belçika, Soğutmasõz IR Dedektör
! Haluk Külah, MS
! The University of Michigan, İvme Sensörü
! Zeynel Olgun, MS
! Said Emre Alper, Yüksek Lisans, Jiroskop

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

 MEMS
! Küçük, Ucuz, Hassas, Fonksiyonel
! Elektronik Devre İle Birlikte

“Many scientists and engineers believe that

MEMS devices may have as profound an impact
on everyday life as did the microchip”

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.

 US Department of Defence’in
Hazõrladõğõ MEMS Raporu

www.eee.metu.edu.tr/~tayfuna

ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİ ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜH. BÖL.