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Resumen Mems Sistemas Micro electromecnicos (Microelectromechanical Systems, MEMS) se refieren a la tecnologa electromecnica, micromtrica y sus productos, y a escalas relativamente ms pequeas (escala nanomtrica) se fusionan en sistemas nanoelectromecnicos(Nanoelectromechanical Systems, NEMS) y Nanotecnologa. MEMS tambin se denominan 'Micro Mquinas' (en Japn) o 'Tecnologa de Micro Sistemas' - MST (en Europa). Los MEMS son independientes y distintos de la hipottica visin de la nanotecnologa molecular o Electrnica Molecular. MEMS en general varan en tamao desde un micrmetro (una millonsima parte de un metro) a un milmetro (milsima parte de un metro). En este nivel de escala de tamao, las construcciones de la fsica clsica no son siempre ciertas. Debido a la gran superficie en relacin al volumen de los MEMS, los efectos de superficie como electrosttica y viscosidad dominan los efectos de volumen tales como la inercia o masa trmica. El anlisis de elementos finitos es una parte importante del diseo de MEMS. La tecnologa de sensores ha hecho progresos significativos debido a los MEMS. La complejidad y el rendimiento avanzado de los sensores MEMS han ido evolucionando con las diferentes generaciones de sensores MEMS.1 El potencial de las mquinas muy pequeas fue apreciado mucho antes de que existiera la tecnologa que pudiera construirlas vase, por ejemplo, la famosa lectura de 1959 de Feynman "Hay mucho espacio en lo pequeo". Los MEMS se convirtieron en prcticos una vez que pudieran ser fabricados utilizando modificacin de tecnologas de fabricacin de semiconductores, normalmente utilizadas en electrnica. Estos incluyen moldeo y galvanoplastia, grabado hmedo (KOH, TMAH) y grabado en seco (RIE y DRIE), el mecanizado por electro descarga (EDM), y otras tecnologas capaces de fabricar dispositivos muy pequeos.

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Existen diferentes tamaos de empresas con importantes programas MEMS. Las empresas ms grandes se especializan en la fabricacin de componentes de bajo costo alto volumen o paquetes de soluciones para los mercados finales como el automotriz, biomedicina, y electrnica. El xito de las pequeas empresas es ofrecer valor en soluciones innovadoras y absorber el costo de fabricacin con altos mrgenes de ventas. Tanto las grandes como las pequeas empresas realizan trabajos de I + D para explorar la tecnologa MEMS. Uno de los mayores problemas de los MEMS autnomos es la ausencia de micro fuentes de energa con alta densidad de corriente, potencia y capacidad elctrica. MICROSISTEMA Un microsistema se define como un sistema inteligente miniaturizado que comprende funciones sensoras, de proceso y/o de actuacin. Comprender como mnimo dos de las siguientes propiedades: elctricas, mecnicas, pticas, qumicas, biolgicas, magnticas u otras, de forma integrada en un slo chip o en un mdulo hbrido multichip. Compuesto por: MICROSENSORES ACTUADORES UNIDAD DE PROCESAMIENTO VENTAJAS POSIBI LIDAD DE FABRICACION EN MESA REPRODUCTIVIDAD PRESTACIONES TAMAO

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NOVEDOSOS MEMS Microrobots

hybrid insect micro-electromechanical system

ESCALAMIENTO DE FUERZAS Fuerza gravitacional.-En el micro mundo la fuerza gravitacional es despreciable Fuerza Elstica.-Al variar las dimensiones la fuerza elstica tiene un escalamiento pero no tanto como la de la gravedad debido a sus constantes elsticas

Fuerza electrosttica.-No vara, es siempre atractiva, depende de la carga o voltaje aplicado Fuerza creada por efecto piezoelctrico.-Un voltaje es producido como resultado de una fuerza Una deformacin puede ser creada por un campo elctrico Fuerza Gravedad Elstica Electrosttica Piezoelctrica Electromagntica Tensin Superficial Expansin trmica Regla de escalado S3 S2 S0 S S2 S S

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ESTRUCTURA CRISTALINA DE SILICIO El silicio, dependiendo de su forma, puede usarse como aislante o como conductor, posee 14 electrones y 4 de valencia. NDICE DE MILLER Para poder identificar unvocamente un sistema de planos cristalogrficos se les asigna un juego de tres nmeros que reciben el nombre de ndices de Miller. Los ndices de un sistema de planos se indican genricamente con las letras (h k l). Los ndices de Miller son nmeros enteros, negativos o positivos, y son primos entre s. El signo negativo de un ndice de Miller debe ser colocado sobre dicho nmero. El ndice de Miller fue presentado por primera vez por el mineralogista britnico William Hallowes Miller en 1839. Existen adems otras notaciones1 para los casos especiales de cristales con planos simtricos.

FOTOLITOGRAFA Litografa en el contexto MEMS es, por lo general la transferencia de un patrn a un material fotosensible por exposicin selectiva a una fuente de radiacin, como la luz Proceso rpido y barato

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Involucra el uso de una imagen ptica y una pelcula fotosensible para producir un molde o estampado MICRO MAQUINADO DE VOLUMEN Para formar estructuras 3D Usado para la produccin de acelermetros y micro-sensores Ataques: Isotrpico y Aniso trpicos (mayormente usado) depende como este posicionada la oblea Ataque hmedo Solucin reactiva es un lquido. Ataque comn es el HNA Ataque secos Se bombardea iones acelerados de plasma

SUPERCAPACITORES Los supe condensadores tambin conocidos como condensadores electroqumicos de doble capa, supercapacitores, pseudocapacitores, ultracondensadores, ultracapacitores o simplemente EDLC por sus siglas en ingls, son dispositivos electroqumicos capaces de sustentar una densidad de energa inusualmente alta en comparacin con los condensadores normales, presentando una capacitancia miles de veces mayor que la de los condensadores electrolticos de alta capacidad. Mientras que un tpico condensador electroltico D-Cella tiene una capacitancia de decenas de miliFaradios (mF), la de un EDLC del mismo tamao ser de varios Faradios, o sea alrededor de dos o tres rdenes de magnitud mayor, pero generalmente con

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una menor tensin de trabajo. Los EDLC comerciales de mayor tamao cuentan con capacitancias tan elevadas como 5000 F, alcanzando densidades de energa de hasta 30 Wh/kg.

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Nano tubos de carbono Los nanotubos de carbono son una forma alotrpica del carbono, como el diamante, el grafito o los fullerenos. Su estructura puede considerarse procedente de una lmina de grafito enrollado sobre s misma.1 Dependiendo del grado de enrollamiento, y la manera como se conforma la lmina original, el resultado puede llevar a nanotubos de distinto dimetro y geometra interna.

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Nano esferas