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CAPTULO 3 - TCNICAS DE CARACTERIZAO MECNICA DAS MULTICAMADAS DE TiN/ZrN

CAPTULO 3 - TCNICAS DE CARACTERIZAO MECNICA DAS MULTICAMADAS DE TiN/ZrN

3.1 - INTRODUO

As propriedades mecnicas, trmicas, elctricas, pticas, etc., de um material so determinadas fortemente pelas suas caractersticas fsicas e qumicas das superfcies externas e/ou internas, delimitando assim as potencialidades de aplicao tecnolgica. Face a isto, deve-se estudar profundamente o comportamento de um determinado material oxidao, desgaste, abraso, corroso, etc., dependendo da aplicao associada. Com o advento tecnolgico surgiram aplicaes de tcnicas de caracterizao de propriedades mecnicas de materiais tais como a nano-identao que permite deduzir a dureza, a perfilometria que permite estudar a curvatura dos materiais antes a aps crescimento e da extrapolar as tenses residuais inerentes ao filme, os testes de adeso, entre outros, tudo isto a uma escala submicromtrica. Aliado a este advento, surgiram tcnicas de processamento ptico e digital que permitem visualizar a microestrutura dos materiais, nomeadamente os seus defeitos e resultados de testes mecnicos. Qualidades tais como a morfologia, composio qumica, estrutura cristalina resultante e impurezas ditam as propriedades intrnsecas de um filme fino. Deste modo possvel manipular as condies de deposio na cmara de modo a poder alterar os parmetros de qualidade atrs mencionados; transpondo-se no final para as almejadas aplicaes industriais. essencial o referido controlo j que qualquer desvio das condies preferenciais pode afectar o produto final. Mais concretamente, as propriedades fsicas e microestruturais dos revestimentos na forma de filmes finos so fortemente dependentes dos parmetros de deposio, tais como: taxas e temperaturas de deposio, presso dos gases reactivo e inerte, impurezas, polarizao do substrato, bombardeamento inico, espessura dos filmes [39], etc. Estes factores so decisivos no controle da microestrutura das camadas individuais e interfaces nos filmes, tenses residuais, entre outras. A extraco destes resultados visa aplicar os materiais estudados como, por exemplo: revestimentos de ferramentas de perfurao, polimento e de corte para a indstria. As performances desses materiais dependem no s da dureza do revestimento mas

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essencialmente no compromisso entre a dureza, tenacidade, resistncia ao desgaste do filme e adeso do revestimento ao substrato.

3.2 - ADESO DO REVESTIMENTO AO SUBSTRATO

3.2.1 - Introduo O teste de indentao deslizante (scratch test) possibilita a caracterizao da aderncia do revestimento ao substrato utilizado. A Sociedade Americana para Testes de Materiais (ASTM D 907-70) [40] define adeso como o estado no qual duas superfcies esto ligadas atravs de foras interfaciais que podem por sua vez serem constitudas por foras de valncia ou foras interligantes ou ainda de ambas. Estas foras de ligao podem ser do tipo Van der Waals, electrostticas e/ou foras de ligao qumica (eficiente nas interfaces). Este teste de aderncia um teste qualitativo do revestimento bastante crtico, j que, caso a aderncia seja fraca h que reflectir sobre as condies de deposio (que envolvem bastantes parmetros) de modo a garantir um produto final aderente que contemple as exigncias da sua futura aplicao. No entanto, estes testes pecam na quantificao da aderncia, o que lhes renega para um carcter mais qualitativo do que quantitativo. Informaes empricas garantem que um dos factores que proporcionam uma boa adeso tem a ver com a qualidade do polimento prvio dos substratos antes da deposio [41]. Deste modo desejvel manter uma rugosidade no substrato sempre inferior a ~0.3 m (estimativa mdia). A aderncia a um substrato por parte de revestimentos cermicos, com ligaes predominantemente metlicas, produzidos por pulverizao catdica normalmente boa, dado que ao bombardear-se o substrato com as partculas pulverizadas a partir do(s) alvo(s), com energias relativamente elevadas, conseguem-se remover algumas impurezas e ao mesmo tempo criam-se microdefeitos superfcie. Estes microdefeitos vo prender os tomos a revestir atravs da forte energia de ligao que desenvolvem. O teste de adeso consiste no riscar de uma amostra. Esta fixa numa mesa deslizante sendo deslocada com uma velocidade preestabelecida segundo a direco do risco. Ao aplicar-se uma carga crescente sobre a superfcie do revestimento atravs de um indentador,

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tipo ponta de diamante hemisfrica, vai-se monitorizando a carga at ao surgimento da superfcie do substrato; indcio de falha de aderncia. Esta falha ocorre para uma carga especfica: carga crtica. Esta carga utilizada como medida qualitativa de referncia do grau de aderncia do revestimento ao substrato. Pode-se ser mais especfico em relao determinao da carga crtica ao controlarem-se dois eventos distintos. Assim, a 1a carga crtica (Lc1) [42] refere-se carga para a qual surgem os primeiros defeitos ou falhas, enquanto que a 2a carga crtica (Lc2) [43] est associada falha total do revestimento; mais concretamente, ao aparecimento contnuo do substrato. Na figura 3.1 est patente um exemplo de um teste de scratch.
F

Ponta de diamante

Substrato

Revestimento
fig. 3.1 - Diagrama de um teste de aderncia (scratch test).

O aparelho de scratch utilizado foi o Sebastian Five - A da Quad Group (E.U.A) que est instalado no Departamento de Fsica da Universidade do Minho. Este aparelho possui um sensor acstico que detecta ondas acsticas pertencentes gama de frequncias entre os 50 e 400 kHz, sendo insensvel s vibraes mecnicas dos instrumentos (0 - 30 kHz). Durante o teste so emitidas ondas acsticas elsticas resultantes da libertao de energia no instante das falhas de aderncia. Posteriormente a intensidade do sinal integrada em relao ao tempo e transformada de imediato num espectro de energia, possibilitando a identificao do mecanismo que provoca a falha de aderncia. A fora tangencial quando calculada fornece dados importantes acerca do coeficiente de atrito.

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3.2.2 - Mecanismos de Falha de Aderncia Associado ao sistema de teste de adeso est um microscpio ptico que facilita a observao dos mecanismos que originam as quebras de adeso bem como os locais onde estas ocorreram. Os principais mecanismos responsveis por falhas de adeso entre o revestimento e o substrato foram classificados por Burnett e Rickerby [44,45] do modo seguinte e descritos na figura 3.2.
Falha tipo spallation Trilho do Scratch Revestimento delaminado

---> <-- compressivo

(a)
Falha tipo buckling

----->

compressivo

<-----

Falhas prvias Falhas tipo buckling

(b)

Falha tipo spallation ou buckling

Revestimento inserido no fundo do trilho

Falhas prvias inseridas pela ponte

(c)

ponta

Chipping

O buckling provoca as as falhas conformais

Falhas do tipo conformal

(d)

tnsil <----- ----->

compressivo ------> <------

Falha tnsil

Falha do tipo tnsil

(e)
fig. 3.2 - Mecanismos que originam falhas na aderncia.

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a) Delaminao total (spallation failure). Ocorre quando existe um levantamento de lminas de revestimento na interface revestimento/substrato provocado pela ponta deslizante; sendo posteriormente colocadas lateralmente e superfcie do revestimento. uma falha do tipo adesiva. Esta falha est ilustrada na figura 3.2 - a). b) Fractura devido deformao (buckling failure). Se o grau de rugosidade for considervel, ou se ocorre delaminao parcial frente da ponta deslizante, o material do revestimento consequentemente dobrado (deformado no sentido do avano do risco), devido s tenses desenvolvidas, e fracturado numa forma semicircular; como se pode ver na figura 3.2 -b). Devido presso da ponta, este material ao ser deformado ao mesmo tempo inserido no fundo do trilho, enquanto que nas partes laterais do fundo da pista h um levantamento de pequenas lascas de revestimento (chipping failure) que so posteriormente depositadas superfcie do revestimento e paralelamente direco do risco. Ambas as falhas descritas atrs tem a caracterstica comum de serem resultantes de um campo compressivo que precede a ponta de diamante deslizante. Da estas falhas denominarem-se tambm como compressivas. c) Levantamento de lascas de revestimento (chipping failure). Esta uma falha tipicamente coesiva dado que as lascas levantam-se pelo facto do material do revestimento ser quebradio. Estas lascas so depositadas no fundo da pista e/ou colocadas lateralmente superfcie. Isto pode ser visualizado na figura 3.2 - c). Tanto esta ultima falha como a descrita em b) so as que renem maiores probabilidades de serem referidas como percursoras da primeira falha do revestimento carga aplicada (Lc1). As restantes falhas possveis ocorrem quando o revestimento permanece totalmente aderente ao substrato: d) Fractura conformal (conformal cracking). Esta falha caracterizada somente por fracturas no fundo da pista. Estas fissuras formam trajectrias semicirculares paralelas superfcie de contacto da ponta de diamante e no sentido desta. So originadas por aco directa da deformao do revestimento e substrato pelo indentador, resultando em momentos de deformao tnsil dentro do revestimento medida que pressionado pela ponta no sentido do seu avano. Este pormenor est ilustrado na figura 3.2 - d). e) Fractura tnsil (tensile cracking). Esta falha superficialmente anloga anterior, no entanto as fissuras semicirculares so agora paralelas superfcie traseira de contacto da ponta hemisfrica de diamante; i.e., simtricas das conformais. So criadas por

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tenses friccionais de traco presentes na parte traseira do avano da ponta. Estas tenses equilibram as compressivas na parte posterior da ponta. Este tipo de falha est patente na figura 3.2 - e). As propriedades do substrato tambm afectam o valor medido da carga crtica [44,46]: - O levantamento de lascas grandes de revestimento (spallation) pode estar relacionado com os diferentes graus de fragilidade deste, as suas propriedades elasto-plsticas e ainda as tenses residuais internas. - O facto das fissuras no se propagarem atravs da interface sinal de que a adeso boa. - Ao observarmos somente desgaste, podem-se formular duas hipteses: as tenses residuais so desprezveis e/ou as propriedades elasto-plsticas do revestimento conseguem absorver a energia de indentao, mantendo um limiar de tenso residual interna abaixo do limite da adeso. A figura 3.3 ilustra algumas das falhas (coesivas e adesivas) mais comuns.

fig. 3.3 - Modos de falhas: desgaste, fissurao e delaminao.

Nestas condies Burnett e Rickerby [45] formularam algumas concluses relativas a como optimizar (elevar) os valores da carga crtica: - utilizao de substratos mais duros; consequente reduo no valor da tenso de corte. - produzir revestimentos mais duros; o revestimento tornar-se- mais resistente ao desgaste.

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- produzir revestimentos mais espessos; providencia, logicamente, mais tempo de resistncia ao desgaste. - reduzir o atrito entre a ponta e o revestimento. Quando a falha do tipo coesiva ela ocorre para valores de carga crtica relativamente inferiores do usual, dado que as tenses residuais internas incrementam com o aumento da dureza e espessura [44]. Por outro lado, e em certos casos, ao aumentar-se a espessura dos filmes est-se a contribuir ao mesmo tempo para o decrscimo das tenses residuais internas, visto que a estrutura do revestimento torna-se mais aberta medida que se aproxima da superfcie. Porm, para valores excessivos de espessura de revestimento (6 - 10 m) este pode comear a delaminar-se espontaneamente; dado que uma determinada espessura crtica foi ultrapassada sem compensao energtica. frequente observar-se isto quando a adeso fraca e/ou as tenses internas so de tal modo elevadas que a falha no revestimento dominada pelos nveis de tenso intrnseca do filme. Estes levantamentos de lascas internas podem ser criados por uma fissura superficial ou interna, como foi descrito por Ma et al. [9]. Ma estudou estes defeitos precisamente em TiN (entre outros) e para cargas pequenas. As falhas adesivas surgem quando as fissuras propagam-se atravs da interface

revestimento/substrato, mostrando um sinal de fraca aderncia. Ao analisar-se um grfico da emisso acstica verifica-se que a amplitude das oscilaes so grandes para as falhas adesivas e relativamente menores para as falhas do tipo coesivo. Quando a falha motivada pelo desgaste a emisso acstica mnima. No caso de interfaces revestimento-substrato fracas, onde a fissura se propaga por esta extenso, a falha total do revestimento est associada com o sinal da emisso acstica [44]. Para interfaces resistentes, o comportamento da fora de atrito talvez seja o factor mais indicativo e seguro. Quando a falha relativamente ao desgaste mais gradual extremamente difcil detect-la opticamente. Certos autores [44] revelam que o ponto de inflexo no grfico da fora transversal em funo da carga aplicada indicativo do instante em que a ponta de diamante entra em contacto directo com o substrato, enquanto outros [47,48] referem que no instante em que se proporciona um incremento sbito na fora de atrito. Na figura 3.4 constata-se, num grfico tpico da carga aplicada em funo da distncia, a ocorrncia das diferentes falhas da aderncia do revestimento em relao ao substrato.

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Um observador experiente, ao analisar a curva da fora de atrito em funo da carga deduz de imediato quando um determinado mecanismo leva o revestimento a falhar face carga crescente aplicada.
Falha total
120

P
Ponto de inflexo

diamante

R=200 m

trilho de identao
d

diamante

revestimento

substrato primeira falha ponto de infleco falha total

fig. 3.4 - Diferentes falhas visveis num grfico tpico da carga aplicada em funo da distncia.

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3.3 - ULTRAMICRODUREZA DO REVESTIMENTO

3.3.1 - Introduo

A avaliao das propriedades mecnicas de um material credibiliza-se de um modo substancial quando uma anlise resistncia deformao do mesmo considerada. Este esforo recompensado se esta anlise for realizada atravs de tcnicas de ensaio nodestrutivas. Enquanto ensaio no destrutivo, a sua aplicao tanto maior quanto menor for o tamanho da indentao. O teste de dureza foi sempre considerado como uma das tcnicas mais simples e rpidas de recolher uma variedade de dados experimentais acerca das propriedades mecnicas dos slidos. A popularidade desta tcnica reside no facto que as propriedades mecnicas do revestimento podem ser compreendidas sem a remoo do substrato, bem como na possibilidade de analisar a sua superfcie em diversos pontos e efectuar um levantamento espacial das propriedades mecnicas. O aparecimento de novas tcnicas de medio dinmica de profundidade e de resoluo ptica proporcionam um novo flego na investigao da ultramicrodureza de revestimentos. A capacidade de resistncia por parte de um determinado material penetrao por um indentador est relacionada com a sua dureza. O valor da dureza calculado atravs do quociente entre o valor da carga aplicada (geradora da indentao) e o da rea projectada da indentao resultante (aps a remoo do indentador) [49,50]. O ensaio utilizado para determinar a ultramicrodureza das multicamadas de TiN/ZrN foi o dinmico. Para o efeito, aplica-se uma carga de grande preciso permitindo simultaneamente a sua medio bem como a medio dos deslocamentos. Deste modo possvel o traado contnuo das curvas de carga-descarga. A rigidez do indentador importante para a anlise da dureza de um determinado material. Usualmente empregam-se indentadores com ponta de diamante; sendo o ensaio Vickers o mais frequente. A avaliao das propriedades mecnicas de filmes finos assentes sobre outro material (substrato) exige que se desa cada vez mais na escala submicromtrica e se empreguem indentaes cuja dimenso permita analisar somente o comportamento do filme. Nem sempre possvel eliminar a contribuio do substrato, permitindo que o resultado da dureza seja
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influenciado quer pelo filme quer pelo substrato. Sabe-se que um material duro depositado sobre outro mais macio fornece um comportamento substancialmente diferente do caso filme macio em substrato relativamente duro. De modo a extrair-se apenas a contribuio do filme fino num ensaio de dureza, necessrio atingir profundidades de indentao bastante baixas, com um grande ndice de resoluo nas mesmas; na maior parte dos casos as indentaes so da ordem das centenas de nanometros. Com a possibilidade de medio dinmica do valor da carga, da profundidade de indentao e at da temperatura do ensaio, entra-se numa nova era da determinao da ultramicrodureza. Deste modo passa a ser possvel estudar outros aspectos associados ao comportamento dos materiais; tais como: - a evoluo da carga aplicada em funo da profundidade de indentao; que por sua vez elucida acerca da dureza dinmica (elstica mais plstica) em funo da penetrao. - a energia consumida por todo o processo de indentao. - as caractersticas elsticas e plsticas dos materiais ensaiados; nomeadamente o mdulo de Young (elasticidade). - o comportamento fadiga; no que diz respeito formao de fendas e ao calculo de constantes de fadiga. - o comportamento fluncia; estudando a evoluo da profundidade de penetrao em funo do tempo, a carga constante e a diferentes temperaturas.

3.3.2 - O Indentador Vickers

O indentador utilizado na medio da ultramicrodureza, do tipo Vickers, tem a forma de uma pirmide quadrangular com um ngulo apical (entre faces opostas) de 136. Um ngulo elevado permite que o mecanismo de deformao seja essencialmente de compresso em detrimento de corte e que haja uma baixa probabilidade de danificar a sua geometria. Para alm dos defeitos geomtricos existentes normalmente em indentadores deste tipo, o indentador Vickers apresenta usualmente um defeito prprio (offset) caracterstico da sua geometria de quatro lados. Este defeito provm da interseco das suas faces segundo uma aresta, em vez de convergirem num ponto (vrtice da pirmide). Este defeito provoca uma ligeira alterao na ponta do indentador, cuja forma passa a ser semelhante a uma cunha.

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O mximo valor de offset est normalizado pela Norma Portuguesa [51] em 2 m, enquanto na ASTN [52] o correspondente valor de 0.5 m. Um ajuste a este defeito discutido mais frente no Captulo 5. Um indentador geometricamente perfeito, em condies ideais, ao actuar sobre um material com recuperao elstica homogeneamente distribuda, fornece uma indentao caracterstica cuja vista de topo assemelha-se a um quadrado com as suas diagonais visveis. Um exemplo disto encontra-se ilustrado na figura 3.5.

fig. 3.5 - Fotografia tirada ao microscpio ptico de uma indentao num filme fino.

3.3.3 - Curva Carga-Descarga Um ensaio de dureza comporta trs fases distintas: 1a - Carga. Estando o indentador em avano contnuo na direco perpendicular superfcie da amostra, esta primeira fase inicia-se no momento de contacto com o revestimento e finalizada quando a carga aplicada atinge o valor limite pr-definido. A deformao do material envolvido no processo fundamentalmente provocada por tenses de compresso.

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2a - Fluncia. Aps a fase de carga impe-se uma fase intermdia de fluncia, que corresponde manuteno da carga mxima durante um intervalo de tempo previamente estabelecido. A finalidade desta fase visa estabilizar a evoluo da deformao (durante alguns segundos - creep time), oriunda da inrcia do indentador. 3a - Descarga. Esta ltima fase comea no instante em que o indentador inicia o movimento de retrocesso e termina quando, aps a recuperao da componente elstica da deformao, deixar de haver contacto entre o indentador e o revestimento. A deformao que permanece aps o recuo do indentador origina a indentao residual, possibilitando desta maneira a medio da diagonal de indentao. O modo como a curva de carga evolui em funo da profundidade de penetrao durante a carga e descarga est relacionado com aspectos do comportamento do revestimento face dureza. A curva da fase de carga apresenta uma forma parablica cuja curvatura traduz a relao linear entre a carga (P) e o quadrado da profundidade de indentao (h2). Esta ltima relao depende da velocidade de penetrao do indentador, da resistncia oposta pelo material do revestimento e da geometria do indentador. A fase de descarga elucida certos aspectos relacionados com a deformao do material. No caso de um material elasto-plstico, a deformao produzida durante um ensaio de dureza contm as componentes elstica e plstica. Somente a elstica recuperada na descarga. Se durante a recuperao elstica toda a superfcie de indentao permanecesse em contacto com indentador, a componente da curva de descarga seria linear.

a)

Pmax

C hfinal hp

E hma h

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b)

fig. 3.6 - a) Esquema da curva de carga-descarga num teste de dureza para um material elastoplstico. b) Diagrama da resposta da tenso face deformao de um material elasto-plstico.

Recorrendo figura 3.6 a), a recta BD tangente ao primeiro ponto da curva de descarga BC est associada recuperao elstica do material [53]. O declive desta recta BD o inverso da complacncia (C= dh/dp); como se ver mais frente. A partir de uma certa altura e durante o processo de descarga a intensidade das tenses residuais pode ser suficiente para gerar um segundo efeito elstico resultante da recuperao elstica da zona deformada [53]. Esta recuperao no se apresenta uniformemente distribuda em toda a superfcie lateral de contacto [50]. Essa alterao na deformao residual cria uma perda de contacto entre o indentador e a indentao numa zona da sua interface, resultando num decrscimo significativo na rea de contacto durante a remoo gradual da carga. Este decrscimo de rea de contacto vai influenciar directamente o valor da profundidade de penetrao do indentador, pois a rea de contacto proporcional ao quadrado da profundidade. Este facto explica a tendncia da curva mostrar uma recuperao fictcia no final da curva de descarga. O efeito da fluncia, representado na figura 3.7, consiste em inserir uma pequena extenso de profundidade (paralela ao eixo das abcissas). Esta extenso reduzida, caso contrrio seria representativo de uma inrcia substancial; caso isto ocorra h que repensar a velocidade de aplicao de carga, que no deve influenciar o valor da dureza. Nesta figura, hmax representa o valor da profundidade de penetrao mxima, hfinal diz respeito ao valor da profundidade mnima registada na descarga (ultimo ponto), hp a profundidade plstica.

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Corresponde ao comportamento dum puno cnico rgido num slido elstico

Fluncia

P
Pmax
Curva real de descarga Curva de carga Corresponde ao comportamento dum puno plano rgido num slido elstico

Zona de maior recuperao

hfinal

hp

hmax

fig. 3.7 - Esquema de uma curva de carga-descarga, com fase intermdia de fluncia, resultante de um teste de dureza.

Por vezes origina-se a formao de um lbio de material de revestimento no bordo da indentao [54]. A razo para este efeito prende-se com o facto de que durante a indentao sobre um material macio, predominantemente plstico, a conservao de volume obriga o material a escoar-se para o bordo da indentao. Este lbio persiste aps a remoo do indentador, embora manifestando alguma recuperao [55]. Este efeito est ilustrado na figura 3.8-a).

a)

b)

fig. 3.8- a) Formao de lbio num material predominantemente plstico e b) formao de uma depresso para o caso de um material predominantemente elstico, num teste de ultramicrodureza.

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No caso de um material frgil, predominantemente elstico, a tarefa do material se escoar para a superfcie dificultada, no entanto afunda-se, originando uma depresso na periferia da indentao (ver figura 3.8 - b) [54]. Quando h formao de um lbio de altura h (ver figura 3.9), normalmente, este efeito da ordem da centsima parte da diagonal de indentao [49].

D/ 2

h hpc hp ho

offset hD

fig. 3.9- Geometria de indentao num teste de ultramicrodureza. D refere-se diagonal da indentao quando observada pelo microscpio ptico, hD o valor da profundidade de indentao associado observao ptica, hp a profundidade de indentao, h a altura do lbio no bordo da indentao, h0 o dficit de profundidade devido ao offset, hpc o valor corrigido e desejado para a profundidade de indentao.

Na figura 3.9 est ilustrada a geometria de uma indentao bem como todos os parmetros envolvidos e relevantes para o clculo final da respectiva ultramicrodureza. D representa a diagonal da indentao quando observada pelo microscpio ptico, hD o valor da profundidade de indentao associado observao ptica da diagonal de indentao (hD=D/7) [49], hp corresponde profundidade de indentao registada no fim do ciclo de carga-descarga, h est relacionado com a altura do lbio formado no bordo da indentao, h0 define o dficit de profundidade devido ao defeito geomtrico intrnseco (offset) ponta do indentador, por fim, hpc traduz o valor corrigido e desejado para a profundidade de indentao: h pc = h p + h 0

Eq. 3.1

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3.3.4 - Caracterizao Elstica A complacncia (C) a caracterstica que traduz a capacidade de deformao elstica relativamente carga aplicada ao sistema constitudo pelo material a testar, pelo indentador e eventualmente (com uma contribuio nfima) tambm pelas estruturas e suporte da montagem para a amostra a ensaiar. Como j foi referido atrs, a complacncia o inverso do declive da recta caracterstica do incio da descarga (ver figura 3.6).

C=

dh = dP

1 2 D Er

Eq. 3.2

Na expresso da Eq. 3.2 [49,56] Er representa o mdulo de elasticidade biaxial:

Er =

(1 2 )

Eq. 3.3

E e designam, respectivamente, o mdulo de Young (elasticidade) e coeficiente de Poisson do revestimento; D a diagonal de indentao medida opticamente. Na Eq. 3.4, Ei e i designam, respectivamente, o mdulo de Young e coeficiente de Poisson do indentador; assume-se que o indentador perfeitamente rgido.
1 1 2 1 i 2 = + Er E Ei

Eq. 3.4

Dado que D=7hpc, ento a Eq. 3.2 transforma-se em:


C= dh 1 = dP 2 h pc 1 24.5 E r

Eq. 3.5

Deste modo possvel determinar o mdulo de elasticidade do material do revestimento desde que o seu coeficiente de Poisson seja conhecido. Com base nas Eq. 3.4 e Eq. 3.5 chegase facilmente a:

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E= 2 h pc

(1 2 )
dh dP

24.5 (1 2i ) Ei

Eq. 3.6 24.5

Para o indentador (diamante) considerou-se Ei= 1050 GPa [57] e i= 0.07 [58].

3.3.5 - Caracterizao Mecnica

Algumas precaues foram atendidas na realizao dos testes de ultramicrodureza. As mais relevantes foram: - escolha do valor da carga mxima para cada srie de ensaios; pretende-se desta maneira garantir uma distribuio bem repartida dos valores de profundidade de indentao (hp). - estipulao dos passos para reunir o conjunto de pontos discretos de aplicao de carga, bem como o tempo de integrao. - fixao do tempo de fluncia durante a carga mxima. - medio da temperatura local de ensaio. - posicionamento adequado de cada indentao nas amostras, i.e., com espaamentos uniformemente distribudos ao longo de uma recta. O posicionamento de uma indentao deve garantir uma distncia aprecivel relativamente s suas vizinhas de modo a se evitar influncia ou sobreposio nas superfcies de deformao. - a escolha da rea de indentao restringida numa zona de boa qualidade superficial localizada preferencialmente na parte central da amostra. - a profundidade de indentao no deve exceder 10-20 % da espessura total do filme [38,59]. S assim temos a garantia que o substrato no influencia a anlise da dureza do revestimento.

Aps cada ensaio de dureza efectua-se uma anlise visual ao comportamento curva do ciclo carga e descarga obtida. A existncia de qualquer grau de descontinuidade, em degrau, ou qualquer outra anomalia nas curvas remete para a anulao do teste. A dureza Vickers (HV) calculada a partir da razo entre a carga aplicada e a rea projectada da indentao resultante. Baseando-nos na geometria da pirmide quadrangular Vickers, expressa-se a dureza da seguinte forma [38].
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HV = 2 cos 22

P P P . 2 = 1854 2 = D D 240.25 h 2 pc

( kg / mm )
2

Eq. 3.7

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3.4 - TENSO RESIDUAL DO REVESTIMENTO

3.4.1 - Introduo

Actualmente, as tcnicas utilizadas para a medio das tenses residuais nos filmes podem ser divididas em duas categorias [61]: baseadas na medio directa das deformaes elsticas residentes nos revestimentos atravs da difraco de raios-X (mtodo do sin2); e as baseadas na deflexo ou curvatura do substrato induzida por tenso residual dentro do revestimento. A grande vantagem da tcnica de medida da deflexo reside no facto de prescindir dos valores das constantes elsticas do material do revestimento para o calculo das tenses residuais do mesmo, e podendo ser aplicado na maior parte dos substratos revestidos; tais como em materiais tecnicamente importantes como ferramentas em ao, etc. Quando se pretende maximizar o comportamento de um determinado material numa aplicao de engenharia, a sua dureza, aderncia, mdulo de Young, tenacidade, entre outras propriedades mecnicas devem ser optimizadas. Alm do mais, sabe-se de antemo que as propriedades mecnicas e tribolgicas dos revestimentos so fortemente influenciadas pela grandeza e distribuio espacial das tenses residuais [62,63]. Por exemplo, uma tenso residual compressiva bastante grande dentro do revestimento contribui para aumentar a resistncia fractura do mesmo [63]. Uma boa resistncia fractura fulcral para revestimentos de ferramentas em PVD, aonde o desgaste usualmente iniciado devido nucleao e propagao de fissuras no revestimento. Porm, tenses residuais compressivas em excesso podem levantar muitos problemas ao revestimento nas suas extremidades; nomeadamente de aderncia [64]. Usualmente aceita-se decompor a tenso residual interna de um revestimento em duas componentes: extrnseca (ext) e intrnseca (int),

= ext + int

Eq. 3.8

A componente extrnseca (tenso trmica) resulta da diferena que existe entre os coeficientes de expanso trmica do revestimento e substrato:
ext = E c (1 c ) T

Eq. 3.9

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CAPTULO 3 - TCNICAS DE CARACTERIZAO MECNICA DAS MULTICAMADAS DE TiN/ZrN

aonde Ec/(1-c) representa o mdulo biaxial do revestimento, Ec e c representam respectivamente o mdulo de Poisson e de Young do revestimento, a diferena entre os coeficientes de expanso trmica do revestimento e o substrato, e T a diferena entre a temperatura de deposio e a ambiente [65]. Esta componente extrnseca domina em revestimentos produzidos a partir de deposio qumica de vapores (CVD), que normalmente impem temperaturas elevadas aos substratos durante a deposio. No caso de revestimentos tribolgicos em PVD, para alm desta componente trmica existe normalmente uma enorme componente intrnseca (ou microestrutural). Esta ltima originada: parcialmente pelo modo como a estrutura cristalina do substrato define o crescimento do revestimento, mais concretamente, atravs de alteraes na distribuio, orientao e tamanho das cristalites nucleadas; e parcialmente pelo processo caracterstico de crescimento do revestimento por PVD [66]. Existe uma relao entre o nvel energtico de um processo PVD e a microestrutura de um revestimento, i.e. a tenso residual depende fortemente do processo de deposio e logicamente de factores tais como: fluxo de partculas, energia transferida pelas partculas ao bombardearem o filme, temperatura do substrato, entre outros.

3.4.2 - A Tcnica da Deflexo

Os mecanismos inerentes tcnica de deflexo esto descritos na figura 3.10 [61]. Vamos supor que temos um filme fino assente num substrato muito mais espesso, aonde as dimenses laterais do revestimento e do substrato so consideravelmente maiores que a espessura do conjunto (aproximao filme fino). Se considerssemos um revestimento isento de tenso interna (figura 3.10 - a) e que fosse possvel separ-lo do substrato, ento dado ausncia de tenso residual no filme este pode ser de novo colocado no substrato sem gerar tenses residuais quer no prprio filme quer no substrato. Porm, se as dimenses do revestimento livre so alteradas de modo que haja um desenquadramento entre as reas de contacto (figura 3.10 - b), surge uma tenso biaxial de modo a que o revestimento se deforme elasticamente e se ajuste de novo ao substrato (figura 3.10 - c). Isto , deformaes e tenses elsticas desenvolvem-se no revestimento. A remoo das foras laterais ilustradas na figura 3.10 - d) vai implicar a produo de tenses de corte na interface revestimento/substrato junto

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s extremidades. So estas tenses de corte na interface que providenciam as foras que mantm a tenso biaxial no revestimento. Estas foras provocam a deflexo elstica do substrato (figura 3.10 - e), podendo esta curvatura ser medida desde que o substrato seja suficientemente fino.

a)

Superfcie livre Substrato

b)

Variao volmica uniforme no revestimento Tenso biaxial imposta de modo a ajustar o revestimento ao substrato Remoo das foras na extremidade por parte da tenso residual Flexo do substrato por parte da tenso

c)

d)

e)

fig. 3.10 - Diagrama da tcnica de deflexo que determina as tenses residuais internas.

Deste modo, e atravs da equao de Stoney [67], obtemos para a tenso residual interna do revestimento:
2 ts 1 = rd ra1 6(1 s ) t f

Es

Eq. 3.10

aonde Es/(1-s) representa o mdulo biaxial do substrato, ts e tf representam, respectivamente, as espessuras do substrato e revestimento (ts/tf100). Os parmetros ra e rd so os raios de curvatura antes e depois da deposio, respectivamente. No caso da aproximao do filme fino no ser vlida ento algumas precaues devem ser tomadas e introduzir-se as constantes elsticas relativas ao revestimento; resultando numa equao mais complexa [68]. Ramsey et al. [69] obtiveram o raio da curvatura atravs da seguinte funo parablica:
( x) = a + bx + cx 2

Eq. 3.11

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Funo esta que simulada relativamente aos pontos experimentais. (x) traduz a deflexo em funo de x e a, b e c so constantes. A partir de Eq. 3.11 obtm-se facilmente que: r = ( 2 c)
1

Eq. 3.12

A curvatura do substrato medida antes e aps a deposio do revestimento atravs de uma tcnica de perfilometria aliada a um laser. Para o efeito prepararam-se substratos em ao inox (da mesma forma como foram preparados os anteriores descrito na seco 1.6), na forma de discos com 25 mm de dimetro e 0.5 mm de espessura. Antes da deposio mediuse o raio de curvatura presente no substrato (ra). Para o efeito e atravs do perfilmetro mediu-se a altura de uma srie de pontos ao longo de duas diagonais perpendiculares. Analogamente, imediatamente aps a deposio mediu-se a altura dos mesmos pontos nas referidas duas diagonais; obtendo-se rd. Com base nos pontos das deflexes para cada diagonal determinados previamente e aps deposio no substrato, calculou-se o valor mdio da tenso residual no filme. Dado que os raios de curvatura em questo so extremamente reduzidos, fulcral que o polimento seja bastante homogneo, dando lugar a substratos planos. Outra vantagem utilizando esta tcnica a de utilizar discos pequenos, dando azo a uma preparao mais fcil.

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