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FATEC - SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo -

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CCUURRSSOO DDEE MMAATTEERRIIAAIISS,, PPRROOCCEESSSSOOSS EE CCOOMMPPOONNEENNTTEESS EELLEETTRRÔÔNNIICCOOSS -- MMPPCCEE

LLAABBOORRAATTÓÓRRIIOO DDEE TTEECCNNOOLLOOGGIIAA DDOO VVÁÁCCUUOO LLTTVV

I A A D D O O V V Á Á C C U U O

DDIISSCCIIPPLLIINNAA DDEE TTEECCNNOOLLOOGGIIAA DDOO VVÁÁCCUUOO

PPrrooff MMee FFrraanncciissccoo TTaaddeeuu DDeeggaassppeerrii

SSããoo PPaauulloo SSPP BBrraassiill

22000066

S S P P – – B B r r a a s s i i

Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060

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CCRRIITTÉÉRRIIOO DDEE AAVVAALLIIAAÇÇÃÃOO EE BBIIBBLLIIOOGGRRAAFFIIAA Disciplina de Tecnologia do Vácuo – 1 o Semestre de 2006

CCrriittéérriioo ddee AAvvaalliiaaççããoo

Para efeito de avaliação na disciplina de Tecnologia do Vácuo, temos as seguintes provas e atividades:

- Atividades: A1, A2, A3 E A4.

- Atividade de Projeto: A5.

- Provas: P1, P2 e P3.

- Prova Substitutiva: PV. Esta prova pode substituir a mais baixa nota de uma das provas. Critério Matemático:

(A1+A2+A3+A4+2xA5)/6 = A

(P1+P2+P3)/3 = P

Se MF < 5,0: Reprovado com conceito C. Se 5,0 <= MF < 7,0: Aprovado com conceito B. Se 7,0 <= MF < 9,0: Aprovado com conceito A. Se 9,0 <= MF <= 10,0: Aprovado com conceito E.

MÉDIA FINAL (MF) = (A+P) / 2

Observação Geral: Nesta disciplina damos atenção especial às questões e o tipo delas. Procuramos enfatizar as questões que são realmente encontradas no mundo do vácuo. Também procuramos pedir questões do tipo dissertativas, uma vez que escrever e registrar as idéias são sempre tarefas importantes e difíceis. Mas são também fundamentais no mundo atual, cada vez mais. Esta é uma grande oportunidade que os estudantes têm para exercitar a redação e encadear raciocínio durante a elaboração de um relato. Mesmo que o estudante não venha a trabalhar com tecnologia do vácuo, o tipo proposto de questão também é de cunho formativo: o estudante aprenderá a trabalhar em outras áreas, fazendo modelos físicos, raciocinando, escrevendo, consultando livros e catálogos atuais. Para muitos estudantes, acredito que seja o primeiro contato com uma disciplina tecnológica. Livros e muitos materiais didáticos e profissionais não faltam para um efetivo aprendizado. O importante hoje, e cada vez mais, além do conhecimento, é aprender a procurar respostas aos problemas. Se possível, respostas criativas e de baixo custo. Nesta disciplina procuramos discutir fisicamente os problemas e em seguida tratá-los matematicamente. Os raciocínios desenvolvidos procuram ser informativos dentro da disciplina mas também tem carácter formativo. Aqui está um excelente momento para começar a praticar. Assim, aproveite! BOM SEMESTRE!!!

Disciplina de Tecnologia do Vácuo – Curso MPCE

Prof. Me. Francisco Tadeu Degasperi

Responsável pela Disciplina de Tecnologia do Vácuo e pelo LTV

pela Disciplina de Tecnologia do Vácuo e pelo LTV Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP

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BBIIBBLLIIOOGGRRAAFFIIAA

LLiivvrrooss ee CCaattáállooggooss ddaa ÁÁrreeaa ddee TTeeccnnoollooggiiaa ddoo VVááccuuoo

Temos na biblioteca da Fatec-SP um bom, ou melhor, um muito bom acervo referente a área de

Tecnologia do Vácuo. Há livros com diferentes enfoques e graus de profundidade. Para um bom

acompanhamento da disciplina, além de um eficiente aprendizado, os estudantes devem estar em

constante contato com os livros. Os livros listados a seguir estão em ordem de profundidade:

- Basic Vacuum Technology, A. Chambers e outros. Adam Hilger. LIVRO-TEXTO;

- Tecnologia do Vácuo, ACM, Montinho e outros – Editora Universidade Nova Lisboa;

- Curso de Tecnologia do Vácuo – Instituto de Física da Universidade de São Paulo. Apostilas;

- Fundamentos de la Ciencia y Técnica del Vacío, G. Lewiss – Editora Aguilar;

- Vacuum Physics and Techniques, T.A. Delchss. Chapman Hall;

- Modern Vacuum Practice, U. Harris. McGraw-Hill Books Company;

- Vacuum Technology. Its Foundation - Leybold Company;

- High Vacuum Productions in the Microelectronics Industry, P. Duval – Elsevier Science

Publishers;

- A Users Guide to Vacuum Technology, J.F. O’Hanlon – Wiley Interscience;

- Vacuum Technology, A. Roth North Holland, e

- E muitos outros livros e textos disponíveis na biblioteca da Fatec-SP.

Há também textos sobre Tecnologia do Vácuo disponíveis no site da Fatec-SP, em Serviços & Pesquisa, no Laboratório de Tecnologia do Vácuo. Os textos disponíveis são muito bons e têm o enfoque de aplicação, apesar de trazerem bastante bem a parte básica. No início de cada semestre letivo será passado ao representante da turma uma cópia eletrônica com alguns textos e livros da área de tecnologia do vácuo. Este material é de alta qualidade e escrito por profissionais que atuam em projetos tanto em empresas com em centros de pesquisa.

em projetos tanto em empresas com em centros de pesquisa. Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 -

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de pesquisa. Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São Paulo - SP, Brasil Tel:

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Temos disponíveis em nossa biblioteca os seguintes catálogos de empresas importantes na área de tecnologia do vácuo. Há também os catálogos em forma eletrônica disponíveis nos sites das empresas.

Balzers-Feiffer, Leybold-Inficon, BOC-Edwards, Kurt Lesker, MKS, Varian, MDC,

Perkins-Elmer, Alcatel, Huntington e muitos outros.

Além dos livros, há também na nossa biblioteca catálogos de empresas na área de tecnologia

do vácuo. Há também os catálogos eletrônicos que poder consultados nos sites das empresas. Os

catálogos das empresas de produtos de vácuo são bons e uma fonte segura de informações. Ele

complementarão o seu estudo. Faça uma busca!

Além da nossa biblioteca temos a do Instituto de Física da USP com vários outros títulos e

também revistas periódicas especializadas na área da tecnologia do vácuo, tais como: Vacuum,

Journal of Vacuum Science and Technology – AVS e a Revista de Aplicações de Vácuo – SBV.

Entre no site Sociedade Brasileira de Vácuo – SBV, você terá como encontrar muitas informações

importantes.

você terá como encontrar muitas informações importantes. Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São

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PPllaannoo ddee EEssttuuddoo ee aa UUttiilliizzaaççããoo ddooss RRootteeiirrooss ddee EEssttuuddooss ee EExxeerrccíícciiooss ddee FFiixxaaççããoo ddaa DDiisscciipplliinnaa ddee TTeeccnnoollooggiiaa ddoo VVááccuuoo

A disciplina de Tecnologia do Vácuo ministrada no Curso de Materiais, Processos e Componentes Eletrônicos – MPCE da Faculdade de Tecnologia de São Paulo – FATEC-SP do Centro Estadual de Educação Tecnológica Paula Souza – CEETEPS tem como objetivos principais fornecer ao estudante os conceitos necessários para o entendimento do comportamento dos gases e vapores em baixas pressões e dos sistemas de vácuo, com sus instrumentos, métodos, e técnicas de trabalho. O conteúdo programático da disciplina de tecnologia do vácuo está mostrado abaixo. SEMANA MATÉRIA

1. Abertura e apresentação da disciplina.

Considerações gerais para um bom aproveitamento da disciplina.

Objetivos da disciplina.

O "mundo" da tecnologia do vácuo.

2. Comportamento dos gases ideais.

O conceito de pressão de vapor.

Os gases reais.

3. Teoria cinética dos gases.

Escoamento dos gases.

Regimes de escoamento dos gases em sistemas de vácuo.

4. Condutância nos sistemas de vácuo e sua dependência com o regime de escoamento. Velocidade de bombeamento.

Associação de condutâncias.

Velocidade de bombeamento efetiva.

5. Recordação dos principais conceitos até o momento.

Cálculo de condutâncias.

As várias fontes de gases nos sistemas de vácuo. O processo de bombeamento em tecnologia do vácuo.

6. Medidores de vácuo de pressão total.

7. Recordação e Prova P1.

8. Materiais empregados na construção de sistemas de vácuo.

Procedimentos de Limpeza. Aspectos e detalhes construtivos.

Procedimentos de Limpeza. Aspectos e detalhes construtivos. Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São

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9. Bombas de Vácuo.

10. Bombas de Vácuo.

11. Acessórios e componentes auxiliares (válvulas, filtros, anteparos, armadilhas geladas, flanges, vedações, tubos e outros).

12. Utilização de catálogos na área.

As revistas especializadas na área.

Primeira discussão sobro o projeto (Atividade A5).

Prova P2.

13. Sistemas de vácuo de uso geral. Operação de sistemas de vácuo.

14. Medidores de vácuo de pressão parcial.

Medidores e controladores de vazão de gases para baixas pressões.

15. Sistemas de vácuo para altas vazões.

Sistemas de vácuo resistentes a gases corrosivos.

Segunda discussão sobre o projeto (Atividade A5).

16. Detecção de vazamentos.

Terceira discussão sobre o projetos (Atividade A5).

17. Prova P3.

Apresentação do projeto (Atividade A5).

18. Prova substitutiva.

Apresentação do projeto (Atividade A5).

Com o propósito de auxiliar e orientar o estudo dos estudantes que cursam a disciplina de

tecnologia do vácuo temos a seguir a relação dos tópicos dos Roteiro de Estudos e Exercícios de

Fixação – REEF. Nos REEF temos uma introdução ao assunto, exercícios propostos dentro do

contexto das aplicações em casos reais encontrados na tecnologia do vácuo e comentários desses

exercícios proposto. São recomendados livros e catálogos pertinentes ao assunto em questão.

REEF – 1: Comportamento dos Gases Ideais – Teoria Cinética dos Gases. : Comportamento dos Gases Ideais – Teoria Cinética dos Gases.

REEF – 2: Comportamento dos Gases Reais – Teoria Cinética dos Gases. : Comportamento dos Gases Reais – Teoria Cinética dos Gases.

REEF – 3: Regimes de Escoamento dos Gases, Condutância e Velocidade de Bombeamento. : Regimes de Escoamento dos Gases, Condutância e Velocidade de Bombeamento.

dos Gases, Condutância e Velocidade de Bombeamento. Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São

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Bombeamento. Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São Paulo - SP, Brasil Tel: (011)

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REEF – 4: Cálculo das Condutâncias e Velocidade Efetiva de Bombeamento. : Cálculo das Condutâncias e Velocidade Efetiva de Bombeamento.

REEF – 5: Os Vários Tipos de Fontes de Gases e o Processo de Bombeamento em Tecnologia : Os Vários Tipos de Fontes de Gases e o Processo de Bombeamento em Tecnologia do Vácuo.

REEF – 6: Medidores de Vácuo. Sensores Diretos e Indiretos de Pressão Total. : Medidores de Vácuo. Sensores Diretos e Indiretos de Pressão Total.

REEF – 7: Materiais Utilizados na Construção de Sistemas de Vácuo. Critérios e Requisitos na sua Escolha. : Materiais Utilizados na Construção de Sistemas de Vácuo. Critérios e Requisitos na sua Escolha.

REEF – 8: Bombas de Vácuo. : Bombas de Vácuo.

REEF – 9: Componentes Auxiliares dos Sistemas de Vácuo. : Componentes Auxiliares dos Sistemas de Vácuo.

REEF – 10: Sistemas de Vácuo de Aplicação Geral e sua Operação. : Sistemas de Vácuo de Aplicação Geral e sua Operação.

REEF – 11: Sistemas de Vácuo para Altas Vazões e Gases Corrosivos. : Sistemas de Vácuo para Altas Vazões e Gases Corrosivos.

REEF – 12: Sensores de Pressão Parcial e Análise de Gases Residuais. : Sensores de Pressão Parcial e Análise de Gases Residuais.

REEF – 13: Medidores e Controladores de Fluxo de Gases e Vapores. : Medidores e Controladores de Fluxo de Gases e Vapores.

REEF – 14: Detecção de Vazamentos. : Detecção de Vazamentos.

As sugestões e críticas dos estudantes são bem-vindas no sentido de procurar aprimorar o material agora disponível na tentativa de ser um instrumento de auxílio ao estudo sistemático na ára de tecnologia do vácuo.

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l l o o – – S S P P – – B B r r

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ROTEIRO PARA ESTUDOS E EXERCÍCIOS DE FIXAÇÃO – 1

Comportamento dos Gases Ideais – Teoria Cinética dos Gases

O objetivo principal da Tecnologia do Vácuo é criar condições para a produção de baixas

pressões. Para que a remoção de gases dos volumes seja feita de maneira eficiente, devemos

conhecer o comportamento da matéria no estado gasoso. O modelo de gás ideal, não obstante a sua simplicidade, lança luz sobre o entendimento de muitas características físicas importantes dos sistemas gasosos. Em condições de baixas densidades e temperaturas acima da temperatura crítica os gases têm comportamento bem próximo aos gases ideais. Todas as tecnologias disponíveis têm uma sustentação física básica, em geral bem alicerçada. Apesar de

na maioria dos casos a área tecnológica criar as suas próprias abordagens e métodos de análise

e modelagem, não podemos deixar de ter uma boa compreensão do fenômeno físico em suas bases. Caso essa compreensão física não for atingida, pagaremos o preço de dificilmente poderemos propor situações inusitadas e com isso estaremos sempre à reboque daqueles que têm esse domínio. O modelo atômico da matéria é um daqueles modelos cuja maturidade demorou séculos, desde a proposição essencialmente filosófica dos gregos e muito depois ter alçado para uma teoria científica somente no século XIX. Neste momento nasce a química como ciência. Uma das grandes conquistas da ciência foi a aplicação das leis de Newton à teoria atômica da matéria, muitos resultados e interpretações foram alcançadas a partir desse audacioso empreendimento intelectual. Por exemplo a pressão e a temperatura somente foram interpretados à luz da suposição de que o mundo microscópico fosse governado por leis da mecânica. Este projeto foi intensificado e no final do século XIX ocorreu um cisma no pensamento científico da física. Tivemos um embate entre duas grandes linhas de pensamento científico na época: os atomistas e o energeticistas. Certamente uma das páginas mais belas da história da ciência e também das mais importantes. Os atomistas advogavam em favor da concepção atômica da matéria, e mais que isso, acreditavam que a ciência deveria ser sustentada na hipótese atômica e com isso as leis da física deveriam ser aplicadas aos átomos e moléculas, e a partir dos resultados obtidos compará-los com os resultados macroscópicos, ou seja, termodinâmicos. Em contrapartida, os energeticistas acreditam essencialmente na termodinâmica, uma vez que consideram a teoria atômica inacessível à realidade das

consideram a teoria atômica inacessível à realidade das Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060

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medições. Durante quase duas décadas este cenário científico-cultural dominou o debate

filosófico da física e da química. Muito avanço ocorreu em torno das idéias lançadas, e por fim,

os atomistas triunfaram. Podemos dizer que até hoje a ciência persegue o caminho aberto pelos

atomistas. Neste caldo cultural tivemos uma verdadeira revolução nas idéias da física que

acabaram por abrir as portar à física do século XX, com isto queremos dizer, a teoria da

relatividade e a mecânica quântica. Voltando ao gás ideal, podemos dizer que o seu estudo foi a

porta de entrada às idéias atomistas científicas. Mais ainda, do ponto de vista prático e voltado

à tecnologia o modelo de gás ideal tem grande alcance e não devemos interpretar o termo gás

ideal como sendo um gás inexistente na prática, ou seja, como sendo apenas uma idealização

teórica. Ele é alcançado desde que sejam obedecidas certas condições. Ele é tão real e preciso

que o seu conceito é utilizado em metrologia de vácuo.

1. Quais são os estados da matéria? Quais são as características físicas macroscópicas dos vários

estados? Como podemos entender os vários estados de agregação da matéria a partir da Teoria Atômica da Matéria? Discuta a mobilidade dos átomos e moléculas nos três estados da matéria. As figuras abaixo mostram de forma pictórica o estado de agregação da matéria, insinuando a extensão possível do movimento entre os átomos e moléculas vizinhos. Discuta esta questão complementar as questões anteriores.

Discuta esta questão complementar as questões anteriores. Figuras mostrando de forma pictórica os estados de
Discuta esta questão complementar as questões anteriores. Figuras mostrando de forma pictórica os estados de

Figuras mostrando de forma pictórica os estados de agregação da matéria e suas mobilidades.

os estados de agregação da matéria e suas mobilidades. Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP

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mobilidades. Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São Paulo - SP, Brasil Tel: (011)

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2. Fenomenologicamente, como você define as seguintes grandezas: volume, pressão, temperatura,

quantidade de gás? Para um aprofundamento do estudo físico, estas definições são suficientes? O que é mol de uma quantidade? Discuta a mobilidade dos átomos e moléculas nos gases e vapores.

3. Explique em detalhe as leis de Boyle–Mariotte (p.V = constante) e a de Charles (p/T =

constante). Faça gráficos.

4. O que são Gases Ideais ou Gases Perfeitos? Quais são as características físicas marcantes desse

sistema de agregação da matéria? Quando os Gases Reais podem ser aproximados por Gases Ideais? Exiba e discuta a Equação dos Gases Perfeitos ou Equação de Clapeyron-Mendeleiev.

5. De posse do conhecimento da Teoria Cinética dos Gases, podemos conhecer muito do

comportamento dos gases, mas alguns conceitos são importantes. Assim, o que é velocidade média?

O

que é livre caminho médio? O que é difusão de gases? O que á efusão dos gases?

6.

Questão para Pesquisar. Como podemos entender, à luz da Teoria Cinética dos Gases, os

seguintes fenômenos de transporte através da matéria gasosa:

- condutividade térmica;

- viscosidade;

- transpiração térmica.

Além de conseguirmos um bom entendimento do comportamento dos gases quando em movimento,

há uma série de sensores de pressão cujo princípio de funcionamento está baseado nesses conceitos.

7. Uma vez utilizado o modelo da Teoria Atômica da Matéria com a Teoria Cinética dos Gases,

como interpretamos fisicamente as seguintes grandezas: pressão e temperatura. Agora pesquise: O que são graus de liberdade para a energia?

8. Descreva em detalhe o princípio de funcionamento e o mecanismo dos seguintes dispositivos,

ações ou equipamentos bastante presentes em nosso cotidiano:

- Desentupidor de pia.

- Tomar suco de canudinho.

- Aspirador de pó.

- Ventosa.

- Limpar a calçada com um esguicho de água.

- Afastar duas placas de vidro, ou outra superfície bastante lisa e plana, com água entre elas.

- Discuta dentro do assunto das ventosas como você poderia medir a força suportada por ela.

- Faça um modelo físico e um possível arranjo experimental.

- Conta-gotas e a pipeta para determinar um determinado volume de líquido.

- Depois de usar um guarda-chuva, girá-lo vigorosamente para remover a água de sua superfície.

Estas últimas questões parecem simples – talvez sejam! –, acredito que não. Explique os seus mecanismos físicos de funcionamento a partir de primeiros princípios. Este tipo de exercício é

partir de primeiros princípios. Este tipo de exercício é Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP

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bastante instrutivo, pois possibilita entender o que significa realizar o primeiro passo para a construção de um modelo físico de um fenômeno. Isto é essencial para aplicarmos o nosso conhecimento à realidade.

9. Digamos que temos um recipiente e o conectamos a uma bomba de vácuo. A medida que passa o tempo, verificamos que a pressão vai diminuindo. Você pode também dizer que com a diminuição da pressão a gravidade dentro do recipiente também diminui? Ainda mais, se pudéssemos remover completamente as moléculas do gás do interior do recipiente, teríamos uma gravidade também nula no interior do recipiente? Discuta esta questão. Uma situação tem a haver com outra, ou seja, gravidade e pressão atmosférica estão ligadas entre si? Somente como comentário, há muita confusão referente a estes aspectos, existência e ausência de gravidade e existência e ausência de pressão atmosférica.

Comentário: Este roteiro é tão longo como importante. Mas está plenamente justificado dados a importância e o alcance dos conceitos tratados. Muitos conceitos e instrumentos da Tecnologia do Vácuo estão apoiados nos aspectos fenomenológicos dos gases ideais. Um ponto chave para um bom domínio da tecnologia do vácuo tanto do ponto de vista do projeto como de sua instrumentação assim como dos inúmeros processos industriais e científicos é uma compreensão dos seus conceitos básicos. Além dos livros indicados logo abaixo consulte também livros referentes à físico-química dos gases e vapores. Nunca devemos perder de vista os conceitos básicos e a sustentação física das tecnologias existentes. Tanto para entender profundamente os vários aspectos das tecnologias assim como para gerar idéias novas, a teoria é imprescindível. Utilize também os textos disponíveis no site da Fatec-SP dentro do Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV. As referências mais importantes, ao nível de nossa disciplina, são:

- Tecnologia do Vácuo, A. M. C. Montinho e outros (capítulo 1);

- A Users Guide to Vacuum Technology, J. F. O´Hanlon (capítulo 2);

- Fundamentos de la Ciencia y Técnica del Vacío, G. Lewin (capítulo 1);

- Modern Vacuum Practice, N. Harris (capítulo 2);

- Vacuum Physics and Techniques, T. A. Delchar (capítulo 1);

- Curso de Física: Calor, M. Ference Jr. e outros (capítulo3);

- An Introduction to Fundamental of Vacuum Technology, H. Tompkins, e

- Além do livro-texto e ainda muitos outros.

BOM TRABALHO!!!

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ROTEIRO PARA ESTUDOS E EXERCÍCIOS DE FIXAÇÃO – 2

Comportamento dos Gases Reais – Teoria Cinética dos Gases

O modelo de gás ideal, não obstante a sua simplicidade, lança luz sobre o entendimento de muitas características físicas importantes dos sistemas gasosos. Apesar do modelo de gás ideal ou gás perfeito lançar luz sobre o comportamento dos sistemas gasosos, há uma série de imperfeições neste modelo. Este é o caso interessante cuja melhoria no modelo de gás ideal se deu considerando aspectos inerentes à teoria atômica da matéria. Van der Waals considerou interações entre os átomos ou moléculas que compõe o gás. Explicitamente levou em consideração as forças que agem entre as moléculas do gás e também supôs a existência de um volume próprio dessas moléculas. Assim, essas partículas minúsculas começavam a tomar a forma de uma estrutura mais complexa. Este modelo se deu em um momento da história da física em que muitos avanços estavam ocorrendo, por exemplo, as equações de Maxwell do eletromagnetismo estavam dadas e com isso o modelo da luz como sendo uma radiação eletromagnética. A distribuição de energia de Maxwell-Boltzmann em um gás. A definição de entropia e o início dos estudos de descarga elétrica em gases. das Vamos, a seguir, estudar em detalhe o modelo de gás real. Essas novas idéias e teorias abriram as portas para a grande revolução na física século XX. O modelo de gás ideal vale para uma faixa relativamente estreita de valores de pressão e temperatura, e ainda depende do tipo de gás. Abaixo da temperatura crítica e para densidades crescentes o modelo de gás ideal falha. O motivo físico está no fato de serem as forças de interação entre os átomos e moléculas importantes frente a energia cinética das partículas. Temos a proposição atualmente de mais de 30 equações de estado, algumas ainda são fenomenológicas. Para as condições que usualmente encontramos nos sistemas de vácuo, podemos adotar o modelo de gás ideal em muito boa aproximação. Nos casos que temos os gases interagindo com as paredes do sistema de vácuo, deveremos levar em consideração o potencial de Van der Waals. Um aspecto importante tanto na ciência como na tecnologia é a identificação do sistema físico em estudo, ou seja, qual é exatamente o nosso objeto de estudo e trabalho. Em geral, esta etapa da modelagem de sistemas físicos é fundamental. Devemos ter sempre em mente que qualquer problema real, por mais simples que possa parecer, é de solução impossível! Se formos levar em consideração todas as interações possíveis que podem ocorrer com uma pedra que está próxima à superfície da

ocorrer com uma pedra que está próxima à superfície da Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 -

Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060

da Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São Paulo - SP, Brasil Tel: (011)

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Terra, mal conseguiríamos sequer montar o problema. Pense em todos os corpos do Universo

interagindo com essa pedra. Talvez seja impossível para uma mente humana! E se fosse

possível montar o problema, depois de pronto, uma grande parte dos corpos teriam mudado

de lugar, muitos sóis teriam se apagado, etc. Assim, devemos ter claro que sempre

precisaremos fazer simplificações, sempre, não tem como escapar. Parece paradoxal: para

fazer simplificações, você precisa conhecer muito sobre o assunto, justamente para desprezar

certas ocorrências supérfluas. O conhecimento da teoria é fundamental, mas devemos praticar

a sua aplicação à realidade, ou seja, devemos aprender a fazer modelos de sistemas físicos. Na

disciplina de tecnologia do vácuo, teremos a oportunidade de estudar e modelar sistemas reais,

encontrados em laboratórios e em linhas de produção. Veremos que dependendo da forma que

montamos um problema, ela dirá se o problema é solúvel ou não. Em física dizemos que o

problema deve ser bem posto, ou seja, o problema deve ser enunciado de forma clara e com as

perguntas bem formuladas. Na vida real, nos montaremos os problemas e em seguida

deveremos resolvê-los. Dependendo da forma como montarmos os problemas a sua solução

poderá quase que emergir naturalmente da modelagem. Em seguida, em geral, nos resta a

solução matemática do problema, que pode ser analítica, raramente conseguiremos desta

forma, ou pode ser numérico-computacional, que é a forma a qual quase sempre a

conseguiremos. Não há outra maneira senão fazermos para conseguir obter experiência em

qualquer que seja o assunto. Se a solução realmente representa o fenômeno somente a

experiência poderá nos dizer. Comparando os dados experimentais com os resultados da

modelagem poderemos dizer se fizemos um bom modelo, se as hipóteses e os detalhes

introduzidos no modelo foram suficientes e representam bem a realidade.

1. Em que situação falha o modelo de gás ideal ou perfeito? Faça um gráfico, para várias

temperaturas, no plano p-V. Explique o fenômeno de condensação. Quando podemos aproximar um gás real por um gás ideal?

2. O que são forças de Van der Waals? Quais são os dois ingredientes introduzidos na Equação de

Estado dos Gases Reais? No limite, mostre que recai na Equação de Estado dos Gases Ideais. À luz da teoria atômica da matéria como você explica a origem das forças de Van der Waals. Ainda, como explicar os estados de agregação da matéria considerando esta importante força. Considere o potencial de Lennard-Jonnes.

3. Descreva em detalhe o princípio físico dos seguintes dispositivos, ações ou equipamentos

bastante presentes em nosso cotidiano:

ou equipamentos bastante presentes em nosso cotidiano: Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São

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cotidiano: Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São Paulo - SP, Brasil Tel: (011)

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- Dificuldade em abrir uma geladeira logo após ter sido fechada, isto em um dia úmido.

- Botijão de gás de cozinha.

- Secar uma toalha. Ela fechada. Ela aberta. Com vento. Com aquecimento. Fale da eficiência de cada forma de secagem.

- Uma queijeira na geladeira apresenta condensação não uniforme de água em sua superfície.

- Panela normal e panela de pressão.

- Cheirar um perfume a uma distância de alguns metros dele em uma sala sem ventilação.

- Água colocada em recipientes guardando um salgadinho que foi frito, como nas padarias.

Estas questões também parecem simples – talvez sejam! –, mas mais uma vez, acredito que não são simples. Tudo vai depender de como encaramos o que seja uma explicação convincente e feita a partir de princípios físicos básicos. Assim, explique os seus mecanismos físicos de funcionamento a

partir de primeiros princípios. Este tipo de exercício é bastante instrutivo, pois possibilita entender o que significa realizar o primeiro passo para a construção de um modelo físico de um fenômeno. Isto

é essencial para aplicarmos o nosso conhecimento à realidade. Existem muitas aplicações industriais da tecnologia do vácuo sustentadas em conceitos exatamente os mesmos referentes aos casos acima. Ainda há bombas de vácuo cujo princípio de funcionamento é o mesmo do exemplo da queijeira.

4. Sempre e de forma enfática dissemos que a propriedade mais marcante que os gases e vapores,

isto é, a matéria no estado gasoso tem é o fato de ocupar totalmente o espaço ou o volume onde elas

estão. Sendo que tanto a forma como o volume dos gases e vapores são totalmente determinados pelo recipiente que eles estão. Sendo assim, por que os vários tipos de gases e vapores que compõem

a nossa atmosfera não escapa da Terra e procura ocupar o espaço de todo o Universo? Mais, na Lua

a pressão na sua superfície é da ordem de 10 -7 torr. Por que lá temos vácuo, mais precisamente alto-

vácuo?

5. Diante da questão referente a atmosfera do nossa Terra, podemos nos aprofundar um pouco mais. Discuta e pesquise a questão sobre como varia a pressão em relação a altitude. Veja que sabemos que a pressão ao nível do mar é maior de a pressão na cidade de São Paulo, que por sua vez é maior que a pressão em Campos do Jordão. Pesquise sobre o assunto desta questão. Diga e interprete fisicamente a equação da lei da atmosfera isoterma.

Comentário: Este roteiro não é tão extenso como o roteiro anterior, mas é tão importante como ele. Muitos conceitos, aplicações e equipamentos da Tecnologia do Vácuo estão apoiados neles. Na disciplina de tecnologia do vácuo temos a oportunidade de estudar os princípios e aplicações de inúmeros processos que ocorrem em baixas pressões. Veja que retomamos em algumas questões o assunto referente aos gases perfeitos. O estudante deve-se convencer que apesar do nome gás perfeito, ele ocorre em condições de temperaturas relativamente altas e em baixas densidades. Por temperaturas relativamente altas queremos dizer acima da temperatura crítica. Sabemos que cada tipo de gás tem sua temperatura crítica. Mas cabe mencionar que mesmo que o gás esteja a

crítica. Mas cabe mencionar que mesmo que o gás esteja a Pça. Cel. Fernando Prestes, 30

Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060

esteja a Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São Paulo - SP, Brasil Tel:

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temperatura abaixo da sua temperatura crítica se ele estiver em densidades bastante baixas poderemos ter a observância bastante boa da lei de Boyle-Mariotte, Aproveitamos este espaço também para apresentar as referências mais importantes:

- Tecnologia do Vácuo, A. M. C. Montinho e outros (capítulo 1);

- A Users Guide to Vacuum Technology, J. F. O´Hanlon (capítulo 2);

- Fundamentos de la Ciencia y Técnica del Vacío, G. Lewin (capítulo 1);

- Modern Vacuum Practice, N. Harris (capítulo 2);

- Vacuum Physics and Techniques, T. A. Delchar (capítulo 1);

- Curso de Física: Calor, M. Ference Jr. e outros (capítulo3);

- An Introduction to Fundamental of Vacuum Technology, H. Tompkins; e

- Muitos outros.

Esta lista tem por objetivo marcar a presença no estudo dos gases reais, no mínimo de forma bastante simples e rápida, sem perder os pontos principais. Tendo a oportunidade aprofunde-se no assunto. Como referência, veja também o livro: Curso de Física: Calor, M. Ference Jr. e outros. Há também inúmeros livros de físico-química que tratam muito bem deste assunto. Em geral nestes livros o assunto dos gases e vapores abre para a teoria atômica da matéria, como ocorreu historicamente.

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Trabalho Adicional: Traduza e Estude o Texto a Seguir.

TEXTO SOBRE PRESSÃO DE VAPOR

Extraído da monografia de H. G. Tompkins, An Introduction to Fundamentals of Vacuum Technology - American Vacuum Society – AVS.

A “vapor” is a gas near its condensation temperature. The concept of “vapor pressure” is equally valid when the condensed phase is a solid or a liquid, although in vacuum technology, the solid form is usually the one encountered. We shall use the liquid form as an example simply because it is easy to understand. Suppose we have a closed container held at constant temperature and we put a liquid in the bottom, at suggested in figure 24. For simplicity let us suppose that we remove the gases above the liquid. Molecules from the liquid evaporate and become gas molecules at a rate, which is dependent on the surface area and the temperature. Let us suppose these to be constant, thus the rate of molecules leaving the liquid is a constant.

At the same time, molecules from the gas phase strike the liquid surface and go from the gas phase to the liquid phase (condense). The number of molecules condensing depends on how many there are in the gas phase. In the beginning, there are very few molecules in the gas phase hence the number going from liquid to gas is much greater than the number going from gas to liquid, and the pressure of the molecules (the partial pressure) will increase. When the pressure has increased to the point that there are as many molecules going into the liquid as going out of the liquid, equilibrium has been reached and the gas phase is satured. Note also that the gas phase molecules are striking the other surface of the container and forming a condensed layer there also.

of the container and forming a condensed layer there also. Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 -
of the container and forming a condensed layer there also. Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 -

Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060

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To be absolutely correct, the term “vapor pressure” refers to the partial pressure of the vapor at any time. At saturation, the proper term is “saturation vapor pressure” or “equilibrium vapor pressure”. Actually, common practice is to use the term “vapor pressure” when what is meant is “saturation vapor pressure”. We shall follow the common practice and use the term “vapor pressure”.

Suppose we now heat our closed container to a higher temperature. The rate of molecules going from one phase to the other changes and as the pressure change, equilibrium is again reached. The increased temperature affects both processes, liquid to gas, and gas to liquid. It does not affect the processes equally, however, and the net effect is that increased temperature causes higher vapor pressures.

is that increased temperature causes higher vapor pressures. Although we have used a liquid for illustration,

Although we have used a liquid for illustration, the same phenomena occur for solids. The process of atoms or molecules leaving the surface is called sublimation rather than evaporation but it is essentially the same.

Figures 25 and 26 show the vapor pressure for several materials. If one were to insert a piece of solid CO 2 (dry ice) into an evacuated chamber, at 100 K, it would sublime until the partial pressure of CO 2 close to 10 -4 Torr or until the dry ice were gone whichever came first. On the other hand, at the temperature of 1500 K, tungsten has a vapor pressure below 10 -11 Torr and very little sublimation occurs. These are equilibrium curves and not kinetic curves. They say nothing about how vapor pressures sublime faster than materials with low vapor pressure.

sublime faster than materials with low vapor pressure. Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060

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Of more practical interest is the fact that zinc, which is a constituent of brass, has somewhat higher partial pressure. At 100 °C or 373 K and below, the vapor pressure of zinc is below 10 -11 Torr. A system which is being baked sometimes reaches 250 °C or 523 K, the vapor pressure at this temperature is about 10 -4 Torr and one would probably find zinc at rather unexpected places inside the system. Cadmium plated screws are to be avoided for the same reason.

Cadmium plated screws are to be avoided for the same reason. TAREFA Este texto expõe muito

TAREFA Este texto expõe muito bem o fenômeno de pressão de vapor e o seu enfoque é voltado à tecnologia do vácuo. Aqui está uma boa oportunidade de reforçar o aprendizado sobre o assunto, bastante discutido e enfatizado em sala de aula e nos exercícios. Como dissemos, exaustivamente, o fenômeno de pressão de vapor é muitíssimo importante para entender inúmeros processos que ocorrem em vácuo e também para entendermos o princípio de bombeamento e limitações de algumas bombas de vácuo. Os materiais que usamos na construção de sistemas de vácuo devem ter a sua pressão de vapor verificada em função da temperatura. Também temos aqui a oportunidade de praticar a língua inglesa. Como tarefa, traduza o texto e faça comentários sobre o assunto. Separe a tradução dos comentários. BOM TRABALHO!!

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do Vácuo – Curso MPCE Prof. Francisco Tadeu Degasperi Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP

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ROTEIRO PARA ESTUDOS E EXERCÍCIOS DE FIXAÇÃO – 3

Regimes de Escoamento dos Gases, Condutância e Velocidade de Bombeamento

O objetivo principal da Tecnologia do Vácuo é criar condições para a diminuição da pressão

em recipientes, para tanto, o gás precisa ser “transportado” de uma região para outra região.

O estudo e cálculo das condutância dos tubos e orifícios são de suma importância para um

eficiente projeto do sistema de vácuo no que se refere ao processo de remoção dos gases. Para isso precisamos ter claro os regimes de escoamento dos gases. Em baixas pressões os gases e vapores podem escoar de quatro formas completamente diferentes entre si. Temos os regimes de escoamento viscoso turbulento, viscoso laminar, intermediário ou transição e molecular. O processo físico de cada um desses regimes de escoamento tem característica própria. Isto faz com que as expressões matemáticas sejam bem diferentes para cada regime de escoamento. Matematicamente, o critério para a identificação do tipo de escoamento que está ocorrendo é dado pelo número de Knudsen. Este número é o quociente entre o livre caminho médio com uma dimensão típica do tubo por onde escoa o gás, em geral o seu diâmetro, se o tubo for de seção circular. Diante de uma análise física do processo de transporte dos gases em uma tubulação, considerando a hipótese atômica, é possível entender as diferenças entre os vários tipos de escoamento. No escoamento viscoso laminar o gás se comporta como um meio contínuo e o fluxo de gás ocorre como se fosse em camadas bem determinadas. No caso do escoamento molecular o transporte dos gases se dá completamente de forma aleatória. Não existe neste caso uma coerência macroscópica no transporte. Isto tem conseqüências práticas:

no regime de escoamento molecular o transporte dos gases é muito menos eficiente, acarretando uma menor condutância, considerando os outros dados físicos constantes. Os modelos de cálculo de condutância em tecnologia do vácuo são voltados essencialmente às geometrias simples. Sistemas de vácuo complexos têm sua modelagem complicada. Não obstante, podemos fazer em muitos casos modelos factíveis cujos cálculos podem ser realizados de forma simples e por meio deles obter uma boa compreensão do comportamento dos sistemas de vácuo em análise. Neste roteiro teremos a oportunidade de nos depararmos com questões centrais da tecnologia do vácuo, sem esses conceitos, acredito que é impossível de termos uma compreensão suficientemente profunda do processo de transporte e bombeamento dos gases e vapores rarefeitos. Um outro ponto que nunca devemos perder de

rarefeitos. Um outro ponto que nunca devemos perder de Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP

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perder de Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São Paulo - SP, Brasil Tel:

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vista é quanto a questão da mobilidade dos átomos e moléculas. Em todos os estados da

matéria os átomos estão em movimento. Ocorre que no estado gasoso o movimento se dá mais

livremente, podendo as trajetórias ser de grande comprimento, dependendo exclusivamente

da densidade do gás. Nos estados sólido e líquido, intrinsecamente os movimentos são de

pequenas distâncias. Este estudo deve ser aprofundado, devendo ser pesquisado e estudado,

pois nele está a essência para o entendimento físico dos estados da matéria em conjunto com o

potencial de natureza eletromagnética que existem entre as partículas que compõe o gás ou

vapor. O movimento constante e caótico dos átomos e moléculas, presente em todos os estados

da matéria, e no caso do gás sem um centro de força definido e com isso podendo ter

movimentos de longo alcance é que garante a sua possibilidade de bombeamento. Explicando

melhor. Veja que a bomba de vácuo não tem nenhum mecanismo de atrair ou trazer para ela

os átomos e moléculas que deverão ser bombeados. São as partículas que deverão chegar até a

bomba de vácuo, e em seguida essas bombas de vácuo vão fazer com estas partículas não

fiquem mais no ambiente do sistema de vácuo exercendo pressão. Veremos no assunto das

bombas de vácuo com essas bombas fazem o processo de bombeamento. Devemos ter sempre

presente que os termos em geral empregados para designar o bombeamento dos gases e

vapores pelas bombas de vácuo, tais como, “sugando”, “chupando”, “puxando”, ou ainda

“atraindo” as partículas do gás, não têm sentido físico. Estes preconceitos têm trazido e

introduzido muitos malefícios à tecnologia do vácuo, uma vez que além de levarem a uma

interpretação errada dos fenômenos, eles têm conseqüências do ponto de vista prático nos

projetos e utilização de sistemas de vácuo. Isto se dá pois camufla a importância do conceito

da condutância, que ao meu ver é a grandeza mais importante da tecnologia do vácuo. Assim

retomando o assunto, sempre são as partículas – átomos e moléculas – que deverão chegar às

bombas de vácuo e em seguida as bombas de vácuo farão alguma coisa com elas para não

voltarem ao sistema de vácuo. Isto que podemos definir como bombeamento das bombas de

vácuo, e mais à frente, veremos quais os princípios físicos que podem ser usados para que elas

bombeiem. Desta forma, mais uma vez enfatizamos como os conceitos, por exemplo, o da

condutância, são fundamentais. No caso da condutância, deveremos ter a tubulação com

suficiente passagem para as partículas poderem atingir com facilidade às bombas de vácuo.

1. Como você define velocidade de bombeamento de uma bomba de vácuo? Considere o raciocínio da bomba de vácuo do tipo de uma seringa de injeção. Considere uma montagem básica

de uma seringa de injeção. Considere uma montagem básica Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP

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em que podemos fazer vácuo em um recipiente. Ainda, como podemos entender o bombeamento de parte do vapor de água na atmosfera quando colocamos um copo com água gelada sobre uma mesa. Mais ainda, quando cortamos um pedaço de ferro. Temos com isso a construção de uma bomba de vácuo? Discuta o assunto e fale sobre o seu mecanismo de fixação de gases. É interessante observar que quase todas as bombas de vácuo existentes têm seus princípios de funcionamento que podem ser entendidos por meio dos exemplos acima.

2. O que é throughput? Exiba a expressão matemática que define esta grandeza e explore a mesma.

3. Quais são os tipos de escoamento de gases em tecnologia do vácuo? Explique fisicamente cada

um deles; diga quais são as características marcantes de cada tipo de regime de escoamento. Dedique especial atenção a essa questão. Quase tudo em tecnologia do vácuo depende de uma compreensão clara sobre como se dá o processo de escoamento dos gases.

4. O que é condutância em sistemas de vácuo? O que representa esta grandeza? Discuta a

dependência com o regime de escoamento.

5. Qual o critério matemático que determina o tipo de regime de escoamento dos gases que

estamos trabalhando? Faça um formulário com as expressões para a condutância dos tubos, tanto de seção circular como de seção retangular, e também para orifícios, nos vários regimes de escoamento de gases.

6. O que é velocidade de escoamento efetiva? Explore este assunto. Como este ponto liga-se à

velocidade de bombeamento e a condutância?

7. Nas questões acima apresentamos várias grandezas importantes no contexto dos sistemas de

vácuo. Para essas grandezas exiba as suas unidades. Apresente as unidades utilizadas usualmente e também no Sistema Internacional de Unidades.

8. Com relação ao bombeamento de gases. Vamos explorar esta importante questão. Sabemos

como bombear eficientemente uma quantidade de água de uma caixa. Faça um modelo, bastante simples, de uma caixa d´água sendo bombeada por uma bomba d´água. A solução do problema é simples. Veja que o líquido mantém o seu volume quando aplicamos uma pressão nele. Isto é bastante bem verificado experimentalmente. Agora, no caso do gás isso não ocorre. Ainda, como o gás ocupa todo o espaço que é fornecido para ele, temos que a maneira como se dá o seu bombeamento é completamente diferente do caso do líquido. Discuta esta questão. Ela é essencial para entender o efeito de bombeamento de gases e vapores. Tente fazer um modelo físico- matemático do bombeamento de um gás em um recipiente com uma bomba de vácuo de velocidade de bombeamento constante.

uma bomba de vácuo de velocidade de bombeamento constante. Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP

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constante. Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São Paulo - SP, Brasil Tel: (011)

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Comentário: Nos projetos em tecnologia do vácuo certamente intervêm as grandezas estudadas neste roteiro. Os conceitos apresentados são, acredito, os mais importantes da ciência e da tecnologia do vácuo, pois a característica mais marcante dos gases em baixas pressão está ligada ao modo como se escoam em uma tubulação. Como quase sempre interligamos a bomba de vácuo à câmara de vácuo por meio de uma tubulação é de fundamental interesse considerar como esta tubulação intervêm no processo de transporte dos gases e vapores. Assim, trate este assunto com muita dedicação, em todos os assuntos nesta disciplina, os conceitos vistos serão centrais, quer no projeto, quer no desempenho dos equipamentos, quaisquer que sejam, bombas de vácuo, sensores de vácuo, componentes auxiliares, etc. Uma discussão de caracter mais geral pode ser feito já nesta altura da disciplina. Os alunos já devem estar notando que os problemas que estão sendo discutidos e tratados requerem muitas considerações referentes a aproximações. Esta é uma característica muito marcante dos problemas que ocorrem de fato no nosso dia a dia. Qualquer que seja o problema, por mais simples que julgamos que seja, se tivermos que levar em conta tudo o que ocorre com ele, as interações de todos os tipos possíveis, sequer teremos tempo ou capacidade intelectual para montar matematicamente o modelo do problema. Um passo, não só importante, mas crucial à resolução de problemas é saber fazer aproximações, saber considerar o essencial e deixar de lado o supérfluo. Dependendo do problema, um aspecto para uma dada situação de modelagem pode parecer que ele é supérfluo, mas em outra situação pode ser essencial. Depende do detalhamento que desejamos atingir. Por exemplo, para o movimento de um corpo na superfície da Terra, uma pedra, considerar a atração gravitacional é essencial, caso contrário a pedra não cairá! Considerar a resistência do ar, irá depender de fatores como o coeficiente de arraste da pedra, que está relacionado com o seu perfil aerodinâmico. Dependerá também da velocidade que a pedra atingirá. Assim, para baixas velocidades podemos desprezar esta força. Mas veja, se uma folha de papel estiver aberta e a deixarmos cair, certamente não poderemos desconsiderar a força de resistência com o ar, mesmo no início do movimento, cuja velocidade é muito pequena, próximo de zero. Voltando à pedra. Certamente não precisaremos considerar a atração gravitacional da Lua, do Sol ou de Alfa-Centauro. Mas se estivermos, por exemplo, tratando das marés, certamente deveremos considerar a atração gravitacional da Lua, ela é essencial para explicar o fenômeno, a gravidade da Terra não explica as marés. Mas sem ela a água não estaria presa à Terra. O movimento de um pára-quedas somente pode ser explicado caso haja gravidade e resistência com o ar. Sem gravidade o pára-quedista não cai, sem resistência do ar ele não serve para nada o seu pára-quedas. Assim, no mínimo, devem existir esses dois ingredientes na modelagem do movimento

existir esses dois ingredientes na modelagem do movimento Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060

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do movimento Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São Paulo - SP, Brasil Tel:

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do pára-quedista: a força gravitacional e a força de arraste do pára-quedas devido a resistência com o ar. Na Lua não existe o problema do pára-quedista, pois lá a pressão na sua superfície é da ordem de 10 -7 mbar.

BOM TRABALHO!!

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ROTEIRO PARA ESTUDOS E EXERCÍCIOS DE FIXAÇÃO – 4

Cálculo das Condutâncias e Velocidade Efetiva de Bombeamento

Uma etapa importante no trabalho de um projetista de Tecnologia do Vácuo é a determinação e especificação das bombas de vácuo a serem utilizadas. Para isto, devemos conhecer o valor da velocidade de bombeamento da bomba de vácuo; este valor depende em geral de dois outros valores, a saber: a velocidade efetiva de bombeamento e a condutância da tubulação que liga a câmara de vácuo à bomba de vácuo. Assim, devemos saber calcular o circuito de vácuo e como associar as condutâncias. Este assunto está intimamente ligado ao do roteiro anterior. Como ponto de partida para a determinação matemática das condutâncias, devemos ter a identificação do regime de escoamento. Isto se faz necessário, uma vez que a expressão matemática correta depende fortemente do regime de escoamento. Como exemplo, considere um tubo de certos diâmetro e comprimento, um certo tipo de gás a uma da temperatura; podemos ter uma variação de mais de 100.000 vezes entre a condutância no regime de escoamento laminar, próximo à pressão atmosférica, e no regime de escoamento molecular. Diante disso devemos identificar o regime de escoamento para os cálculos relativos à determinação da velocidade efetiva de bombeamento. Neste roteiro você terá oportunidade de calcular condutância, e verá que podemos estar diante de um problema que pode ser extremamente simples ou diante de um problema extremamente complicado. De certa forma isto reflete o fato de termos maneiras muito distintas entre si para o processo de transporte dos gases em sistemas de vácuo. O que considero importante neste estágio da disciplina é que comece a ficar claro ao estudante o papel crucial da condutância no transporte dos gases e suas conseqüências do ponto de vista do desempenho dos sistemas de vácuo. Veja que este assunto requer bastante reflexão e espero que os iniciantes na tecnologia do vácuo comecem a pensar no assunto e façam uma imagem consciente da sua importância. Além de cálculos de sistemas de vácuo, no que se refere ao bombeamento de gases e vapores, o assunto sempre estará presente. Um exemplo pode ser dado quanto a instalação de medidores em uma câmara de vácuo ou qualquer outra posição no sistema de vácuo. A conexão do medidor não pode adulterar a medição da pressão, assim, o assunto da condutância novamente é coloca. O conceito de condutância também é intensamente utilizado para podermos fazer injeções controladas de gases e vapores em sistemas de vácuo.

controladas de gases e vapores em sistemas de vácuo. Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP

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de vácuo. Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São Paulo - SP, Brasil Tel:

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1. Calcular as condutâncias do orifício e dos tubos abaixo desenhados.

Considere a pressão de trabalho ao redor de 10 -6 mbar, o gás é a mistura da atmosfera – ar –, estando à temperatura ambiente de 20°C.

a) Orifício.

–, estando à temperatura ambiente de 20°C. a) Orifício. b) Tubo de seção transversal circular. Dentro
–, estando à temperatura ambiente de 20°C. a) Orifício. b) Tubo de seção transversal circular. Dentro
–, estando à temperatura ambiente de 20°C. a) Orifício. b) Tubo de seção transversal circular. Dentro
–, estando à temperatura ambiente de 20°C. a) Orifício. b) Tubo de seção transversal circular. Dentro
–, estando à temperatura ambiente de 20°C. a) Orifício. b) Tubo de seção transversal circular. Dentro
–, estando à temperatura ambiente de 20°C. a) Orifício. b) Tubo de seção transversal circular. Dentro

b) Tubo de seção transversal circular.

a) Orifício. b) Tubo de seção transversal circular. Dentro desta mesma questão, considere o texto a
a) Orifício. b) Tubo de seção transversal circular. Dentro desta mesma questão, considere o texto a
a) Orifício. b) Tubo de seção transversal circular. Dentro desta mesma questão, considere o texto a
a) Orifício. b) Tubo de seção transversal circular. Dentro desta mesma questão, considere o texto a

Dentro desta mesma questão, considere o texto a seguir. Discuta os casos apresentados acima adotando outras pressões em que ocorre o escoamento dos gases ou ainda vapores. Isto quer dizer:

Considere os outros regimes de escoamento dos gases. Somente esboce a solução do problema. Como é possível verificar, nos regimes de escoamento viscoso laminar e intermediário os cálculos das condutâncias não são tão simples como no regime de escoamento molecular. Neste regime estudamos que a condutância não depende da pressão.

c)Tubo de seção transversal retangular.

da pressão. c)Tubo de seção transversal retangular. Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São
da pressão. c)Tubo de seção transversal retangular. Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São
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retangular. Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São Paulo - SP, Brasil Tel: (011)

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2. Considere o circuito de vácuo abaixo desenhado. O gás de trabalho é a mistura atmosférica à temperatura de 200°C. Calcule a condutância do circuito de vácuo operando à pressão de 10 -7 mbar.

circuito de vácuo operando à pressão de 10 - 7 mbar. Continuando dentro da mesma questão.
circuito de vácuo operando à pressão de 10 - 7 mbar. Continuando dentro da mesma questão.
circuito de vácuo operando à pressão de 10 - 7 mbar. Continuando dentro da mesma questão.

Continuando dentro da mesma questão. Faça agora os cálculos considerando a temperatura ambiente. O circuito de vácuo simples mostrado acima é bastante comum e expõe as principais características de circuitos de vácuo mais gerais.

Faça uma discussão da questão da passagem do gás de um tubo de maior diâmetro para um tubo de menor diâmetro, como mostrado no caso acima. Agora, e se fosse o sentido de escoamento dos gases, do menor diâmetro para o maior diâmetro.

Na mesma questão: como devemos considerar o cotovelo no cálculo da condutância? Esta parte da questão é para pesquisar. Veja o livro de A.Roth, Vacuum Technology. Ainda há outras publicações em nossa biblioteca que trata bastante bem questão mais refinada. Também como refinamento, considerando a passagem abrupta de um diâmetro para outro valor de diâmetro em uma seqüência de tubos, como podemos tratar esta questão.

3. Para um processo industrial operando à pressão de 10 -1 mbar, pressão média, avalie a condutância e a velocidade de bombeamento efetiva. O circuito de vácuo é mostrado abaixo.

Considere o gás sendo a mistura atmosférica à temperatura ambiente de 20°C.

Faça as simplificações necessárias para o cálculo e exponha com clareza o seu raciocínio.

para o cálculo e exponha com clareza o seu raciocínio. Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 -

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raciocínio. Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São Paulo - SP, Brasil Tel: (011)

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de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo - LTV Bomba de vácuo com Sb =

Bomba de vácuo com Sb = 100 litros / minuto

Continuando. Qual a dificuldade no cálculo de condutâncias nos regimes viscoso e intermediário?

Esta questão não é muito fácil. Para situações como essa muitas vezes iremos necessitar de um cálculo feito por meio de métodos numéricos.

Apresente as unidades das grandezas utilizadas nesta questão. Faça o mesmo se você estivesse trabalhando no Sistema Internacional de Unidades. Infelizmente, ainda na tecnologia do vácuo, utilizamos unidades fora do sistema internacional. Acredito que teremos que esperar alguns anos para incorporar o SI à nossa disciplina. Não obstante, precisamos estar atentos, pois é muito comum em tecnologia do vácuo e suas ramificações a utilização de unidades das mais diversas, misturando inclusive inúmeras unidades. Devemos estar sempre atentos a está questão, pois podemos errar por ordens de grandeza se não prestarmos atenção a este aspecto.

Comentário: Faça uma exposição clara dos raciocínios adotados, escreva as expressões gerais e

somente depois faça as simplificações e as particularizações necessárias à resolução do problema

específico. Muitas vezes usamos expressões matemáticas e conclusões sem antes fazermos uma

verificação se são aplicáveis às situações que estamos tratando. Isto é um grande risco! Sempre

devemos verificar o universo de validades dos conceitos e dos teoremas.Este tipo de questão

apresentado mostra-nos como já começamos a esbarrar em problemas cuja solução requer a

intervenção de ferramentas matemáticas mais sofisticadas, e ainda a sua solução por meio de

métodos numérico-computacionais. Os cálculos de sistemas de vácuo em geral recaem em equações

diferenciais não lineares, que são de difícil solução sem a intervenção dos métodos numéricos. Esta

é uma característica geral tanto da ciência como da tecnologia. Um fato absolutamente dentro do

cotidiano dessas atividades. Assim, temos que começar a conviver com elas e aprender a utilizá-

que começar a conviver com elas e aprender a utilizá- Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 -

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a utilizá- Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São Paulo - SP, Brasil Tel:

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las! Nos projetos em tecnologia do vácuo certamente intervêm as grandezas estudadas neste roteiro, como no caso do roteiro anterior. A aplicação dos conceitos apresentados são, acredito, os mais importantes da ciência e da tecnologia do vácuo, pois a característica mais marcante dos gases em baixas pressão está ligada ao modo como se escoam em uma tubulação. Do ponto de vista do projeto, quase sempre interligamos a bomba de vácuo à câmara de vácuo por meio de uma tubulação é de fundamental interesse considerar como esta tubulação intervêm quantitativamente no processo de transporte dos gases e vapores. Assim, para determinar a bomba de vácuo necessária ao sistema de vácuo, certamente deveremos calcular condutâncias e suas associações. Assim, nos projetos e também conceitualmente os cálculos feitos aqui serão determinantes para o desempenho dos equipamentos, quaisquer que sejam, bombas de vácuo, sensores de vácuo, componentes auxiliares, etc. Finalizamos este roteiro, reafirmando a necessidade de sempre termos de construir modelos de sistemas físicos, no caso voltados à tecnologia. No roteiro anterior fizemos uma discussão sobre o essencial e o supérfluo na construção de modelos. O julgamento de ser ou não ser essencial um determinado aspecto na modelagem de sistemas físicos e também em outras áreas, como economia, biologia, sociologia é de suma importância. Vemos em geral que ao introduzir de um detalhe a mais no modelo de um determinado sistema a sofisticação matemática cresce muito. Assim, ser razoável diante dessas situações é a atitude mais importante. A questão toda é saber até onde podemos ir, ou seja, qual é o grau de detalhamento que devemos atingir. Não há fórmula para esse problema, somente nossa vivência no assunto e a comparação dos resultados obtido na modelagem com os dados experimentais podem dizer se aquela modelagem foi ou não um sucesso. A partir da exposição do estudante ou do profissional com problemas novos é que poderemos adquirir capacidade de fazer modelos. Certamente um ponto que sustenta tudo isso é o nosso conhecimento teórico, pois é com a teoria sobre o assunto que poderemos incluir no modelo e supor como funciona aquele sistema. Você pode estudar muito sobre natação, conhecer bem muitos dos aspectos importantes para aprender como obter um bom condicionamento físico, e uma série de outros conhecimentos que certamente ajudarão você a se desempenhar melhor ao nadar, mas veja, você vai ter que cair na piscina. Não tem escapatória, você deverá se expor ao fato. Assim, faça!

BOM TRABALHO!!!

Disciplina de Tecnologia do Vácuo – Curso MPCE Prof. Francisco Tadeu Degasperi

do Vácuo – Curso MPCE Prof. Francisco Tadeu Degasperi Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP

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Degasperi Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São Paulo - SP, Brasil Tel: (011)

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ROTEIRO PARA ESTUDO E EXERCÍCIOS DE FIXAÇÃO – 5

Os Vários Tipos de Fontes de Gases e o Processo de Bombeamento em Tecnologia do Vácuo

Uma etapa importante no trabalho de um projetista de sistemas de vácuo é a determinação e especificação das possíveis fontes de gases e vapores que podem estar presentes no sistema de vácuo sendo analisado. Para poder especificar a instrumentação necessária para o bombeamento dos gases e vapores, devemos ter bastante claro quais os tipos de fontes gasosas que participam do processo em vácuo e também a sua intensidade. Este fato será determinante para podermos dimensionar as bombas de vácuo e também escolher as mais adequadas dependendo do tipo de gás presente no processo. Para poder resolver matematicamente o problema devemos quantificar as fontes de gases e vapores. Esta tarefa em geral não é simples, uma vez que para cada tipo de fonte de gás há uma física específica para ela. Por exemplo, o vazamento virtual é completamente diferente da degaseificação. Os problemas matemáticos referentes ao processo de bombeamento em geral recaem em uma equação diferencial ordinária. A sua solução por meio de procedimentos analíticos é bastante restrito, isto quer dizer que há pouquíssimos casos cuja solução pode ser alcançada e representada em forma analítica. A grande maioria dos casos a solução matemática do problema somente é conseguida por meio de ferramentas matemáticas do cálculo numérico. Nestes casos, além do conhecimento detalhado das fontes gasosas e sua quantificação deveremos ter as expressões matemáticas, ou ainda, por meio de tabelas das condutâncias e das velocidades das bombas de vácuo em função da faixa de pressão de operação. Uma característica que encontramos nos sistemas de vácuo e presentes em outras tecnologias também é a necessidade permanente dos conceitos vistos anteriormente. Os estudantes devem estar atentos para este fato importante. Assim, não podemos nos descuidar de nenhum ponto da teoria visto até o momento. Esta característica do conhecimento irá acompanhar o estudante até o final do curso e certamente continuará em sua vida profissional. Geralmente em tecnologia do vácuo os modelos realizados são muito simplificados, em parte isto ocorre devido a falta de uma plataforma adequada para resolver matematicamente os modelos físicos que deveriam estar sendo propostos. As bases físicas para o entendimento do que ocorre com

As bases físicas para o entendimento do que ocorre com Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 -

Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060

ocorre com Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São Paulo - SP, Brasil Tel:

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a degaseificação, que tem origem na desorpção, a adsorção, a absorção, o outgassing , e outros

efeitos importante que são importantes à tecnologia

1. Cite e caracterize fisicamente os vários tipos de fontes de gases e vapores que podem ocorrer

em sistemas de vácuo. Temos esquematicamente mostrado abaixo um sistema de vácuo genérico com as várias fontes de gases e vapores possíveis. Todos os sistemas de vácuo, simples ou complexos, têm suas partes conforme mostrado no esquema a seguir. Apresente a equação diferencial mostrando explicitamente os termos relativos às fontes de gases e vapores importantes para a modelagem de sistemas de vácuo.

Câmara de

Vácuo

para a modelagem de sistemas de vácuo. Câmara de Vácuo Q Vap Q VR Q IC
para a modelagem de sistemas de vácuo. Câmara de Vácuo Q Vap Q VR Q IC
Q Vap Q VR Q IC Q GP Q FBV D eg Q Sub

Q Vap

Q VR

Q IC

Q
Q

GP

Q FBV

D eg Q Sub
D eg
Q Sub
Q Vap Q VR Q IC Q GP Q FBV D eg Q Sub Bombas de

Bombas de

Vácuo

Q BV
Q BV
Q Perm Q VV
Q Perm
Q VV

Linha de

Bombeamento

Desenho esquemático de um sistema de vácuo geral, mostrando as suas partes principais: a câmara de vácuo com as possíveis fontes de gases e vapores, a linha de bombeamento ou transporte de gases e o conjunto de bombas de vácuo.

Na questão seguinte você terá oportunidade de aprofundar o assunto relativo às fontes gasosas e também referente a origem física delas. Nós não estamos interessados no momento em resolver matematicamente a equação diferencial para os casos gerais encontrados em tecnologia do vácuo.

para os casos gerais encontrados em tecnologia do vácuo. Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP

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do vácuo. Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São Paulo - SP, Brasil Tel:

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Mais à frente resolveremos para duas situações bastante simples, não obstante, bastante elucidativas e importantes no contexto da modelagem de sistemas de vácuo e a consideração das hipóteses simplificadoras a serem sempre feitas. Isto será tratado em detalhe. Veremos que a resolução matemática desses modelos que construiremos será muito simples, mesmo assim, os resultados terão um alcance bastante grande.

Para mais detalhes, veja a página 57 do livro A User´s Guide To Vacuum Technology, de John F. O´Hanlon, 2° edição Wiley. Veja também o trabalho de mestrado do professor desta disciplina. Este livro temos em nossa biblioteca.

2.

Explique fisicamente os seguintes termos e conceitos dentro da tecnologia do vácuo:

-

Sorpção.

-

Absorção.

-

Adsorção.

-

Desorpção.

-

Outgassing (este termo não é traduzido).

-

Degassing (este termo em geral é traduzido como degaseificação).

-

-

Taxa de degaseificação específica de um certo material.

Complementando esta questão. Exiba a Equação Diferencial do Processo de Bombeamento de Gases e Vapores em Baixas Pressões. Faça uma discussão detalhada sobre os seus termos e interprete-os fisicamente.

Obs.: Veja o catálogo da Balzers. Compare com os livros disponíveis na biblioteca e ainda os textos disponíveis em formato eletrônico e que estão no site da Fatec-SP – Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV. Há muitos outros que expõem bem o assunto sobre as possíveis formas de liberação de gases e vapores em sistemas de vácuo. Este assunto é central em tecnologia do vácuo.O ponto de partida para o projeto de sistemas de vácuo é a identificação da fontes gasosas pertinentes ao processo.

3. Vamos integrar os conceitos trabalhos nos roteiros anteriores e este presente. De um modo geral os sistemas de vácuo podem ser concebidos conforme mostrado na figura a seguir. Temos a câmara de vácuo, a linha de bombeamento e as bombas de vácuo. Como tratamos anteriormente, integre as idéias e os conceitos referentes ao processo de bombeamento com a condutância e velocidade da bomba de vácuo. Considere também as várias fontes de gases e vapores que podem existir nos sistemas de vácuo.

de gases e vapores que podem existir nos sistemas de vácuo. Pça. Cel. Fernando Prestes, 30

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de vácuo. Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São Paulo - SP, Brasil Tel:

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de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo - LTV Esquema geral de sistemas de vácuo,

Esquema geral de sistemas de vácuo, mostrando a câmara de vácuo, a linha de bombeamento e a bomba de vácuo. Vemos também a relação entre a velocidade de bombeamento da bomba de vácuo, com a condutância total da linha de bombeamento e a velocidade efetiva de bombeamento.

Comentário: Esta lista tem por objetivo fazer com que o estudante fixe os conceitos e nomenclatura utilizados em tecnologia do vácuo quando refere-se às várias fontes de gases possíveis e como estas podem ser minimizadas durante o processo de bombeamento. Os conceitos físicos vistos neste roteiro formalizam a construção teórica da tecnologia do vácuo no que refere à construção matemática de modelos dos sistemas de vácuo. Há ainda, em continuidade aos exercícios propostos acima, um texto em inglês extraído do catálogo da Balzers. Fica aqui um convite ao estudante traduzir e certamente estudar mais esta fonte importante de informações em tecnologia do vácuo. Junto com os livros, os catálogos são bons companheiro de estudo!

BOM TRABALHO!!!

Disciplina de Tecnologia do Vácuo – Curso MPCE Prof. Francisco Tadeu Degasperi

do Vácuo – Curso MPCE Prof. Francisco Tadeu Degasperi Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP

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Trabalho Adicional: Traduza e Estude o Texto a Seguir.

DEFINIÇÕES E TERMOS EMPREGADOS NA TECNOLOGIA DO VÁCUO

Os termos seguintes, muito empregados na Catálogo da Balzers – 88/89.

- Gas

Gas is matter in a state of aggregation in which the mean distances between the molecules are large in comparison with their dimensions, and the mutual arrangement of individual molecules is constantly changing.

Gas in the stricter sense is matter in gaseous state which cannot be brought to a liquid or solid state by compression at the prevailing temperature.

- Gas ballast

Inlet of a controlled quantity of a gas, usually into the compression chamber of a positive displacement pump, so as to prevent condensation within the pump.

- Gettering

Gettering means bonding of gas, preferably by chemical reactions. Getter (getter materials) often has large real surfaces.

- Leak

Leaks in a vacuum system are holes or voids in the walls or at joints, caused by faulty material or machining or wrong handing of the seals.

- Leak rate

The leak rate is the throughput of a gas through a leak. It is a function of the type of gas, pressure difference and temperature.

- Maximum tolerable water vapor inlet pressure p wo

The maximum tolerable water vapor inlet pressure is the highest inlet pressure at which a vacuum pump can continuously pump pure water vapor under ambient conditions of 20 o C and 1013mbar. It is given in mbar.

- Mean free path

The mean free path is the average distance which a molecule travels between two successive collisions with other molecules.

- Outgassing

Outgassing is a spontaneous desorption.

Tecnologia do Vácuo, foram extraídos do

desorption. Tecnologia do Vácuo, foram extraídos do Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São

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- Partial pressure

The partial pressure is the pressure due to a specified gas or vapor component of a gaseous and/or vapor mixture.

- Permeation

Permeation is the passage of gas through a solid barrier or a liquid of finite thickness. Permeation involves diffusion and surface phenomena.

- Pressure

The pressure of a gas on a boundary surface is the normal component of the force exerted by the gas on an area divided by that area.

- Pressure units

The pressure units are Pascal as the S.I. unit, abbreviation Pa, and bar as a special unit designation for 10 5 Pa.

1 Pa = 1 Nm -2

1 bar = 1000 mbar = 10 5 Nm -2 = 10 5 Pa.

The unit commonly used in the vacuum technology is the milibar.

- Quantity of gas (pv value)

The pv value is the product of the pressure and volume of a specified quantity of gas at the prevailing temperature. If the pv value is to be used as a measure for the quantity of substance or gas, this must be an ideal gas whose temperature must be specified.

- Resistance

The resistance is the reciprocal of the conductance.

- Reynolds number

Nondimensional quantity

Re = d.v.l / n

d = Density of fluid

v = Average flow velocity

l = Characteristic length (e.g. pipe diameter)

n = Dynamic viscosity

Re < 2300 Laminar flow

Re > 4000 Turbulent flow

Re < 2300 Laminar flow Re > 4000 Turbulent flow Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 -
Re < 2300 Laminar flow Re > 4000 Turbulent flow Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 -

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- Saturation vapor pressure

The saturation vapor pressure is the pressure exerted by a vapor which is in thermodynamic equilibrium with one of its condensed phases at the prevailing temperature.

- Sorption

Sorption is the taking up of gas (sorbate) by a solid or a liquid (sorbent). Sorbents are also called sorption agents.

- Standard reference condition

The standard reference condition is the condition of a solid, liquid or gaseous substance determined by the standard temperature and standard pressure.

- Standard temperature

T n = 273.15 K

- Standard pressure

P n = 101325 Pa = 1013.25 mbar

- Throughput

The throughput is the quantity of gas (in pressure – volume units) passing through a cross – section in a given interval of time at the prevailing temperature, divided by that time.

- Throughput of a pump

The throughput of a vacuum pump is the throughput of gas pumped.

- Total pressure

The total pressure is the sum of all partial pressures present. This term is used in contexts where the shorter term “pressure” might not clearly distinguish between the individual partial pressures and their sum.

- Ultimate pressure

The ultimate pressure is the value which the pressure in a standardized test dome approaches asymptotically with normal operation of the vacuum pump and without gas inlet.

Distinction can be made between the ultimate pressure which is due to no condensable gases, and the ultimate pressure which is due to gases and vapors (ultimate total pressure).

The terms used in descriptions and technical data for the pumps and components in the catalog are standardized. The choice of the most important terms given below is intended to contribute to their uniform use and assist the less experienced user of vacuum technology in the use of the catalog.

PNEUROP is the association of manufactures of compressors, vacuum pumps and pneumatic tools from twelve European countries, with a “Vacuum Technology” Committee. Its aim is to promote international standardization of vacuum components and vacuum test methods. The PNEUROP

of vacuum components and vacuum test methods. The PNEUROP Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP

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The PNEUROP Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São Paulo - SP, Brasil Tel:

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proposals were submitted to ISO as a standards recommendation, and the majority of them has been incorporated in the standards of the European industrial countries – for instance Germany, Great Britain and France.

The PNEUROP recommendations contain the definitions, test methods and performance data for vacuum pumps, gauges and components which are binding for PNEUROP members. The products of Balzers Aktiengesellschaft and Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar GmbH conform to PNEUROP rules.

- Absolute pressure gauge

An absolute pressure gauge is a pressure gauge used to determine the pressure from the normal force exerted on a surface divided by its area. An absolute pressure gauge is independent of the gas type used.

- Absorption

Absorption is a type of sorption in which the gas (absorbate) diffuses into the bulk of the solid or liquid (absorbent).

- Adsorption

Adsorption is a type of sorption in which the gas (absorbate) is retained at the surface if the solid or liquid (absorbent).

- Backing pressure

The backing pressure is the pressure at the outlet of a pump which discharges gas to a pressure below atmospheric only.

- Compression ratio

The compression ratio is the ratio between the outlet pressure and the inlet pressure of a pump for a specific gas.

- Concentration of molecules

The concentration of molecules is the number of molecules contained in an adequately chosen volume divided by that volume.

- Conductance

The conductance is the conductance in the special case where the orifice or duct connects two vessels on which Maxwellian velocity distribution prevails. In the case of molecular flow, the intrinsic conductance is the product of the conductance of the inlet port of the duct section and the transmission probability of the molecules. In this flow range, it is dependent of the pressure.

- Degassing

flow range, it is dependent of the pressure. - Degassing Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 -

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- Degassing Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São Paulo - SP, Brasil Tel:

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Degassing is a desorption which is accelerate by physical processes.

- Desorption

Desorption is the liberation of gases sorbed by a sorbent material. The liberation can be spontaneous or can be accelerate by physical processes.

- Diffusion

Gas diffusion is the movement of a gas in another medium due to its concentration gradient. The medium may be gaseous, liquid or solid.

- Flow

Viscous flow

Viscous flow is the passage of a gas through a duct under conditions such that the mean free path is very small in comparison with the smallest internal dimension of a cross section of the duct. The flow is therefore dependent on the viscosity of the gas and may be laminar or turbulent. In the case of viscous flow, the resistance is a function of the pressure.

Turbulent flow

Turbulent flow (eddy flow) is a viscous flow with mixing motion above a critical Reynolds number (for circular cylindrical pipes Re = 2300).

Laminar flow

Laminar flow (parallel flow) is a viscous flow without mixing motion at small Reynolds numbers.

Molecular flow

Molecular flow is the passage of a gas through a duct under conditions such that the mean free path is very large in comparison with the largest internal dimensions of a cross section of the duct. In the case of molecular flow, the resistance is independent of the pressure.

- Vacuum

Vacuum is the state of a gas with the concentration of molecules being less than that of the atmosphere at the earth surface.

Vacuum is the state of a gas with a pressure below atmospheric pressure, i.e. the air pressure prevailing at the respective location.

The relationship between pressure p and concentration of molecules n (for ideal gases) is a follows:

p * V= N Molecule * k * T

k = 1.3807 * 10 -23 JK -1 Boltzmann constant

1.3807 * 10 - 2 3 JK - 1 Boltzmann constant Pça. Cel. Fernando Prestes, 30

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constant Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São Paulo - SP, Brasil Tel: (011)

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T = thermodynamic temperature

Vacuum ranges

mbar

Molecule Concentration

Low vacuum (GV)

1000-1

2.5 * 10 25 – 2.5 * 10 22 m -3

Medium vacuum (FV)

1 - 10 -3

2.5 * 10 22 – 2.5 * 10 19 m -3

High vacuum (HV)

Ultra-high vacuum (UHV)

10 -3 – 10 -7

<10 -7

2.5 * 10 19 – 2.5 * 10 15 m -3

<2.5 * 10 15 m -3

The molecule concentrations refer to a temperature of 20°C.

- Vapor

Vapor is a substance in gas phase which is either in thermodynamic equilibrium with its liquid or solid phase (saturated vapor).

Note: in vacuum technology, the word “gas” has been loosely applied to both the non-condensable gas and the vapor, if a distribution is not required.

- Vapor pressure

Vapor pressure is the partial pressure of a vapor.

- Volume flow rate

The volume flow rate is the volume of gas passing through the duct cross-section in a given interval of time at a specified temperature and pressure divided by that time.

- Volume flow rate

The volume flow rate S is the average volume flow from a standardized test dome through the cross section of the pump’s intake port.

Unit’s for the volume flow rate are m 3 * s -1 , l * s -1 , m 3 * h -1 .

- Water vapor capacity C wo

The water vapor capacity is the maximum mass of water per unit of time which a vacuum pump can continuously take in and discharge in the form of water vapor under ambient conditions of 20°C and 1013 mbar. It is given in g * h -1 .

The relationship between water vapor capacity c wo and maximum tolerable water vapor inlet pressure p wo is as follows:

c wo = 217 * S * p wo /T in g * h -1

S = volume flow rate, in m 3 * h -1 , at inlet pressure p wo

in m 3 * h - 1 , at inlet pressure p w o Pça. Cel.

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p w o Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São Paulo - SP, Brasil

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p wo = maximum tolerable water vapor inlet pressure, in mbar

T = thermodynamic temperature of the water vapor pumped, in K.

Comentário: mais uma vez temos a oportunidade de nos depararmos com um conteúdo rico e adequado ao estudo da tecnologia do vácuo. Os catálogos são uma fonte rica de informação e auxiliar no ensino. Além de trazer o estado da arte no que se refere a instrumentação – certamente para os catálogos atuais! –, eles também trazem muitas vezes resumos teóricos e princípios de funcionamento de medidores e bombas de vácuo, e outros mais. Além dos livros, estudar com os catálogos, verificando a instrumentação e como especificá-las certamente é um complemento importante ao estudo de uma escola de tecnologia. Entender um catálogo, qualquer que seja a área que o estudante futuramente irá abraçar, é um passo importante à sua vida profissional. Assim, aproveite a oportunidade, mesmo que você não venha trabalhar com tecnologia do vácuo, aprenda a transitar em um catálogo. Certamente você fará isto no futuro em sua área de atuação. Além de tudo que dissemos, muitos catálogos estão escritos na língua inglesa, mais um bom motivo para praticarmos esta língua. Os conceitos e definições tratados neste texto são importantes, pois estão no centro da determinação de grandezas que devem ser encontradas para o projeto de sistemas de vácuo e de suas aplicações. Os catálogos que vocês têm disponíveis seja na biblioteca seja no Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV são os mesmos em qualquer lugar no mundo. Assim, junto com os livros, mãos à obra e também aos catálogos!

BOM TRABALHO!!!

Disciplina de Tecnologia do Vácuo – Curso MPCE Prof. Francisco Tadeu Degasperi

do Vácuo – Curso MPCE Prof. Francisco Tadeu Degasperi Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP

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ROTEIRO PARA ESTUDO E EXERCÍCIOS DE FIXAÇÃO – 6

Medidores de Vácuo. Sensores Diretos e Indiretos de Pressão Total

No trabalho de um projetista de Tecnologia do Vácuo uma etapa importante é a determinação e especificação dos instrumentos a serem utilizados no sistema de vácuo. Fazem parte: a câmara de vácuo, as bombas de vácuo, os medidores de pressão, os componentes auxiliares, e muitos outros. Para isto, devemos conhecer muito bem o princípio de funcionamento dos vários instrumentos e componentes a serem comprados. Assim, devemos entre outros saber medir a pressão em toda a faixa de operação do sistema de vácuo. Também devemos conhecer bem os detalhes do processo em vácuo a fim de não expormos os sensores de pressão a atmosferas contaminantes, ou ainda, explosivas ou corrosivas. Com relação aos sensores de coluna de mercúrio, vemos que estes sensores, os mais antigos medidores de pressão, têm o seu princípio determinado a partir das leis da mecânica. Este tipo de medidor de pressão coloca muito claramente a questão do que significa medir a pressão a partir da sua definição, que é a força agindo em uma área. Além do aspecto instrutivo, este tipo de sensor é bastante usado em metrologia de pressão, uma vez que pelo fato de depender de aspectos da mecânica, e não depender do tipo do gás, o torna indicado na metrologia. Além desse medidor, estudaremos o sensor Pirani e o termopar, baseados na condução térmica dos gases. O medidor Pirani é extensamente utilizado na medição de pré-vácuo. O sensor de membrana capacitava é um medidor também baseado em princípios mecânicos, apesar dessa medição mecânica ser feita por procedimento elétrico. Os sensores de medição Penning, ou catodo frio e o sensor Bayard- Alpert, ou catodo quente, têm a medição de pressão em alto-vácuo baseado na condução elétrica dos gases e vapores. Neste roteiro o assunto é a medição de pressão no seu sentido mais amplo, que são os seus princípios físicos, o princípio de funcionamento dos sensores e a sua utilização. Também devemos ter claro os limites de operação dos sensores. Como ponto de partida conhecer se o processo de medição é direto ou indireto. Levar em consideração a sua instalação no sistema de vácuo, observando o efeito da condutância da conexão do sensor a parte em que está sendo feita a medição de pressão. Veja mais uma vez nos deparamos com o conceito de condutância. Este é um aspecto marcante da tecnologia do vácuo, a condutância sempre estará presente. Como exemplo, considere que o tubo de conexão do sensor devem ter

considere que o tubo de conexão do sensor devem ter Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 -

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devem ter Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São Paulo - SP, Brasil Tel:

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o seu diâmetro e seu comprimento observado, caso contrário corremos o risco de ter a

medição de pressão adulterada. Do mesmo modo devemos observar os campos magnéticos e

elétricos e a temperatura circunstante ao sensor de vácuo. Finalmente, mais uma

consideração, não podemos nos distanciar da calibração dos sensores, aspecto tão importante

no mundo industrial, uma vez que os certificados de qualidade exigem esta observação.

1. Explique a lei de Dalton; como relacionar as pressões parciais com a pressão total? A lei de

Dalton é obvia? Ela tem validade geral ou depende da suposição básica do conceito de gases perfeitos?

2. O que são sensores diretos ou absolutos e indiretos? Exemplifique, exibindo uma lista de ambos

os tipos de sensores. Fale em detalhe.

3. Por que em um manômetro de coluna de mercúrio a área transversal do tubo da coluna não

intervém nos cálculos? Explique detalhadamente este manômetro, o seu equacionamento responde a maioria das perguntas que fazemos sobre ele. Ele expõe como nenhum outro medidor de pressão o processo físico de medição de pressão. Ele é ainda usado, inclusive como padrão primário de medição de pressão. Temos aqui a oportunidade de construir um modelo físico simples e profundo.

4. Comente sobre a posição de instalação de medidores de vácuo junto à câmara de vácuo

mostrada abaixo em conjunto com as bombas de vácuo e os seus componentes auxiliares.

com as bombas de vácuo e os seus componentes auxiliares. Sistema de Alto-Vácuo mostrando a câmara

Sistema de Alto-Vácuo mostrando a câmara de vácuo, a linha de bombeamento e a conexão às bombas de vácuo. Vemos ainda o sistema de injeção de gases – que estudaremos mais à frente.

de injeção de gases – que estudaremos mais à frente. Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 -

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à frente. Pça. Cel. Fernando Prestes, 30 - CEP 01124-060 São Paulo - SP, Brasil Tel:

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FATEC - SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo -

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Dentro da mesma questão, diga qual o princípio de funcionamento do sensor de vácuo tipo membrana capacitava. Diga quais são as situações mais indicadas para o seu uso e fale dos cuidados com esse tipo de sensor.

5. Dentro da questão referente a classificação dos sensores de vácuo, veja a relação abaixo e diaga

quais são os diretos e indiretos. Vá aos catálogos e veja os sensores comercializados e como são

apresentados.

e veja os sensores comercializados e como são apresentados. Gráfico esquemático mostrando os medidores de vácuo

Gráfico esquemático mostrando os medidores de vácuo mais comuns e a sua faixa de operação.

6. O que é condutividade térmica dos gases? Em que faixa de pressão ela é importante? Explique