CinciasdosMateriais

MicroscopiapticaeMicroscopiaEletrnicacomoTcnicasparaCaracterizaoeInspeode PadresemMicroestruturas.

Nomes:LeonardoGleidsonValadares

Curso:EngenhariaCivil5Perodo

Turma:02B

Professor:AlissonMarquesdeMiranda

Microscopiaptica

2.Introduo

Nestetrabalhovamosfalarsobremicroscopiapticaqueumatcnicaparacaracterizaoeinspeode padresemmicroeletrnica.

OMicroscpiovemdeduaspalavrasgregasequerdizer"pequeno"e"observar".

Omicroscpiodegrandeutilidadenaverificaodemicrocircuitos,jqueavisohumanatemsuas limitaes.Oprimeiromicroscpiofoiopticodepoisdeste,muitosoutrosmodelosforamaperfeioados paraasmaisvariadasaplicaes,quevodesdeabiologiaatamicroeletrnicaeaastronomia.Como avanodaeletrnicaeengenhariaemsi,tempermitidohojeemdiaqueseproduzaminstrumentospticos degrandeprecisoecomodidadeparaquemosutiliza.Asdimensesgeomtricasdeestruturas implementadasporprocessosdemicroeletrnicaestodiretamenteligadasaodesempenhodocircuito integrado.Assim,nocontroledafabricaodecircuitosintegradosedispositivosmicroeletrnicos, necessrioverificaremedirageometriadasestruturasconstrudasnasuperfciedoswafers.Devidoalta integrao,essecontroletornaseimpossveldeserfeitoaolhonuoumesmocomumalupasimples.

Diantedaimportnciadamicroscopiapticanacaracterizaodemicroeletrnica,essetrabalhovem apresentarastcnicaseconstruodosmaisvariadostiposdemicroscpios,cujoempregoem microeletrnicavaidesdeocontroledefabricaoatmesmocaracterizao,anlisedefalhase

engenhariareversa.

3.Microscopiaptica:

Namicroscopiaticaexistemdoistiposdemicroscpiosossimpleseocomposto,osimples caracterizadoporumalentedeaumentoquepermiteaumentarumapartculavezesamaisqueoseu tamanhoreal,estetipobastanteutilizadoparaobservargrosdeminrio,superfciedefraturademetais papeleoutros.

Josmicroscpicoscompostossomaispoderososquepermitedesdeaobservaocomaumentode algumasdezenasdevezesate2000vezesotamanhorealdapartcula.

Omicroscpiocompostotemdoistiposdelentesaoculareaobjetivaunindoosdoistiposdelentesfica umtuboticogeralmentede160mm.

Cadasistemadelentesproduzumaumento.Aslentesobjetivassodescritasporsuadistanciafocal, distanciaestadoobjetoatalente.

Umbommeioparatrabalharcomgrandesaumentosealtaresoluoecolocarentreoobjetoeaobjetiva ummeiodiferente,quegeralmenteoleoquetemondicederefraomaiorqueoar.

3.1Microscopiaptica:Aspectosgerais

Amicroscopiapticapermiteaobservaodasestruturasencontradasnanaturezacomoumaextenso naturaldaobservaoaolhonu.Otipomaissimplesdemicroscpioumalentedeaumento,quepermite aobservaodeestruturascomdiversasvezesdeaumentomuitoutilizadoparaobservaodegrose minrios,desuperfciesdefraturasdemetais,papeleoutrosprodutosdaindstriaqumicaemetalrgica. Osmicroscpioscompostosjsoinstrumentosmaispoderosos,quepermitedesdeobservaocom aumentodealgumasdezenasdevezesatummximode1500a2000vezes,olimitedaobservaocom luzvisvel.[1]

Autilizaodomicroscpioticonoserestringeapenasaanlisedecaractersticasdoscircuitos integrados,tambmusadoparaanalisarpartculasencontradasnoscircuitos,eaindafreqentemente usadoparaolharemedirotamanho,otipoeadensidadededefeitosemcircuitossemicondutores.

Aidentificaoeanlisedepartculasrequerumacertaprticaehabilidadeporpartedomicroscopista.O microscpioapresentadoissistemasdelentesconvergentesaobjetivaeaocular.Aocular,tambm formadaporlentesconvergentes,funcionacomoumalupa,quenosdumaimagemvirtualeaumentadada imagemrealqueseformouempelaobjetiva.

Apotnciadomicroscpioresultadodoprodutodaampliaolineardaobjetivapelapotnciadaocular seuvalorserelevadoquandoasdistnciasfocaisdaobjetivaeocularforempequenas.

Opoderseparador,oudistnciamnimadistinguvelentredoispontoslimitadopeladifraodaluz.

3.2Poderderesoluo

Aluzpodeserobtidatantonaformadeondasbemcomonaformadepartculas.

Parafinsdeexplicaodosresultadosexperimentaisusaseoconceitodeondaspara

outrosoconceitodepartculas.

SegundoRaleighdoisobjetospodemserdistinguidosquandoomximocentraldeumcoincidecomo primeiromnimodooutro,aintensidadeentredoispicosdescrevede80%dopicoinicial,

Aresoluoamnimadistnciaentrepontosoupartesdeumobjeto.

Aequao1defineolimitederesoluodeummicroscpiopticosegundoocritriodeRaleigh.

Equao1

:=0.61.ou:=0.61.

n.sin() NA

Aaberturanumricaqueaparecenaequaoacimaexpressaopoderderesoluodaslenteseobrilhoda imagemformada,quandomaioraaberturanumricamelhoraqualidadedaresoluo.

Aslentesobjetivas,soresponsveispelaampliaodaamostra.Paraumaaltaampliaoeumaalta

resoluonecessitasedelentesobjetivascomumagrandeaberturanumrica(NA).Esseparmetro determinaopoderseparadordomicroscpio.

Jopoderseparadordomicroscpioamedidadacapacidadedeuminstrumento[2]

3.3Sistemadeiluminao:

Luztransmitida:Aluzgeradaporumafonte(lmpada+espelhoparablico,emgeral)colimadapor lentescondensadorasepassaatravsdeaberturasvariveis,chamadasdiafragmas,porfiltrosedepoisna microscopiaporluztransmitida,atravessaaamostraquenestescasosdeveserpreparadacomouma lminafinaosuficienteedefacesparalelas,paraquesejatransparente.[1]

Luzrefletida:NomicroscpiopticodeluzrefletidaMOLR,aluzincidesobreaamostraerefletida,de modoespecular.Existeumsemiespelhonoqual50%daluzrefletidae50%transmitida,havendo perdasquantointensidadedaimagem,pormganhandosenaresoluofinal.[3]

Campoclaro:Amicroscopiadecampoclaroapresentaalgumasvantagenscomomenortoxicidadepor necessitardemenoresconcentraesdecorantesbaixocontraste,devidoaousodebaixas concentraesdecromforosnaturaisouespecialmentecorantesvitais,podesergrandemente aumentadosobservaesfeitasnocomprimentodeondademximaabsoroaumentamocontraste. Entretanto,apresentaalgumaslimitaescomoobjetosdefaseexibemmnimocontrasteemfocoemostra contrasteopostoporcimaeabaixodofoco.[4]

Campoescuro:Aluzdispersadaentranaobjetivaeoobjetoapareceiluminadoebrilhantesobreumfundo escuro.Talconseguesepelautilizaodeumtipoespecialdecondensadorqueiluminaoobjeto obliquamente(Reis,2003).Aluzatingeoespcimeaseranalisadoesomenteosfeixesdesviadospelo objetopercorremorestodosistema,isto,objetivaseoculares,formandoaimagem(Taboga,2001).[4]

MicroscopiaPorLuzTransmitida:

Esteprocessoempregadoparaadistinodecaractersticasepropriedadesespecificasdeummineral qualquer.Estepermiteumaampliaode201000vezes,permitequealuzsejapolarizada,isto, redirecionadapermiteadistinodefasespormeiodecaractersticasmorfolgicasepropriedades pticas,principalmente.

MicroscopiaPorLuzRefletida:

Aluzsepropagaemummeioisotrpicosegundoumafrentedeondaesfrica.Ondicederefraodo meioinvariantecomadireoconsiderada.Contudo,emcertosmeioshomogneos,avelocidadede propagaodaluzdependedadireoconsiderada.Taismeiosanisotrpicossoditosbirrefringentes,por teremdoisndicesderefraoprincipais.Podeseimaginarduasfrentesdeonda,umaesfricaeoutra elipsoidal,tangentesumaaoutraemumadireoconhecidacomoeixoptico.

Campoclaroecamposescuro:

Amaioriadosmicroscpiosdisponveisparaaindstriadesemicondutoresutilizamossistemasde iluminaodecampoclaro(brigthfield),campoescuro(darkfield)edeinterfernciadiferencial.Nomodode iluminaodecampoclaroaluzviajaaolongodoeixoptico,atravsdaobjetivaemdireoamostraque estsendoobservada.Nomododeiluminaodecampoescuroaluzdirecionadaparaoexteriordocone queaobjetivacompreendeparailuminaralminaobliquamente.Somentealuzquerefletidaoudifratada pelascaractersticasdaamostraentranaobjetiva.Ailuminaodecampoescuroaumentaavisibilidadede detalhesquesofreqentementeignoradospelailuminaodecampoclaro.Amicroscopiadecampo escuroumatcnicaexcelenteparaumavarredurarpida,comumamplocampodeviso,parapartculas, ranhurasouresduosqumicos.

3.4Imagensdemicroestruturas

Figura3MicroestruturadaligaFeCrC

MicroscpioEletrnico

4.1Microscpioeletrnico:Aspectosgerais

Em1924,ofsicofrancsLouisdeBroglie(18921987),PrmioNobelde1929,demonstrouqueumfeixede eltronspodiadescreverummovimentoondulatrio,comoaluz,mascomumcomprimentodeondamenor, permitindoampliaesmuitomelhores.Omicroscpioeletrnico,criadoem1933,utilizaesserecurso:um feixedeeltrons,emitidoporumfilamentodetungstnio,passaporumcampoeletromagnticoque, imitandoalentedeumaparelhoptico,concentraosobreoobjetodeestudo.Essespodeseranalisado dentrodeumacmaradevcuo,paraqueoseltronsnosoframdesviospelocontatocomasmolculas existentesnoar.[5]

Adiferenabsicaentreomicroscpiopticoeoeletrnicoquenesteltimonoutilizadaaluz,mas simfeixesdeeltrons.Nomicroscpioeletrniconohlentesdecristalesimbobinas.

OobjetivodosistemadelentesdoMEV,situadologoabaixodocanhodeeltrons,coco(de~1050m nocasodasfontestermoinicas)paraumtamanhofinalde1nm1maoatingiraamostra.Isto representaumademagnificaodaordemde10000vezesepossibilitaqueaamostrasejavarridaporum feixemuitofinodeeltrons.

Aslentespresentesdentrodacoluna,nagrandemaioriadosmicroscpios,solenteseletromagnticas. Essaslentessoasmaisusadaspoisapresentammenorcoeficientedeaberrao.Apsofeixede eltronsincidirnaamostraissoacarretaaemissodeeltronscomgrandeespalhamentodeenergia,que socoletadoseamplificadosparafornecerumsinaleltricoqueutilizadoparamodularaintensidadede umfeixedeeletronsnumtuboderaioscatdicos,assimemumatelaformadaumaimagemdepontos maisoumenosbrilhantes(eletromicrografiaoumicrografiaeletrnica),semelhantedeumtelevisorem brancoepreto.

4.2PoderdeResoluo

Asreasdomaterialquepermitemmelhortransmissodeeltrons(regiestransparentesaoseltrons) aparecemcomoreasclarasasreasqueabsorvemoudefletemoseltrons(regiesdensasaoseltrons) aparecemcomoreasescuras.Osmicroscpioseletrnicostmlimitederesoluoprximode2A,

cercade500000vezesmaiorqueodoolhohumano.[6]

4.3MicroscopioeletrnicodetransmissoTEM

OMETpossuisistemasdeiluminaoevcuoqueproduzfeixesdeeltronsdealtaenergia(energia cintica),queaoincidirsobreumaamostradetecidoultrafina(naespessuradenanmetro),fornece imagensplanas.

Osistemadevcuoremoveoareoutrasmolculasdegsdacolunadomicroscpio,evitandoassimque ocorraerosodofilamentoepropiciandoaformaodeumaimagemcomexcelentequalidadeecontraste.

Aimagemprojetadaemumanteparofluorescente,quepoderserredirecionadaparaumachapa fotogrficapararegistro.

Grandepartedostomosdasestruturascelularestembaixonmeroatmicoemuitopoucocontribuipara aformaodaimagem.Aimagemtambmumaresultantedaabsorodiferenciadadeeltronspor diversasregiesdaamostra,sejaporvariaodeespessura,sejaporinteraocomtomosdemaiorou menornmeroatmico.

AsprincipaisAplicaessoemanlisesmorfolgicas,caracterizaodeprecipitadosedeterminaode parmetrosderede.

4.4MicroscpioeletrnicodevarreduraMEV

Oprimeiromicroscpioeletrnicodevarredura(MEV)surgiuem1932,desenvolvidoporMaxKnolleErnest RenkaRusca,naAlemanha.Oprimeiroprottipocomcapacidadedeanalisaramostrasespessas,no entanto,foiconstrudoporZworykin,em1942.

OMicroscpioEletrnicodeVarredura,MEVumequipamentoverstilquepermiteaobtenode informaesestruturaisequmicasdeamostrasdiversas.Umfeixefinodeeltronsdealtaenergiaincide nasuperfciedaamostraonde,ocorrendoumainterao,partedofeixerefletidaecoletadaporum detectorqueconverteestesinalemimagemdeBSE(ouERE)imagemdeeltronsretroespalhadosou nestainteraoaamostraemiteeltronsproduzindoachamadaimagemdeES(eltronssecundrios). OcorretambmaemissoderaiosXqueforneceacomposioqumicaelementaldeumpontoouregio dasuperfcie,possibilitandoaidentificaodepraticamentequalquerelementopresente.Afigura7mostra

umdostiposdeequipamentoMEV.[8]

Fig4MicroscpioeletrnicodevarreduraMEV,modeloXL30ESEM(Phillips)

4.5ImagensdeMicroestruturas

Figura5Partculasdeesferasdecarbono

Figura6Microestruturadaargamassacom60%deresduoAmostrandooscristaisdeetringita

5Concluso

Muitosmateriais,taiscomoascermicastradicionais,contmtambmfases

amorfaseporos.Josmateriaispolimricos,podemsertotalmenteamorfosouparcialmentecristalinos. Nocasodoscristalinosafasecristalinageralmenteestdispersanumamatrizamorfa.Tambmpossvel obteralgunspolmerostermoplsticostotalmentecristalino.

Umacaracterizaomicroestruturaldesejvelenvolveadeterminaodaestruturacristalina,composio qumica,quantidade,tamanho,formaedistribuiodasfases.Adeterminaodanatureza,quantidadee distribuiodosdefeitoscristalinostambmnecessria.Aorientaopreferencialdasfases(texturae microtextura)eadiferenadeorientaoentreelastambmtemestreitarelaocomocomportamento dosmateriais.Asespciespresentesnamicroestruturaapresentamcaractersticasbastantediferenciadas eexigemumnmerorelativamentegrandedetcnicascomplementaresparaasuacaracterizao.

Aestruturacristalinaenvolveautilizaodetcnicasdedifrao,taiscomodifraoderaiosX,eltronsou nutrons.Acomposioqumicadasfasesemicroregiespodeserestudadacomumadezenade tcnicas,sendoqueasmaisutilizadassoanlisesderaiosXporcomprimentosdeondaoupordisperso

deenergia,espectroscopiadeeltronsAugeremicrossondainicautilizandoespectroscopiademassas. Aquantidade,tamanho,morfologiaedistribuiodasfasesedefeitoscristalinossoestudadoscomauxlio demicroscopiaptica(MO),eletrnicadevarredura(MEV),eletrnicadetransmisso(MET).

Referencias:

Sites:

[1]http://www.angelfire.com/crazy3/qfl2308/1_multipart_F8FF_6_Microscopia_otica

[2]http://www.dsif.fee.unicamp.br/~furio/IE607A/MO.pdf

[3]http://www.ebah.com.br/content/ABAAABVuEAJ/microscopiaoptica

[4]http://pt.scribd.com/doc/6729026/Microscopiabasica2

[5]http://mundoestranho.abril.com.br/materia/comofuncionaomicroscopioeletronico

[6]http://www.portalsaofrancisco.com.br/alfa/microscopio/microscopio.php

[7]http://www.cetene.gov.br/laboratorios/microscopiaeletronica.php

[8]http://www.materiais.ufsc.br/lcm/webMEV/MEV_index.htm

Livros:

1.

CALLISTERJR.,W.D.Materialsscienceandengineering:anintroduction.4.ed.NewYork:J. Wiley&Sons,1997.

1.

SCHACKELFORD,J.F.Cinciademateriaisparaengenheiros.PHH,1995.