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= 0, no hay canal y el
dispositivo no conduce, la salida es un cero. Si
>
).
Escritura o Programacin (programming)
Existen dos modos de programacin:
a) Inyeccin de Hot carriers
b) Inyeccin por efecto tnel Fowler Nordheim
a) Inyeccin de Hot Carriers:
La Fig. 1, parte (a), muestra el mecanismo de inyeccin de hot carriers. Cerca del drenaje, el
campo lateral est a su mayor nivel. Los portadores del canal (electrones) adquieren energa del
campo y se vueven hot carriers. Cuando su energa es mayor que la barrera de potencial de la
interfase Si-Si
, donde
es mas negativo y la que se inyecta son lagunas calientes (hot holes). Este
mtodo es menos efectivo y prcticamente ya no se usa.
b) Inyeccin por efecto tnel Fowler Nordheim:
Tambin los electrones se pueden inyectar a la compuerta flotante por efecto tnel.
El efecto tnel Fowler Nordheim es una combinacin de
excitacin trmica para alcanzar la parte superior y ms
delgada de la barrera de potencial y luego provocar el efecto
tnel por la parte mas delgada de la barrera.
En el modo programacin, el campo elctrico a travs de la capa de xido inferior es el ms
crtico.
Cuando se aplica
.E 1 =
.E 2 + Q y
. E 1 +
.E 2
Donde los subndices 1 y 2 corresponden respectivamente al xido inferior y al superior y Q
(negativa) es la carga almacenada en la compuerta flotante.
De ambas ecuaciones podemos obtener:
E 1 =
La corriente de transporte en aisladores es una fuerte funcin el campo elctrico. Cuando el
transporte es va efecto tnel Fowler-Nordheim, la densidad de corriente se puede escribir como:
J =
.E 1
.exp (-E o/ E 1 )
Donde
en la tensin umbral:
= -
, podemos escribir
) para
>
Despus de alterar la carga en la compuerta flotante por Q (carga negativa), el grfico
-
o el
equivalente
-
se desplaza a la derecha
como se ve en la Fig. 2
Fig. 2
Borrado (Erasing)
Para borrar la carga almacenada, una polarizacin negativa se aplica a la compuerta de control o
una polarizacin positiva en la fuente/drenaje. Este proceso es la inversa del proceso de efecto
tunel descripto anteriormente, ahora los electrones almacenados se retiran por efecto tnel de la
compuerta flotante al sustrato.
Lectura (Reading)
Cuando se lee, se aplica a la compuerta de control una tensin
intermedia entre los puntos
Donde
son las capacidades asociadas con los xidos inferior y superior respectivamente.
Notar que en la prctica, las reas de compuerta de control y compuerta flotante no son
necesariamente iguales. Con frecuencia la compuerta de control se envuelve alrededor de la
compuerta flotante, de esa forma el capacitor superior (
En la prctica el xido inferior tiene mientras que el ido superior tiene y la
relacin de acoplamiento es
0,5-0,6.
Las primeras EPROM se fabricaban usando Polisilicio altamente dopado para la compuerta
flotante. El dispositivo que usa avalancha sustrato-drenaje se conoce como Floating-gate
avalanche-injection MOS (FAMOS). La compuerta de Polisilicio est embebida en xido y est
completamente aislada. Para inyectar cargas en la compuerta flotante (programacin), la juntura
de drenaje esta polarizada para ruptura x avalancha y las lagunas en el plasma de avalancha son
inyectadas desde el drenaje a la compuerta (los primeros FAMOS eran de canal p). Para borrarlas
se usaba luz ultravioleta o rayos x. El borrado elctrico no se usaba porque los dispositivos no
tenan compuerta externa.
Fig. 4 FAMOS
Para permitir el borrado elctrico se ha hecho muy popular la estructura apilada. Se trata del
llamado SAMOS (Stacked Gate Avalanche Inyection MOS MOS). La compuerta de control externa
permite el borrado elctrico y mejora la eficiencia de programacin.
Fig. 5 SAMOS
En las EEPROM es ms comn usar efecto tnel cono mecanismo de inyeccin para programar. Un
reciente dispositivo comercial llamado transistor FLOTOX (Floating Gate Tunnel Oxide), confina el
efecto tnel a una pequea rea sobre el drenaje y se mejoran mucho los tiempos de
programacin y borrado.
Fig. 5 FLOTOX