A : CARACTERISATION ELECTRIQUE.................................................................................... 3 A.1. TESTS PARAMETRIQUES : MESURE DE COURANT, DE TENSION, DU TEMPS....................................... 5 A.1.1. Caracterisation standard (Mesure de I, J et t) .............................................................................. 5 A.1.2. Caracterisation bas niveau (Mesure de I, J et t) ........................................................................... 6 A.1.3. Caracterisation des composants de puissance (Mesure de I et J) ................................................. 7 A.1.4. Traceurs de caracteristiques I(J)................................................................................................... 8 A.1.5. Test aux decharges electrostatiques (ESD) . caracterisation par TLP.......................................... 9 A.2. MESURE D'IMPEDANCE..................................................................................................................10 A.2.1. Mesure de capacites inter-electrodes de transistor MOS............................................................. 10 A.2.2. Mesure RLC dans la gamme 20H: f 1MH:........................................................................... 11 A.2.3. Mesure RLC dans la gamme 75kH: f 30MH: ....................................................................... 12 A.2.4. Mesure C(J) avec Sonde au Mercure .......................................................................................... 13 A.3. OBSERVATION DE MICRO/NANO SYSTEMES...................................................................................14 A.3.1. Microscope a force atomique (AFM) tte topographie ............................................................ 14 A.3.2. Profilometre et vibrometre par interferometrie............................................................................ 15 A.3.3. Observation par binoculaire ........................................................................................................ 16 A.3.4. Caracterisation par deflexion optique de la reponse dvnamique de microstructures mecaniques.................................................................................................................................. 17 A.3.5. Microscope a force atomique et microscope optique inverse....................................................... 18 A.3.6. Table X,Y,Z,0 pour letude de dispositifs de micro-depots, de nano-stamping, et de profilometrie en micro-cavites profondes. .................................................................................. 19 A.4. LOCALISATION/MESURE DE POINTS CHAUDS ................................................................................20 A.4.1. Mesure de photoemission............................................................................................................. 20 A.4.2. Reponse thermique transitoire par thermometrie Infrarouge ...................................................... 21 A.4.3. Thermographie Infrarouge........................................................................................................... 22 A.4.4. Thermographie Infrarouge rapide ............................................................................................... 23 A.4.5. AFM tte thermique .................................................................................................................. 24 A.5. CARACTERISATION DE SUBSTRATS ...............................................................................................25 A.5.1. Mesure de duree de vie des porteurs............................................................................................ 25 A.5.2. DLTS (Deep Level Transient Spectroscopv) ................................................................................ 26 A.5.3. Mesure par Effet Hall................................................................................................................... 27
2 A.5.4. AFM tte Spreading Resistance................................................................................................ 28 A.6. CARACTERISATION DE COMPOSANTS DISCRETS / MICROSYSTEMES...............................................29 A.6.1. Caracterisation de micromirroirs ................................................................................................ 29 A.6.2. Mesure de parametres de transistors MOS.................................................................................. 30 A.6.3. Mesure de temps de commutation de transistor MOS.................................................................. 31
B : CARACTERISATION HYPERFREQUENCE ......................................................................33 B.1. MESURE DE BRUIT.........................................................................................................................35 B.1.1. Bancs de mesures de bruit basse frequence (BF)......................................................................... 35 B.1.2. Banc de mesures de bruit de phase, ............................................................................................. 36 B.1.3. Banc de mesures de bruit lineaire haute frequence (HF) de 1GH: a 40GH:, ............................. 37 B.1.4. Banc de mesures de bruit non lineaire haute frequence (HF)...................................................... 38 B.2. BANCS DE MESURES DE PARAMETRES S........................................................................................39 B.3. BANC DE FIABILITE DE COMMUTATEURS MEMS HYPER ENTIEREMENT AUTOMATISE ..................40 B.4. BANCS DE MESURES DC (EN IMPULSION, EN CONTINU ET ANALYSE IMPEDANCE BASSE FREQUENCE) .....................................................................................................................................................41
C : CARACTERISATION OPTIQUE...........................................................................................43 C.1. TESTS PARAMETRIQUES : MESURE DE PUISSANCE, DE TENSION, SPECTRE......................................45 C.1.1. Caracterisation JCSEL (Mesure de I, J, P, spectre, diagramme de ravonnement) Bat. C, 86 ................................................................................................................................................ 45 C.1.2. Caracterisation de diodes laser emettant par la "tranche" (Mesure de I, P, J, spectre, diagramme de ravonnement) Bat. C, 88 .................................................................................. 46 C.2. CARACTERISATION MATERIAUX ET COMPOSANTS.........................................................................47 C.2.1. Mesure de gain des diodes laser Bat. C, 86 .............................................................................. 47 C.2.2. Reflectivite en lumiere blanche Bat. C, 86 ................................................................................ 48 C.2.3. Caracterisation des guides fluorures dopes TR Bat. C, 86 ....................................................... 49 C.2.4. Optique non lineaire Bat. A, S28............................................................................................... 50 C.2.5. Reseaux de diffraction Bat. A, S12............................................................................................ 51 C.3. SPECTROSCOPIE............................................................................................................................52 C.3.1. Photoluminescence Bat. C, 86................................................................................................... 52 C.3.2. Excitation de luminescence Fluorures dopees TR Bat. C, 86................................................. 53 C.4. BRUIT ...........................................................................................................................................54 C.4.1. Optique et Micro-Ondes Bat. E, sous-sol .................................................................................. 54
3
A : CARACTER!SAT!ON ELECTR!QUE
Caractrisation Electrique
5 A.1. Tests paramtriques : mesure de courant, de tension, du temps A.1.1. Caractrisation standard (Nesure de !, v et t)
- Responsable scientifique : G. Sarrabayrouse - Utilisateur(s) habituel(s) : Tout chercheur - Objectifs : Acquisition des courbes courant-tension et courant (ou tension) en fonction du temps lors d'une polarisation a tension (ou courant) constant dans des gammes de courant et de tension courantes : courant de quelques nA a 100mA et tension jusqu'a 100v, a temprature ambiante. - Autonomie des utilisateurs : totale aprs une formation par le personnel de 2i - Utilisation : - Composants : Discrets et Plaquettes (taille max 6") - Fonctionnement : Nanuel et Automatis (logiciel Netrics !Cv) - Dure de la mesure : de quelques minutes a plusieurs heures - Frquence d'utilisation : quotidien - Fluides utiliss : Air comprim, vide (pour les stations sous pointes) - Appareils : 2 testeurs sous pointe SET TC550, 1 testeur paramtrique HP+155 - Performances : Celles du HP+155 : Courant : Nax 100mA f Rsolution 10fA Tension : Nax 100v f Rsolution 2v - Bibliographie : aucune - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : Prise en compte des 3 probers et du cryostat etfou tuve - Pour l'automatisation :
Caractrisation Electrique
6 A.1.2. Caractrisation bas niveau (Nesure de !, v et t)
- Responsable scientifique : G. Sarrabayrouse - Utilisateur(s) habituel(s) : Tout chercheur - Objectifs : Acquisition des courbes courant-tension lors d'une polarisation a tension (ou courant) constant dans des faibles gammes de courant : de quelques fA a quelques mA et tension jusqu'a 100v, a temprature comprise entre 5C et 300C. - Autonomie des utilisateurs : totale aprs une formation par le personnel de 2i - Utilisation : - Composants : Discrets et Plaquettes (taille max 8") - Fonctionnement : Nanuel et Automatis (logiciel Netrics !Cv) - Dure de la mesure : de quelques minutes a plusieurs heures - Frquence d'utilisation : Quotidien, proche de 100 - Fluides utiliss : Air comprim, vide (pour les stations sous pointes) - Appareils : 1 station sous pointe Cascade Summit 12k, 1 testeur paramtrique Keithley +200-SCS, 1 testeur paramtrique Agilent +156C - Performances : Celles du Keithley +200 : Courant : Nax 100mA f Rsolution 0.1fA Tension : Nax 100v f Rsolution 1v Celles du Agilent +156C : Courant : Nax 1A f Rsolution 1fA Tension : Nax 200v f Rsolution 2v - Bibliographie : Nanuel d'utilisation de la station Cascade rdig par P. Nnini
Caractrisation Electrique
7 A.1.3. Caractrisation des composants de puissance (Nesure de ! et v)
- Responsable scientifique : H. Tranduc - Utilisateur(s) habituel(s) : Tout chercheur - Objectifs : Acquisition des courbes courant-tension lors d'une polarisation a tension (ou courant) constant dans des les gammes suivantes : de quelques nA a 10A et tension jusqu'a 1000v, a temprature comprise entre 0C et 220C (sur wafer) et de -75C a 220C sur composant discret. - Autonomie des utilisateurs : totale aprs une formation par le personnel de 2i - Utilisation : - Composants : Discrets et Plaquettes (taille max 8") - Fonctionnement : Nanuel et Automatis (logiciel Netrics !Cv) - Dure de la mesure : de quelques minutes a plusieurs heures - Frquence d'utilisation : Quotidien - Fluides utiliss : Air comprim, vide (pour les stations sous pointes) - Appareils : - Nesure sur wafer : 1 station sous pointe semi-automatique Karl Suss PA200 + 1 testeur paramtrique Agilent +1+2B - Nesure sur composant discret : 1 testeur p paramtrique Agilent +1+2B + Thermostream TP0+200A - Performances : Celles du Agilent +1+2B : Gamme en courant (continu) : 1 pA -> 1 A Gamme en courant (puls) : 1A -> 10A Gamme en tension : 2v -> 1000 v Puissance : 20 W Thermostream : -75C a +225C - Bibliographie : aucune
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8 A.1.+. Traceurs de caractristiques !(v)
- Responsable scientifique : H. Tranduc - Utilisateur(s) habituel(s) : Tous - Objectifs : Caractristiques !(v), bipolaire ou unipolaire en continu, en puls dans le domaine 1mA-500A et 3kW - Autonomie des utilisateurs : totale aprs une formation par le personnel de 2i - Utilisation : - Composants : Discrets - Fonctionnement : Nanuel et Automatis (logiciel Netrics !Cv) - Dure de la mesure : Quelques minutes sans temprature, ~1f2h avec temp. - Frquence d'utilisation : Hebdomadaire - Fluides utiliss : Air comprim - Appareils : 3 Traceurs de courbes Tektronix 370A, 371, et model 57 Thermostream TP0+200A - Performances : Traceur 370A : Nini 1A, Naxi 20A f 2kv, Puissance 220W, dure de l'impulsion 300s ou 80s toutes les 10ms. Traceur 371 : 500A f 3kW ou 3kv f 30W Thermostream : -75C a +225C - Bibliographie : aucune
Caractrisation Electrique
9 A.1.5. Test aux dcharges lectrostatiques (ESD) : caractrisation par TLP
- Responsable scientifique : N. Nolhier - Utilisateur(s) habituel(s) : N. Nolhier, D. Tremouilles, P. Besse, N. Bafleur - Objectifs : Caractrisation des circuits ou composants en tenue aux ESD par application d'un stimulus proche du modle du corps humain (HBN), soit un courant de quelques ampres pour des dures d'impulsion de 100ns. Une courbe !(v) statique est mesure aprs chaque impulsion afin de dceler une ventuelle dgradation du composant. - Autonomie des utilisateurs : totale aprs une formation par le personnel de 2i - Utilisation : - Composants : Discrets et Plaquettes, taille max = 8" - Fonctionnement : Nanuel et Automatis (labview) - Dure de la mesure : ~5 minutes par composant, ~5h par wafer - Frquence d'utilisation : quasi quotidienne - Fluides utiliss : Air comprim, vide(pour la station sous pointes) - Appareils : Station sous pointes KARL SUSS PA200, Oscilloscope Tektronix 1GHz TDS68+C, Alimentation Bertan 3kv, Agilent +1+2B - Performances : TLP : longueur de l'impulsion : 100ns, Courant max : 7A, Tension max: 100v Nesures statiques : Courant max +f-1A, Tension max +f-200v
- Bibliographie : Nmoire Cnam de Nicolas Nauran : "Conception et ralisation d'un banc de caractrisation sous pointes pour mesures impulsionnelles haute nergie"
Caractrisation Electrique
10 A.2. Mesure d'impdance A.2.1. Nesure de capacits inter-lectrodes de transistor NOS
- Responsable scientifique : H. Tranduc - Utilisateur(s) habituel(s) : C!P - Objectifs : Acquisition des capacits inter-lectrodes d'un transistor NOS et extraction des paramtres. Les mesures sont effectues a frquence fixe f=1NHz - Autonomie des utilisateurs : totale aprs une formation par le personnel de 2i - Utilisation : - Composants : Discrets - Fonctionnement : Automatis (labview) - Dure de la mesure : 1h - Frquence d'utilisation : Rare - Fluides utiliss : aucun - Appareils : Boonton 7200 capacitance meter - Performances : f = 1NHz, appareil de mesure surtout efficace si c<2nF - Bibliographie : Nmoire Cnam de P.F. Calmon - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : - Pour l'automatisation :
Caractrisation Electrique
11 A.2.2. Nesure RLC dans la gamme 20Hz < f < 1NHz
- Responsable scientifique : G. Sarrabayrouse - Utilisateur(s) habituel(s) : Tout chercheur - Objectifs : Acquisition des courbes C(v) capacit-tension et G(v,) conductance- tension-frquence et extraction des paramtres. - Autonomie des utilisateurs : totale aprs une formation par le personnel de 2i - Utilisation : - Composants : Discrets et Plaquettes (taille max 8") - Fonctionnement : Nanuel et Automatis - Dure de la mesure : 1h - Frquence d'utilisation : Quasi quotidienne - Fluides utiliss : Air comprim, vide (pour les stations sous pointes) - Appareils : HP+28+ et 3 testeurs sous pointes TC550(2x) + station Cascade. - Performances : Celles du HP+28+ : de 20Hz a 1NHz - Bibliographie : Pas de manuel exploitable, uniquement un manuel utilisateur trs ancien - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : - Pour l'automatisation :
Caractrisation Electrique
12 A.2.3. Nesure RLC dans la gamme 75kHz < f < 30NHz
- Responsable scientifique : G. Sarrabayrouse - Utilisateur(s) habituel(s) : P. Nnini - Objectifs : Nesure d'impdance - Autonomie des utilisateurs : totale aprs une formation par le personnel de 2i - Utilisation : - Composants : Discrets et Plaquettes (taille max 8") - Fonctionnement : Nanuel - Dure de la mesure : variable - Frquence d'utilisation : variable - Fluides utiliss : Air comprim, vide (pour les stations sous pointes) - Appareils : HP+28+ et 3 testeurs sous pointes TC550(2x) + station Cascade. - Performances : Celles du HP+285 : de 75kHz a 30NHz - Bibliographie : aucune - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : - Pour l'automatisation :
- Objectifs : Acquisition de courbes capacit-tension entre deux lectrodes (face avant et face arrire) en fonction d'une gamme de frquence (du Hz au NHz) par application d'une goutte de mercure sur l'oxyde d'une plaque de silicium - Autonomie des utilisateurs : totale aprs une formation par le personnel de 2i - Utilisation : - Composants : Plaquettes (taille max : + ) - Fonctionnement : Nanuel - Dure de la mesure : variable - Frquence d'utilisation : variable - Fluides utiliss : vide - Appareils : HP+28+ et sonde a mercure
- Performances : Celles du HP+28+
- Bibliographie : Notice d'utilisation simplifie - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : - Pour l'automatisation :
Caractrisation Electrique
1+ A.3. Observation de microJnano systmes A.3.1. Nicroscope a force atomique (AFN) + tte topographie
- Responsable scientifique : G. Sarrabayrouse - Utilisateur(s) habituel(s) : N. Dilhan - Objectifs : - Autonomie des utilisateurs : aucune - Utilisation : - Composants : Plaquettes, taille max = - Fonctionnement : Automatis - Dure de la mesure : - Frquence d'utilisation : - Fluides utiliss : - Appareils : - Performances : - Bibliographie : - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : - Pour l'automatisation :
Caractrisation Electrique
15 A.3.2. Profilomtre et vibromtre par interfromtrie
- Responsable scientifique : C. Bergaud, E. Scheid - Utilisateur(s) habituel(s) : C. Bergaud, E. Scheid - Objectifs : Caractrisation mcanique de microsystmes en rgime statique (profilomtrie) ou dynamique (vibromtrie). - Utilisation : - Composants : Discrets et Plaquettes, taille max = + pouces - Fonctionnement : Automatique - Dure de la mesure : Quelques minutes (suivant la rsolution). Rglages initiaux assez longs (plusieurs dizaines de minutes) - Frquence d'utilisation : Quotidien - Fluides utiliss : aucun - Appareils : profilomtre Fogale Zoom Surf 3D
- Performances : Rsolution maximale : 1 nm en z et 1 m dans le plan xy avec une bande passante de 2 NHz en rgime dynamique - Bibliographie : Node d'emploi fourni et aide en ligne (trs sommaire) - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : - Pour l'automatisation : Automatisation du rglage du tilt par microcontrleurs
Caractrisation Electrique
16 A.3.3. Observation par binoculaire
- Responsable scientifique : H. Tranduc - Utilisateur(s) habituel(s) : Tous - Objectifs : Observation de puces de grandes tailles et acquisition d'image - Autonomie des utilisateurs : totale aprs une formation par le personnel de 2i - Utilisation : - Composants : Discrets et Plaquettes - Fonctionnement : Nanuel - Dure de la mesure : Observation : immdiate, Acquisition : 5 minutes - Frquence d'utilisation : Quotidienne - Fluides utiliss : aucun - Appareils : Binoculaire LE!CA NZ12, Appareil photo numrique POLARO!D, PC - Performances : Grossissement max x205, Champ visuel 1.1mm Grossissement min x5, Champ visuel +1.7mm - Bibliographie : aucune Caractrisation Electrique
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A.3.+. Caractrisation par dflexion optique de la rponse dynamique de microstructures mcaniques
- Responsable scientifique : C. Bergaud, L. Nicu - Utilisateur(s) habituel(s) : C. Bergaud (6+27), N. Guirardel (6351), D. Saya - Objectifs : Caractrisation de la rponse dynamique de microstructures (leviers, ponts, membranes..) avec actionnement etfou dtection intgre. Possibilit d'actionnement externe (pour la caractrisation de structures passives) par l'intermdiaire d'un actionneur pizo-lectrique propre au banc de mesures. Ce type de mesures permet d'accder aux proprits mcaniques de matriaux en couches minces (module d'Young, contrainte, fatigue, vieillissement..). On peut galement dterminer la rponse lectrique de couches actives (pizolectrique ou pizorsistive) soumise a des sollicitations mcaniques. - Utilisation : - Composants : Discrets et Plaquettes, taille max = 1cm - Fonctionnement : Nanuel - Dure de la mesure : De quelques minutes a quelques heures - Frquence d'utilisation : Quotidien - Fluides utiliss : Air comprim - Appareils :
- Performances : Bande passante de mesure ~ 1NHz (utilisation d'un dtecteur synchrone Perkin-Elmer). Possibilit d'tude des modes de vibration transversaux (flexion) etfou de torsion (utilisation d'un photodtecteur a + cadrans actifs). - Bibliographie : Rapport LAAS n00+15, Thse de L. Nicu
- Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : - Pour l'automatisation : Caractrisation Electrique
18 A.3.5. Nicroscope a force atomique et microscope optique invers
- Responsable scientifique : C. Bergaud, L. Nicu - Utilisateur(s) habituel(s) : C. Bergaud (6+27), N. Guirardel (6351), D. Saya, L. Nicu - Objectifs : Caractrisation physique 'tude de topographie, forces de friction, rugosit de surface..) de divers chantillons conducteurs ou non conducteurs (~1cm) ; fentre de balayage 100mx100m max. Node contact et non-contact. Caractrisation en milieu sec ou liquide. Nesure d'interactions spcifiques entre molcules biologiques. L'utilisation du microscope optique invers couple a celle du microscope a force atomique permet d'obtenir simultanment une caractrisation optique de l'chantillon (en fluorescence) et une caractrisation physique de surface avec une trs grande rsolution. - Utilisation : - Composants : Discrets et Plaquettes, taille max = 2 cm de diamtre - Fonctionnement : Automatique - Dure de la mesure : De quelques minutes a 1h (suivant la rsolution) - Frquence d'utilisation : Quotidien - Fluides utiliss : Air comprim - Appareils : Topometrix Explorer
- Performances : Rsolution maximale de l'ordre de 0.1nm en z et de 1nm en x et y pour le microscope a force atomique. Rsolution maximale de l'ordre du micron pour le microscope optique invers (champ clair, contraste de phase et fluorescence)
- Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : Adaptation de l'AFN pour des mesures sur des chantillons biologiques pour des applications de type biopuces. - Pour l'automatisation :
Caractrisation Electrique
19 A.3.6. Table X,Y,Z,0 pour l'tude de dispositifs de micro-dpots, de nano-stamping, et de profilomtrie en micro-cavits profondes.
- Responsables scientifiques : J.B. Pourciel, C. Bergaud, C. vieu - Utilisateur(s) habituel(s) : J.B. Pourciel, P. Belaubre - Objectifs : Nise en place d'un micro-positionneur X,Y,Z,0 pilot par micro- ordinateur destin a une utilisation pour plusieurs thmes dvelopps dans le groupe Nano Adressage. Le dispositif est complt par des actionneurs pizo-lectriques pour des dplacements nanomtriques et de diffrents modules d'acquisition rapide et de commande. - Etude des proprits de mouillage lors de dpts de picolitres de liquide. Etude physique de dispositifs de chargement et de dpt par utilisation d'un champ lectrique pour le chargement et le dpt. - Dispositif de placement (alignement automatique par rapport a la surface) d'un dispositif de nano-impression. - Profilomtrie et trac de surface a l'intrieur de cavits micro-usines prsentant un haut facteur de forme (mthode par mesure de force). - Utilisation : - Composants : Leviers pizo-lectriques, "plumes" pour le dpt, composants en PDNS - Fonctionnement : Automatique - Dure de la mesure : quelques minutes (rptitive) - Frquence d'utilisation : Quotidien - Fluides utiliss : Aucun - Appareils : - Performances : Prcision de la table: 0,5 m sur x, y, z et 0.005 d sur 0. Prcision globale du positionnement (avec actionneurs pizo-lectriques): 5 nm. Prcision en profilomtrie : +f- 25 nm. - Bibliographie : (utilisation en profilomtrie) Jean-Bernard Pourciel, Laurent Jalabert and Takahisa Masuzawa, "Profile and Surface Neasurement tool for high aspect- ratio microstructures", !nternational Journal of the Japan Society of Nechanical Engineers. Series C, vol +6, N3, 9-2003, pp916-922 - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : Exprimentation en cours de dveloppement. - Pour l'automatisation : - id - Caractrisation Electrique
20 A.4. LocalisationJMesure de points chauds A.+.1. Nesure de photomission
- Responsable scientifique : N. Nolhier - Utilisateur(s) habituel(s) : N. Bafleur, N. Nolhier, D. Tremouilles - Objectifs : Localiser sur une puce le lieu d'une focalisation de courant d'avalanche ou la distribution de courants de recombinaison. La mesure est effectue sur la face avant de la plaquette. Une mesure sur puce en botier avec fentre optique peut tre envisage. - Autonomie des utilisateurs : totale aprs une formation par le personnel de 2i - Utilisation : - Composants : Discrets et Plaquettes, taille max = 8 pouces - Fonctionnement : Nanuel - Dure de la mesure : De quelques secondes a 1h - Frquence d'utilisation : Hebdomadaire (80 C!P) - Fluides utiliss : Air comprim, vide - Appareils : Station Karl Suss PA200, Camra C+880-10 HANANATSU. Attention cette manipulation utilise la station de la manip 10. Les deux manipulations ne peuvent donc pas tre effectue en parallle. - Performances : Observation qualitative 5 grossissements : x2, x10, x20, x50 (!R), x100(!R) - Bibliographie : aucune
Caractrisation Electrique
21 A.+.2. Rponse thermique transitoire par thermomtrie !nfrarouge
- Responsable scientifique : J.N. Dorkel - Utilisateur(s) habituel(s) : J.N. Dorkel, P. Tounsi - Objectifs : Relev de la rponse thermique transitoire ponctuelle et rapide d'un composant soumis a un stress de dissipation de puissance. En principe adapt pour la mesure des chauffements lors des tests de tenue en nergie. - Autonomie des utilisateurs : totale aprs une formation par le personnel de 2i - Utilisation : - Composants : Discrets et Plaquettes, taille max = 6 pouces - Fonctionnement : Nanuel et Automatis - Dure de la mesure : variable suivant le nombre de points a relever - Frquence d'utilisation : peu utilis a l'heure actuelle a cause de la mauvaise qualit du signal dlivr par le microscope !R Barnes RN23 - Fluides utiliss : Air comprim, vide - Appareils : mmes appareils que pour la thermographie !R + table XY Karl Sss et microscope !R Barnes RN23 - Performances : rsolution spatiale : 25 m; dure de la rponse thermique transitoire : de 0,5 ms a 100 ms environ - Bibliographie : Documentation technique du RN23 et rapports de stage de Frdric Coste et Brigitte Sirgant pour le pilotage de la table XY (programme LABv!EW). - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : il serait ncessaire d'amliorer les performances en bruit de l'ensemble dtecteur-pr-amplificateur du microscope !R Barnes RN23. - Pour l'automatisation : les programmes de conduite automatique sont faits mais pas entirement tests. Caractrisation Electrique
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A.+.3. Thermographie !nfrarouge
- Responsable scientifique : J.N. Dorkel - Utilisateur(s) habituel(s) : J.N. Dorkel, P. Tounsi - Objectifs : Caractrisation thermique de composants et circuits intgrs de puissance - Autonomie des utilisateurs : totale aprs une formation par le personnel de 2i - Utilisation : - Composants : Discrets et Plaquettes, taille max = quelques cm - Fonctionnement : Nanuel - Dure de la mesure : variable - Frquence d'utilisation : variable - Fluides utiliss : Bouteille d'Argon - Appareils : Systme de thermographie TvS +100, alimentations de puissance, oscilloscope Tektronix TDS +30, gnrateurs de fonction, PC, thermomtres a thermocouple, bain thermostat - Performances : Rsolution spatiale de la thermographie !R : 25 m avec objectif microscope, vitesse d'acquisition : 30 images par seconde. - Bibliographie : pas de manip ddie mais organisation flexible, la documentation technique des appareils est disponible prs du site - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : envisageable si l'on pouvait trouver une camra !R capable de prendre 100 images par milliseconde, sinon il faudrait envisager un r- talonnage de la camra existante. - Pour l'automatisation : pas a l'ordre du jour car la manip doit rester fortement adaptative.
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23 A.+.+. Thermographie !nfrarouge rapide
- Responsable scientifique : E. Scheid, P. Tounsi - Utilisateur(s) habituel(s) : E. Scheid, tout chercheur - Objectifs : Caractrisation thermique de composants, circuits ou microsystme en rgime statique ou transitoire - Autonomie des utilisateurs : A voir . - Utilisation : - Composants : Discrets et Plaquettes, taille max = quelques cm - Fonctionnement : Nanuel - Dure de la mesure : variable - Frquence d'utilisation : variable - Fluides utiliss : aucun - Appareils : Camra infrarouge CED!P
- Performances : Dtecteur HgCdTe : 320 x 2+0 pixels (Bande 3,6m a +,8m) Rsolution spatiale de la thermographie !R : 1pixel = 10 m avec objectif G1, vitesse d'acquisition max : environ 20kHz en fentrage 2x6+ pixels. - Bibliographie : aucune - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : - Pour l'automatisation : Caractrisation Electrique
2+ A.+.5. AFN + tte thermique
- Responsable scientifique : G. Sarrabayrouse - Utilisateur(s) habituel(s) : N. Dilhan - Objectifs : - Autonomie des utilisateurs : aucune - Utilisation : - Composants : Plaquettes, taille max = - Fonctionnement : Automatis - Dure de la mesure : - Frquence d'utilisation : - Fluides utiliss : - Appareils : - Performances : - Bibliographie : - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : - Pour l'automatisation :
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25 A.5. Caractrisation de substrats
A.5.1. Nesure de dure de vie des porteurs
- Responsable scientifique : G. Sarrabayrouse - Utilisateur(s) habituel(s) : G. Sarrabayrouse - Objectifs : Nesure et cartographie de dure de vie des porteurs minoritaire sur plaquette, lingot ou couche pitaxie - Autonomie des utilisateurs : ? - Utilisation : - Composants : Plaquettes, taille max = 6" - Fonctionnement : Automatis - Dure de la mesure : 10'-1h - Frquence d'utilisation : rare - Fluides utiliss : vide - Appareils : EP!TEST -WT85 - Performances : Laser: 90+ nm, 15 ns fall time 2 antennes micro-ondes: contact, non contact rsolution: 0.5mm min rapidit: 30 msfpoint Densit de fer: > 109 cm-3 Passivation liquide, solide 1 s<dure de vie< 10 ms Possibilit d'extension SPv - Bibliographie : aucune
- Responsable scientifique : F. Olivi - Utilisateur(s) habituel(s) : F. Olivi - Objectifs : Dtermination des signatures des centres profonds, profils des dfauts, !(v) en temprature. - Autonomie des utilisateurs : Non - Utilisation : - Composants : Discrets et Plaquettes, taille max = 1cmx1cm - Fonctionnement : Automatis - Dure de la mesure : DLTS (25mn) - Frquence d'utilisation : variable - Fluides utiliss : Azote - Appareils : Banc de mesures B!ORAD 8000 - Performances : Trap concentration sensitivity : 10-7(ND-NA)<NT<10-5(ND-NA) Energy accuracy : +- 1, Energy resolution 10mev Emission rate range 5.10-+s-1<en<1.5.10+s-1 Signal : 1NHz, 100mv Ranges : 1-3000pF, Sensitivity : 0.01fF Offset compensation :0-3000pF Compensation Reproductibility : <100fF Pulse width : 500ns to 1000s, Pulse reolution 500ns, Pulse period 16s to +000s DC voltage : -20v to 20v, resolution 1mv DC Current : -10mA to +10mA, resolution 10pA - Bibliographie : Nanuel d'emploi trs mal rdig - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : achat carte tension +f-100volts de B!ORAD - Pour l'automatisation : Caractrisation Electrique
27 A.5.3. Nesure par Effet Hall
- Responsable scientifique : E. Bedel-Pereira - Utilisateur(s) habituel(s) : Tout chercheur - Objectifs : Nesure de la rsistivit, de la concentration et la mobilit des porteurs dans les semiconducteurs (type n et p) a la temprature ambiante ou a 77K (en utilisant de l'azote liquide) - Autonomie des utilisateurs : Oui, aprs une formation - Utilisation : - Composants : Plaquettes, taille max = 2x2 cm - Fonctionnement : Automatis - Dure de la mesure : 15min - Frquence d'utilisation : A voir - Fluides utiliss : Azote liquide pour mesures a 77K - Appareils : Accent HL5500PC - Performances : Aimant de 0.32T Rsistivit de 0.1NOf a 100GOf Source de courant : 1pA - 19.9mA Compliance : 20v - Bibliographie : - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : ? - Pour l'automatisation :
Caractrisation Electrique
28 A.5.+. AFN + tte Spreading Resistance
- Responsable scientifique : G. Sarrabayrouse - Utilisateur(s) habituel(s) : N. Dilhan - Objectifs : - Autonomie des utilisateurs : aucune - Utilisation : - Composants : Plaquettes, taille max = - Fonctionnement : Automatis - Dure de la mesure : - Frquence d'utilisation : - Fluides utiliss : - Appareils : - Performances : - Bibliographie : - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : - Pour l'automatisation : Caractrisation Electrique
29 A.6. Caractrisation de composants discrets J microsystmes A.6.1. Caractrisation de micromirroirs
- Responsable scientifique : H. Camon - Utilisateur(s) habituel(s) : H. Camon, C. Ganibal - Objectifs : Caractrisation angulaire dynamique a la rsonance et en basculement en fonction de la pression environnante - Autonomie des utilisateurs : oui - Utilisation : - Composants : Discrets - Fonctionnement : Nanuel - Dure de la mesure : jour - Frquence d'utilisation : par campagne de quelques jours - Fluides utiliss : vide (pompe) - Appareils : source de tension (jusqu'a 1700v), gnrateur de frquence, pompe a vide, oscilloscopes, ordinateur PC, capteur PSD et lectronique associe, laser rouge 1mW (scurit oculaire), bouteille d'azote prochainement. - Performances : Les micromiroirs peuvent tre valus en rponse statique et frquentielle (jusqu'a 800v), et indicielle (jusqu'a 1700v), a diffrentes pressions. La commande est indiffremment applique a l'une des lectrodes, ou aux deux. Les rsultats sont mmoriss par un oscilloscope numrique et transfrs sur PC. - Bibliographie : Aucune pour l'instant - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : possibilit d'teindre l'clairage non sur la zone, plutt que d'imposer l'obscurit a tout le monde - Pour l'automatisation : non envisag
Caractrisation Electrique
30 A.6.2. Nesure de paramtres de transistors NOS
- Responsable scientifique : H. Tranduc - Utilisateur(s) habituel(s) : Tous - Objectifs : Caractristiques de sortie !d(vd), caractristiques de transfert !d(vg), !d(vg) sous le seuil, caractristiques !(v) en direct de la diode drain- canal. Extraction des paramtres : Kp (facteur de pente), vt (tension de seuil), Ron (rsistance a l'tat passant), Rsrie (Rsistance srie de drain), courants de fuite, !0 (courant extrapol a vdiode=0), et n (facteur d'idalit de la diode). - Autonomie des utilisateurs : totale aprs une formation par le personnel de 2i - Utilisation : - Composants : Discrets et Plaquettes, taille max = 8 pouces - Fonctionnement : Nanuel ou Automatis - Dure de la mesure : 5 minutes pour 1 composant - Frquence d'utilisation : variable - Fluides utiliss : Air comprim, vide - Appareils : HP+1+2B, Karl Suss PA200 - Performances : Gamme en courant : 1 pA -> 1 A Gamme en tension : 0.1 mv -> 200 v Puissance : 20 W En puls : 1A -> 10A et 0.2 mv -> 10v - Bibliographie : aucune - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : - Pour l'automatisation : Nettre a jour les procdures d'extraction des paramtres Caractrisation Electrique
31 A.6.3. Nesure de temps de commutation de transistor NOS
- Responsable scientifique : H. Tranduc - Utilisateur(s) habituel(s) : Tous - Objectifs : Nesure de temps de commutation sur charge rsistive. La maquette est a raliser au coup par coup par l'utilisateur. - Autonomie des utilisateurs : ? - Utilisation : - Composants : Discrets - Fonctionnement : Nanuel - Dure de la mesure : Quand la maquette existe : de quelques minutes a 1 heure - Frquence d'utilisation : - Fluides utiliss : Aucun - Appareils : Oscillo Tektronix 500 NHz, + voies Alim Fontaine 500vf+A, Alim HP 60vf9A, Alim HP 120vf+A - Performances : Temps de commutation a partir de 10 ns. - Bibliographie : aucune - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : - Pour l'automatisation : Traitement des donnes pour extraire les temps de commutation.
33
B : CARACTER!SAT!ON HYPERFREQUENCE
Caractrisation Hyperfrquence
35 B.1. Mesure de bruit B.1.1. Bancs de mesures de bruit basse frquence (BF)
- Responsable scientifique : R. Plana - Utilisateur(s) habituel(s) : R. Plana, L. Bary, doctorants,. - Objectifs : Nesure du bruit basse frquence de 1 Hz a 100 kHz, deux bancs (a) et (b) bass sur des mthodes diffrentes - Localisation : E56 - Autonomie des utilisateurs : accs limit, longue formation ncessaire - Utilisation : - Composants : Discrets et Plaquettes - Fonctionnement : banc (a) automatis, banc (b) manuel - Dure de la mesure : de quelques minutes a plusieurs heures - Frquence d'utilisation : quotidien - Fluides utiliss : Air comprim, vide (pour les stations sous pointes) - Appareils : commun : station sous-pointes Cascade Nicrotec 9600, cages de Faraday, multimtres HP 3++01A, banc (a) : FFT Takeda Riken TR9+05A, amplificateur faible bruit EG8G 518+,. banc (b) :FFT HP 89+10A, amplificateurs transimpdance EG8G5182,. - Performances : Nesures permettant d'observer des niveaux de bruit d'amplitude d' l'ordre de 10 -1+ AfHz Temps de mesure : - banc (a) : 5 a 10 min pour un diple, +5 a 60 min pour un quadriple, - banc (b) : 5 min pour un diple, 15 a 20 min pour un quadriple. - Bibliographie : Thses R. Plana, L. Bary - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : mesure en temprature - Pour l'automatisation : a dvelopper sur la banc (b)
Caractrisation Hyperfrquence
36 B.1.2. Banc de mesures de bruit de phase,
- Responsable scientifique : O. Llopis - Utilisateur(s) habituel(s) : O. Llopis, doctorants,. - Objectifs : Nesure du bruit de phase d'oscillateurs et d'amplificateurs de 1 Hz a 100 kHz, Nesure active ou passive jusqu'a 18 GHz, et par conversion de frquence jusqu'a +0 GHz - Localisation : E56 - Autonomie des utilisateurs : accs limit, longue formation ncessaire - Utilisation : - Composants : Discrets et Plaquettes - Fonctionnement : Automatis - Dure de la mesure : 10 a 15 min - Frquence d'utilisation : quotidien - Fluides utiliss : Air comprim, vide (pour les stations sous pointes) - Appareils : Station sous-pointes Nicrotec Nodel 22, Analyseur de spectre Anritsu NS2665C, FFT Advantest R9211B, cage de Faraday, synthtiseur Wiltron 691+7A,. - Performances : Bruit de phase de quadriple : plancher de l'ordre de -180 dBcfHz (dpend de la frquence) Bruit de phase d'oscillateurs : dpend de la technique utilise (active ou passive) et de la frquence - Bibliographie : Thse N. Rgis, Thse G. Cibiel, rapport LAAS 02591 (dition Herms) La mesure de bruit de phase en Hyperfrquence O. Llopis - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : utilisation d'une rfrence saphir, monte en frquence. - Pour l'automatisation : remplacement du PC (ancien) et changement ou volution du logiciel de programmation Caractrisation Hyperfrquence
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B.1.3. Banc de mesures de bruit linaire haute frquence (HF) de 1GHz a +0GHz,
- Responsable scientifique : L. Escotte - Utilisateur(s) habituel(s) : L. Escotte, J.-G. Tartarin, doctorants,. - Objectifs : - Paramtres du bruit et paramtres S entre 1 et +0 GHz de transistors sous-pointes ou discret, - Facteur de bruit d'amplificateurs, - Nesure en temprature (sous-pointes): -60Cf200C (26-+0 GHz). - Localisation : E56 - Autonomie des utilisateurs : accs limit, longue formation ncessaire - Utilisation : - Composants : Discrets et Plaquettes - Fonctionnement : Automatis - Dure de la mesure : 30 a +0 min - Frquence d'utilisation : hebdomadaire - Fluides utiliss : Air comprim, vide (pour les stations sous pointes), air assch (pour les mesures en temprature) - Appareils : station sous-pointes Sss Nicrotec PN8, tuner Naury NT986A, analyseur de rseau Agilent HP8510, analyseur de spectre Rhode 8 Schwarz FSEK, source programmable HP6625A,. - Performances :
- Bibliographie : Thse S. Long, Thse J.-G. Tartarin - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : - Pour l'automatisation : Caractrisation Hyperfrquence
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B.1.+. Banc de mesures de bruit non linaire haute frquence (HF)
- Responsable scientifique : L. Escotte, O. Llopis - Utilisateur(s) habituel(s) : L. Escotte, doctorants,. - Objectifs : Nesure du facteur de bruit de dispositifs actifs en rgime de compression, application : dispositifs non linaires tels que les mlangeurs - Localisation : E56 - Autonomie des utilisateurs : accs limit, longue formation ncessaire - Utilisation : - Composants : Discrets et Plaquettes - Fonctionnement : Nanuel - Dure de la mesure : 10 min - Frquence d'utilisation : variable - Fluides utiliss : Air comprim, vide (pour les stations sous pointes) - Appareils : station sous-pointes Sss Nicrotec PN8, source programmable HP6625A, analyseur de rseau Rhode 8 Schwartz ZvRE, analyseur de spectre HP 70000, synthtiseur Anritsu NG369+A,. - Performances : en cours d'valuation
- Bibliographie : stage de DEA en cours - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : - Pour l'automatisation :
Caractrisation Hyperfrquence
39 B.2. Bancs de mesures de paramtres S
- Responsable scientifique : T. Parra - Utilisateur(s) habituel(s) : D. Dubuc, L. Bary,. - Objectifs : Gamme frquentielle couverte entre 9 kHz et 67 GHz, Possibilit de mesures en temprature sous pointes (min -60C, max+200C), - Localisation : E35 - Autonomie des utilisateurs : totale aprs une formation par le personnel de 2i - Utilisation : - Composants : Discrets et Plaquettes - Fonctionnement : Semi-automatis - Dure de la mesure : 30 a +0 min - Frquence d'utilisation : quotidien - Fluides utiliss : Air comprim, vide (pour les stations sous pointes), air assch (pour les mesures en temprature) - Appareils : stations sous-pointes Sss Nicrotec PN8 etfou PA200, analyseurs de rseau Anritsu 37397C etfou Wiltron 360B. - Performances :
- Bibliographie : - - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : Evolution vers des mesures a 110 GHz - Pour l'automatisation :
Caractrisation Hyperfrquence
+0 B.3. Banc de fiabilit de commutateurs MEMS hyper entirement automatis
- Responsable scientifique : D. Dubuc - Utilisateur(s) habituel(s) : D. Dubuc, doctorants,. - Objectifs : - Contrle d'activation du commutateur (cyclage), - Nesures paramtres en S, possibilit de mesurer en temprature, - Nesures electro-mcanique et de fiabilit. - Localisation : E35 - Autonomie des utilisateurs : accs limit, longue formation ncessaire - Utilisation : - Composants : Discrets et Plaquettes - Fonctionnement : Automatis - Dure de la mesure : 30 a +0 min - Frquence d'utilisation : hebdomadaire - Fluides utiliss : Air comprim, vide (pour les stations sous pointes), air assch (pour les mesures en temprature) - Appareils : stations sous-pointes Sss Nicrotec PA200, analyseur de rseau Anritsu 37397C, Hotte a flux laminaire d'ADS laminaire, Contrleur en temprature avec thermo-chuck TP03200A de Temptronic, Scheur d'air par adsorption DAn2, sources programmables HP6625A, oscilloscope numrique HP5+501A,. - Performances : - Bibliographie : Nmoire lve ingnieur J.-L. Salan - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : - Pour l'automatisation :
Caractrisation Hyperfrquence
+1 B.4. Bancs de mesures DC {en impulsion, en continu et analyse impdance basse frquence)
- Responsable scientifique : - Utilisateur(s) habituel(s) : O. Llopis, L. Bary, J.-G. Tartarin, doctorants,. - Objectifs : caractrisation de diodes, transistors bipolaires et a effet de champ,. - Localisation : E56 8 E35 - Autonomie des utilisateurs : totale aprs une formation par le personnel de 2i - Utilisation : - Composants : Discrets et Plaquettes - Fonctionnement : Automatis - Dure de la mesure : 10 min DC, de quelques secondes a quelques heures pour impulsion - Frquence d'utilisation : journalire - Fluides utiliss : Air comprim, vide (pour les stations sous pointes), air assch (pour les mesures en temprature) - Appareils : station sous-pointes Cascade Nicrotec Nodel 22, source programmable Agilent HP+1+2, Diva 225, analyseur d'impdance Agilent HP+192A,. - Performances :
- Bibliographie : - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : pour les mesures en impulsion, acquisition d'un appareil entirement automatis (valuation en cours de l'Accent Diva 225) - Pour l'automatisation :
+3
C : CARACTER!SAT!ON OPT!QUE
Caractrisation Optique
+5 C.1. Tests paramtriques : mesure de puissance, de tension, spectre C.1.1. Caractrisation vCSEL (Nesure de !, v, P, spectre, diagramme de rayonnement) - Bat. C, 86
- Responsables scientifiques : v.Bardinal, T.Camps, G.Almuneau - Utilisateur(s) habituel(s) : v.Bardinal, T.Camps, G.Almuneau, C.Bringer, stagiaires - Objectifs : Acquisition des courbes tension et puissance dlivre par composant vCSEL en fonction du courant. Gammes de courant : courant de quelques nA a 200mA et tension jusqu'a 7v, a temprature ambiante. - Autonomie des utilisateurs : accs limit, formation ncessaire - Utilisation : - Composants : Discrets, a mission par la surface - Fonctionnement : Nanuel et Automatis (commande du monochromateur via visual Basic) - Dure de la mesure : quelques minutes par composant a plusieurs heures - Frquence d'utilisation : quotidien - Fluides utiliss : purge azote dans le monochromateur HR1000 - Appareils : 1 alimentation PRO8000 avec module LDC8002, 1 ampremtre TT!, 1 dtection synchrone HTDS 128A, 1 photodiode Si, 1 alimentation tension, optique et opto-mcanique, 2 FO (1 multimode, 1 monomode), 1 source de lumire blanche fibre, 1 camra SONY + moniteur, 1 monochromateur HR1000 + systme acquisition, 1 LASER Ar + Ti:Al 2 O 3 . - Performances : Celles du LDC8002 : Courant : Nax 200mA f Rsolution 10A Tension : Nax 7v - Bibliographie : Rapports de stage de J.POLESEL-NAR!S, N.R!v!ERE
- Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : Rgulation en temprature du support de vCSEL - Pour l'automatisation : Contrle en temprature du support via le programme vB et alim PRO8000 Caractrisation Optique
+6 C.1.2. Caractrisation de diodes laser mettant par la "tranche" (Nesure de !, P, v, spectre, diagramme de rayonnement) - Bat. C, 88
- Responsables scientifiques : S.Bonnefont, O.Gauthier-Lafaye - Utilisateur(s) habituel(s) : S.Bonnefont, O.Gauthier-Lafaye, D.Nulin, N.Boutillier - Objectifs : Caractrisation des diodes laser : P(!), v(!), spectre, diagramme de rayonnement - Autonomie des utilisateurs : accs limit, formation ncessaire - Utilisation : - Composants : Discrets, a mission par la tranche - Fonctionnement : Nanuel et Automatis (commande monochromateur et systme acquisition via visual Basic) - Dure de la mesure : quelques minutes a quelques heures par composant - Frquence d'utilisation : quotidien - Fluides utiliss : aucun - Appareils : 1 alimentation !LX, optique et opto-mcanique, camra SONY + moniteur, spectrographe ANDO, photodiode - Performances : Celles de l'!LX: Courant : Nax 200mA f Rsolution 10A, Tension : Nax 7v Celles de l'ANDO: Rsolution : 0.05nm, entre fibre FCfPC, de 0.6m a 1.7m - Bibliographie : Rapports de stage ? - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : Rgulation en temprature et humidit de la salle (viter la rouille) - Pour l'automatisation : Caractrisation Optique
+7 C.2. Caractrisation matriaux et composants C.2.1. Nesure de gain des diodes laser - Bat. C, 86
- Responsables scientifiques : S.Bonnefont, O.Gauthier-Lafaye, D.Nulin - Utilisateur(s) habituel(s) : S.Bonnefont, O.Gauthier-Lafaye, D.Nulin, B.Nessant - Objectifs : Nesure du gain de diodes laser mettant par la tranche a 1.3m ou 1.5m en mode impulsionnel. - Autonomie des utilisateurs : accs limit, formation ncessaire - Utilisation : - Composants : Discrets - Fonctionnement : Nanuel et Automatis (commande monochromateur et systme acquisition via visual Basic) - Dure de la mesure : quelques minutes par composant - Frquence d'utilisation : - Fluides utiliss : aucun - Appareils : Alimentation !LX, monochromateur HR1000, 1 dtection synchrone EG8G 5209 ou Boxcar, dtecteur PN AsGa Hamamatsu, 1 PC de commande - Performances : Celles du HR1000 : rsolution 0.008nm - Bibliographie : Rapports de stage - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : Exprimentation pouvant voluer vers la mesure de lumire spontane Stabilit de la temprature et des vibrations (influence sur les mesures) - Pour l'automatisation :
Caractrisation Optique
+8 C.2.2. Rflectivit en lumire blanche - Bat. C, 86
- Responsables scientifiques : v.Bardinal - Utilisateur(s) habituel(s) : v.Bardinal - Objectifs : Rflectivit sur chantillons vCSEL, et sur plaques de silicium - Autonomie des utilisateurs : accs limit, formation ncessaire - Utilisation : - Composants : Discrets - Fonctionnement : Nanuel et Automatis (commande monochromateur et systme acquisition via visual Basic) - Dure de la mesure : quelques minutes par composant - Frquence d'utilisation : 3-+ jours de mesures, a raison de 2 a 3 campagnes par an - Fluides utiliss : aucun - Appareils : Source de lumire blanche Jobin-Yvon, monochromateur HR1000 (bientt DK+80), 1 dtection synchrone EG8G 5209, dtecteurs !nGaAs, AsGa, 1 PC de commande
- Performances : Celles du HR1000 : rsolution 0.008nm - Bibliographie : Rapport de stage tudiant BTS 2003 - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : Exprimentation qui sera transfre en salle RTP (Bat.C, 17+b) sur le monochromateur DK+80 pilot en Labwindows Cv! - Pour l'automatisation :
Caractrisation Optique
+9 C.2.3. Caractrisation des guides fluorures dops TR - Bat. C, 86
- Responsables scientifiques : E.Daran - Utilisateur(s) habituel(s) : E.Daran, B.viallet - Objectifs : Caractrisation du guidage dans les chantillons fluorures dops TR : dure de vie, pertes a la propagation, luminescence en mode guid, caractrisation de rseaux. - Autonomie des utilisateurs : accs limit, formation ncessaire - Utilisation : - Composants : Discrets, a mission par la tranche - Fonctionnement : Nanuel et Automatis (commande moteur Lyot, monochromateur et systme acquisition via visual Basic) - Dure de la mesure : quelques minutes par composant - Frquence d'utilisation : quelques campagnes par an, a raison de 2 jours par semaine - Fluides utiliss : aucun - Appareils : Laser Argon 7W, Laser Ti:Saphir, objectifs pour injection, monochromateur HR1000, dtecteurs !nGaAs, Ge, Si, PN AsGa, 1 PC de commande
- Performances : Celles du couplage : !njection de la lumire du Ti:Saphir via un objectif optique dans le guide (p. 2m) - Bibliographie : - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : - Pour l'automatisation :
Caractrisation Optique
50 C.2.+. Optique non linaire - Bat. A, S28
- Responsables scientifiques : C.De Natos, N.Pugnet - Utilisateur(s) habituel(s) : C.De Natos, N.Pugnet - Objectifs : Exploration de puissances crtes leves a des longueurs d'onde ajustables pour l'optique non linaire Application possible : ondes de choc dans les semiconducteurs - Autonomie des utilisateurs : accs limit, formation ncessaire - Utilisation : - Composants : Discrets - Fonctionnement : Nanuel - Dure de la mesure : quelques minutes par composant - Frquence d'utilisation : quelques campagnes par an - Fluides utiliss : aucun - Appareils : Laser YAG puls + gnrateur optique paramtrique, Boxcar, photodiodes rapides Si, Ge, optomcanique.
- Performances : Celles Laser : !mpulsions : 10Hz, 15ps, ajustable de 75nm a 2m, puissance 50mJ a 1.06m, 25mJ dans le vert. - Bibliographie : - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : - Pour l'automatisation :
Caractrisation Optique
51 C.2.5. Rseaux de diffraction - Bat. A, S12
- Responsables scientifiques : Ph.Arguel - Utilisateur(s) habituel(s) : Ph.Arguel - Objectifs : Caractrisation des rseaux de diffraction (mesure du pas, uniformit), Nesure de l'indice effectif des matriaux et composants. - Autonomie des utilisateurs : accs limit, formation ncessaire - Utilisation : - Composants : Discrets - Fonctionnement : Nanuel - Dure de la mesure : quelques minutes par composant - Frquence d'utilisation : quelques campagnes par an - Fluides utiliss : aucun - Appareils : Laser Argon a 363nm, Laser He-Ne, optiques, diodes laser du commerce a diffrentes longueurs d'onde, moteur pas a pas, puissance-mtre Advantest, montage mcanique 3D - Performances : Celles du puissance-mtre : Surface de dtection 1cm 2 , P dtecte de 1nW a 50mW, de +00nm a 1.1m Celles du montage 3D : Prcision 10 -3 degr - Bibliographie : - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : veiller a conserver l'environnement propre et stable thermiquement ncessaire aux caractrisations des rseaux, ainsi que la possibilit d'obscurit totale. - Pour l'automatisation :
Caractrisation Optique
52 C.3. Spectroscopie C.3.1. Photoluminescence - Bat. C, 86
- Responsables scientifiques : E.Bedel, C.Fontaine, A.Arnoult - Utilisateur(s) habituel(s) : E.Bedel, C.Fontaine, A.Arnoult, P.Gallo - Objectifs : Contrle de l'intensit et de la longueur d'onde mises par les structures pitaxies dans le bati de NBE, et contrle de l'tat et de la rponse du bati NBE - Autonomie des utilisateurs : accs limit, formation ncessaire - Utilisation : - Composants : Discrets - Fonctionnement : Nanuel et Automatis (commande monochromateur et systme acquisition via visual Basic) - Dure de la mesure : quelques minutes par composant. Ajouter le temps ncessaire pour pomper le cryostat (environ .min). - Frquence d'utilisation : au moins 2 jours par semaine pendant une campagne de croissances NBE - Fluides utiliss : balayage d'azote dans le monochromateur HR1000 - Appareils : Laser Argon 7W, laser Ar 1W, monochromateur HR1000, cryostat, 1 dtection synchrone 5209, dtecteurs (PD !nGaAs, PN GaAs), 1 PC de commande
- Performances : Celle du HR1000: Rsolution 0.008nm Celle du cryostat :Temprature minimale : 15K - Bibliographie : aucune - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : Rgulation en temprature et humidit de la salle (viter la rouille) - Pour l'automatisation :
Caractrisation Optique
53 C.3.2. Excitation de luminescence - Fluorures dopes TR - Bat. C, 86
- Responsables scientifiques : E.Daran - Utilisateur(s) habituel(s) : E.Daran, B.viallet - Objectifs : Caractrisation spectrale des chantillons fluorures dops Terres Rares en fonction de la longueur d'onde d'excitation. Dtermination de la dure de vie. - Autonomie des utilisateurs : accs limit, formation ncessaire - Utilisation : - Composants : Discrets - Fonctionnement : Nanuel et Automatis (commande monochromateur et systme acquisition via visual Basic) - Dure de la mesure : quelques minutes par composant. - Frquence d'utilisation : 1 fois tous les 2 mois a 2 fois par mois a raison de +-5 jours par campagne - Fluides utiliss : balayage d'azote dans le monochromateur HR1000 - Appareils : Laser Argon 7W, laser Ti:Saphir, laser Ar 1W, monochromateur HR1000, cryostat, 1 dtection synchrone 5209, dtecteurs (PD Si, !nGaAs, Ge, PN GaAs), 1 PC de commande
- Performances : Celle du HR1000 : rsolution 0.008nm Celle du cryostat : temprature minimale : 15K - Bibliographie : aucune - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : - Pour l'automatisation :
Caractrisation Optique
5+ C.4. Bruit C.+.1. Optique et Nicro-Ondes - Bat. E, sous-sol
- Responsables scientifiques : O.Llopis - Utilisateur(s) habituel(s) : O.Llopis, B.Onillon - Objectifs : Bruit des liaisons optiques analogiques, caractrisation de composants, ralisation d'oscillateurs contrls par fibre optique. Ces mesures sont ralises sur des modules connectoriss ou sous pointe. - Autonomie des utilisateurs : accs limit, formation ncessaire - Utilisation : - Composants : Discrets - Fonctionnement : Nanuel - Dure de la mesure : - Frquence d'utilisation : - Fluides utiliss : - Appareils : Nodules Laser Tlcom, photodiode fibre, photodiodes, wattmtre, attnuateurs, diode laser (830nm, 16mW) - Performances : Celle des modules Tlcom : =1.5m, 10mW, modulable a 3GHz, =1.5m, 3mW, modulable a 15GHz, Celle de la photodiode fibre : rapide, caractrise jusqu'a 30GHz Celle du wattmtre : de 800nm a 1.5m - Bibliographie : - Amliorations souhaites - Pour l'instrumentation : - Pour l'automatisation :