Scanning Electron Microscope

Untuk memenuhi tugas Mata Kuliah Kewirausahaan

Oleh :

Anita Carolina ( 3225111258 )
Cynthia Sagita ( 3225111288 )
Desriyan Lestari ( 3225111281 )
M. Fiky Alqodri ( 3225111258 )
Muhammad Shalahuddin ( 3225111274 )
Muhamad Zola ( 3225111262 )
Yudo Prakoso ( 322102375 )

Jurusan Fisika
Fakultas Matematika Dan Ilmu Pengetahuan Alam
Universitas Negeri Jakarta
2014
Pengertian
Mikroskop elektron adalah sebuah mikroskop yang dapat melakukan pembesaran objek
sampai 2 juta kali. Mikroskop ini menggunakan elektrostatik dan elektromagnetik untuk
mengontrol pencahayaan dan tampilan gambar serta memiliki kemampuan pembesaran objek
serta resolusi yang jauh lebih bagus daripada mikroskop cahaya. Mikroskop elektron
menggunakan jauh lebih banyak energi dan radiasi elektromagnetik yang lebih pendek
dibandingkan mikroskop cahaya (Anonymous, 2012).

Scanning Electron Microscope (SEM) adalah sebuah mikroskop elektron yang didesain untuk
menyelidiki permukaan dari objek solid secara langsung. SEM memiliki perbesaran 10
3000000x, depth of field 4 0.4 mm dan resolusi sebesar 1 10 nm. Kombinasi dari
perbesaran yang tinggi, depth of field yang besar, resolusi yang baik, kemampuan untuk
mengetahui komposisi dan informasi kristalografi membuat SEM banyak digunakan untuk
keperluan penelitian dan industri.

Bagian-Bagian SEM
SEM tersusun dari beberapa bagian, seperti berikut :

Gambar 1. Scanning Electron Microscope
a. Penembak Elektron (Elektron Gun)
Ada dua jenis atau tipe dari electron gun yaitu :
o Termal
Pada emisi jenis ini, energi luar yang masuk ke bahan ialah dalam bentuk energi
panas. Oleh elektron energi panas ini diubah menjadi energi kinetik. Semakin besar
panas yang diterima oleh bahan maka akan semakin besar pula kenaikan energy
kinetik yang terjadi pada elektron, dengan semakin besarnya kenaikan energi kinetik
dari elektron maka gerakan elektron menjadi semakin cepat dan semakin tidak
menentu. Pada situasi inilah akan terdapat elektron yang pada ahirnya terlepas keluar
melalui permukaan bahan. Pada proses emisi thermionic dan juga pada proses emisi
lainnya, bahan yang digunakan sebagai asal ataupun sumber elektron disebut sebagai
"emiter" atau lebih sering disebut "katoda" (cathode), sedangkan bahan yang
menerima elektron disebut sebagai anoda. Dalam konteks tabung hampa (vacuum
tube) anoda lebih sering disebut sebagai "plate". Dalam proses emisi thermionic
dikenal dua macam jenis katoda yaitu:
Katoda panas langsung (Direct Heated Cathode, disingkat DHC)
Katoda panas tak langsung (Indirect Heated Cathode, disingkat IHC)
Pada katoda jenis ini katoda selain sebagai sumber elektron juga dialiri oleh arus
heater (pemanas).
Material yang digunakan untuk membuat katoda diantaranya adalah :
o Tungsten Filamen
Material ini adalah material yang pertama kali digunakan orang untuk membuat
katode. Tungsten memiliki dua kelebihan untuk digunakan sebagai katoda yaitu
memiliki ketahanan mekanik dan juga titik lebur yang tinggi (sekitar 3400 derajat
Celcius), sehingga tungsten banyak digunakan untuk aplikasi khas yaitu tabung
XRay yang bekerja pada tegangan sekitar 5000V dan temperature tinggi. Akan
tetapi untuk aplikasi yang umum terutama untuk aplikasi Tabung Audio dimana
tegangan kerja dan temperature tidak terlalu tinggi maka tungsten bukan material
yang ideal, hal ini disebabkan karena tungsten memilik fungsi kerja yang tinggi(
4,52 eV) dan juga temperature kerja optimal yang cukup tinggi (sekitar 2200
derajat celcius)

o Field emission
Pada emisi jenis ini yang menjadi penyebab lepasnya elektron dari bahan ialah
adanya gaya tarik medan listrik luar yang diberikan pada bahan. Pada katoda
yang digunakan pada proses emisi ini dikenakan medan listrik yang cukup besar
sehingga tarikan yang terjadi dari medan listrik pada elektron menyebabkan
elektron memiliki energi yang cukup untuk lompat keluar dari permukaan katoda.
Emisi medan listrik adalah salah satu emisi utama yang terjadi pada vacuum tube
selain emisi thermionic. Jenis katoda yang digunakan diantaranya adalah :
o Cold Field Emission
o Schottky Field Emission Gun

b. Lensa Magnetik
Lensa magnetik yang digunakan yaitu dua buah condenser lens. Condenser lens kedua
(atau biasa disebut dengan lensa objektif) memfokuskan electron dengan diameter yang
sangat kecil, yaitu sekitar 10-20 nm.

c. Detektor
SEM memiliki beberapa detektor yang berfungsi untuk menangkap hamburan elektron dan
memberikan informasi yang berbeda-beda. Detektor-detektor tersebut antara lain:
o Backscatter detector, yang berfungsi untuk menangkap informasi mengenai nomor
atom dan topografi.
o Secondary detector, yang berfungsi untuk menangkap informasi mengenai topografi
(Prasetyo, 2011).

d. Sample Holder
Untuk meletakkan sampel yang akan dianalisis dengan SEM.

e. Monitor CRT (Cathode Ray Tube)
Di layar CRT inilah gambar struktur obyek yang sudah diperbesar dapat dilihat.


Prinsip Kerja
Prinsip kerja SEM yaitu bermula dari electron beam yang dihasilkan oleh sebuah filamen
pada electron gun. Pada umumnya electron gun yang digunakan adalah tungsten hairpin
gundengan filamen berupa lilitan tungsten yang berfungsi sebagai katoda. Tegangan
diberikan kepada lilitan yang mengakibatkan terjadinya pemanasan. Anoda kemudian akan
membentuk gaya yang dapat menarik elektron melaju menuju ke anoda.


Gambar 2. Electron gun

Kemudian electron beam difokuskan ke suatu titik pada permukaan sampel dengan
menggunakan dua buah condenser lens. Condenser lens kedua (atau biasa disebut dengan
lensa objektif) memfokuskan beam dengan diameter yang sangat kecil, yaitu sekitar 10-20
nm. Hamburan elektron, baik Secondary Electron (SE) atau Back Scattered Electron
(BSE) dari permukaan sampel akan dideteksi oleh detektor dan dimunculkan dalam bentuk
gambar pada layar CRT.

Ada beberapa sinyal yang penting yang dihasilkan oleh SEM. Dari pantulan inelastis
didapatkan sinyal elektron sekunder dan karakteristik sinar X sedangkan dari pantulan elastis
didapatkan sinyal backscattered electron. Sinyal-sinyal tersebut dijelaskan pada gambar
dibawah ini.

Gambar 3. Sinyal Elektron Sekunder dan Sinyal Elektron Backscattered

Perbedaan gambar dari sinyal elektron sekunder dengan backscattered adalah sebagai berikut:
elektron sekunder menghasilkan topografi dari benda yang dianalisa, permukaan yang tinggi
berwarna lebih cerah dari permukaan rendah. Sedangkan backscattered elektron memberikan
perbedaan berat molekul dari atom atom yang menyusun permukaan, atom dengan berat
molekul tinggi akan berwarna lebih cerah daripada atom dengan berat molekul rendah.
Contoh perbandingan gambar dari kedua sinyal ini disajikan pada gambar dibawah ini.


Gambar 4. Perbedaan Hasil Sinyal Elektron Sekunder dan Sinyal Elektron Backscattered


Mekanisme kontras dari elektron sekunder dijelaskan dengan gambar dibawah ini.
Permukaan yang tinggi akan lebih banyak melepaskan elektron dan menghasilkan gambar
yang lebih cerah dibandingkan permukaan yang rendah atau datar.


Gambar 5. Mekanisme Kontras dari Elektron Sekunder

Sedangkan mekasime kontras dari backscattered elektron dijelaskan dengan gambar dibawah
ini yang secara prinsip atom atom dengan densitas atau berat molekul lebih besar akan
memantulkan lebih banyak elektron sehingga tampak lebih cerah dari atom berdensitas
rendah. Maka teknik ini sangat berguna untuk membedakan jenis atom.


Gambar 6. Mekasime Kontras dari Backscattered Elektron

Namun untuk mengenali jenis atom dipermukaan yang mengandung multi atom para peneliti
lebih banyak mengunakan teknik EDS (Energy Dispersive Spectroscopy). Sebagian besar alat
SEM dilengkapi dengan kemampuan ini, namun tidak semua SEM punya fitur ini. EDS
dihasilkan dari Sinar X karakteristik, yaitu dengan menembakkan sinar X pada posisi yang
ingin kita ketahui komposisinya. Maka setelah ditembakkan pada posisi yang diinginkan
maka akan muncul puncak puncak tertentu yang mewakili suatu unsur yang terkandung.
Dengan EDS kita juga bisa membuat elemental mapping (pemetaan elemen) dengan
memberikan warna berbeda beda dari masing masing elemen di permukaan bahan. EDS
bisa digunakan untuk menganalisa secara kunatitatif dari persentase masing masing elemen.
Contoh dari aplikasi EDS digambarkan pada diagram dibawah ini.


Gambar 7. Aplikasi EDS

Teknik Pembuatan Preparat yang Digunakan Pada SEM
Materi yang akan dijadikan objek pemantauan dengan menggunakan mikroskop elektron ini
harus diproses sedemikian rupa sehingga menghasilkan suatu sampel yang memenuhi syarat
untuk dapat digunakan sebagai preparat pada mikroskop elektron. Teknik yang digunakan
dalam pembuatan preparat ada berbagai macam tergantung pada spesimen dan penelitian
yang dibutuhkan, antara lain :
o Kriofiksasi, yaitu suatu metode persiapan dengan menggunakan teknik pembekuan
spesimen dengan cepat yang menggunakan nitrogen cair ataupun helium cair, dimana air
yang ada akan membentuk kristal-kristal yang menyerupai kaca. Suatu bidang ilmu yang
disebut mikroskopi cryo-elektron (cryo-electron microscopy) telah dikembangkan
berdasarkan tehnik ini. Dengan pengembangan dari Mikroskopi cryo-elektron dari
potongan menyerupai kaca (vitreous) atau disebut cryo-electron microscopy of vitreous
sections (CEMOVIS), maka sekarang telah dimungkinkan untuk melakukan penelitian
secara virtual terhadap specimen biologi dalam keadaan aslinya.
o Fiksasi , yaitu suatu metode persiapan untuk menyiapkan suatu sampel agar tampak
realistik (seperti kenyataannya ) dengan menggunakan glutaraldehid dan osmium
tetroksida.
o Dehidrasi, yaitu suatu metode persiapan dengan cara menggantikan air dengan bahan
pelarut organik seperti misalnya ethanol atau aceton.
o Penanaman (Embedding), yaitu suatu metode persiapan dengan cara menginfiltrasi
jaringan dengan resin seperti misalnya araldit atau epoksi untuk pemisahan bagian.
o Pembelahan (Sectioning), yaitu suatu metode persiapan untuk mendapatkan potongan
tipis dari spesimen sehingga menjadikannya semi transparan terhadap elektron.
Pemotongan ini bisa dilakukan dengan ultramicrotome dengan menggunakan pisau
berlian untuk menghasilkan potongan yang tipis sekali. Pisau kaca juga biasa digunakan
oleh karena harganya lebih murah.
o Pewarnaan (Staining), yaitu suatu metode persiapan dengan menggunakan metal berat
seperti timah, uranium, atau tungsten untuk menguraikan elektron gambar sehingga
menghasilkan kontras antara struktur yang berlainan di mana khususnya materi
biologikal banyak yang warnanya nyaris transparan terhadap elektron (objek fase lemah).
o Pembekuan fraktur (Freeze-fracture), yaitu suatu metode persiapan yang biasanya
digunakan untuk menguji membran lipid. Jaringan atau sel segar didinginkan dengan
cepat (cryofixed) kemudian dipatah-patahkan atau dengan menggunakan microtome
sewaktu masih berada dalam keadaan suhu nitrogen ( hingga mencapai -100% Celsius).
Patahan beku tersebut lalu diuapi dengan uap platinum atau emas dengan sudut 45
derajat pada sebuah alat evaporator tekanan tinggi.
o Ion Beam Milling, yaitu suatu metode mempersiapkan sebuah sampel hingga menjadi
transparan terhadap elektron dengan menggunakan cara pembakaran ion (biasanya
digunakan argon) pada permukaan dari suatu sudut hingga memercikkan material dari
permukaannya. Kategori yang lebih rendah dari metode Ion Beam Milling ini adalah
metode berikutnya adalah metode Focused ion beam milling, dimana galium ion
digunakan untuk menghasilkan selaput elektron transparan pada suatu bagian spesifik
pada sampel.
o Pelapisan konduktif (Conductive Coating) - yaitu suatu metode mempersiapkan lapisan
ultra tipis dari suatu material electrically-conducting . Ini dilakukan untuk mencegah
terjadinya akumulasi dari medan elektrik statis pada spesimen sehubungan dengan
elektron irradiasi sewaktu proses penggambaran sampel. Beberapa bahan pelapis
termasuk emas, palladium (emas putih), platinum, tungsten, graphite dan lain-lain, secara
khusus sangatlah penting bagi penelitian spesimen dengan SEM.

Manfaat SEM
Fungsi utama dari SEM antara lain dapat digunakan untuk mengetahui informasi-informasi
mengenai:
o Topografi, yaitu ciri-ciri permukaan dan teksturnya (kekerasan, sifat memantulkan
cahaya, dan sebagainya).
o Morfologi, yaitu bentuk dan ukuran dari partikel penyusun objek (kekuatan, cacat pada
Integrated Circuit (IC) dan chip, dan sebagainya).
o Komposisi, yaitu data kuantitatif unsur dan senyawa yang terkandung di dalam objek
(titik lebur, kereaktifan, kekerasan, dan sebagainya).
o Informasi kristalografi, yaitu informasi mengenai bagaimana susunan dari butir-butir di
dalam objek yang diamati (konduktifitas, sifat elektrik, kekuatan, dan sebagainya).

Keunggulan dan Kelemahan SEM
Keunggulan SEM adalah sebagai berikut:
o Daya pisah tinggi
Dapat Ditinjau dari jalannya berkas media, SEM dapat digolongkan dengan optik
metalurgi yang menggunakan prinsip refleksi, yang diarti sebagai permukaan spesimen
yang memantulkan berkas media.
o Menampilkan data permukaan spesimen
Teknik SEM pada hakekatnya merupakan pemeriksaan dan analisis permukaan. Data
atau tampilan yang diperoleh adalah data dari permukaan atau lapisan yang tebalnya
sekitar 20 mikro meter dari permukaan. Sinyal lain yang penting adalah back scattered
elektron yang intensitasnya bergantung pada nomor atom, yang unsurnya menyatakn
permukaan spesimen. Dengan cara ini diperoleh gambar yang menyatakan perbedaan
unsur kimia yang lebih tinggi pada nomor atomnya. Kemampuannya yang beragam
membuat SEM popular dan luas penggunaannya, tidak hanya dibidang material melainkn
juga dibidang biologi, pertanian, kedokteran, elektronika, mikroelektronika dan lain-lain.
o Kemudahan penyiapan sampel
Spesimen untuk SEM dapat berupa material yang cukup tebal, oleh karena itu
penyiapannya sangat mudah. Untuk pemeriksaan permukaan patahan (fraktografi),
permukaan diusahakan tetap seperti apa adanya, namun bersih dari kotoran, misalnya
debu dan minyak. Permukaan spesimen harus bersifat konduktif. Oleh karena itu
permukaan spesimen harus bersih dari kotoran dan tidak terkontaminasi oleh keringat.

Kelemahan SEM adalah sebagai berikut;
o Memerlukan kondisi vakum
o Hanya menganalisa permukaan
o Resolusi lebih rendah dari TEM
o Sampel harus bahan yang konduktif, jika tidak konduktor maka perlu dilapis logam
seperti emas.

DAFTAR PUSTAKA

Nur, Marhamah dan Rita. 2010. Scanning Ellectron Microscope. [online], 1 halaman,
tersedia: http://laskarvck.wordpress.com/2010/12/18/scanning-electron-microscopic/
Prasetyo, Yudi. 2011. Scanning Electron Microscope SEM dan Optical Emmision
Spectroscope OES. [online], 1 halaman, tersedia:
http://yudiprasetyo53.wordpress.com/2011/11/07/scanning-electron-microscope-sem-dan-
optical-emission-spectroscope-oes/
Rapuan, Mandeleyev Biantong. 2012. Scanning Electron Microscope. [online], 1 halaman,
tersedia: http://mandeleyev-rapuan.blogspot.com/2012/03/sem-scanning-electron-
microscope.html
Widynugroho, Anita. 2012. Scanning Electron Microscope SEM. [online], 1 halaman,
tersedia: http://anita-widynugroho.blogspot.com/2012/04/scanning-electron-microscope-
sem.html