Escolar Documentos
Profissional Documentos
Cultura Documentos
Anisotropi Magnetik Film Tipis TiO2:Co yang Ditumbuhkan dengan Teknik MOCVD
Abstrak
Film tipis TiO2:Co telah berhasil ditumbuhkan dengan teknik MOCVD. Prekursor yang digunakan adalah titanium
(IV) isopropoxide [Ti(OCH(CH3)2)4] 99,99% dan tris (2,2,6,6-tetramethyl-3, 5-heptanedionato) cobalt (III), 99%,
serta gas oksigen sebagai sumber O. Berbagai variasi paramater penumbuhan digunakan. Karakterisasi film tipis
yang dihasilkan mencakup: struktur kristal film dengan menggunakan X-Ray diffractometer (XRD), ketebalan dan
morfologi penampang lintang film dengan potret scanning electron microscope (SEM), dan sifat magnetik film
dengan suatu sistem vibrating sample magnetometer (VSM). Karakteristik anisotropi magnetik film tipis TiO2:Co
yang dihasilkan sangat bergantung pada temperatur penumbuhan. Film tipis yang tumbuh pada temperatur 400°C
menghasilkan konstanta anisotropi K=40000 Oe.emu/cm3 dan disusun oleh butiran dengan bidang kristal anatase-
213. Film tipis yang tumbuh pada temperatur 450°C tidak mengubah struktur kristal butiran, namun memiliki
konstanta anisotopi yang lebih tinggi, K = 95000 Oe.emu/cm3. Film tipis yang tumbuh pada temperatur 500°C
menghasilkan konstanta anisotropi K=72000 Oe.emu/cm3 dan film disusun oleh suatu butiran tambahan yang
memiliki bidang kristal anatase-301. Sementara film tipis yang tumbuh pada temperatur 550°C menghasilkan
konstanta anisotropi K = 103600 Oe.emu/cm3 dengan butiran tambahan TiCoO3. Film tipis yang tumbuh memiliki
tebal sekitar 0,7-0,9 µm.
Kata kunci : Anisotropi magnetik, MOCVD, TiO2:Co.
Abstract
TiO2:Co thin films have been successfully deposited by using MOCVD technique. The titanium (IV) isopropoxide
[Ti(OCH(CH3)2)4] 99,99%, tris (2,2,6,6-tetramethyl-3, 5-heptanedionato) cobalt (III) 99%, and oxygen gas (O2)
were used as Ti, Co, and O precursors, respectively. Crystal structure, morphology and magnetic properties of thin
films were investigated by X-ray diffractometer (XRD), scanning electron microscope (SEM), and vibrating sample
magnetometer (VSM), respectively. The magnetic anisotropy (K) of thin films was very strong depended on the
growth temperatures. The thin film grown at temperature of 400°C has anatase-213 structure and K value of 40000
Oe.emu/cm3. At the growth temperature of 450°C, the thin films were has still anatase-213 and K value of 95000
Oe.emu/cm3. At growth temperature of 500°C, the thin films have K value of 72000 Oe.emu/cm3. The crystal
structure of films was changed with an additional plane of anatase-301. The thin film grown at temperature of
550°C has K value of 103600 Oe.emu/cm3. The structure of thin film was polycrystalline, mixed by anatase-213,
rutile-220 and TiCoO3 (310) phase. All of films have thickness of about 0,7-0,9 µm.
Keywords: Anisotropy magnetic, MOCVD, TiO2:Co.
1. Pendahuluan deposition (PLD)4-5) dan sputtering6). Penumbuhan
dengan teknik PLD, spray pyrolysis dan sputtering
Perkembangan teknologi spin-elektronik
rata-rata menghasilkan kluster-kluster logam Co yang
(spintronik) mengalami kemajuan yang signifikan
berukuran beberapa puluh nanometer yang tersebar di
setelah material film tipis semikonduktor TiO2 yang
antara kristal TiO2 dan di permukaan film. Kluster-
didadah dengan elemen magnetik Co (TiO2:Co)
kluster tersebut menghasilkan pulau-pulau yang
ditemukan bersifat feromagnetik di atas temperatur
berkonduktivitas tinggi yang tidak diharapkan. Film
ruang1). Penemuan tersebut memperluas penerapan
yang dihasilkan dengan teknik penumbuhan PLD
divais spintronik dalam bidang semikonduktor.
pada tekanan parsial oksigen yang tinggi (PO2 > 10-6
Selanjutnya, penelitian terhadap material film tipis
Torr) tidak menunjukkan adanya magnetisasi.
TiO2:Co mendapat banyak perhatian,2-7) meliputi
Sementara, penumbuhan pada tekanan parsial
teknik penumbuhan dan analisis sifat fisis film. Dari
oksigen yang lebih rendah menghasilkan kekosongan
beberapa hasil yang didapatkan menunjukkan bahwa
oksigen yang tinggi yang menyebabkan
sifat fisis film tipis TiO2:Co sangat bergantung pada
bertambahnya resistivitas. Penumbuhan dengan
teknik dan kondisi penumbuhan1-6).
teknik MBE dapat menghasilkan film tanpa kluster
Film tipis TiO2:Co telah ditumbuhkan
pada tekanan yang rendah, namun respon
dengan beberapa teknik, seperti: molecular beam
magnetisasinya sangat lemah. Pencarian terhadap
epitaxy (MBE)2), spray pyrolysis3), pulsed laser
suatu teknik penumbuhan yang dapat menghasilkan
107
108 JMS Vol. 10 No. 4, Desember 2005
film tipis TiO2:Co berkualitas baik dengan sifat fisis 3. Hasil dan Diskusi
yang terkontrol terus dilakukan.
Respon magnetik dari suatu bahan kristal
Makalah ini menjelaskan penumbuhan film
feromagnetik bergantung pada arah sumbu kristalnya,
tipis TiO2:Co dengan teknik metalorganic chemical
sehingga bahan feromagnetik disebut bersifat
vapor deposition (MOCVD). Selanjutnya dibahas
anisotropik7). Sifat anisotropi dapat juga dibangkitkan
sifat fisis film, yakni struktur kristal, ukuran butiran
oleh bentuk (shape) kristal dan distribusi regangan
dan hubungannya dengan sifat anisotropi magnetik
(strain) yang terdapat di dalam kristal8). Bahan
sifat transpot listrik dan optik.
feromagnetik memiliki arah sumbu mudah (easy
2. Eksperimen axis) yaitu suatu arah dimana dipol-dipol magnetik
relatif mudah dimagnetisasi dan arah sumbu
Film tipis TiO2:Co ditumbuhkan di atas subtrat
susah/sulit (hard axis) yaitu suatu arah dimana dipol-
Si(100) dengan teknik MOCVD. Sebelum digunakan,
dipol magnetik sulit untuk dimagnetisasi. Sifat
substrat Si(100) dicuci dengan aseton selama 5 menit,
anisotropi bahan feromagnetik merupakan suatu
kemudian dengan methanol selama 5 menit dan
ukuran dari besarnya gaya koersif magnetik
diakhiri dengan 10% HF dicampur dengan air (de-
maksimumnya. Besar gaya koersif maksimum ini
ionized water) selama 2 menit. Pencucian dengan
dapat diketahui melalui suatu analisis hasil kurva
aseton dan metanol adalah untuk menghilangkan zat-
histeresis dengan menggunakan suatu perumusan
zat organik yang menempel di permukaan substrat,
seperti yang dinyatakan oleh persamaan (1)7):
sementara HF yang dicampur dengan air adalah
untuk mengikis lapisan silika (SiO2) yang mungkin
terjadi di permukaan substrat akibat proses oksidasi H c = 2K / M s (1)
selama berada pada udara bebas. Selanjutnya substrat
disemprot dengan gas N2 dengan tingkat kemurnian dengan K adalah konstanta anisotropi, Hc adalah
99,9%. Substrat ditempel dengan suatu pasta perak kuat medan magnetik koersif maksimum, yang
yang konduktif terhadap panas di permukaan plat dinyatakan oleh titik potong kurva histeresis terhadap
pemanas di dalam ruang penumbuhan. sumbu H dan Ms adalah besar magnetitasi pada saat
Prekursor metalorganik yang digunakan adalah saturasi.
titanium (IV) isopropoxide [Ti(OCH(CH3)2)4] Film tipis TiO2:Co adalah bahan
99,99% yang berbentuk cair pada temperatur ruang feromagnetik1). Struktur kristal, bentuk kristal dan
dengan titik leleh 20oC (Sigma Aldrich Chemical Co., distribusi tegangan di dalamnya bergantung pada
Inc.) dan tris (2,2,6,6-tetramethyl-3, 5- teknik dan kondisi penumbuhan5). Telah
heptanedionato) cobalt (III), 99%, Co(TMHD)3 ditumbuhkan film tipis TiO2:Co di atas subtrat
(Strem Chemical, Inc.) serta gas oksigen sebagai Si(100) dengan menggunakan teknik MOCVD.
sumber O. Co(TMHD)3 berbentuk serbuk. Bahan ini Struktur kristal butiran penyusun film dan bentuknya
dilarutkan ke dalam pelarut tetrahydrofuran (THF, sangat bergantung pada temperatur penumbuhan.
C4H8O) dengan konsentrasi 0,2 mol per liter. Hasil Gambar 1 menunjukkan pola XRD dan potret SEM
larutan dan juga bahan cair Ti(OCH(CH3)2)4 penampang lintang film tipis TiO2:Co yang
kemudian dicampur dengan perbandingan 1:5 dan ditumbuhkan pada temperatur 400oC selama 120
dimasukkan ke dalam suatu bubbler yang telah menit dengan aliran gas O2 = 60 sccm dan Ar = 100
terhubung dengan suatu sistem perpipaan ke ruang sccm.
penumbuhan. Untuk menguapkan bahan prekursor,
bubbler dipanaskan dengan suatu plat pemanas pada
temperatur uapnya. Uap dialirkan ke ruang
penumbuhan dengan menggunakan gas argon (Ar)
sebagai gas pembawa. Untuk mensuplai oksigen, gas
O2 dialirkan ke ruang penumbuhan. Tekanan uap di
dalam bubbler dikendalikan melalui suatu katup
pengendali. Bersamaan dengan proses pemanasan
bubbler, ruang penumbuhan divakumkan sampai ke
tekanan 1x10-2 Torr dan subtrat yang terletak di
Gambar 1. Pola XRD (a) dan potret SEM
dalamnya dipanaskan sampai pada temperatur
penumbuhan yang dibutuhkan. penampang lintang (b) film tipis TiO2:Co yang
Struktur kristal film ditentukan dari hasil ditumbuhkan pada temperatur 400oC.
pola X-ray diffraction (XRD) dengan menggunakan Film tumbuh membentuk bidang tunggal
radiasi Cu Kα (λ=1,54056Å) (Philips PW3710). anatase-213 (A213) dan memiliki ketebalan sekitar
Ketebalan dan morfologi penampang lintang film 0,7 µm. Film tersusun dari butiran kristal yang
dianalisa dari hasil potret scanning electron memiliki bentuk kolumnar. Batas antar butir belum
microscope (SEM) (JEOL JSM 6360LA) dan sifat terlihat dengan jelas. Hal ini secara tidak langsung
magnetik film diuji dengan vibrating sample menyatakan bahwa hubungan antar butir belum
magnetometer (VSM) (Oxford). terbentuk dengan baik, atom-atom yang terdapat pada
JMS Vol. 10 No. 4, Desember 2005 109
batas butir belum tersusun mengikuti pola induknya. naik, masing-masing adalah 100 Oe dan 1900
Keadaan tersebut dapat dikonfirmasi dari hasil emu/cm3. Nilai Hc yang lebih tinggi menyatakan
intensitas latar belakang difraksi sinar-X (Gambar 1a) bahwa gaya koersif maksimum yang dibutuhkan
yang menunjukkan bahwa masih ada fase amorf di untuk membalik polarisasi dipol-dipol magnetik
dalam film. Fase amorf tersebut terbentuk pada batas bahan, lebih besar. Untuk kasus film tipis yang kurva
antar butir. Kurva histeresisnya, yang diukur pada histeresisnya ditunjukkan pada Gambar 4, dibutuhkan
temperatur ruang, ditunjukkan pada Gambar 2. Nilai medan magnetik luar sebesar 2x100 Oe untuk
Hc dan Ms -nya masing-masing adalah 80 Oe dan menghilangkan magnetisasi yang telah terjadi. Sifat
1000 emu/cm3. Dengan demikian konstanta anisotropi film bertambah. Pertambahan
anisotropinya adalah K = 40000 Oe.emu/cm3. keanisotropian ini disumbangkan lebih besar oleh
gaya dipol magnet yang semakin kuat. Hal ini
ditunjukkan oleh naiknya harga magnetisasi remanen
film (yaitu nilai M di titik potong kurva pada sumbu
M). Perbaikan susunan atom yang terjadi pada batas
butir menghasilkan bentuk butiran yang lebih tegar
(rigid) sehingga memperbesar gaya dipol magnetik.
Harga Hc yang bertambah disebabkan oleh semakin
besarnya gaya tegangan antar atom dari butir yang
bertetangga di batas butir akibat terjadinya proses
pengaturan posisi untuk mengikuti susunan atom
induknya. Konstanta anisotropi film menjadi, K =
95000 Oe.emu/cm3.
Gambar 2. Kurva histeresis magnetisasi film tipis
TiO2:Co pada temperatur ruang (300K) yang
ditumbuhkan pada temperatur 400oC.
Selanjutnya temperatur penumbuhan diubah
ke 450oC, sementara parameter yang lain
dipertahankan tetap. Pengubahan temperatur
penumbuhan akan mempengaruhi kondisi absorbsi,
difusi permukaan dan ikatan kimia dari atom-atom
prekursor pada permukaan subtrat yang pada
akhirnya mempengaruhi bentuk dan atau struktur
kristal butiran. Pola XRD dan potret SEM
penampang lintang film ditunjukkan pada Gambar 3.
Terjadi suatu perubahan pada bentuk penampang
lintang. Butiran yang berbentuk kolumnar dengan Gambar 4. Kurva histeresis magnetisasi film tipis
batas butir yang sangat jelas, teramati. Penumbuhan TiO2:Co pada temperatur ruang (300K) yang
film tipis TiO2:Co pada temperatur 450oC tidak ditumbuhkan pada temperatur 450oC.
mengubah orientasi kristal butiran (Gambar 3a),
namun dapat memperbaiki fase amorf yang terbentuk
pada batas butir sehingga mempertegas batas antar
butir. Kondisi ini secara tidak langsung ditunjukkan
oleh menurunnya intensitas latar belakang difraksi
pada pola XRD-nya (Gambar 3a).
yang terbentuk di permukaan subtrat (Gambar 5b). dilakukan tidak optimum, sehingga berdampak pada
Peningkatan kerapatan titik-titik nukleasi ini menurunnya nilai Hc.
disebabkan oleh terbangunnya suatu kondisi dimana
daerah-daerah tangkapan (capture zones) di
permukaan subtrat terhadap atom-atom prekursor
semakin bertambah dan padat akibat naiknya
temperatur [9]. Penambahan daerah-daerah
tangkapan tersebut serta tersedianya suplai energi
yang tepat dengan naiknya temperatur penumbuhan,
memberi peluang tumbuhnya butiran yang memiliki
bidang kristal A301.
kluster logam Co di permukaan film, sebagaimana Ahmet, P., Chikyow, T., Koshihara, S., &
dihasilkan oleh peneliti-peneliti lain yang Koinuma, H. “Room-temperature
menggunakan teknik MBE2), sputtering6) dan PLD4-5), ferromagnetism in transparent transition metal-
tidak ditemukan. Selain itu, film tipis yang dihasilkan doped titanium dioxide”, Science 291, 854
pada penelitian ini (gambar 1b, 3b, 5b, dan 7b) (2001).
memperlihatkan suatu struktur permukaan yang 2. Chambers, S.A., Thevuthasan, S., Farrow,
relatif sangat halus sehingga permasalahan kekasaran R.F.C., Marks, R.F., Thiele, J.U., Folks, L.,
permukaan yang dihadapi dengan menggunakan Samant, M.G., Kellock, A.J., Ruzycki, N.,
teknik penumbuhan spray pyrolysis3) dapat diatasi. Ederer, D.L., & Diebold, U. “Epitaxial growth
and properties of ferromagnetic Co-doped TiO2
4. Kesimpulan
anatase”, Appl. Phys. Lett. 79, 3467 (2001).
Film tipis TiO2:Co telah berhasil 3. Manivannan, A., Seehra, M.S., Majumder, S.B.,
ditumbuhkan dengan teknik MOCVD. Bentuk dan & Katiyar, R.S. “Magnetism of Co-doped titania
struktur kristal butiran penyusun film sangat thin films prepared by spray pyrolysis”, Appl.
bergantung pada temperatur penumbuhan. Film yang Phys. Lett. 83, 111 (2003).
tumbuh pada temperatur 450oC memiliki butiran 4. Punnoose, A., Seehra, M.S., Park, W.K., &
yang tegar dengan batas butir yang tegas dan Moodera, J.S. “On the room temperature
menghasilkan gaya dipol magnetik yang besar. Hal ferromagnetism in Co-doped TiO2 films”, J.
yang hampir sama ditunjukkan oleh film yang Appl. Phys., 93, 7867 (2003).
ditumbuhkan pada temperatur 500oC. Film yang 5. Hong, N.H., Sakai, J., Prellier, W., & Hassini, A.
tumbuh pada temperatur 500oC menghasilkan butiran “Co distribution in ferromagnetic rutile Co-
tambahan dengan bidang kristal A301. Kehadiran doped TiO2 thin films grown by laser ablation on
butiran dengan bidang kristal A301 ini menyebabkan silicon substrates”, App. Phys. Lett. 83, 3129
sedikit penurunan pada nilai Hc dan Ms, sehingga (2003).
menurunkan sifat anisotropi film. Film yang tumbuh 6. Han, G.C., Wu, Y.H., Tay, M., Guo, Z.B., Li,
pada temperatur 550oC menghasilkan butiran K.B., & Chong, C.T. “Growth and magnetic
tambahan TiCoO3 dan bersifat dominan. Fase properties of TiO2:Co anatase thin films by
TiCoO3 memperbesar nilai Hc dan menurunkan nilai sputtering technique”, J. Magnetism & Magnetic
Ms. Penambahan nilai Hc sangat signifikan (148 Oe) Mat. 272-276, 1537 (2004).
sehingga menghasilkan sifat anisotropi yang sangat 7. O’Handley, R.C., “Modern Magnetic Materials:
tinggi. Dari beberapa hasil yang didapatkan dengan Principles and Applications”, John Wiley &
berbagai karakteristik seperti yang telah diterangkan Sons, Inc., New York, USA (2000).
di atas, film tipis TiO2:Co yang tumbuh pada 8. Neelakanta, P.S., “Handbook of Electromagnetic
temperatur 450oC dan 500oC memiliki nilai Hc yang Materials: Monolithic and Composite Version
relatif lebih kecil dari yang lain dengan nilai Ms yang and Their Applications”, CRC Press, Florida,
relatif besar sebagaimana diharapkan pada aplikasi USA (1995).
divais spintronik semikonduktor. 9. Sittner, C.E., & Bergauer, A. “Correlations
between island nucleation and grain growth for
Daftar Pustaka polycrystalline films”, Material Research Society
1. Matsumoto, Y., Murakami, M., Shono, T., Proceeding Spring Meeting, 1-6 (2001).
Hasegawa, T., Fukumura, T., Kawasaki, M.,
111