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    Instruction

    fab
    OPI
    MO
    Tool
    MO
    Array8A_Hold_LotSheet1
    Array
    8A_Hold_Lot holdlot

    Sheet1 Data

    1 Database
    2 Tool Copy D
    3 easy on duty
    4 Y
    N

    5 Lot download
    Monitor Lot

    hold lot List array sheet


    Lot ID

    Lot

    log off
    PEP_LVL

    release or hold
    OPER_NO
    OPER_ID
    ROUTE_ID
    TOOL_ID
    In process
    TP Monitor Chart TP OOC
    SPC OOC
    Photo Run Chart
    CDOL spec
    OPI
    history
    rework Lot scanner rework
    sheet1 A1 user
    Y rework
    N

    check result

    process

    Hold
    Hold Etch
    Miss

    check result

    ExampleAA1013 CD spec rework check


    result

    1.

    2.

    HoldLot

    Bug

    Lot ID Lot
    Lot Code

    Monitor
    MO
    \\L8ph\L8P_SCANNER\Monitor lot.xls

    MONITOR

    easy on duty LOT Load arraysheet

    "C:\Documents and
    Settings \XXXXX\Local Settings\Temp"

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