JOS PINTO DE OLIVEIRA JNIOR

DESENVOLVIMENTO DE SOFTWARE
PARA SIMULAO ATOMSTICA DA
CORROSO ANISOTRPICA DO SILCIO
POR AUTMATO CELULAR
Dissertao apresentada Escola
Politcnica da !ni"ersidade de So Pa#lo
para a o$teno do t%t#lo de &estre e'
En(en)aria Eltrica
So Pa#lo
*++,
1
JOS PINTO DE OLIVEIRA JNIOR
DESENVOLVIMENTO DE SOFTWARE
PARA SIMULAO ATOMSTICA DA
CORROSO ANISOTRPICA DO SILCIO
POR AUTMATO CELULAR
Dissertao apresentada Escola
Politcnica da !ni"ersidade de So Pa#lo
para a o$teno do t%t#lo de &estre e'
En(en)aria Eltrica
-rea de concentrao. &icroeletr/nica
Orientador. Pro01 Dr1 &arcelo N1 P1 2arre3o
So Pa#lo
*++,
2
O temor do Senhor o princpio do conhecimento;
mas os insensatos desprezam a sabedoria e a instruo
Provrbios 1.
!
AGRADECIMENTOS
"#radeo primeiramente a $eus por ter dado %oras para terminar e por ter abenoado
esse traba&ho.
"o meu orientador Pro%. $r. 'arce&o (. P. )arre*o por ter me orientado nesse
traba&ho com todo o seu empenho e dedicao.
"o "&e+ ,arros por ter me a-udado nas ima#ens das micro pontas.
"o $anie& ,ara&di por ter me a-udado nas ima#ens dos canti&evers.
"o ./bio )o&ombo por te me a-udado no desenvo&vimento do so%t0are
1 minha esposa Simone pe&o incentivo.
1 )(P2 pe&o apoio %inanceiro
3 a todos 4ue a-udaram direta e indiretamente nesse traba&ho.
5
RESUMO
(esse traba&ho %oi desenvo&vido um so%t0are para simu&ar a corroso anisotr6pica do
si&cio7 tendo como base o comportamento desta corroso em so&u8es a&ca&inas 9:O;<. 3sse
so%t0are %oi escrito na &in#ua#em )== para diversas p&ata%ormas e possui dois m6du&os
b/sicos 4ue so a ,ib&ioteca de c&asses 9denominada autosim< e uma >nter%ace ?r/%ica
9denominada "uto'3'S<.
" "P> desenvo&vida possui c&asses 4ue imp&ementam ! mode&os de simu&ao da
corroso 4ue se baseiam no mode&o matem/tico do aut@mato ce&u&ar7 4ue so o "ut@mato
)onvenciona&7 3stoc/stico e )ontnuo. Por usar o aut@mato ce&u&ar7 permite rea&izar a
simu&ao da corroso do si&cio usando %i&me de mascaramento na %rente e nas costas do
substrato7 os 4uais tambm podem conter #eometrias arbitr/rias. "&m disso7 a "P>
imp&ementa %erramentas de visua&izao 4ue tem como ob-etivo7 simp&i%icar e representar as
in%orma8es contidas nas matrizes de estados. Am e+emp&o de %erramenta de visua&izao a
%erramenta de deteco de contornos 4ue ana&isa cada camada da matrizes e no %ina&7 cria
todos os contornos encontrados. 3 por B&timo7 a bib&ioteca autosim %ornece c&asses para a
construo de outros aut@matos ce&u&ares.
" >nter%ace ?r/%ica %ornece %erramentas de desenhos para a construo de m/scaras
para as simu&a8es e tambm7 %ornece %erramentas para con%i#urar todos os parCmetros
envo&vidos na simu&ao. 3 por B&timo7 a >nter%ace ?r/%ica visua&iza todo o resu&tado da
simu&ao numa -ane&a #r/%ica !$.
O pro#rama simu&a desde #eometrias simp&es como 4uadrados7 cruzes7 D7 canti&evers
at #eometrias mais comp&e+as como uma estrutura de Ea#on Ehee& em %ormato de uma
rosa dividida em Cn#u&os de 1. Fambm7 permite de%inir matrizes de c&u&as de diversos
tamanhos7 desde matrizes pe4uenas 9com 2GG+2GG+1GG c&u&as< at matrizes #i#antescas
9com 5GGG+5GGG+1GG c&u&as<. Para matrizes pe4uenas7 a simu&ao e deteco de contornos
ocorre em tempo rea&7 mas para matrizes maiores7 esse tempo pode se estender a v/rias horas
de processamento computaciona&7 apesar de 4ue7 maiores 4uantidades de c&u&as me&horam a
reso&uo da simu&ao. Fodas as simu&a8es rea&izadas possuem boa concordCncia com os
resu&tados e+perimentais. Por e+emp&o7 o aparecimento de cantos vivos conve+os 4ue ocorre
na corroso de uma i&ha 4uadrada prevista no simu&ador7 o aparecimento de paredes
inc&inadas com orientao crista&o#r/%ica H111I tambm prevista pe&o simu&ador de
corroso.
J
Sumrio
1. >(FKO$ALMO......................................................................................................................1
2. "(F3)3$3(F3S..................................................................................................................!
2.1. Sistemas 'icroN3&etroN'ecCnicos 9'3'S< e Fcnicas de 'icro%abricao.................!
2.2. )orroso "nisotr6pica do Si&cio...................................................................................5
2.2.1. 'ascaramento .........................................................................................................
2.2.2. Per%i& da )orroso "nisotr6pica do Si&cio..............................................................
2.!. )rista&o#ra%ia do Si&cio...................................................................................................O
2.5. "ut@mato )e&u&ar..........................................................................................................1!
2.5.1. )aractersticas .sicas do "ut@mato )e&u&ar.........................................................15
2.5.2. )ondio >nicia&.....................................................................................................1P
2.5.!. )ondi8es de )ontorno.........................................................................................1
2.5.5. Ke#ras de Fransio...............................................................................................1Q
2.5.J. "p&ica8es do "ut@mato )e&u&ar...........................................................................2G
2.J. 'todos de Simu&ao da )orroso "nisotr6pica do Si&cio........................................2J
2.J.1. 'ode&os ?eomtricos............................................................................................2J
2.J.2. 'ode&os "tomsticos para Simu&ar a )orroso.....................................................2
2.J.2.1. "ut@mato )e&u&ar )onvenciona&....................................................................2O
2.J.2.2. "ut@mato )e&u&ar 3stoc/stico........................................................................!G
2.J.2.!. "ut@mato )e&u&ar )ontnuo...........................................................................!1
2.J.2.5. 'onte )ar&o...................................................................................................!!
!. $3S3(RODR>'3(FO $O S>'AD"$OK........................................................................!J
!.1. 'apeamento entre o )rista& de Si&cio e o "ut@mato )e&u&ar.......................................!P
!.2. "r4uitetura ....................................................................................................................J5
5. K3SADF"$OS.....................................................................................................................OQ
5.1. Simu&ao de 'icro%abricao de um )anti&ever.........................................................Q!
5.2. Simu&ao de 'icro%abricao de 'icropontas de Si&cio............................................QJ
5.2.1. Simu&ando a )orroso das 'icro Pontas por "ut@mato )onvenciona&................QJ
5.2.2. Simu&ando a )orroso das 'icro Pontas por "ut@mato 3stoc/stico..................1GG
5.2.!. Simu&ando a )orroso das 'icro Pontas por "ut@mato )ontnuo.....................1GP
5.!. Simu&ao de )orroso de uma 3strutura Ea#on Ehee&........................................112
5.5. Simu&ao de )orroso de uma 3s%era de Si&cio........................................................11P
J. )O()DASS3S..................................................................................................................12G
P. K3.3KT()>"S..................................................................................................................125
P
1. INTRODUO
3ste traba&ho tem como ob-etivo desenvo&ver um simu&ador7 baseado em aut@mato
ce&u&ar7 da corroso anisotr6pica do si&cio crista&ino em so&u8es a&ca&inas7 como o hidr6+ido
de pot/ssio 9:O;< . Para isso7 desenvo&vemos um so%t0are 4ue imp&ementa o modu&o de
simu&ao e recursos para a entrada dos parCmetros iniciais7 os 4uais envo&vem basicamente7
parCmetros tecno&6#icos re&ativos U so&uo corrosiva7 orientao crista&o#r/%ica do substrato
de Si e U #eometria das aberturas no materia& de mascaramento atravs do 4ua& %eita a
corroso. O traba&ho est/ sendo desenvo&vido -unto ao ?rupo de (ovos 'ateriais e
$ispositivos 9?('$<7 do Daborat6rio de 'icroe&etr@nica 9D'3<7 no $epartamento de
Sistemas 3&etr@nicos da 3sco&a Po&itcnica da Aniversidade de So Pau&o 93PASP<.
" corroso anisotr6pica e Bmida de si&cio uma tcnica de micro%abricao de
%undamenta& importCncia para o desenvo&vimento de sistemas microNe&etroNmecCnicos
9'3'S<7 -/ 4ue permite7 basicamente7 %abricar estruturas autoNsustentadas 4ue %icam
suspensa no ar7 e 4ue so ap&icadas na %abricao dos mais diversos tipos de sensores7
atuadores e microssistemas. 3ssas estruturas porm7 podem envo&ver topo#ra%ias !$ com um
a&to #rau de comp&e+idade #eomtrica7 da a necessidade de se contar com um pro#rama de
simu&ao 4ue permita prever e visua&izar esses per%is. $a a motivao para desenvo&vermos
este traba&ho.
" nossa proposta 4ue o so%t0are de simu&ao a ser desenvo&vido neste traba&ho
permita simu&ar a corroso atravs de aberturas no materia& de mascaramento com
#eometrias de 4uais4uer comp&e+idade. >sto a partir da corroso %ronta& do substrato7 posterior
9costas da &Cmina< ou de ambos &ados ao mesmo tempo. "&m disso7 nosso ob-etivo 4ue o
pro#rama permita visua&izar o resu&tado da corroso de si&cio7 de maneira r/pida e precisa7
razo pe&a 4ua& o pro#rama tambm deve imp&ementar diversos modos e %erramentas de
visua&izao.
3speramos com isso7 4ue o pro#rama tambm possa ser usado em ap&ica8es
educacionais7 para o ensino das pr6prias tcnicas de micro%abricao.
(o )aptu&o 2 a se#uir7 %a&aremos de conceitos b/sicos para a compreenso do tema
principa& desse traba&ho 4ue a simu&ao da corroso de si&cio por aut@mato ce&u&ar. 3sses
conceitos envo&vem uma breve introduo aos sistemas microNe&etroNmecCnicos 9'3'S< e U
1
importCncia da corroso anisotr6pica no desenvo&vimento desses tipo de sistemas 9Se8es 2.1
e 2.2<7 o estudo da crista&o#ra%ia do si&cio 9Seo 2.!<7 os mode&os matem/ticos de aut@mato
ce&u&ar no 4ua& o simu&ador desenvo&vido est/ baseado 9Seo 2.5<. (a Seo 2.J
apresentamos a&#uns mode&os propostos na &iteratura para simu&ar a corroso anisotr6pica do
si&cio7 a saber7 um mode&o #eomtrico e outros baseados em aut@matos ce&u&ares.
(o )aptu&o ! ser/ e+p&icado deta&hadamente o desenvo&vimento do simu&ador7 a sua
ar4uitetura interna7 a re&ao entre a crista&o#ra%ia do si&cio e a matriz de c&u&as do aut@mato
ce&u&ar7 e as %erramentas de visua&izao desenvo&vidas para observar7 ana&isar e ava&iar os
resu&tados das simu&a8es.
(o )aptu&o 5 apresentamos a an/&ise e discusso dos resu&tados obtidos at o
momento. (o )aptu&o J apresentamos as conc&us8es parciais do traba&ho rea&izado at a4ui7
e tambm so comentados os traba&hos 4ue ainda %a&ta rea&izar. Por B&timo7 uma e+tensa
#a&eria de simu&a8es7 para di%erentes #eometrias e tempos de corroso inc&uda nos "ne+os
%inais.
2
. ANTECEDENTES
.1. Si!"#m$! Mi%ro&E'#"ro&M#%()i%o! *MEMS+ # T,%)i%$! -# Mi%ro.$/ri%$01o
Sistemas microNe&etroNmecCnicos 9'3'S< so sistemas de dimens8es reduzidas
%abricados por tcnicas de micro%abricao 4ue inte#ram7 num mesmo substrato7 dispositivos
e circuitos e&etr@nicos de contro&e com estruturas 4ue7 por serem muito %inas ou estarem
parcia&mente suspensas no ar7 so capazes de rea&izar movimento %sico V1W. 3sse movimento
pode ocorrer em resposta U ao de um a#ente e+terno7 como uma ace&erao7 presso ou
varia8es de temperatura7 caso em 4ue os sistemas resu&tantes podem ser usados como
sensores desses a#entes e+ternos. Por outro &ado7 o movimento pode ser induzido por circuitos
de contro&e7 caso em 4ue o sistema e&etroNmecCnico resu&tante um atuador.
3+istem diversas tcnicas de micro%abricao7 a&#umas espec%icas da tecno&o#ia dos
'3'S e outras derivadas da microe&etr@nica7 envo&vendo processos de %oto&ito#ra%ia7
deposio de %i&mes7 e principa&mente processos de corroso7 4ue so essenciais para
produo das estruturas autoNsustentadas. $uas das principais tcnicas de micro%abricao so
a micro%abricao em super%cie e micro%abricao em substrato

V1W. " microfabricao
em superfcie V2W consiste na deposio e corroso se&etiva de camadas sucessivas e a&ternadas
de %i&mes de materiais estruturais e sacri%iciais sobre um certo substrato7 4ue pode ser de
si&cio7 vidro7 etc. "ssim7 norma&mente a primeira etapa consiste em depositar o materia& de
sacri%cio. $epois7 se %az a corroso desse %i&me7 abrindo /reas onde o substrato %ica e+posto.
" se#uir7 depositado um materia& estrutura& 4ue7 ao crescer nas /reas previamente e+postas7
d/ ori#em Us re#i8es de apoio 9ancoras<. Por B&timo7 %eita a remoo se&etiva do materia&
sacri%icia&7 con%orme mostra na .i#. 2.17 &iberando as re#i8es autoNsustentadas do materia&
estrutura& e dando ori#em Us partes m6veis do sistema microNe&etroNmecCnico.

.i#. 2.1. 3+emp&o de micro%abricao em super%cie. (ote 4ue remoo se&etiva do
materia& sacri%icia&7 produz as re#i8es autoNsustentadas do materia& estrutura&.
!
Por outro &ado7 na microfabricao em substrato

V!W

as estruturas autoNsustentadas so
produzidas removendo se&etivamente re#i8es bem de%inidas do substrato 9norma&mente
si&cio< por meio da corroso 4umica contro&ada. 3ssa corroso envo&ve a deposio de %i&mes
de mascaramento 4ue a se#uir so removidos se&etivamente 9por %oto&ito#ra%ia< de a&#umas
re#i8es7 nas 4uais o substrato %icar/ e+posto. " se#uir7 o substrato ser/ corrodo tota& ou
parcia&mente nessas re#i8es7 dando ori#em Us membranas7 canti&evers e microestruturas autoN
sustentadas 4ue norma&mente %ormam parte de um sistema microNe&etroNmecCnico.
" corroso de substratos de si&cio pode ser a isotr6pica7 mas em #era& a de tipo
anisotr6pica mais rica em possibi&idades. " corroso anisotr6pica pode ser %eita em so&u8es
a&ca&inas como :O;7 (aO;7 DiO;7 )sO;7 (;
5
O;7 sendo 4ue as so&u8es de hidr6+ido de
pot/ssio 9:O;< so as mais uti&izadas. " ttu&o de e+emp&o7 na .i#. 2.2 mostramos uma
&Cmina de si&cio na 4ua& %oram micro %abricadas diversas microestruturas por corroso
anisotr6pica.
.i#. 2.2. 3+emp&os de micro estruturas micro%abricadas em Si por corroso anisotr6pica.
.. Corro!1o A)i!o"r23i%$ -o Si'4%io
" corroso do si&cio pode ser isotr6pica ou anisotr6pica7 as 4uais podem ser
rea&izadas por processos a seco 9em p&asma< ou em processos Bmidos 9em so&u8es a4uosas<7
4ue so os 4ue n6s estudaremos a4ui. (a corroso isotr6pica Bmida7 o si&cio corrodo com a
mesma ve&ocidade em todas as dire8es en4uanto na corroso anisotr6pica a ta+a corroso
depende da direo7 4ue por sua vez7 est/ associada Us dire8es crista&o#r/%icas no interior do
Si 9ver .i#. 2.!<.
5
9a<

)orroso >sotr6pica
9b<

)orroso "nisotr6pica
.i#. 2.!. )orroso 9a< isotr6pica e 9b< anisotr6pica atravs de aberturas num materia& de
mascaramento.
" corroso Bmida e anisotr6pica uma das tcnicas mais comuns para se %abricar
sistemas microNe&etroNmecCnicos 9'3'S< e de %undamenta& importCncia para os prop6sitos
deste traba&ho. 3+iste uma #rande variedade de rea#entes para %azer a corroso anisotr6pica
do Si7 dentre as 4uais podemos destacar a eti&eno diamina pirocateco& 93$P<7 hidrazina com
adio de pirazina ou pirocateco&7 o hidr6+ido de tetrameti&am@nio 9F'";< e tambm
so&u8es a&ca&inas de :O;7 (aO;7 DiO;7 )sO;7 (;
5
O;. $entre todos estes rea#entes7 o
mais uti&izado o hidr6+ido de pot/ssio 9:O;<7 em diversas concentra8es e temperaturas
V1757JW.
" ;idrazina 9(
2
;
5
< em so&uo a4uosa permite obter a&tas ta+as de corroso7 da ordem
de !7G XmYmin para o p&ano crista&o#r/%ico 91GG<7 e super%cies corrodas de e+ce&ente
4ua&idade. O 6+ido de si&cio 9SiO
2
< apresenta bai+as ta+as de corroso em hidrazina 9em
torno de G7GGG2 XmYmin< e por isso um bom materia& de mascaramento 4uando se traba&ha
com esta so&uo7 4ue no ataca a maioria das m/scaras de meta& com a e+ceo do "&umnio7
)obre e Zinco. Por outro &ado7 a hidrazina tem a desvanta#em de ser muito t6+ica e e+p&osiva.
So&u8es a4uosas de 3ti&enodiamina 9(;
2
9);
2
<
2
(;
2
< = Pirocateco& 9)
P
;
5
9O;<
2
< ou
simp&esmente 3$P7 corroem si&cio com ta+as de corroso em torno de 172J XmYmin
9so&uo tipo .< e podem ser usadas com uma variedade de %i&mes de mascaramento7
inc&uindo o SiO
2
7 4ue apresenta e+ce&ente se&etividade com re&ao ao si&cio. 'as depois da
corroso7 aparecem precipitados de si&icatos %ormados durante a corroso. O 3$P no pode
rea#ir com o o+i#[nio7 seno a so&uo pode escurecer7 tornandoNse um tom marrom
averme&hado7 conse4\entemente7 perde as suas propriedades importantes. 'as esse prob&ema
pode ser so&ucionado usando um sistema %echado com #/s inerte como o ar#@nio e o
nitro#[nio. Am outro prob&ema 4ue o 3$P um produto t6+ico 4ue pode causar a&er#ia
respirat6ria.
J
O ;idr6+ido de tetrameti&am@nio 9F'";< e+ibe um ta+a de corroso para o p&ano
91GG< de 17G XmYmin e175 XmYmin para o p&ano 911G< a QG ]) e usando uma concentrao de
22^ de F'"; na so&uo. O F'"; 99);
!
<
5
(O;< no se decomp8e a temperaturas abai+o
de 1!G ]) 4ue uma caracterstica muito importante do ponto de vista de produo. 3&e no
t6+ico e %/ci& de manusear. 3 tambm7 o F'"; e+ibe uma 6tima se&etividade entre o uso de
mascara de 6+ido e nitreto de si&cio. " ta+a de corroso do 6+ido est/ em 5 ordens de
#randeza abai+o do si&cio. Am me&hor resu&tado de corroso obtido a 2G^ de concentrao
de F'"; na so&uo na 4ua& obtemos super%cies com o maior bri&ho 9menor ru#osidade<. "
ru#osidade no depende da temperatura7 depende somente da concentrao. Para corroso em
&Cminas dopadas com boro7 a ta+a de corroso cai 4uando a concentrao passa de 1.1G
1Q
cm
N!
.
O ;idr6+ido de Pot/ssio 9:O;< um rea#ente mais comum e o mais uti&izado na
corroso anisotr6pica de si&cio. )omo ocorre com os outros rea#entes7 a ta+a de corroso
depende da temperatura e dos p&anos crista&o#r/%icos sendo corrodos. Por e+emp&o7 a G ]) e
5G^ de :O; na so&uo7 a ta+a de corroso do p&ano crista&o#r/%ico H1GGI de
apro+imadamente G7P XmYmin en4uanto a do p&ano H111I apro+imadamente PG vezes
menor nas mesmas condi8es de processo. 3 o p&ano crista&o#r/%ico H11GI tem sua ta+a de
corroso em torno de 172 XmYmin 4ue apro+imadamente duas vezes maior 4ue o p&ano
H1GGI. " ta+a de corroso dos p&anos H111I nas se#uintes concentra8es de :O;_ !G^7
5G^ e JG^ U G] ) de temperatura t[m uma variao bem pe4uena e tambm tem o seu va&or
bem in%erior em re&ao aos outros p&anos crista&o#r/%icos principais.
" corroso anisotr6pica por :O; permite usar o %otorresiste para obter per%is de
corros8es rasos a temperatura ambiente. 2uando o :O; est/ pr6+imo da saturao 91_1 em
re&ao a /#ua< a OG ]) produz uma super%cie uni%orme e bri&hante. " ru#osidade da
super%cie 4ue est/ sendo corroda pode ser diminuda atravs do aumento da concentrao de
:O; na so&uo. 3 tambm a ru#osidade mdia na super%cie %ortemente in%&uenciada pe&a
a#itao da so&uo. Provave&mente7 isso ocorre por causa do me&horamento da remoo de
bo&has de hidro#[nio 4ue se %ormam na super%cie 4ue est/ sendo corroda. " se&etividade
desse processo de corroso uti&izando m/scara de SiO
2
no muito boa. " ta+a de corroso
em torno de G7GG2O XmYmin 92O `<. Para processos &on#os de corroso7 uti&izaNse a m/scara
de nitreto de si&cio 9Si
!
(
5
< 4ue praticamente no corroda em so&uo de :O;. 3sse
rea#ente tambm pode causar ce#ueira se entrar em contato com os o&hos.
P
2.2.1. Mascaramento
Para e%etuar 4ua&4uer tipo de corroso na &Cmina de si&cio7 precisamos esco&her no
substrato as /reas onde 4ueremos remover o si&cio e /reas 4ue sero prote#idas 9onde no
haver/ remoo de materia&<. Para isso7 uti&izaNse %i&mes de mascaramento7 e para a corroso
anisotr6pica do si&cio e+istem diversos materiais7 como por e+emp&o o SiO
2
e o Si
!
(
5
. 3sses
materiais precisam resistir por todo o tempo de processo de corroso. Por e+emp&o7 para %azer
um passante numa &Cmina de si&cio7 4ue t[m entre 5GG a PGG Xm de espessura 9dependendo
do diCmetro da &Cmina<7 so necess/rias v/rias horas de corroso. FrataNse portanto7 de um
processo bastante a#ressivo7 no 4ua& o %i&me de mascaramento deve apresentar a&ta resist[ncia
U so&uo corrosiva.
2uando se traba&ha com so&u8es de :O;7 o SiO
2
pode ser usado apenas em curtos
perodos corroso. $e %ato7 a ta+a de corroso do SiO
2
em so&u8es de :O; !J^ a PG ]) esta
pr6+ima dos OG nmYh7 ou se-a7 processos de corroso com v/rias horas de durao e+i#em 4ue
se uti&ize %i&mes de SiO
2
espessura pr6+ima a 17G Xm. Para esses casos7 uma opo me&hor
so os %i&mes de nitreto de si&cio de a&ta densidade obtidos por deposio 4umica em %ase
vapor a bai+a presso 9DP)R$<. " ta+a de corroso do Si
!
(
5
de aG71 nmYmin7 de modo 4ue
mesmo %i&mes com 5GG b de espessura so su%icientes para resistir a corroso em :O; por
v/rias horas.
2.2.2. Perfil da Corroso Anisotr!"ica do Sil#cio
)omo descrito anteriormente7 a corroso anisotr6pica do si&cio em so&uo de :O;7
resu&ta em per%is tridimensionais 4ue dependem do tipo de so&uo corrosiva7 concentrao e
temperatura e7 principa&mente7 das #eometrias das re#i8es e+postas no materia& de
mascaramento e das caractersticas crista&o#r/%icas da super%cie de Si e+posta U corroso.
"s di%erentes ta+as de corroso observadas para os diversos p&anos crista&o#r/%icos
esto associadas a %atores como a densidade at@mica e U ener#ia de &i#ao dos /tomos nesses
p&anos7 porm os deta&hes dessa interdepend[ncia so re&ativamente comp&e+os e ainda no
esto tota&mente esc&arecidos7 de %orma 4ue no sero abordados a4ui. 'aiores deta&hes
podem ser encontrados nas re%er[ncias V57PW. (este traba&ho a aborda#em %undamenta&mente
#eomtrica7 de modo 4ue a se#uir veremos com mais deta&hes os aspectos re&ativos U
crista&o#ra%ia do Si para7 a se#uir7 ana&isar sua interNre&ao com o conceito de "ut@mato
)e&u&ar.

.5. Cri!"$'o6r$.i$ -o Si'4%io

(um crista& de Si os /tomos esto posicionados de %orma or#anizada7 se#uindo um
arran-o peri6dico 4ue se repete espacia&mente nas ! dimens8es. " menor estrutura or#anizada
4ue7 ao ser repetida7 constr6i todo o crista& denominada c&u&a unit/ria desse crista&. (o caso
do si&cio crista&ino7 a c&u&a unit/ria de tipo diamante7 com constante de rede acJ75!GQ b
9ver .i#. 2.1<. )omo o nome su#ere7 a #eometria desta c&u&a id[ntica U encontrada em
cristais de diamante7 com a Bnica di%erena de termos /tomos de Si no &u#ar dos /tomos de )7
e portanto7 com os /tomos separados por distCncias determinadas pe&o comprimento da
&i#ao SiNSi 927!5 b<. (ote 4ue nesta estrutura cada /tomo de Si %az 5 &i#a8es com 5
vizinhos7 e 4ue cada c&u&a unit/ria possui 1O /tomos7 5 de&es tota&mente dentro da c&u&a
unit/ria7 O /tomos com apenas 1YO de seu vo&ume dentro da c&u&a e P /tomos com apenas 1Y2
de seu vo&ume dentro da c&u&a 9ver .i#. 2.5<.
.i#. 2.5. 9a< 3strutura tipo diamante do Si&cio 9b< ParCmetro de rede do si&cio.
Para estudar as propriedades do crista&7 necess/rio &embrar 4ue um crista& %ormado
pe&a repetio de (
+
c&u&as unit/rias na direo d7 (
e
c&u&as na direo f e (
z
c&u&as na
direo Z. (esse crista& podem ser de%inidos diversos p&anos #eomtricos 4ue cruzam o crista&
e sobre os 4uais residem um nBmero caracterstico de /tomos. 3sses p&anos so descritos pe&o
vetor norma& ao p&ano e esse vetor est/ associado aos chamados ndices de 'i&&er do p&ano7
4ue permitem de%inir a orientao crista&o#r/%ica de cada p&ano crista&ino. Os ndices de
'i&&er de um p&ano 4ue corta os ei+os +7 e e z nos pontos d7 f e Z so obtidos atravs dos
menores inversos inteiros de cada uma das coordenadas d7 f e Z. Por e+emp&o7 considere o
p&ano crista&o#r/%ico da .i#. 2.J. 4ue corta os ei+os d7 f7 Z nas coordenadas +c17 ec5 e zc57
respectivamente. Os inversos dessas coordenadas so 91Y17 1Y57 1Y5<7 4ue mu&tip&icados pe&o
mnimo mB&tip&o comum 94ue neste caso 5< resu&ta nos ndices de 'i&&er 95 1 1<7 4ue neste
caso7 -/ so os menores inteiros.
O
.i#. 2.J. P&ano com orientao crista&o#r/%ica 9ndices de 'i&&er< V5 1 1W. (ote 4ue o p&ano corta
os ei+os d7 f7 Z nos pontos 17 5 e 5.
O si&cio crista&ino7 assim como 4ua&4uer crista&7 possui diversos p&anos
crista&o#r/%icos7 num nBmero 4ue pode tender ao in%inito se consideramos 4ue num crista& rea&
e+istem da ordem 1G
2!
/tomos num Bnico cm
!
de Si. 3sses p&anos podem ser di%erentes entre
si mas diversos de&es possuem caractersticas #eomtricas e4uiva&entes e podem ser
a#rupados em %am&ias de p&anos. (as ap&ica8es tecno&6#icas envo&vendo si&cio7 as !
%am&ias de p&anos mais importantes so as g1GGh7 g11Gh e g111h7 mostradas nas .i#s. 2.P7 2.
e 2.O. (as %i#uras a cor dos /tomos de super%cie di%erente da dos /tomos no interior do
crista&. (ote 4ue7 em cada caso7 as &i#a8es incomp&etas 9indicadas em amare&o< dos /tomos
de super%cie so di%erentes.
.i#. 2.P. P&anos g1GGh num es4uema #eomtrico 9es4uerda<7 numa c&u&a unit/ria 9centro< e
num crista& 9U direita<. (ote 4ue os /tomo numa super%cie correspondente a um p&ano da
%am&ia g1GGh possuem 2 &i#a8es incomp&etas e 2 &i#a8es com os /tomos internos do crista&.
Q
.i#. 2.. P&anos g11Gh num es4uema #eomtrico 9es4uerda<7 numa c&u&a unit/ria 9centro< e num
crista& 9U direita<. (ote 4ue os /tomo sobre p&anos da %am&ia g11Gh tambm possuem 2 &i#a8es
incomp&etas7 mas numa con%i#urao espacia& di%erente da observada nos p&anos g1GGh.
.i#. 2.O. P&anos g111h num es4uema #eomtrico 9es4uerda<7 numa c&u&a unit/ria 9centro e num
crista& 9U direita<. (ote 4ue os /tomo numa super%cie correspondente a um p&ano da %am&ia g111h
possuem apenas 1 &i#ao incomp&eta7 permanecendo &i#ado ao crista& atravs de ! &i#a8es.
Am aspecto de particu&ar interesse a4ui est/ re&acionado Us caractersticas crista&inas
das &Cminas de Si. $e %ato7 o so%t0are desenvo&vido neste traba&ho est/ baseado na uti&izao
de &Cminas de Si com orientao crista&o#r/%ica H1GGI7 ou se-a7 &Cminas onde as super%cies
po&idas da &Cmina correspondem a p&anos 91GG<. (ote 4ue nestas &Cminas o chan%ro indica a
orientao crista&o#r/%ica H11GI 9ver .i#. 2.Q <7 ou se-a7 as c&u&as unit/rias %icam
rotacionadas em re&ao ao chan%ro por um Cn#u&o de 5J
o
. 3ste %ato importante por4ue
determina as caractersticas da corroso do Si atravs das aberturas no materia& de
mascaramento uti&izado durante a corroso e deve ser considerado no desenvo&vimento de
nosso simu&ador. Para visua&izar isto7 consideremos a .i#. 2.1G7 onde mostramos o caso mais
simp&es da corroso atravs de aberturas 4uadradas. 2uando os &ados so para&e&os ao chan%ro
da &Cmina7 a corroso d/ ori#em a uma cavidade trapezoida& com 5 &aterais inc&inadas 9num
Cn#u&o de J57
o
< caractersticos dos p&anos 9111<. Por outro &ado7 4uando os 4uadrados so
inc&inados 5J
o
em re&ao ao chan%ro7 a cavidade resu&tante tem #eometria mais comp&e+a e a
corroso do Si avana por bai+o do materia& de mascaramento 9underNetch<. 3ste %en@meno
1G
caracterstico da corroso atravs de certas #eometrias e um recurso de micro%abricao
muito uti&izado para produzir vi#as7 membranas e outras estruturas autoNsustentadas.
.i#. 2.Q. )aractersticas crista&inas das &Cminas de Si. (ote 4ue as c&u&as unit/rias no %icam
a&inhadas com o chan%ro e esto rotacionadas 5J] em re&ao a este.
.i#. 2.1G. 3%eito da orientao 9em re&ao ao chan%ro da &Cmina< das aberturas no materia& de
mascaramento sobre a corroso do Si. 9U es4uerda< orientao crista&o#r/%ica na re#io e+posta U
corroso. 9U direita< resu&tado ap6s a corroso.
11
Per%is tridimensionais de corroso com topo#ra%ia ainda mais comp&e+a podem ser
obtidos se as aberturas das m/scara inc&urem cantos conve+os. >sto pode ser me&hor
entendido atravs da .i#. 2.117 onde vemos 94ua&itativamente< 4ue o e%eito de underNetch
tambm ocorre sob os canto conve+os7 onde sur#em novos p&anos crista&o#r/%icos.
a b c
.i#. 2.11. "specto 4ua&itativo da corroso atravs de #eometrias com cantos conve+os<.
Remos portanto7 4ue U medida em 4ue a #eometria das aberturas no materia& de
mascaramento se torna mais intrincada7 a topo#ra%ia !$ dos per%is de corroso resu&tante pode
atin#ir #rande comp&e+idade. Ou se-a7 dada uma m/scara com aberturas de #eometria
#enrica7 muito di%ci& prever o resu&tado da corroso. $e %ato7 a %i#ura acima uma
representao 4ua&itativa 4ue no descreve ri#orosamente a #eometria da cavidade corroda.
'ais ainda7 a #eometria obtida e+perimenta&mente pode variar si#ni%icativamente com
parCmetros e+perimentais como a#itao7 concentrao e presena de aditivos na so&uo
corrosiva7 etc. "ssim7 esta di%icu&dade o 4ue motiva uso e desenvo&vimento de simu&adores
te6ricos 4ue permitam prever com e+atido7 o resu&tado da corroso anisotr6pica. 3 esta
tambm a motivao para desenvo&vermos o traba&ho 4ue ser/ descritos nos pr6+imos
captu&os.
12
.7. Au"8m$"o C#'u'$r
"ut@mato )e&u&ar um mode&o matem/tico representado por uma matriz de c&u&as
distribudas no espao e 4ue evo&uem no tempo se#undo um con-unto de re#ras bem
de%inidas. Portanto7 um aut@mato ce&u&ar trata de um con-unto de c&u&as onde o tempo e
espao so discretos7 ou se-a7 as varia8es no espao 9entre c&u&as< e de tempo 9evo&uo do
estado de cada c&u&a< ocorrem por interva&os bem de%inidos de espao e tempo. "ssim7 o
aut@mato ce&u&ar permite %azer a simu&ao da evo&uo tempora& de um sistema comp&e+o
atravs do uso de re#ras simp&es 4ue de%inem 4ua& ser/ o estado de cada c&u&a7 as 4uais em
#era&7 dependem do estado das c&u&as vizinhas. )om isso7 o aut@mato ce&u&ar no precisa usar
e4ua8es comp&e+as 9e4ua8es di%erenciais7 por e+emp&o< para simu&ar o comportamento
tempora& de um sistemaVW.
3m #era&7 cada c&u&a pode ter dois ou mais estados possveis7 sendo 4ue a 4uantidade
de estados estabe&ecida em %uno do prob&ema a ser ana&isado. (ote 4ue7 a cada estado
podemos associar a um va&or7 propriedade7 ou caracterstica do mundo rea&. Por e+emp&o7
podemos ter um aut@mato onde as c&u&as podem ter dois estados7 um representando pe&o
estado G7 4ue podemos associar com um indivduo morto7 e o outro representado pe&o
estado 17 associando a um indivduo vivo. (esse conte+to7 um aut@mato com ! estados
poderia inc&uir um terceiro estado associado a um individuo doente. 'ais ainda7
teoricamente poderamos ter aut@matos ce&u&ares com in%initos estados7 mas em aut@matos
ce&u&ares imp&ementados em pro#ramas de computador7 o nBmero de estados restrito pe&a
capacidade de armazenamento do hard0are. "ssim7 se o estado das c&u&as %or armazenado
em vari/veis de tipo inteiro7 4ue possuem uma %ai+a de va&ores de G a PJJ!J7 ento poder/ se
ter no m/+imo PJJ!P estados.
Ama iterao do aut@mato ce&u&ar consiste em ana&isar o estado atua& da c&u&a 9em
a&#uns casos no se ana&isa o estado da pr6pria c&u&a< -unto com os estados das c&u&as
vizinhas e7 baseando nessas in%orma8es e usando um con-unto de re#ras de transio7
determinar o novo estado da c&u&a ana&isada7 ou se-a7 no pr6+imo instante de tempo. 3ssa
iterao %eita em todas as c&u&as do aut@mato de maneira simu&tCnea 9ao mesmo tempo<.
Por e+emp&o7 se tivssemos uma matriz de ( c&u&as num instante t7 podemos %azer uma
iterao nesse aut@mato e com isso #erar uma nova matriz de mesma dimenso e tamanho7
com as c&u&as possuindo os seus respectivos novos estados no instante de tempo t=1. i c&aro
1!
4ue podemos %azer uma nova iterao no instante de tempo t = 1 para obter o estado das
c&u&as no instante t = 2 e assim sucessivamente. i importante destacar 4ue7 como o estado de
uma c&u&a depende das c&u&as vizinhas7 uma mudana de estado em uma Bnica c&u&a pode
&evar resu&tados de a&ta comp&e+idade7 -/ 4ue com o andamento das itera8es7 as mudanas
vo se propa#ando espacia&mente. "ssim7 conc&uiNse 4ue o aut@mato ce&u&ar evo&ui em %uno
de re#ras 4ue usam sempre parCmetros &ocais 9como o estado das c&u&as vizinhas< mas 4ue
depois de a&#umas 9ou muitas< itera8es podem provocar #randes mudanas de nve& #&oba&
no sistema. Por B&timo7 importante destacar uma iterao no aut@mato corresponde ao menor
interva&o de tempo 4ue pode ser considerado ao se estudar a evo&uo tempora& da matriz de
c&u&as.
2.$.1. Caracter#sticas %#sicas do A&t'mato Cel&lar
O aut@mato ce&u&ar possui as se#uintes caractersticas %sicas_ dimenso7 %ormato das
c&u&as7 nBmero de estados e tipos de vizinhanas. " dimenso do aut@mato diz respeito de
como as c&u&as do aut@mato esto or#anizadas no espao7 podendo ser de uma7 duas7 tr[s ou
mais dimens8es. Feoricamente um aut@mato pode possuir dimenso maior 4ue !7 mas %ica
di%ci& de ser representada visua&mente 9no espao<7 por isso na maioria das ap&ica8es e para
%aci&itar a construo e an/&ise7 uti&izamNse aut@matos de no m/+imo tr[s dimens8es. (as
%i#uras a se#uir7 so mostrados dois e+emp&os de matrizes do aut@mato ce&u&ar com uma
dimenso 9.i#. 2.12< e duas dimens8es 9.i#. 2.1!<. (essas %i#uras7 cada 4uadrado da matriz
representa uma c&u&a7 e a cor corresponde ao estado da c&u&a.
.i#. 2.12. "ut@mato )e&u&ar unidimensiona& 91$< .i#. 2.1!. "ut@mato )e&u&ar bidimensiona& 92$<
" c&u&a tambm pode ter v/rios %ormatos7 os 4uais esto associados ao nBmero de
vizinhos 4ue cada c&u&a possui. "ssim7 por e+emp&o7 c&u&as com %ormato he+a#ona& t[m P
vizinhos7 as c&u&as 4uadradas possuem 5 vizinhos e as trian#u&ares possuem ! vizinhos. 'as
note 4ue7 de%inido um aut@mato7 este poder/ ter c&u&as com um Bnico %ormato. " se#uir7 na
.i#. 2.15 mostramos esse tr[s tipos de c&u&as.
15
a b c
.i#. 2.15. 'atrizes de c&u&as nos %ormatos_ a< trian#u&ar7 b< 4uadrada e c< he+a#ona&.
Os tipos de vizinhanas de%inem 4uais sero as c&u&as vizinhas ana&isadas pe&o
aut@mato ce&u&ar ao se ap&icar as re#ras de transio. ,asicamente e+istem tr[s tipos de
vizinhanas para o aut@mato 2$ 4ue so_ vizinhana de (eumann7 vizinhana de 'oore e
vizinhana arbitr/ria. (a vizinhana de (eumann7 a c&u&a ana&isada possui vizinhos situados
na posio acima 9norte<7 abai+o 9su&<7 es4uerda 9oeste< e direita 9&este< dentro de um raio de
vizinhana i#ua& a 17 o 4ue corresponde a um tota& de 5 vizinhos. >sto pode ser visto
es4uematizado na .i#. 2.1Ja7 onde a c&u&a centra& 9azu&< a c&u&a ana&isada e as c&u&as de
cor &aran-a representam as c&u&as vizinhas a serem ana&isadas. (a .i#. 2.1Jb7 temos a
representao da mesma vizinhana de (eumann7 mas com um raio de vizinhana i#ua& a 27
caso em 4ue os se#undos vizinhos 9c&u&as de cor verde na %i#ura< tambm devem ser
ana&isados pe&o aut@mato ce&u&ar. (ote 4ue estas c&u&as 9se#undas vizinhas< devem ser
ana&isadas pe&os mesmos critrios das primeiras vizinhas 9raio de vizinhana i#ua& a 1<. "s
se#undas c&u&as vizinhas portanto7 possuiro as se#uintes &oca&iza8es_ 9norte7 norte<; 9norte7
oeste<; 9oeste7 oeste<; 9su&7 oeste<; 9su&7 su&<; 9su&7 &este<; 9&este7 &este<; 9norte7 &este<.
9a< 9b<
.i#. 2.1J. Rizinhana de (eumann com raio de vizinhana 9a< i#ua& a 1 e 9b< i#ua& a 2. 3m
azu& a c&u&a ana&isada.
1J
(a) (b)
.i#. 2.1P. Rizinhana de 'oore com raio de vizinhana 9a< i#ua& a 1 e 9b< i#ua& a 2. 3m azu& a
c&u&a ana&isada.
" vizinhana de 'oore de%ine as O c&u&as vizinhas &oca&izados ao redor da c&u&a
ana&isada7 ou se-a7 nas posi8es norte7 nordeste7 &este7 sudeste7 su&7 sudoeste7 oeste e noroeste.
(a .i#. 2.1Pa podemos ver a vizinhana de 'oore com de raio de vizinhana i#ua& a 1 e na
.i#. 2.1Pb com raio de vizinhana i#ua& a 2. Por B&timo7 tambm temos a vizinhana
arbitr/ria7 onde as c&u&as 4ue o aut@mato deve considerar como vizinhas podem estar
&oca&izadas em 4ua&4uer posio com re&ao U c&u&a ana&isada. >sto mostrado na .i#. 2.17
onde como antes7 a c&u&a azu& a c&u&a ana&isada7 a cor &aran-a de%ine c&u&as vizinhas e a
cor branca de%ine c&u&as.
.i#. 2.1. Rizinhana arbitr/ria
2.$.2. Condi(o Inicial
" condio ou estado inicia& de um aut@mato ce&u&ar corresponde ao con-unto dos
estados iniciais de cada c&u&a. "ssim7 a partir do estado inicia& das c&u&as e ap&icando um
con-unto de re#ras de transio7 teremos desencadeada a evo&uo tempora& no aut@mato
ce&u&ar. 2ua&4uer mudana no estado inicia&7 por menor 4ue se-a7 pode &evar depois de um
nBmero su%iciente de itera8es7 a estados %inais do aut@mato com #randes di%erenas.
1P
2.$.). Condi(*es de Contorno
" matriz de c&u&as do aut@mato ce&u&ar pode possuir tamanho %inito ou in%inito. 'as
para imp&ementar em simu&ao no computador7 a matriz de c&u&as dever/ ter um tamanho
%inito. )onse4\entemente7 a cada iterao do aut@mato ce&u&ar7 a&#umas das c&u&as ana&isadas
estaro na borda da matriz7 se-a na primeira ou na B&tima c&u&a de 4ua&4uer dimenso do
aut@mato7 por causa da %initude da matriz. 3stando uma c&u&a nessas condi8es 9ou se-a7 na
borda da matriz<7 e&a no possuir/ c&u&as vizinhas U es4uerda ou direita7 o 4ue constitui um
prob&ema pois7 a cada iterao7 deve ser ana&isada a vizinhana de todas as c&u&as da matriz.
"ssim7 para so&ucionar esse prob&ema precisamos de%inir condi8es de contorno 4ue o
aut@mato usar/ para au+i&iar na de%inio do pr6+imo estado das c&u&as &oca&izadas na borda
da matriz do aut@mato. " se#uir7 descreveremos tr[s %ormas de de%inir essas condi8es de
contorno.
+imite Peri!dico
)onsiste em considerar a c&u&a posterior U B&tima i#ua& U primeira c&u&a do aut@mato
e c&u&a anterior U primeira i#ua& a B&tima c&u&a do aut@mato. >sto es4uematizado na .i#.
2.1O7 onde mostramos uma matriz unidimensiona& com 1G c&u&as7 numeradas de )G7 )17 ...
)Q7 na 4ua& o a cor indica o estado de cada c&u&a. (ote 4ue a c&u&a 4ue est/ %ora do aut@mato
do &ado es4uerdo 9com &e#enda em azu&< possui o estado da c&u&a )Q7 ou se-a7 essa c&u&a
corresponder/ a c&u&a )Q do aut@mato7 como se a matriz de c&u&as estivesse %echada em
crcu&o. Ou se-a7 se e+istir uma c&u&a mais a es4uerda da c&u&a )G essa pr6+ima c&u&a
corresponder/ a penB&tima c&u&a do aut@mato 9c&u&a )O<. $a mesma %orma7 a c&u&a
vizinha U direita da c&u&a )Q7 no e+tremo direito da matriz7 ser/ considerada como sendo a
primeira c&u&a do aut@mato 9c&u&a )G com &e#enda em azu&<.
.i#. 2.1O. $e%inio do Dimite Peri6dico de um aut@mato ce&u&ar.
1
+imite Refle,i-o
)onsiste em espe&har os va&ores de borda para satis%azer itera8es 4ue e+i-am c&u&as
4ue no e+istem nas bordas da matriz. (a .i#. 2.1Q7 mostrado um aut@mato ce&u&ar
unidimensiona& com raio de vizinhana i#ua& a 2. (essa %i#ura7 notaNse 4ue a primeira c&u&a
9%ora do aut@mato< mais a es4uerda da c&u&a )G 9)&u&a do aut@mato j &e#enda preta<
corresponde a primeira c&u&a do aut@mato )G e 4ue a se#unda c&u&a a mais es4uerda da
c&u&a do aut@mato )G corresponde a c&u&a )1 do aut@mato.
.i#. 2.1Q. $e%inio do Dimite Ke%&e+ivo para um aut@mato ce&u&ar unidimensiona&.
+imite de .alores %i,os
(a uti&izao de c&u&as com va&ores %i+os 9ou prNde%inidos< nas bordas7 ou se-a7 as
c&u&as vizinhas 9ine+istentes< das c&u&as nas bordas da matriz de c&u&as7 automaticamente
recebem um desses estados prNde%inidos. 3sta de%inio das condi8es de contorno7 4ue
recebe o nome de &imite por va&or %i+o e es4uematizado na .i#. 2.2G. (esta %i#ura temos
um aut@mato ce&u&ar unidimensiona& onde U c&u&a anterior U primeira c&u&a )G 9indicada
como )N1 na %i#ura< %oi atribuda a cor &aran-a 94ue corresponde a um estado do aut@mato<.
$a mesma %orma7 a c&u&a vizinha de B&tima c&u&a U direita da matriz 9com ndice )1G na
%i#ura<7 tambm possui um estado atribudo com a mesma cor 9ou me&hor dizendo7 o mesmo
estado<. >sso mostra 4ue esco&hermos o estado cor &aran-a como um va&or %i+o 9ou estado
%i+o< para 4ua&4uer c&u&a 4ue este-a %ora da matriz de c&u&as do aut@mato.
.i#. 2.2G. $e%inio do Dimite de Ra&ores %i+os para um aut@mato ce&u&ar unidimensiona&.
1O
2.$.$. Re/ras de Transi(o
Am aut@mato ce&u&ar precisa de re#ras 9ou %un8es< de transio para determinar o
estado de cada c&u&a ap6s cada iterao. Ou se-a7 a evo&uo tempora& do aut@mato
determinada pe&as re#ras de transio 9e tambm pe&as condi8es iniciais ou de contorno<. 3m
#era&7 essas re#ras usam como parCmetro os estados iniciais da c&u&a ana&isada e das suas
c&u&as vizinhas 9dentro da vizinhana uti&izada pe&o aut@mato<. 3+istem 5 tipos de re#ras
para se determinar o novo estado de uma c&u&a ap6s uma iterao.
"s re#ras por especificao direta de%inem uma &ista de todos os estados possveis das
c&u&as vizinhas e inc&usive7 o estado da pr6pria c&u&a e do seu estado %uturo. Por e+emp&o7 se
temos um aut@mato ce&u&ar unidimensiona& de 2 estados e 2 vizinhos 9es4uerdo e direito< e
mais o estado da pr6pria c&u&a7 temos 2
!
c O possibi&idades de estados. 3 para cada
possibi&idade de estados tem um va&or de estado %uturo da c&u&a. "ssim7 todas as
possibi&idades de estados devem inc&uir os estados %uturos associados a cada possibi&idade. Se
temos um aut@mato ce&u&ar bidimensiona& de dois estados e usando a vizinhana de 'oore
9apenas os primeiros vizinhos<7 temos O c&u&as vizinhas mais a c&u&a ana&isada7 temos no
tota& de 2
Q
c J12 possibi&idades de estados das c&u&as.
"s re#ras por especificao implcita uti&izam uma %uno 4ue pode ser po&inomia&7
e+ponencia&7 &o#aritma e outras 4ue so usadas para ca&cu&ar o estado %uturo da c&u&a. Os
parCmetros da %uno sempre so os estados das c&u&as vizinhas mais a c&u&a ana&isada.
"s re#ras tota&sticas ana&isam a 4uantidade de c&u&as vizinhas 4ue esto num estado
espec%ico. Por e+emp&o7 o -o#o da vida de kohn )on0ae VOW7 4ue uti&iza re#ras tota&sticas7
no &eva em considerao a &oca&izao das c&u&as vizinhas 9se est/ a es4uerda7 direita7 em
cima7 em bai+o< e sim a 4uantidade de c&u&as vizinhas 4ue esto no estado vivo ou no
estado morto.
Por B&timo7 as re#ras probabi&sticas so re#ras nas 4uais7 dependendo das c&u&as
vizinhas7 atribuda uma probabi&idade para 4ue a c&u&a ana&isada mude de um estado dado
4ua&4uer para um outro estado 4ua&4uer. 3ste tipo de re#ras podem ser uti&izadas em con-unto
com as re#ras tota&sticas7 e assim podemos ter re#ras de transio 4ue so %uno da
4uantidade de c&u&as vizinhas em determinado estado e uma tabe&a de transio com uma
probabi&idade de mudar para outro estado em %uno do nBmero de vizinhos com a&#um
estado 9re#ras tota&sticas<.
1Q
2.$.0. A"lica(*es do A&t'mato Cel&lar
Pe&a caracterstica do aut@mato possuir re#ras simp&es e usadas sempre em %uno de
parCmetros &ocais7 e&e muito uti&izado em ap&ica8es onde o aspecto centra& da evo&uo do
sistema determinado pe&a re&ao e+istente entre cada parte constituinte do sistema 9c&u&a< e
sua vizinhana. " se#uir veremos a&#uns e+emp&os de aut@matos ce&u&ares 4ue7 embora no
tenham nenhuma re&ao direta com a corroso simu&ada neste traba&ho7 permitiro entender
me&hor os aspectos centrais dos aut@matos ce&u&ares.
1o/o da .ida
Ama das ap&ica8es mais conhecidas do conceito de aut@mato ce&u&ar o ko#o da
Rida7 proposto por kohn )on0ae na dcada de G VOW. O ko#o da Rida um aut@mato
ce&u&ar bidimensiona& de dois estados 9vivo e morto< onde so ana&isadas O c&u&as vizinhas
9vizinhana de 'oore com raio de vizinhana i#ua& a 1<7 onde um con-unto de re#ras simp&es
determina o nascimento 9sur#imento de c&u&as no estado vivo<7 a sobrevivncia
9perman[ncia de c&u&as no estado vivo< e a morte 9desaparecimento de c&u&as< de c&u&as
numa matriz de c&u&as. "ssim7 a idia principa& do ko#o da Rida simu&ar a iterao entre
seres vivos virtuais para prever a evo&uo de uma popu&ao inicia& de c&u&as ao &on#o do
tempo. 3ssa evo&uo pode #erar resu&tados bem comp&e+os e imprevisveis partindo de uma
con%i#urao inicia& com poucas c&u&as no estado vivo. O -o#o da vida possui as se#uintes
re#ras_
1< Ama c&u&a viva com zero ou apenas um vizinho vivo morre por iso&amento.
2< Ama c&u&a viva com 4uatro ou mais vizinhos vivos morre por su%ocamento.
!< Ama c&u&a morta com e+atamente tr[s vizinhos vivos se torna viva.
5< Fodas as outras c&u&as mant[m seu estado.
(a .i#. 2.21 temos um e+emp&o de simu&ao de um ko#o da Rida onde temos 4uatro
c&u&as no estado vivo 9cor verde<. " c&u&a com o 4uadrado de cor verme&ho mostra a
c&u&a ana&isada e se#undo as re#ras de transio de estados7 essa c&u&a cumpre a re#ra
nBmero 57 portanto manter/ o seu estado vivo. (ote tambm 4ue pe&a re#ra !7 nascem
c&u&as novas ao su&7 nordeste e noroeste da c&u&a considerada.
2G
a b
.i#. 2.21. Simu&ao do ko#o da Rida_ a< )ondio inicia&; b< "p6s 1 iterao.
(a .i#. 2.22 temos um outro e+emp&o7 a#ora com um #rupo de apenas ! c&u&as no
estado vivo. (otaNse 4ue a c&u&a ana&isada depois de so%rer uma iterao7 muda do estado
vivo para o estado morto 9re#ra 1_ morre por iso&amento<. Pe&o mesmo motivo7 tambm
morre a c&u&a mais U es4uerda no #rupo7 mas ao mesmo tempo 9pe&a re#ra !< nasce uma
c&u&a U es4uerda da c&u&a considerada.
a b
.i#. 2.22. Simu&ao do ko#o da Rida_ a< )ondio inicia&; b< "p6s 1 iterao.
$epois da inveno do ko#o da Rida7 %oram %eitas diversas simu&a8es7 usando
diversos padr8es de c&u&as 9estado inicia&< e %oram descobertos a&#uns %en@menos como o
aparecimento de padr8es 4ue %icam sempre no estado vivo inde%inidamente7 denominados
vidas paradas7 ou padr8es 4ue %icam mudando do estado vivo para o morto e viceNversa
de maneira peri6dica e por isso7 %oram chamadas de osci&adores. 3 e+istem tambm7
padr8es de c&u&as 4ue parecem se movimentar com a evo&uo do aut@mato7 e por isso
denominados de naves espaciais. (a .i#. 2.2! temos a representao de dois padr8es de
c&u&as 4ue permanecem ina&terados durante um nBmero de itera8es inde%inido7 na .i#. 2.2!a
temos um con-unto de 5 c&u&as em %orma de um b&oco e na .i#. 2.2!b temos J c&u&as
pr6+imas umas das outras7 %ormando uma espcie de seta.
a b
.i#. 2.2!. Padr8es de c&u&as tipo vidas paradas_ a< ,&oco; b< ,ote.
21
(a .i#. 2.25 apresentamos o padro de c&u&as do tipo osci&adores7 denominados
,&inlers. (a .i#. 2.25 9a< vemos o estado inicia& e em 9b< temos o osci&ador depois de uma
iterao. 3m 9c< temos o osci&ador depois de 2 itera8es. PercebeNse 4ue o padro #erado
depois de 2 itera8es i#ua& a condio inicia&7 isso vai se repetindo de duas em duas
itera8es inde%inidamente. (a .i#. 2.2J temos outro e+emp&o de osci&ador7 denominado
Sapo. 3sse padro i#ua& ao anterior 9,&inler< no perodo de repetio 9a cada duas
itera8es<7 mas com um nBmero maior de c&u&as e com uma distribuio espacia& di%erente.
a b c d
.i#. 2.25. Padro de c&u&as de tipo osci&ador denominado ,&inler. a< )ondio inicia&; b<
$epois de 1 iterao; c< $epois de 2 itera8es; d< $epois de ! itera8es.
a b c d
.i#. 2.2J. Padro de c&u&as tipo osci&ador denominado Sapo. a< )ondio inicia&; b< 1
iterao; c< 2 itera8es; d< ! itera8es.
(a .i#. 2.2P mostramos um e+emp&o do padro tipo nave espacia&7 denominado
?&ider. 3m 9a< temos a condio inicia& do ?&ider e em 9b<7 9c<7 9d<7 9e< e 9%< temos o
padro depois de 17 27 !7 5 e J itera8es. PercebeNse 4ue em 9e<7 ou se-a7 depois de 5 itera8es7
a con%i#urao espacia& das c&u&as vo&ta a ser a do estado inicia&7 mas com um des&ocamento
&atera&. "ssim7 U medida 4ue as iterao se sucedem7 temos a sensao de movimento do
?&ider7 4ue se des&oca atravs matriz de c&u&as do aut@mato.
a b c d e %
.i#. 2.2P. Padro de c&u&as tipo naves espaciais7 denominado ?&ider_ a< )ondio inicia&; b< 1
interao; c< 2 itera8es; d< ! itera8es; e< 5 itera8es; %< J itera8es.
22
Am resu&tado interessantes dos padr8es m6veis de tipo ?&ider7 4ue podem ser
combinados para se obter padr8es de c&u&as 4ue se comportam como contadores7 portas
&6#icas "($7 OK e (OF. )onse4\entemente7 possve& construir uma m/4uina de
computao universa& no aut@mato ce&u&ar do -o#o da vida.
A&t'mato A&to2Re"rod&ti-o de +an/ton
Am aut@mato ce&u&ar bidimensiona& usando a vizinhana de (eumann %oi
desenvo&vido por )hristopher ?. Dan#ton em 1QO5 para simu&ar a evo&uo de sistemas autoN
reprodutivos VQW. O sistema autoNreprodutivo consiste numa estrutura no %ormato 2 9ver
.i#. 2.2< marcada no aut@mato ce&u&ar usando uma combinao de O estados 94ue vo do
nBmero G ao nBmero <. 3ssa estrutura possui uma camada 4ue iso&a o sistema do mundo
e+terior7 de %orma a prote#er a in%ormao #uardada no seu interior. O interior da estrutura
portanto7 contm a in%ormao 4ue pode ser dup&icada e assim #erar outros sistemas i#uais ao
sistema inicia&.
.i#. 2.2. O "ut@mato "utoNKeprodutivo de Dan#ton
" in%ormao na estrutura 2 #uardada na %orma de pacotes com duas c&u&as _ a
primeira c&u&a pode estar nos estado 57 J7 P ou e a se#unda c&u&a apenas no estado G. "
.i#. 2.2 mostra um e+emp&o de um sistema autoNreprodutivo de Dan#ton. (essa %i#ura7
temos a cor Rerme&ha associada ao estado 2 4ue %unciona como camada iso&ante e iso&a o
sistema do e+terior. " cor azu& representa o estado 1 4ue tem o ob-eto de transportar a
in%ormao. " cor preta representa o estado G 4ue %az parte do pacote de duas c&u&as. " cor
branca 4ue representa o estado constitui o #ene a in%ormao a ser armazenada. " cor
verde representa o estado 5 4ue tem como ob-etivo %ormar uma nova -uno no %ormato F
para a construo de novos braos para compor uma nova unidade do sistema autoN
reprodutivo.
3sse sistema se torna autoNreprodutivo atravs do brao construtor. "&m disso7 deveN
2!
se destacar 4ue a dup&icao da in%ormao 9representada pe&os estados 57 J7 P7 e G< ocorre
na -uno em %orma de F e 4ue a in%ormao circu&a dentro do sistema autoNreprodutivo no
sentido antiNhor/rio. (ote 4ue podemos inserir 4uantos pacotes 4uisermos no sistema 4ue
todas as c6pias desse sistema contero essa mesma in%ormao. (a .i#. 2.2O temos a
visua&izao de 5 4uatro estados de evo&uo desse sistema autoNreprodutivo. (a .i#. 2.2Oa
temos o sistema aumentando o seu brao construtor7 na .i#. 2.2Ob temos o sistema %echando a
construo de uma nova unidade do sistema. (a .i#. 2.2Oc o novo sistema est/ %ormado e
autoNreproduo -/ est/ conc&uda. 3 por B&timo7 na .i#. 2.2Od mostra a %ormao de mais
duas unidades do sistema7 as 4uais podem se autoNreproduzir inde%inidamente.
a b
c d
.i#. 2.2O. " evo&uo de um Sistema "utoNKeprodutivo a< O Sistema aumentando o seu brao
construtor; b< Sistema conc&uindo a construo da nova unidade; c< O novo sistema se autoN
reproduzindo; d< .ormao de mais duas unidades do sistema.
25
.9. M,"o-o! -# Simu'$01o -$ Corro!1o A)i!o"r23i%$ -o Si'4%io
(as se8es 2.17 2.2 e 2.! vimos o 4uanto pode ser comp&e+o prever a #eometria !$ dos
per%is resu&tantes de um processo de corroso anisotr6pica do si&cio. Por isso7 necessitamos
estudar e desenvo&ver mode&os para simu&ar esse tipo de corroso. (este captu&o abordaremos
os mode&os mais uti&izados para simu&ar a corroso do si&cio. $escreveremos primeiramente
os mode&os mais simp&es7 baseados em mtodos #eomtricos e a se#uir7 descreveremos o
mtodo de simu&ao por aut@mato ce&u&ar.
2.0.1. Modelos Geom3tricos
Os mode&os #eomtricos so baseados no conhecimento prvio da ta+a de corroso em
diversas dire8es V1G711712W. >sto %eito atravs de um dia#rama de ta+a de corroso
9desenhado em coordenadas po&ares< e 4ue deve ser obtido e+perimenta&mente. >sto %eito
promovendo a corroso de uma &Cmina de si&cio atravs de um materia& de mascaramento
com #eometrias 4ue de%inem di%erentes Cn#u&os em re&ao U &atera& da &Cmina. )omo vimos
na Seco 2.!7 isto estabe&ece uma re&ao direta entre os Cn#u&os na #eometrias e as
orientao crista&o#r/%ica correspondentes. $o ponto de vista e+perimenta&7 uma das
#eometrias mais uti&izadas para se obter o dia#rama da ta+a de corroso a chamada 0a#on
0hee& V1!W7 onde a partir da medida da corroso &atera& 9underNetch< podeNse obter a ta+a
de corroso dos di%erentes p&anos crista&o#r/%icos 9ver .i#. 2.2Q<. Am resu&tado tpico para
&Cminas de Si com orientao 91GG< corrodas em :O;7 mostrado na .i#. 2.1G7 onde o
Cn#u&o G
o
est/ a&inhado com a direo 91GG<7 ou se-a o #r/%ico est/ rotacionado 5J
o
com
re&ao ao chan%ro da &Cmina de Si 9correspondente U direo 911G<< V15W. >mportante notar
4ue7 como mencionado anteriormente7 a menor ta+a de corroso se observa para os p&anos
9111< e 4ue a maior ta+a de corroso ocorre para um Cn#u&o de apro+imadamente 1J
o
7
correspondente aos p&anos da %am&ia 91!!<.
2J
9a<

9b<
9c<
.i#. 2.2Q. 9a< ?eometria Ea#on Ehee&7 9b< medida da corroso &atera& sob o materia& de
mascaramento e 9c< dia#rama de ta+a de corroso do Si 91GG< em :O; 9JG^7 O
o
)< V1!715W.
O dia#rama de ta+a de corroso importante para os mode&os #eomtricos7 por4ue
nestes mode&os %eita uma an/&ise da #eometria das re#i8es de Si e+postas U corroso.
,asicamente ana&isado o Cn#u&o das arestas7 as 4uais iro se des&ocando &atera&mente com
uma ve&ocidade 4ue conhecida a partir do dia#rama de ta+a de corroso. "ssim7 na &iteratura
e+istem diversos mtodos #eomtricos nos 4uais muda7 basicamente7 o a&#oritmo uti&izado
para ca&cu&ar o des&ocamento &atera& das arestas. " se#uir7 descreveremos o mtodo de
propa#ao de p&anos .
O mtodo de propa#ao de p&anos V11W ana&isa todos os pontos da super%cie e para
cada ponto da super%cie7 cria um p&ano tan#ente 4ue se des&oca na direo do vetor norma& e
cu-o des&ocamento o produto da ta+a de corroso na4ue&e Cn#u&o 9obtida no dia#rama< pe&o
tempo de corroso.
(a simu&ao7 durante o avano da corroso 9representada pe&o p&ano tan#ente<7 esse
p&ano pode se encontrar com outros p&anos e com isso7 podem aparecer novos p&anos ou
desaparecer outros p&anos. (a .i#. 2.!G temos um e+emp&o de simu&ao da corroso por
mtodos #eomtricos7 no tempo inicia& 9sem corroso<7 tempo 17 2 e !. (otaNse 4ue no canto
c@ncavo7 ocorre o aparecimento de novos p&anos crista&inos e estes tendem a se cruzar com
outros p&anos provenientes de outros &ados do substrato.
2P
a b c d
.i#. 2.!G. Simu&ao da corroso nos tempos_ a< G; b< 1; c< 2; d< !
3sse mtodo permite simu&ar a corroso do si&cio baseado nas ta+as de corroso de
diversos p&anos crista&inos. 'as esse mtodo possui &imita8es para simu&ar a corroso de
m/scaras contendo #eometrias comp&e+as7 nas 4uais so di%ceis prever 4uais p&anos vo
sur#ir e 4uais p&anos iro desaparecer U medida 4ue avana a corroso. "ssim7 na
imp&ementao computaciona& desse mtodo7 para cada caso particu&ar de cruzamento7
sur#imento e desaparecimento de p&anos teremos 4ue e&aborar uma rotina especia&izada para
#erar o per%i& desse caso. )om isso7 o a&#oritmo para simu&ar a corroso se torna muito
so%isticado e di%ci& an/&ise e compreenso. Por isso7 a&#uns simu&adores V1J71PW como o
"S3P V1PW &imitam o nBmero de p&anos ana&isados para as principais %am&ias 4ue so 911G<7
91GG<7 9111< e 9!11<.
2.0.2. Modelos Atom#sticos "ara Sim&lar a Corroso
(a seco anterior vimos uma descrio sobre os mtodos #eomtricos. 3m vista das
&imita8es desses mtodos7 a se#uir descreveremos mtodos atomsticos para simu&ar a
corroso. 3sses mtodos basicamente discretizam a &Cmina de si&cio em poucos /tomos e com
base em re#ras prNde%inidas %azNse a simu&ao da corroso. 3ssa discretizao e&imina a
&imitao do uso de mascaras comp&e+as. )om isso7 a simu&ao da corroso pode ser %eita
com uso de mascaras com #eometrias arbitr/rias. Os resu&tados das simu&a8es apenas estaro
dependentes do uso das re#ras 4ue de%inem o estado %uturo de cada /tomo e
conse4\entemente7 de%iniram a evo&uo tempora& da corroso do si&cio. Os p&anos
crista&o#r/%icos podem sur#ir ou desaparecer de acordo com as re#ras 4ue re#em a evo&uo
desse sistema7 sem precisar de antemo7 a imp&ementao de casos particu&ares para reso&ver a
corroso de cada p&ano crista&o#r/%ico7 como ocorre nos mtodos #eomtricos. " se#uir7
descrevemos ! mtodos atomsticos baseados no uso de aut@matos ce&u&ares e um mtodo
baseado no mode&o de 'onte )ar&o.
2
2.0.2.1. Modelo Atom#stico "or A&t'mato Cel&lar Con-encional
(o mode&o de "ut@mato )e&u&ar )onvenciona& V1W7 de%inida uma correspond[ncia
entre a matriz de c&u&as discretas do "ut@mato e os /tomos do crista& de Si&cio 4ue se 4uer
corroer. "ssim7 a corroso do si&cio simu&ada atravs da remoo individua& dos /tomos
9c&u&as<7 4ue sero removidos ou no7 dependo de um certo con-unto de re#ras7 as re#ras de
transio de estados. )omo veremos7 neste mode&o a deciso de manter ou remover um /tomo
9c&u&a< particu&ar 9ou se-a7 as re#ras de transio< depende das &i#a8es 4ue essa c&u&a
9/tomo< rea&iza com os /tomos vizinhos.
(a corroso por "ut@mato )e&u&ar )onvenciona&7 as c&u&as podem ter apenas dois
estados_ 'antido ou Kemovido. Para entender as re#ras 4ue re#em a transio entre esse
estados7 consideremos a .i#. 2.!1 onde mostramos os /tomos e suas &i#a8es nas super%cie
de%inidas pe&os p&anos crista&o#r/%icos g1GGh7 g11Gh e g111h.
a b c
.i#. 2.!1. )on%i#urao at@mica e &i#a8es dos /tomos de um crista& de si&cio nos p&anos 9a<
g1GGh7 9b< g11Gh e 9c< g111h
$e acordo com a .i#. 2.!17 podemos ver 4ue os /tomos no p&ano g1GGh 9/tomo no
centro do tetraedro< t[m 2 &i#a8es incomp&etas 9os /tomos %a&tando so indicados em
2O
amare&o<7 permanecendo &i#ados ao crista& atravs de outras 2 &i#a8es com /tomos 4ue %icam
sob a super%cie 9indicada pe&o p&ano azu&<. k/ os /tomos sobre o p&ano g11Gh tem apenas 1
&i#ao incomp&eta7 permanecendo &i#ados ao crista& atravs de outras ! &i#a8es. (ote porm7
4ue destas &i#a8es7 apenas 1 com um /tomo &oca&izado dentro do crista&7 sendo 4ue as
outras 2 &i#a8es so com /tomos vizinhos 4ue esto na super%cie7 e portanto7 bastante
e+postos num eventua& processo de corroso. Por B&timo7 os /tomos sobre o p&ano g111h
e+ibem apenas 1 &i#ao incomp&eta7 permanecendo &i#ados ao crista& atravs de ! &i#a8es.
3sta situao parecida U observada no p&ano g11Gh porm h/ uma di%erena %undamenta&_ as
! &i#a8es comp&etas so com /tomos 4ue esto &oca&izados dentro do substrato7 ou se-a7
bastante prote#idos num eventua& processo de corroso. " principa& conse4\[ncia disto7 4ue
os /tomos numa super%cie g111h esto %ortemente &i#ados e por esse motivo muito di%ci&
remover /tomos numa super%cie g111h. i por isso7 4ue a menor ta+a de corroso observada
no Si -ustamente a4ue&a das super%cies em p&anos g111h.
.eitas essas considera8es7 podemos passar Us re#ras de transio do aut@mato ce&u&ar
convenciona& _
1 N Ama c&u&a &oca&izada na super%cie ser/ removida se 9a< tiver apenas 2 vizinhos ou
9b< se tiver ! vizinhos dos 4uais pe&o menos um de&es estiver na super%cie.
2 N " c&u&a &oca&izada na super%cie no ser/ removida se tiver ! vizinhos7 dos 4uais
nenhum deve estar &oca&izado na super%cie.
! N Se a c&u&a no cumpre a re#ra 1 e 2 e possuir um nBmero de &i#a8es di%erente de
57 e&a ser/ removida.
5 N Se a c&u&a estiver &i#ada a 5 vizinhos7 ou se-a7 se no estiver numa super%cie7 e&a
no ser/ removida.
" re#ra 91a<7 na 4ua& a c&u&a 9&oca&izada na super%cie< ser/ removida se tiver 2 dois
/tomos vizinhos 9ou apenas duas &i#a8es comp&etas< se re&aciona U condio encontrada nos
p&anos g1GGh. Portanto7 /tomos na super%cie g1GGh sero sempre removidos. " condio
91b<7 na 4ua& uma c&u&a &i#ada com ! /tomos vizinhos 9ou se-a7 com tr[s &i#a8es comp&etas e
apenas 1 incomp&eta< dos 4uais pe&o menos 1 est/ na super%cie7 se re&aciona U condio
encontrada nos p&anos g11Gh e tambm a outros p&anos 4ue cumpram essa condio.
(a re#ra nBmero 27 na 4ua& a c&u&a 9&oca&izada na super%cie< no pode ser removida
2Q
se tiver ! vizinhos7 nenhum dos 4uais est/ na super%cie 9ou se-a7 esto dentro do substrato<7 se
re&aciona U condio encontrada nos p&anos g111h. )om isso7 /tomos nessa condio no
sero removidos. Ou se-a7 /tomos numa super%cie g111h no sero removidos.
k/ a re#ra nBmero !7 na 4ua& a c&u&a 4ue no cumpre nem a re#ra 1 nem a 2 e possui
um nBmero de &i#a8es di%erente de 57 deve ser removida7 se re&aciona ao caso dos /tomo 4ue
possuem apenas 1 &i#ao comp&eta. (ote 4ue esta condio corresponde a um /tomo muito
%racamente &i#ado ao crista& 9atravs de apenas 1 &i#ao<. Portanto7 se &embrarmos 4ue
4uando um /tomo de super%cie tem s6 2 &i#a8es comp&etas e&e removido 9re#ra 1<7 ento
um /tomo &i#ado com um Bnico vizinho deve certamente ser removido.
Por B&timo7 a re#ra 5 corresponde U condio em 4ue esto todos os /tomos 4ue no
so de super%cie7 ou se-a7 4ue esto no interior do substrato e portanto7 no esto e+postos U
corroso. Por isso7 obviamente7 no podem ser removidos.
)om re&ao Us re#ras descritas acima7 estas %oram propostas em %uno das ta+as de
corroso observadas7 e+perimenta&mente7 para as %am&ias de p&anos g1GGh7 g11Gh e g111h. O
mode&o porm7 considera 4ue os p&anos g111h no so corrodos7 ou se-a7 a sua ta+a de
corroso nu&a. >sto porm7 no ri#orosamente verdade7 embora a ta+a se-a muito pe4uena7
tipicamente7 mais de 1GG vezes menor 4ue a das outras duas %am&ias de p&anos. Outro
aspecto 4ue deve ser mencionado7 4ue a ta+a de corroso discreta7 ou se-a7 os /tomos so
removidos em apenas uma iterao.
2.0.2.2. Modelo Atom#stico "or A&t'mato Cel&lar Estoc4stico
O mode&o de "ut@mato )e&u&ar 3stoc/stico V171O71QW seme&hante ao )onvenciona&7
com a adio de uma componente a&eat6ria 9um nBmero a&eat6rio obtido por %un8es
rand@micas no interva&o entre G e 1< . >sto %eito atravs da probabi&idade de um p&ano ghl&h
ser corrodo7 4ue de%inida por uma e4uao do tipo_
P
hl&
c K
ghl&h
Y K
ma+
onde K
ghl&h
a ta+a de corroso de um p&ano com os ndices h7l e &7 e K
ma+
a ta+a m/+ima de
corroso das tr[s ta+as K
g1GGh
7 K
g11Gh
e K
g111h
e P
hl&
a probabi&idade de remoo de /tomos
cu-as &i#a8es se asseme&ham ao p&ano ghl&h e est/ de%inido no interva&o entre G e 1.
O aut@mato ce&u&ar 3stoc/stico uti&iza as mesmas re#ras do aut@mato ce&u&ar
)onvenciona&7 mas com a&#umas modi%ica8es_
!G
1 N " c&u&a &oca&izada na super%cie pode ser removida se_ 9a< tiver 2 vizinhos e se o
nBmero a&eat6rio estiver contido no interva&o VG7 P
1GG
W7 ou 9b< tiver ! vizinhos7 dos 4uais
pe&o menos um est/ &oca&izado na super%cie e se o nBmero a&eat6rio no interva&o VG7 P
11G
W.
2 N " c&u&a &oca&izada na super%cie pode ser removida se tem ! vizinhos7 dos 4uais
nenhum esto &oca&izados na %rente e se o nBmero a&eat6rio est/ contido no interva&o VG7
P
111
W.
! N Se a c&u&a no cumpre a re#ra 1 e nem a re#ra 27 a c&u&a pode ser removida.
5 N Se a c&u&a estiver &i#ada a 5 vizinhos7 ou se-a7 se no estiver numa super%cie7 e&a no
removida.
Am aspecto interessante da simu&ao baseada no "ut@mato 3stoc/stico a
possibi&idade de se variar a ta+a de corroso re&ativa entre os p&anos g1GGh7 g11Gh e g111h.
>sso representa uma di%erena %undamenta& com re&ao ao "ut@mato )onvenciona&7 4ue no
possui parCmetros 4ue possam ser variados7 e uma vanta#em importante pois permite a-ustar o
simu&ador a resu&tados e+perimentais. Por outro &ado7 devido ao seu car/ter probabi&stico7 a
simu&ao da corroso por "ut@mato 3stoc/stico #era super%cies com uma certa ru#osidade7
o 4ue em certas circunstCncia pode con%erir um car/ter rea&ista Us simu&a8es7 -/ 4ue em
esca&a at@mica o processo de corroso essencia&mente a&eat6rio e &oca&mente imprevisve&.
"pesar disso7 Us vezes essa ru#osidade pode resu&tar arti%icia& e di%ci& de e&iminar com
a&#oritmos de reconstruo #eomtrica de super%cies.
2.0.2.). Modelo Atom#stico "or A&t'mato Cel&lar Cont#n&o
3ste tipo de aut@mato V2GW seme&hante ao "ut@mato )e&u&ar )onvenciona&7 no
sentido de 4ue se os /tomos estiverem &i#ados de uma certa %orma7 sero ou no removidos.
Porm7 o aut@mato continuo um aut@mato de muitos estados e no de apenas 27 como o
aut@mato convenciona& V1W. Por outro &ado7 como no envo&ve o uso de probabi&idades no
c/&cu&o da transio entre estados7 tambm se di%erencia do aut@mato estoc/stico.
Am estado contnuo permite 4ue uma c&u&a particu&ar possua estados 4ue variam
numa certa %ai+a 9por e+emp&o7 entre G at 1GG<7 os 4uais esto associados a uma vari/ve& de
massa7 representada pe&a &etra '7 4ue descreve uma certa porcenta#em de materia& 4ue
permanece ap6s cada iterao do aut@mato 9ou se-a7 ap6s cada etapa de corroso<. "ssim7
!1
no incio de uma simu&ao7 todos as c&u&as do aut@mato 9/tomos do crista&< t[m um va&or
'
ma+
9Ra&or m/+imo de massa< e esse va&or vai decrescendo at seu va&or mnimo 9'cG<7 4ue
4uando a c&u&a 9/tomo< %oi removida. O 4uanto o va&or de ' decresce a cada iterao
depende da ta+a de corroso7 F
+
7 associada U condio particu&ar de cada c&u&a 94ue
determinada pe&a sua vizinhana< e pe&as re#ras de transio de estados. Ou se-a7 ap6s n
itera8es '
n
c '
ma+
j 9n<
m
F
+
. (ote 4ue a ta+a de corroso corresponde U porcenta#em de
materia& 4ue removido em cada iterao do aut@mato. Por e+emp&o7 consideremos um
aut@mato onde o estado das c&u&as descrito por uma vari/ve& de massa ' 4ue varia entre
G at 1GG e considerarmos uma c&u&a 9/tomo< 4ue7 devido U sua vizinhana &oca& e se#undo as
re#ras de transio7 possui uma ta+a de corroso F
+
c 2G 9porcenta#em de materia& Y iterao<.
3nto7 no inicio da simu&ao o estado dessa c&u&a ter/ um va&or ' c '
ma+
c 1GG e ap6s uma
iterao ser/ '
1
c 1GGN1.2GcOG. (a terceira iterao7 '
!
c 1GGN!.2Gc5G e assim
sucessivamente at o va&or de ' che#ar a G. (ote 4ue7 en4uanto o va&or de ' no %or i#ua& ao
va&or mnimo 9isto 7 i#ua& a G<7 o /tomo no de %ato7 removido. "ssim7 em nosso e+emp&o
percebemos 4ue o /tomo s6 ser/ removido depois de J itera8es.
"s re#ras de transio de estado no aut@mato contnuo so do tipo especi%icao direta7
4ue &ista todas as possibi&idades de &i#a8es do /tomo em re&ao aos seus vizinhos. "ssim7
considerando a 1
a
vizinhana7 o /tomo pode ter 17 27 ! ou 5 &i#a8es. ntomos iso&ados7 ou
se-a7 4ue no possuem nenhuma &i#ao7 no so considerados. 3 tambm7 o nBmero de
&i#a8es dos /tomos vizinhos e4uiva&em a 2
a
vizinhana. "&m disso7 para cada possibi&idade7
temos uma ta+a de corroso associada.
(a tabe&a 2.17 temos um e+emp&o dessa &ista de possibi&idades7 na 4ua&7 o nBmero de
&i#a8es dos /tomos vizinhos 92
a
vizinhana< so c&assi%icados em dois tipos7 4ue so o
substrato e superfcie. O tipo substrato indica o /tomo vizinho 4ue possui 5 &i#a8es e o tipo
superfcie indica o /tomo vizinho 4ue possui um nBmero de &i#a8es di%erente de 5. Para essa
c&assi%icao7 temos num tota& de 15 possibi&idades em 4ue o /tomo pode estar e ser/
e+emp&i%icado na tabe&a a se#uir. O /tomo do tipo substrato est/ representado pe&a &e#enda 5
D>? e o /tomo do tipo superfcie est/ representado pe&a &e#enda SAP3K.
i interessante notar 4ue7 podemos a-ustar as ta+as de corroso para 4ue o aut@mato
tenha um comportamento seme&hante aos de outros mode&os. )omo e+emp&o7 a tabe&a 2.1
mostra as ta+as a-ustadas de maneira 4ue o aut@mato tenha o comportamento seme&hante ao
"ut@mato )e&u&ar )onvenciona&.
!2
Fabe&a 2.1 j Fa+a de corroso para cada possibi&idade no aut@mato convenciona&
(Bmero de &i#a8es
do /tomo
Fipo de ntomos Rizinhos 9SAP3K ou 5 D>?<
1o Rizinho 2o Rizinho !o Rizinho 5o Rizinho Fa+a
1 SAP3K N N N 1GG
1 5 D>? N N N 1GG
2 SAP3K SAP3K N N 1GG
2 SAP3K 5 D>? N N 1GG
2 5 D>? 5 D>? N N 1GG
! SAP3K SAP3K SAP3K N 1GG
! SAP3K SAP3K 5 D>? N 1GG
! SAP3K 5 D>? 5 D>? N 1GG
! 5 D>? 5 D>? 5 D>? N G
5 SAP3K SAP3K SAP3K SAP3K G
5 SAP3K SAP3K SAP3K 5 D>? G
5 SAP3K SAP3K 5 D>? 5 D>? G
5 SAP3K 5 D>? 5 D>? 5 D>? G
5 5 D>? 5 D>? 5 D>? 5 D>? G
)omo podemos ver7 o "ut@mato )ontnuo permite variar individua&mente a ta+a de
corroso re&acionada a cada uma das di%erentes possibi&idades de &i#a8es at@micas 4ue um
/tomo pode estar. $esta %orma7 a tabela de transio para este tipo de aut@mato %ornece a &ista
de todas as possveis con%i#ura8es at@micas e as respectivas ta+as de corroso. 3m %uno
dessas caractersticas o "ut@mato )ontinuo possui uma versati&idade maior em re&ao aos
outros mode&os 9)onvenciona& e 3stoc/stico<7 -/ 4ue permite ava&iar o e%eito sobre a corroso7
de cada um dos tipos de con%i#urao at@mica e+istente no crista&.
2.0.2.$. Modelo Atom#stico "or Monte Carlo
i um mtodo de simu&ao da corroso do si&cio 4ue se asseme&ha aos mtodos por
aut@matos ce&u&ares7 mas 4ue di%erem no se#uinte aspecto_ (os mtodos por aut@matos
ce&u&ares7 ao ana&isar um determinado /tomo7 o seu estado %uturo armazenado numa outra
matriz no tempo %uturo. "ssim7 todos os /tomos so atua&izados de uma vez s6.
(o mode&o de 'onte )ar&o V21722W7 ao ana&isar um /tomo7 o seu estado7 4ue pode ser
SA,SFK"FO ou K3'OR>$O7 atua&izado no pr6prio /tomo. "ssim7 ao ana&isar um
outro /tomo no mesmo instante de tempo7 se este possuir na sua vizinhana esse primeiro
/tomo7 o estado 4ue obtiver desse primeiro /tomo7 ser/ o estado -/ atua&izado. >sso si#ni%ica
!!
4ue se o /tomo %or removido no mesmo instante de tempo7 a%etar/ a an/&ise de um outro
/tomo nesse mesmo tempo.
(esse mtodo7 usa como re#ra7 a se#uinte %uno probabi&stica de remoo de /tomos_
p9n
1
7 n
2
< c p
G
.91Y91 = e+p9p4
1
9n
1
j n
1
o<<<<.91Y91 = e+p9p4
2
9n
2
N n
2
o<<<<
e+p9+< c e
+
p c 1Y:
b
.F
p
G
c 91 = e+p9Np4
1
n
1
o<5167 8 e+p9Np4
2
n
2
o<< para satis%izer p9G7 G< c 1
3ssa %uno &eva em considerao o nBmero de /tomos da primeira 9n
1
< e se#unda
vizinhana 9n
2
<7 e mais a&#uns parCmetros %sicos envo&vidos na simu&ao da corroso 4ue
so_ o custo ener#tico mdio para 4uebrar uma &i#ao entre os /tomos da 1
a
vizinhana
94
1
<7 da 2
a
vizinhana 94
2
< e Femperatura 9F<.
O parCmetro n
1
] a ener#ia de &imiar 9em unidades de 4
1
< de iterao entre o /tomo e
os seus 1
os
vizinhos a temperatura de FcG:. Se o nBmero dos 1
os
vizinhos7 n
1
menor 4ue n
1
]7
ento a remoo do /tomo ser/ mais prov/ve& a uma temperatura %inita. $a mesma maneira7 o
parCmetro n
2
] a ener#ia de &imiar 9em unidades de 4
*
< de iterao entre o /tomo e os seus
2
os
vizinhos a temperatura de FcG:. Se o nBmero de 2
os
vizinhos7 n
2
menor 4ue n
2
]7 ento a
remoo ser/ mais prov/ve&.
Para um processo de corroso e+perimenta& usando uma so&uo de corroso com 1G^
de :O;7 U J ]) de temperatura7 &Cmina de si&cio com a orientao crista&o#r/%ica super%icia&
de H1GGI e cu-o chan%ro com orientao H11GI a&inhada com base da mascara7 e a-ustando os
parCmetros desse mode&o de maneira 4ue os resu&tados simu&ados obtidos se-a seme&hantes
aos resu&tados e+perimentais7 %oram de%inidos os se#uintes va&ores_ 4
1
c G.!J eR 7 4
2
c G.1J
eR7 n
1
] c !.G7 n
2
] c .G e F c !5O : 9J ])<.
(o so considerados nesse mode&o a&#uns aspectos 4ue so_ a di%uso de /tomos na
super%cie antes da remoo7 reconstruo super%icia& 9a possibi&idade do /tomo removido ser
re&i#ado a rede crista&ina<7 a espcie de so&uo de corroso usada e concentrao de dopantes.
"travs do %ator p
G
podem ser inc&udas depend[ncias no mode&o.
!5
5. DESENVOLVIMENTO DO SIMULADOR
" proposta inicia& desse traba&ho %azer a simu&ao da corroso anisotr6pica de
si&cio em so&u8es a&ca&inas. Os deta&hes e caractersticas da evo&uo tempora& dessa
corroso dependem de parCmetros %sicoN4umicos7 como a ener#ia das &i#a8es entre os
/tomos de si&cio7 a temperatura e orientao crista&ina das super%cies e+postas U corroso7 e
tambm tecno&6#icos7 como o tipo de so&uo7 a condutividade e&trica do si&cio e a
orientao e #eometria das re#i8es e+postas de Si. $entre esse parCmetros7 a orientao
crista&ina das super%cies e+postas U corroso do Si constitui um %ator %undamenta& 4ue7 como
veremos7 determina os aspectos #erais da mor%o&o#ia !$ das super%cies corrodas. "ssim7
esse aspecto #eomtrico 4ue considerado no simu&ador desenvo&vido neste traba&ho.
(o simu&ador desenvo&vido7 %eita uma an/&ise das &i#a8es 4umicas 4ue cada /tomo
do crista& de Si rea&iza com a sua vizinhana at@mica. Porm7 os /tomos 4ue podem so%rer a
ao da corroso so apenas a4ue&es 4ue esto na sua super%cie7 e dentre estes7 apenas os 4ue
estiverem e+postos U corroso e a&m disso7 satis%izerem certos tipos de padro de &i#a8es
com os seus vizinhos. "na&isados todos os /tomos do crista& e determinando 4uais /tomos
permanecero e 4uais sero removidos pe&a corroso7 temos um novo crista& 4ue di%ere do
anterior apenas pe&a eventua& remoo de a&#uns /tomos de uma Bnica camada na sua
super%cie. 3ste novo crista& possui menos /tomos 4ue o crista& ori#ina& pois a&#uns /tomos
%oram removidos e tambm uma nova %orma7 pois os /tomos %oram removidos apenas em
a&#uns &u#ares da super%cie do crista& ori#ina&. "ssim7 a evo&uo tempora& da corroso %eita
ana&isando iterativamente7 a evo&uo dos cristais obtidos ap6s veri%icar e remover os /tomos
da super%cie do crista&7 1 camada at@mica de cada vez.
O processo iterativo descrito acima %eito uti&izando o conceito de "ut@mato )e&u&ar e
a %orma em 4ue isso %eito descrita a se#uir. >nicia&mente deta&hada a re&ao adotada
entre o crista& de Si e a matriz de c&u&as do aut@mato ce&u&ar. " se#uir descreveremos a
ar4uitetura do simu&ador7 as c&asses usadas e suas caractersticas. Por B&timo7 %a&aremos das
%erramentas de visua&izao desenvo&vidas para permitir uma me&hor ana&ise dos resu&tados
#erados pe&o aut@mato ce&u&ar.
!J
).1. Ma"eamento entre o Cristal de Sil#cio e o A&t'mato Cel&lar
(os captu&os anteriores vimos como os /tomos de si&cio esto or#anizados num
padro peri6dico 9a c&u&a unit/ria< e tambm entendemos como %unciona o mode&o
matem/tico do aut@mato ce&u&ar e suas ap&ica8es. 'as7 precisamos re&acionar a or#anizao
crista&o#r/%ica dos /tomos de si&cio com a or#anizao matricia& das c&u&as 9%ormato !$< do
aut@mato ce&u&ar. >sso ser/ %eito considerando uma &Cmina de si&cio com orientao
crista&o#r/%ica H1GGI7 ou se-a uma &Cmina cu-a super%cie superior 9po&ida< %ormada por
/tomos num p&ano 91GG<7 e cu-o chan%ro perpendicu&ar U direo crista&o#r/%ica V11GW7 ou
se-a7 os /tomos na super%cie &atera& do chan%ro esto num p&ano 911G<. "&m disso7 o chan%ro
estar/ a&inhando com a base da matriz de c&u&as do aut@mato. 3stas considera8es so
essenciais7 pois a-udam na de%inio do estado inicia& do aut@mato ce&u&ar7 4ue corresponder/
ao substrato de si&cio antes de so%rer 4ua&4uer corroso. (ote 4ue neste mode&o7 assumimos o
crista& de Si como sendo idea&7 ou se-a7 sem de%eitos crista&o#r/%icos nem impurezas.
Para comear7 de%iniremos o mapeamento entre a c&u&a unit/ria do si&cio e sua
correspond[ncia com as c&u&as do aut@mato ce&u&ar. (a .i#. !.1 9a< temos a visua&izao de
uma c&u&a unit/ria de si&cio 4ue possui 1O /tomos. (a .i#. !.19b< temos a mesma c&u&a
unit/ria7 mas a#ora os /tomos so representados como cubos co&oridos. 3sses cubos esto
posicionados de acordo com a or#anizao espacia& dos /tomos de si&cio no crista&. (a .i#.
!.19c< temos a sobreposio dos /tomos de si&cio da c&u&a unit/ria com os cubos. (otaNse
4ue entre os cubos7 e+istem espaos vazios de dimenso id[ntica ao pr6prio cubo7 o 4ue
%undamenta& na re&ao entre o crista& a as c&u&as do aut@mato. $e %ato7 estes espaos
correspondem a c&u&as do aut@mato no estado VAZIO e os cubos correspondem a c&u&as do
aut@mato no estado SUS!"A!O. )om as c&u&as nos estados SUS!"A!O e VAZIO7 temos
a matriz de c&u&as do aut@mato de%inida. "ssim7 para cada c&u&a unit/ria do si&cio7 temos 1O
/tomos 4ue corresponde a 1O c&u&as no estado SUS!"A!O e 1G no estado VAZIO7 no tota&
de 12J c&u&as do aut@mato usadas para cada c&u&a unit/ria do si&cio 9ver .i#. !.19d<<.
3+pandindo esse conceito7 na .i#. !.2 mostramos a correspond[ncia entre um crista& de
si&cio com 5+5+2 c&u&as unit/rias e a matriz de c&u&as do aut@mato correspondente.
!P
a b
c d
.i#. !.1. Risua&izando o 'apeamento_ a< )&u&a unit/ria do Si com 1O /tomos ; b< )&u&as do
aut@mato na distribuio espacia& dos /tomos na c&u&a unit/ria do Si; c< )&u&a unit/ria do Si
sobreposta com as 1O c&u&as ocupadas estado substrato< no; d< Risua&izao de todas as 12J
c&u&as do aut@mato 4ue correspondem a uma c&u&a unit/ria do Si.
a b
.i#. !.2. 9a< )rista& de Si com 5+5+2 c&u&as unit/rias e 9b< matriz de c&u&as correspondentes
no aut@mato ce&u&ar7 na 4ua& os cubinhos pretos representam c&u&as com /tomos de si&cio
9no estado SA,SFK"FO<e os cubinhos brancos representam c&u&as sem /tomos 9no
estado R"Z>O<.
!
Para %azer o mapeamento entre a matriz de c&u&as unit/rias do si&cio e a matriz de
c&u&as do aut@mato ce&u&ar7 dividimos a c&u&a unit/ria do Si em J camadas de /tomos 9em
re&ao ao ei+o z< 4ue %ormam um padro peri6dico de 5 camadas. "ssim a 1
a
7 2
a
7 !
a
e 5
a
camadas #eram a J
a
7 P
a
7
a
e O
a
camadas e assim sucessivamente. Ou se-a7 a primeira camada
id[ntica U J
a
camada7 e tambm U Q
a
7 1!
a
7 1
a
e assim por diante. " se#unda camada
corresponde U P
a
7 1G
a
7 15
a
e assim por diante. $a mesma maneira7 a terceira camada
corresponde U
a
7 11
a
7 1J
a
e assim por diante. 3 por B&timo7 a 4uarta camada corresponde U O
a
7
12
a
7 1P
a
e assim por diante. $esta %orma7 numa c&u&a unit/ria de si&cio temos J camadas7 1
a
7
2
a
7 !
a
7 5
a
e J
a
7 a J
a
sendo i#ua& U 1
a
7 mas des&ocada no ei+o z. (a .i#. !.! temos uma vista
&atera& de um crista& de si&cio composto por duas c&u&as unit/rias 9representado pe&o
4uadrado de cor vio&eta c&aro no %undo<. (essa %i#ura7 no ei+o vertica& 94ue corresponde ao
ei+o z no crista&< dividimos as c&u&as unit/rias em camadas de cores di%erentes e cu-as
&e#endas 9a es4uerda da ima#em< indicam a numerao da camada correspondente. (ote 4ue
as camadas se repetem a cada 5 camadas. Por e+emp&o7 a 1
a
camada da c&u&a unit/ria de cima
corresponde U J] camada da c&u&a unit/ria de bai+o.
.i#. !.!. Rista &atera& de um crista& de si&cio composto por duas c&u&as unit/rias7 com
indicao das respectivas camadas at@micas. (ote 4ue a J
a
)amada da c&u&a superior
corresponde U 1
a
)amada da c&u&a unit/ria in%erior7 ou se-a7 a J
a
)amada comparti&hada pe&as
duas c&u&as unit/rias.
15 Camada
"#ora7 precisamos entender mais a %undo como os /tomos esto dispostos nessas 5
camadas peri6dicas. (a 1] camada7 temos J /tomos por c&u&a unit/ria do si&cio. 3 con%orme
mostra a %i#ura !.5a7 onde vemos um crista& de Si de 2+2+2 c&u&as unit/rias (a .i#. !.5b7
temos a vista superior do mesmo crista&7 onde vemos as 5 c&u&as unit/rias com os
respectivos J /tomos por c&u&a 9dispostos em %orma de d< e indicados na cor vio&eta
escuro. Os outros /tomos 9cor verde< so de outras camadas.
!O
a b
.i#. !.5. Os /tomos da 1] camada_ a< Rista em perspectiva; b< Rista superior
)onhecido o nBmero de /tomos por c&u&a unit/ria na 1
a
camada7 a#ora vamos mapear
esses /tomos da 1
a
camada com a matriz de c&u&as do aut@mato ce&u&ar. "o ana&isar apenas
uma camada7 a correspond[ncia com a matriz de c&u&as do aut@mato 9tridimensiona&< se d/
tambm por camadas. "ssim7 para cada camada de /tomos do crista&7 associamos a uma
camada 9matriz bidimensiona&< do aut@mato ce&u&ar 9matriz tridimensiona&<.
Para e+emp&i%icar7 consideremos um crista& de si&cio 9.i#. !.Ja j vista superior< onde
marcamos as %i&eiras de /tomos 9horizontais e verticais< em &inhas e co&unas7 %ormando assim
uma matriz bidimensiona& de 4uadrados 9com /tomo no interior de cada 4uadrado<. (essa
matriz bidimensiona& cada 4uadrado representa uma c&u&a do aut@mato ce&u&ar. Porm7
importante notar 4ue nessa representao os 4uadrados visua&izados correspondem Us c&u&as
de uma Bnica camada da matriz tridimensiona& do aut@mato 9di#amos a primeira7 con%orme a
.i#. !.5<. Por outro &ado7 os /tomos visua&izados correspondem a /tomos de di%erentes
camadas. Por isso7 precisamos se&ecionar na %i#ura apenas os 4uadrados 4ue contenham
/tomos da 1
a
camada. >sso %eito na .i#. !.Jb7 onde os 4uadrados 4ue cont[m /tomos da 1
a
camada esto na cor azu& c&aro semiNtransparente. "ssim7 a .i#. !.Jb mostra 4ue cada c&u&a
da 1
a
camada pode estar em um dos dois estados possveis 4ue so_ SUS!"A!O 9com
/tomo< e VAZIO 9sem /tomo<. (ote 4ue os 4uadrados de cor branca s6 podem estar no estado
VAZIO7 pois nessas c&u&as e nessa camada 9a 1
a
< no est/ &oca&izado nenhum /tomo de
si&cio.
(a .i#. !.Jb tambm vemos 4ue cada c&u&a da 1] camada 94ue pode estar em um dos
dois estados possveis< possui 5 c&u&as vizinhas7 indicando 4ue o /tomo de si&cio est/ com 5
&i#a8es comp&etas. $essas 5 c&u&as vizinhas7 duas c&u&as vizinhas esto &oca&izados na
!Q
camada de cima 95] camada da c&u&a unit/ria superior7 se e+istir< e duas na camada de bai+o
92] camada da c&u&a unit/ria in%erior7 se e+istir<.
a b
.i#. !.J. 'apeamento da 1] camada do crista& de si&cio com a matriz de c&u&as_ a< $ividindo
o crista& de si&cio 9vista superior< em matriz de &inhas e co&unas de /tomos; b< $estacando os
4uadrados 4ue contm /tomos da 1] camada com a cor azu&
(a .i#. !.Pa visua&izamos uma Bnica c&u&a ocupada da 1] camada 94uadrado de cor
azu& c&aro e com a &e#enda 1]< e a sua posio na matriz de c&u&as dada pe&os ndices 9i7-7l<
onde a coordenada i indica o nBmero da &inha7 a coordenada - indica o nBmero da co&una e a
coordenada l indica o nBmero da camada. " &inha de cor verme&ha representa uma &i#ao da
c&u&a com uma c&u&a vizinha na camada in%erior7 nesse caso7 sempre com c&u&as da 2]
camada da mesma c&u&a unit/ria. " &inha de cor azu& representa uma &i#ao da c&u&a com
uma c&u&a vizinha na camada superior7 nesse caso7 sempre com c&u&as da 5] camada da
c&u&a unit/ria superior 9se e+istir<. (a .i#. !.P tambm podemos ver as c&u&as vizinhas da
c&u&a c&u&a considerada7 suas posi8es em re&ao a esta e o nBmero da camada.
a b
.i#. !.P. Rizinhana das c&u&as do aut@mato da 1] camada _ a< Rista superior; b< Rista perspectiva.
5G
25 Camada
(a 2] camada7 temos apenas 2 /tomos por c&u&a unit/ria 9indicados em &aran-a< os
4uais7 con%orme mostra a .i#. !.7 %icam dispostos ao &on#o da dia#ona& da c&u&a unit/ria.
a b
.i#. !.. Os /tomos da 2] camada_ a< Rista em perspectiva; b< Rista superior
O mapeamento entre os /tomos e as c&u&as do aut@mato da 2
a
camada do crista& de
si&cio mostrada na .i#. !.O7 onde podemos ver 4ue a 1
a
&inha apresenta um des&ocamento de
1 &inha em re&ao ao 4ue se observa na 1] camada. >sso est/ mostrado na .i#. !.Ob7 uma &inha
9de coordenada G< com todas as c&u&as no estado VAZIO#
a b
.i#. !.O. 'apeamento da 2] camada do crista& de si&cio com a matriz de c&u&as_ a< "s c&u&as
4ue contm /tomos esto na cor &aran-a; b< $estacando o des&ocamento da 2] camada em
re&ao a 1] camada.
51
(a .i#. !.Q 9a e b< visua&izamos as c&u&as vizinhas de uma c&u&a ocupada na posio
9i7-7l< da 2] camada7 suas posi8es em re&ao U c&u&a em 4uesto e camada 9superior ou
in%erior< U 4ue pertencem. (ote 4ue as vizinhas de uma c&u&a dada esto sempre em outra
camada.
a b
.i#. !.Q. Rizinhana das c&u&as do aut@mato da 2] camada _ a< Rista superior; b< Rista
perspectiva
)5 Camada
(a !] camada7 temos 5 /tomos por c&u&a unit/ria 9indicados em azu&< os 4uais7
con%orme mostra a .i#. !.1G7 %icam dispostos na %orma de um &osan#o7 com vrtices nas
&aterais do 4uadrado correspondente U c&u&a unit/ria.
a b
.i#. !.1G. Os /tomos da !] camada_ a< Rista em perspectiva; b< Rista superior
O mapeamento entre as c&u&as do aut@mato e os /tomos da !] camada do crista& de
si&cio mostrada na .i#. !.117 onde podemos ver 4ue7 neste caso7 temos o des&ocamento de
uma &inha 9coordenada G< e de uma co&una 9coordenada G< em re&ao ao 4ue se observa na 1]
camada. (ote 4ue nestas &inha e co&una7 todas as c&u&as esto no estado VAZIO.
52
.i#. !.11. 'apeamento entre a !] camada do crista& e a matriz de c&u&as do aut@mato.
(a .i#. !.12 9a e b< visua&izamos as c&u&as vizinhas da uma c&u&a ocupada na posio
9i7-7l< da !] camada7 suas posi8es em re&ao U c&u&a em 4uesto e a camada 9superior ou
in%erior< U 4ue pertencem.
a b
.i#. !.12. Rizinhana das c&u&as do aut@mato da !] camada _ a< Rista superior; b< Rista perspectiva
$5 Camada
(a 5] camada7 temos 2 /tomos por c&u&a unit/ria do si&cio e7 con%orme mostra a .i#.
!.1!7 esses 2 /tomos 4ue %icam dispostos ao &on#o da dia#ona& da c&u&a unit/ria. (ote 4ue
essa dia#ona& oposta U observada na 2
a
camada.
(a .i#. !.15 podemos ver o mapeamento entre as c&u&as do aut@mato e os /tomos da
5] camada do crista& de si&cio. (ote 4ue nesta camada tambm observamos o des&ocamento
de uma co&una 9de coordenada G<7 ou se-a7 todas as c&u&as nesta co&una esto no estado
VAZIO$ ao 4ue se observa na !
a
camada.
(a .i#. !.1J 9a e b< visua&izamos as c&u&as vizinhas de uma c&u&a ocupada na posio
5!
9i7-7l< da 5] camada7 suas posi8es em re&ao U c&u&a em 4uesto e a camada 9superior ou
in%erior< U 4ue pertencem.
a b
.i#. !.1!. Os /tomos da 5] camada_ a< Rista em perspectiva; b< Rista superior
.i#. !.15. 'apeamento entre a 5] camada do crista& e a matriz de c&u&as do aut@mato.
a b
.i#. !.1J. Rizinhana das c&u&as do aut@mato na 5] camada _ vista superior 9a< e em perspectiva 9b<.
55
Am resumo destes mapeamentos mostrado na Fabe&a !.17 onde &istado 9para cada
camada at@mica< o nBmero de /tomos por c&u&a unit/ria e os respectivos des&ocamento 9no
ei+o + e e< das &inha ou co&una onde todas as c&u&as esto no estado VAZIO#
Fabe&a !.1. (Bmero de /tomos por c&u&a unit/ria em cada camada at@mica e
des&ocamento correspondente 9no ei+o + e e< da &inhas e co&unas todas as c&u&as esto no
estado VAZIO.
)amada (Bmero de /tomos $es&ocamento 9ei+o +< $es&ocamento 9ei+o e<
1] J G G
2] 2 G 1
!] 5 1 1
5] 2 1 G
Ma"eamento Com"actado
$escrevemos anteriormente como %azemos o mapeamento entre o crista& de si&cio e a
matriz de c&u&as do aut@mato ce&u&ar. 'as esse mapeamento apresentada tem a desvanta#em
de considerar as c&u&as 4ue esto sempre no estado VAZIO e 4ue7 portanto7 no sero
consideradas na simu&ao da corroso do si&cio7 -/ 4ue a e&as nunca estaro associadas a um
/tomo de Si. 3m %uno disso7 desenvo&vemos um 'apeamento )ompactado7 4ue otimiza a
conta#em de c&u&as ao considerar somente as c&u&as 4ue e%etivamente podem ser ocupadas
por /tomos. 3videntemente 4ue essas c&u&as tambm podem estar em um dos dois estados
possveis 9SUS!"A!O e VAZIO< do mapeamento apresentado anteriormente 94ue
denominaremos como 'apeamento )onvenciona&<. )om isto7 reduzimos a matriz de
c&u&as do aut@mato7 o 4ue por sua vez7 reduzir/ o consumo de mem6ria computaciona& na
e+ecuo da simu&ao V2!W.
15 Camada
O nBmero de &inhas do mapeamento compactado da 1
a
camada est/ re&acionado com o
nBmero de &inhas do mapeamento convenciona& pe&as e4ua8es !.1 e !.!7 onde Dq)R e Dq)P
so o nBmero de &inhas e )q)R e )q)P o nBmero de co&unas nos mapeamentos )onvenciona&
e )ompactado respectivamente. $e maneira e4uiva&ente7 o nBmero de co&unas do
mapeamento compactado est/ re&acionado ao nBmero de co&unas do mapeamento
convenciona& pe&as e4ua8es !.2 e !.5. (otaNse 4ue o nBmero de &inhas no mapeamento
convenciona& 4uase o dobro do nBmero de &inhas no mapeamento compactado7 o mesmo
5J
acontecendo para o nBmero de co&unas. "ssim7 se tivermos uma matriz de 1! + 1! c&u&as no
mapeamento convenciona& 9como mostra a .i#. !.J<7 teremos uma matriz com apenas &inhas
por co&unas no mapeamento compactado 9ver .i#. !.1P<.
Dq)R c 2 + Dq)P j 1 934uao !.1<
)q)R c 2 + )q)P j 1 934uao !.2<
Dq)P c 9Dq)R = 1< Y 2 934uao !.!<
)q)P c 9)q)R = 1< Y 2 934uao !.5<
a b
.i#. !.1P. )omparando 'apeamentos da 1] camada_ a< )onvenciona&; b< )ompactado.
)onhecendo o nBmero de &inhas e co&unas entre as camadas7 podemos ca&cu&ar o
nBmero de c&u&as na matriz do aut@mato ce&u&ar atravs das e4ua8es !.J e !.P7 onde
)3Dq)R o nBmero de c&u&as no mapeamento convenciona& e das e4ua8es !. e !.O7 onde
)3Dq)P o nBmero de c&u&as no mapeamento compactado. Por e+emp&o7 o nBmero tota& de
c&u&as do mapeamento convenciona& da .i#. !.1P de 1PQ c&u&as7 en4uanto no mapeamento
compactado 9.i#. !.1Pa< o nBmero de apenas 5Q c&u&as. >sto 7 removendo da .i#. !.1Pa as
c&u&as 4ue podem estar somente no estado VAZIO 9nunca haver/ um /tomo nessas c&u&as<
restam 5Q c&u&as 4ue podem possuir um dos dois estados SUS!"A!O e VAZIO 9ou se-a7
pode ou no haver /tomos nessas c&u&as<. (ote 4ue dessa %orma o mapeamento compactado
e&imina apro+imadamente 1 ^ das c&u&as 995QY1PQ< j 1< da matriz de c&u&as do
mapeamento convenciona&.
5P
)3Dq)R c Dq)R + )q)R 934uao !.J<
)3Dq)R c 5 + Dq)P + )q)P j 2 + Dq)P j 2 + )q)P = 1 934uao !.P<
)3Dq)P c Dq)P + )q)P 934uao !.<
)3Dq)P c 9Dq)R + )q)R = Dq)R = )q)R = 1< Y 5 934uao !.O<
Para acessar cada &inha ou co&una individua&mente no mapeamento compactado7
uti&izando como ori#em a matriz de c&u&as do mapeamento convenciona&7 uti&izamNse as
e4ua8es !.Q e !.1G7 onde iq)P e -q)P so a &inha e a co&una no mapeamento compactado e
iq)R e -q)R so a &inha e a co&una no mapeamento convenciona&. Por outro &ado7 para obter
cada &inha ou co&una no mapeamento )onvenciona& a partir do mapeamento compactado7
uti&izamNse as e4ua8es !.11 e !.12. Por e+emp&o7 a &inha 5 do mapeamento convenciona&7
corresponde a &inha 2 no mapeamento compactado.
iq)P c iq)R Y 2 9diviso inteira< 934uao !.Q<
-q)P c -q)R Y 2 9diviso inteira< 934uao !.1G<
iq)R c 2 + iq)P 934uao !.11<
-q)R c 2 + -q)P 934uao !.12<
3m %uno do e+posto7 a vizinhana das c&u&as na matriz do mapeamento compactado
di%ere do mapeamento convenciona& nas coordenadas i e - de cada c&u&a7 mas no na
coordenada l7 4ue corresponde ao nBmero das camadas. >sso est/ visua&izado na .i#. !.1.
a b
.i#. !.1. Rizinhana das c&u&as do aut@mato 9mapeamento compactado< da 1] camada _ a<
Rista superior; b< Rista perspectiva
5
25 Camada
"s e4ua8es de !.1! a !.1P re&acionam o nBmero de &inhas e co&unas na 2
a
camada
para os dois mapeamentos apresentados. Se por e+emp&o7 tivermos uma matriz de 1! + 1!
c&u&as no mapeamento convenciona& 9.i#. !.O<7 teremos apenas P &inhas por co&unas no
mapeamento compactado. (otaNse 4ue a 2
a
camada tem sempre uma &inha a menos em
re&ao U 1
a
camada.
Dq)R c 2 + Dq)P = 1 934uao !.1!<
)q)R c 2 + )q)P j 1 934uao !.15<
Dq)P c 9Dq)R j 1< Y 2 934uao !.1J<
)q)P c 9)q)R = 1< Y 2 934uao !.1P<
"s e4ua8es !.1 a !.2G %ornecem o nBmero de c&u&as da 2
a
camada nos dois
mapeamentos. Por e+emp&o7 o nBmero tota& de c&u&as do mapeamento convenciona& da .i#.
!.O 1PQ c&u&as e no mapeamento compactado de 52 c&u&as 9ver .i#. !.1O<. )omo vemos7
na 2
a
camada o nBmero de c&u&as menor em re&ao U 1
a
camada 4ue de 5Q c&u&as. >sso
por4ue a 2
a
camada possui uma &inha a menos em re&ao U 1
a
camada. Fambm7 nessa
camada7 e&iminamos apro+imadamente J ^ de c&u&as em re&ao ao mapeamento
convenciona&.
)3Dq)R c Dq)R + )q)R 934uao !.1<
)3Dq)R c 5 + Dq)P + )q)P j 2 + Dq)P = 2 + )q)P j 1 934uao !.1O<
)3Dq)P c Dq)P + )q)P 934uao !.1Q<
)3Dq)P c 9Dq)R + )q)R = Dq)R j )q)R j 1< Y 5 934uao !.2G<
Ati&izamos as e4ua8es !.21 a !.25 para acessar cada &inha ou co&una nos dois
mapeamentos.
iq)P c 9iq)R N 1< Y 2 9diviso inteira< 934uao !.21<
-q)P c -q)R Y 2 9diviso inteira< 934uao !.22<
iq)R c 2 + iq)P = 1 934uao !.2!<
-q)R c 2 + -q)P 934uao !.25<
5O
a b
.i#. !.1O. )omparando 'apeamentos da 2] camada_ a< )onvenciona&; b< )ompactado.
(a .i#. !.1Q temos a visua&izao da vizinhana das c&u&as da 2
a
camada na
mapeamento compactado.
a b
.i#. !.1Q. Rizinhana das c&u&as do aut@mato 9mapeamento compactado< da 2] camada _ a<
Rista superior; b< Rista perspectiva
5Q
)5 Camada
"s e4ua8es de !.2J a !.2O %ornecem o nBmero de &inhas e co&unas da !
a
camada nos
dois mapeamentos apresentados. Se por e+emp&o7 tivermos uma matriz de 1! + 1! c&u&as no
mapeamento convenciona& 9.i#. !.11<7 temos apenas P &inhas por P co&unas no mapeamento
compactado. (otaNse 4ue a !
a
camada tem sempre uma &inha e uma co&una a menos em
re&ao U 1
a
camada.
Dq)R c 2 + Dq)P = 1 934uao !.2J<
)q)R c 2 + )q)P = 1 934uao !.2P<
Dq)P c 9Dq)R j 1< Y 2 934uao !.2<
)q)P c 9)q)R j 1< Y 2 934uao !.2O<
"s e4ua8es !.2Q a !.!2 %ornecem o nBmero de c&u&as da !
a
camada nos dois
mapeamentos. Por e+emp&o7 o nBmero tota& de c&u&as do mapeamento convenciona& da .i#.
!.11 1PQ c&u&as e no mapeamento compactado de !P c&u&as 9ver .i#. !.2G<. )omo
vemos7 na !
a
camada o nBmero de c&u&as tambm menor em re&ao U 1
a
camada 4ue de
5Q c&u&as. >sso por4ue a !
a
camada possui uma &inha e uma co&una a menos em re&ao U 1
a
camada. Fambm7 nessa camada7 e&iminamos apro+imadamente Q ^ de c&u&as em re&ao
ao mapeamento convenciona&.
)3Dq)R c Dq)R + )q)R 934uao !.2Q<
)3Dq)R c 5 + Dq)P + )q)P = 2 + Dq)P = 2 + )q)P = 1 934uao !.!G<
)3Dq)P c Dq)P + )q)P 934uao !.!1<
)3Dq)P c 9Dq)R + )q)R j Dq)R j )q)R = 1< Y 5 934uao !.!2<
Ati&izamos as e4ua8es !.!! a !.!P para acessar cada &inha ou co&una nos dois
mapeamentos.
iq)P c 9iq)R N 1< Y 2 9diviso inteira< 934uao !.!!<
-q)P c 9-q)R N 1< Y 2 9diviso inteira< 934uao !.!5<
iq)R c 2 + iq)P = 1 934uao !.!J<
-q)R c 2 + -q)P = 1 934uao !.!P<
JG
a b
.i#. !.2G. )omparando 'apeamentos da !] camada_ a< )onvenciona&; b< )ompactado.
(a .i#. !.21 temos a visua&izao da vizinhana das c&u&as da !] camada no
mapeamento compactado.
a b
.i#. !.21. Rizinhana das c&u&as do aut@mato 9mapeamento compactado< da !] camada _ a<
Rista superior; b< Rista perspectiva
J1
$5 Camada
"s e4ua8es de !.! a !.5G %ornecem o nBmero de &inhas e co&unas da 5
a
camada nos
dois mapeamentos apresentados. Se por e+emp&o7 temos uma matriz de 1! + 1! c&u&as no
mapeamento convenciona& 9.i#. !.15<7 temos apenas &inhas por P co&unas no mapeamento
compactado. (otaNse 4ue a 5] camada tem sempre uma co&una a menos em re&ao U 1]
camada.
Dq)R c 2 + Dq)P j 1 934uao !.!<
)q)R c 2 + )q)P = 1 934uao !.!O<
Dq)P c 9Dq)R = 1< Y 2 934uao !.!Q<
)q)P c 9)q)R j 1< Y 2 934uao !.5G<
"s e4ua8es !.51 a !.55 %ornecem o nBmero de c&u&as da 5] camada nos dois
mapeamentos. Por e+emp&o7 o nBmero tota& de c&u&as do mapeamento convenciona& da .i#.
!.15 1PQ c&u&as e no mapeamento compactado de 52 c&u&as 9ver .i#. !.22<. )omo
vemos7 na 5
a
camada o nBmero de c&u&as tambm menor em re&ao U 1
a
camada 4ue de
5Q c&u&as. >sso por4ue a 5] camada possui uma co&una a menos em re&ao a 1] camada.
Fambm7 nessa camada7 e&iminamos apro+imadamente J ^ de c&u&as em re&ao ao
mapeamento convenciona&.
)3Dq)R c Dq)R + )q)R 934uao !.51<
)3Dq)R c 5 + Dq)P + )q)P = 2 + Dq)P j 2 + )q)P j 1 934uao !.52<
)3Dq)P c Dq)P + )q)P 934uao !.5!<
)3Dq)P c 9Dq)R + )q)R j Dq)R = )q)R j 1< Y 5 934uao !.55<
Ati&izamos as e4ua8es !.5J a !.5O para acessar cada &inha ou co&una nos dois
mapeamentos.
iq)P c iq)R Y 2 9diviso inteira< 934uao !.5J<
-q)P c 9-q)R N 1< Y 2 9diviso inteira< 934uao !.5P<
iq)R c 2 + iq)P 934uao !.5<
-q)R c 2 + -q)P = 1 934uao !.5O<
J2
a b
.i#. !.22. )omparando 'apeamentos da 5] camada_ a< )onvenciona&; b< )ompactado.
(a .i#. !.2! temos a visua&izao da vizinhana das c&u&as da 5] camada no
mapeamento compactado.
a b
.i#. !.2!. Rizinhana das c&u&as do aut@mato 9mapeamento compactado< da 5] camada _ a<
Rista superior; b< Rista perspectiva
J!
).2. Ar6&itet&ra
Os a&#oritmos de simu&ao desenvo&vidos neste traba&ho %oram inte#rados numa
inter%ace #r/%ica 4ue imp&ementa %erramentas de desenho 2$ e !$ para #erao dos padr8es
#eomtricos 4ue devem e+istir no materia& de mascaramento uti&izado durante as corros8es7 e
recursos de visua&izao !$ para an/&ise dos resu&tados da simu&ao da corroso. 3ssa
inter%ace %oi ori#ina&mente desenvo&vida por outros membros do ?rupo de (ovos 'ateriais e
$ispositivos7 mas ao &on#o deste pro-eto desenvo&vemos uma sria de novas %un8es e
recursos espec%icos para a visua&izao das nossas simu&a8es atomsticas.
)om re&ao aos a&#oritmos de simu&ao em si7 estes %oram desenvo&vidos na %orma
de uma bib&ioteca denominada autosim 4ue tem o ob-etivo de %ornecer c&asses para
imp&ementar o aut@mato ce&u&ar e7 a partir disso7 construir tanto o simu&ador da corroso a4ui
descrito como 4ua&4uer outra ap&icao baseada em aut@mato ce&u&ar. i essa bib&ioteca o %oco
principa& deste traba&ho e ser/ descrita deta&hadamente &o#o adiante.
Por sua vez7 a bib&ioteca de simu&ao autosim %az uso de duas bib&iotecas e+ternas7
a saber7 a bib&ioteca &ibpn# V25W e a bib&ioteca )airo V2JW. " bib&ioteca &ibpn# permite
&er ou escrever dados de ima#ens di#itais para um ar4uivos em %ormato pn# 9Portab&e
(et0orl ?raphics<7 um %ormato sem perdas por compactao nem restri8es de uso. k/
bib&ioteca )airo permite %azer desenhos 2$ e sa&vaN&os em v/rios %ormatos de ar4uivos
como SR?7 P$. e PS.
7i8lioteca 9li8"n/:
" bib&ioteca &ibpn# uma bib&ioteca escrita em &in#ua#em )7 sob a &icena de uso
Open Source7 4ue permite seu uso em ap&ica8es comerciais7 e usada para se traba&har
especi%icamente com ar4uivos #r/%icos em %ormato pn#. "ssim7 %ornece %un8es7
procedimentos e estruturas para &er ar4uivos pn# e+istentes7 retornando um vetor de betes
contendo in%orma8es de todos os pi+e&s da ima#em7 a&m de permitir escrever novos ar4uivo
pn# atravs desse mesmo vetor de betes. 3ssa bib&ioteca permite escrever ar4uivos pn#
com compactao 9usando a bib&ioteca z&ib<7 permite traba&har com ima#ens em esca&as de
cinzas 9usando 1P bit por pi+e&<7 em cores sem transpar[ncia 925 bit por pi+e&< ou com
transpar[ncia 9!2 bits por pi+e&<. Fambm7 permite %azer o uso de correo de #amma7
entre&aamento de ima#ens e outros recursos permitidos num ar4uivo pn#.
J5
7i8lioteca 9Cairo:
)airo uma bib&ioteca para traba&har com ima#ens #r/%icas vetoriais em 2$7
permitindo sa&var #r/%icos 9desenhos7 ima#ens bidimensionais< em mB&tip&os %ormatos de
sada como SR?7 P$.7 PostScript7 d Eindo0 Sestem7 Ein!27 2uartz7 >ma#e ,u%%ers7 e
outros. .ornece %erramentas para #erar po&#onos7 curvas ,zier7 sp&ines7 trans%orma8es7
composio de ima#ens e escrita de te+to. " bib&ioteca )airo escrita em &in#ua#em ) e
possui a &icena D?DP verso 2.17 4ue permite uso em ap&ica8es comerciais.
7i8lioteca 9a&toSIM:
>nternamente7 a bib&ioteca de simu&ao autosim possui ! m6du&os principais 4ue
so_ 3ntrada7 Simu&ao e Sada. 3 tambm possui um m6du&o au+i&iar Ati&it/rios. O
m6du&o de 3ntrada possui as c&asses respons/veis pe&a con%i#urao inicia& dos parCmetros
da simu&ao da corroso do si&cio7 o m6du&o de Simu&ao possui as c&asses 4ue tem por
ob-etivo simu&ar a corroso anisotr6pica do si&cio e o m6du&o de Sada tem por ob-etivo7
%ornecer as c&asses para a visua&izao #r/%ica dos resu&tados da simu&ao da corroso. k/ o
m6du&o au+i&iar Ati&it/rios tem como ob-etivo7 %ornecer c&asses de au+&io nas tare%as dos
tr[s m6du&os principais.
.i#. !.25. Risua&izao em dia#rama de c&asses 9A'D< da bib&ioteca autoSim.
JJ
Por B&timo7 todos esses m6du&os so estruturados em diret6rios 4ue correspondem aos
namespaces na &in#ua#em )==. )ada m6du&o possui ar4uivos de e+tenso .cpp e .h 4ue
so os ar4uivos %ontes e de cabea&ho da &in#ua#em )==. (o tota&7 e+istem J ar4uivos na
bib&ioteca7 4ue correspondem a mais de 2P mi& &inhas de c6di#o %onte. (a .i#. !.25 temos a
visua&izao em dia#rama de c&asses 9A'D< da bib&ioteca autosim com as suas
depend[ncias.
M!d&lo Utilit4rios
O m6du&o Ati&it/rios %oi desenvo&vido inicia&mente para %ornecer c&asses para
au+i&iar na construo do simu&ador de corroso. 'as durante o seu desenvo&vimento7 e&e %oi
e+pandido para servir de au+&io na construo de outros aut@matos ce&u&ares ou mesmo7
outros pro#ramas baseados em aut@mato ce&u&ar. O resu&tado disso 4ue construmos uma
bib&ioteca com componentes de uso #enrico7 4ue podero ser uti&izados em outros pro-etos
%uturos7 promovendo a reuti&izao do c6di#o desenvo&vido nesse traba&ho. O m6du&o
Ati&it/rios possui as se#uintes c&asses_ %atri&$ %atri&inaria$ %atri&'stados$
%atri&Ad(acencia$ )imite$ Vi&in*os$ Saida+enerica$ ,ontorno$ +eometria$ Arvore,ontornos
e !rian-ulacao 4ue sero descritas deta&hadamente adiante. (a .i#. !.2J temos a visua&izao
do dia#rama de c&asses do m6du&o Ati&it/rios.
.i#. !.2J. $ia#rama de c&asses do m6du&o Ati&it/rios.
JP
Matriz, MatrizBinaria e MatrizEstados
" c&asse %atri& %oi desenvo&vida para mode&ar uma matriz de c&u&as de 4ua&4uer
aut@mato ce&u&ar em uma7 duas ou tr[s dimens8es. 3ssa c&asse a mais importante da
bib&ioteca autosim7 pois 4uase todas as c&asses da bib&ioteca a uti&iza7 se-a como uma
simp&es inter%ace de 4ua&4uer mtodo7 ou como atributo de a&#uma c&asse7 ou como c&asse
base para criarmos novas c&asses por herana.
" c&asse abstrata %atri& %ornece mtodos para criarmos uma matriz #enrica7 mas as
c&asses %i&has de%inem a capacidade de armazenamento das c&u&as. " c&asse %atri&inaria
imp&ementa uma matriz de tipo boo&eano7 na 4ua& cada c&u&a pode ter somente dois va&ores_
%a&so ou verdadeiro7 4ue corresponde a dois estados no aut@mato ce&u&ar e tambm7 cada
c&u&a ocupa um bete de mem6ria. 3 en4uanto a c&asse %atri&'stados7 imp&ementa uma
matriz de tipo inteiro7 na 4ua& cada c&u&a da matriz pode possuir o estado de G a PJJ!J7 4ue
ocupa dois betes de mem6ria7 o dobro da c&u&a da %atri&inaria. 'as7 por outro &ado7 temos
uma 4uantidade maior de estados7 assim7 podemos imp&ementar 4ua&4uer tipo de aut@mato
ce&u&ar.
>nternamente7 as c&asses %i&has de %atri& imp&ementam sempre uma matriz
unidimensiona&7 e para se criar outras dimens8es7 so usadas %6rmu&as de inde+ao7 para
ca&cu&ar a posio da c&u&a7 em %uno do nBmero de &inhas e co&unas 9matriz bidimensiona&<7
ou em %uno de &inhas7 co&unas e camadas 9matriz tridimensiona&<. 'as na inter%ace e+terna7
podemos acessar as matrizes como se %ossem da mesma dimenso 4ue de%inimos. "ssim7 se
de%inimos uma matriz bidimensiona&7 acessamos cada c&u&a com apenas os parCmetros &inha
e co&una.
" se#uir7 temos um e+emp&o de como criar7 usar 9modi%icando o estado das c&u&as< e
destruir um ob-eto da c&asse %atri&'stados.
int linhas = 30;
int colunas = 40;
int estado;
MatrizEstados *matriz = new MatrizEstados(linhas, colunas);
// Obtendo o estado da clula na linha 3 e coluna !
estado = matriz "etEstado(3, !);
// Modi#icando o estado da clula na linha $ e coluna %
matriz setEstado(estado, $, %);
delete matriz;
J
(a tabe&a !.27 temos um e+emp&o de uma matriz de estados de 5Q d J1 c&u&as
imp&ementada pe&a c&asse %atri&inaria7 na 4ua&7 o nBmero G representa a c&u&a no estado
VAZIO e 1 representa a c&u&a no estado SUS!"A!O. (ote nessa tabe&a 4ue os nBmeros
esto representando um desenho retan#u&ar.
Fabe&a !.2 j 'atriz de c&u&as de um aut@mato.
Lin)a 2ol#nas 6De + a 9+5
+ 7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7
7 +++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++
* 7+7+7+7+++++++++++++++++++++++++++++++++++++7+7+7+7
: +++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++
; 7+7+7+7+++++++++++++++++++++++++++++++++++++7+7+7+7
9 +++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++
< 7+7+7+7+++++++++++++++++++++++++++++++++++++7+7+7+7
= +++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++
, 7+7+7+7+++++++++++++++++++++++++++++++++++++7+7+7+7
> +++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++
7+ 7+7+7+7+++++++++++++++++++++++++++++++++++++7+7+7+7
77 +++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++
7* 7+7+7+7+++++++++++++++++++++++++++++++++++++7+7+7+7
7: +++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++
7; 7+7+7+7+++++++++++++++++++++++++++++++++++++7+7+7+7
79 +++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++
7< 7+7+7+7+++++++++++++++++++++++++++++++++++++7+7+7+7
7= +++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++
7, 7+7+7+7+++++++++++++++++++++++++++++++++++++7+7+7+7
7> +++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++
*+ 7+7+7+7+++++++++++++++++++++++++++++++++++++7+7+7+7
*7 +++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++
** 7+7+7+7+++++++++++++++++++++++++++++++++++++7+7+7+7
*: +++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++
*; 7+7+7+7+++++++++++++++++++++++++++++++++++++7+7+7+7
*9 +++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++
*< 7+7+7+7+++++++++++++++++++++++++++++++++++++7+7+7+7
*= +++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++
*, 7+7+7+7+++++++++++++++++++++++++++++++++++++7+7+7+7
*> +++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++
:+ 7+7+7+7+++++++++++++++++++++++++++++++++++++7+7+7+7
:7 +++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++
:* 7+7+7+7+++++++++++++++++++++++++++++++++++++7+7+7+7
:: +++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++
:; 7+7+7+7+++++++++++++++++++++++++++++++++++++7+7+7+7
:9 +++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++
:< 7+7+7+7+++++++++++++++++++++++++++++++++++++7+7+7+7
:= +++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++
;, 7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7+7
JO
MatrizAdjacencia e Geometria
" c&asse %atri&Ad(acencia representa um matriz de ad-ac[ncia em um #ra%o. 3ssa
c&asse ser/ usada na c&asse ,ontorno para para armazenar as &i#a8es entre cada ponto de
contorno detectado pe&a )&asse ,ontorno. >nternamente7 essa c&asse #erencia todo o %&u+o de
dados 9acesso7 modi%icao< na matriz de ad-ac[ncia.
" c&asse +eometria7 %ornece mtodos est/ticos 4ue uti&izam a&#oritmos de #eometria
computaciona&7 como a veri%icao de se um ponto est/ contido dentro de um po&#ono ou
no. 3ssa c&asse uti&izada pe&a Arvore,ontornos 4ue ser/ descrita mais adiante.
Limite, Vizinhos e SaidaGenerica
" c&asse )imite imp&ementa o a&#oritmo para veri%icar se a c&u&a ana&isada est/ no
interior da matriz de c&u&as do aut@mato e no %ora da matriz. (o caso no estar 9ou se-a7 a
c&u&a no est/ no interior da matriz<7 so usadas as condi8es de contorno 9de%inidas na seo
2.5 < 4ue so o &imite peri6dico7 re%&e+ivo e por va&or %i+o para de%inir outra c&u&a
correspondente na matriz. 3ssa c&asse muito uti&izada na simu&ao da corroso e nos
a&#oritmos 4ue tenham como base o uso dos aut@matos ce&u&ares.
" c&asse Vi&in*os de%ine as coordenadas das c&u&as vizinhas 4ue sero ana&isada no
aut@mato ce&u&ar. Permite de%inir 4ua&4uer vizinhana como a de 'oore7 Ron (eumann 9ve-a
na seo 2.5< e outras. 'uito uti&izada pe&as c&asses 4ue usam o aut@mato ce&u&ar.
3 por B&timo7 a c&asse Saida+enerica permite sa&var a matriz de estados 9ob-eto da
c&asse %atri&'stados< de 4ua&4uer aut@mato ce&u&ar7 em ar4uivos P$.7 P(?7 PS e SR?
atravs do uso da bib&ioteca #r/%ica )airo. "ssim7 -unto com outras c&asses desse m6du&o7 a
c&asse Saida+enerica %ornece suporte para uso em outros aut@matos ce&u&ares.
Contorno
3sta c&asse tem como ob-etivo e+trair contornos a partir de uma ima#em bidimensiona&
na 4ua&7 para e%eitos de nossa simu&ao7 cada pi+e& da ima#em est/ associado a uma c&u&a no
automato ce&u&ar. 3sse processo se chama Retorizao7 pois comeamos com uma ima#em
4ue uma matriz de pi+e&s 9%ormato matricia&< e a partir de&a7 e+trairmos os contornos
9e+ternos e internos< 4ue so de%inidos como po&#onos 9%ormato vetoria&<. " c&asse ,ontorno
uti&izada no m6du&o de Sada7 para a deteco dos contornos das re#i8es corrodas 9em cada
JQ
camada at@mica< 4ue resu&tam da simu&ao da corroso.
O a&#oritmo de deteco de contornos tambm est/ baseado no uso de um aut@mato
ce&u&ar. Por isso7 cada pi+e& da ima#em bidimensiona& na 4ua& 4ueremos detectar os
contornos7 ser/ re&acionado a uma c&u&a da matriz de c&u&as do aut@mato. "&m disso7 cada
c&u&aYpi+e& ter/ apenas ! estados 4ue so_ PK33();>$O7 correspondente a um pi+e&
escuro 9preto na mascara<7 R"Z>O 4ue indica um pi+e& c&aro 9transparente na mascara< e
'"K)"$O7 4ue indica um pi+e& 4ue de%ine o contorno entre duas re#i8es da ima#em
9contorno das re#i8es pretas ou transparente mascara<. (essa ana&ise o aut@mato usa a
vizinhana de 'oore 9O vizinhos< e as se#uintes re#ras de transio _
1< Se a c&u&a estiver no estado PK33();>$O e pe&o menos uma c&u&a vizinha
estiver no estado R"Z>O7 essa c&u&a muda para o estado '"K)"$O
2< Se a c&u&a estiver em outros estados di%erente de PK33();>$O7 a c&u&a
permanece no mesmo estado.
$epois da an/&ise do aut@mato 94ue envo&ve apenas uma iterao<7 todas as c&u&as no
estado '"K)"$O so candidatas a serem os pontos 4ue vo %ormar os po&#onos 4ue
de%inem o contorno. Por e+emp&o7 consideremos na .i#. !.2Pa7 uma mascara com 1 abertura7
de 12+12 pi+e&s na 4ua& cada pi+e& possui apenas dois estados 9PK33();>$O para a cor
verme&ha e R"Z>O para a cor branca<. (a .i#. !.2Pb7 temos a mesma ima#em depois da
deteco do contorno7 4ue %eita em uma Bnica iterao do aut@mato. (ote 4ue o contorno
%ormado pe&as c&u&as no estado '"K)"$O 9de cor verde<.
a b
.i#. !.2P. >ma#em de 12+12 pi+e&s_ a< >ma#em inicia&. b< >ma#em com o contorno marcado.
PG
" ima#emYmascara usada na .i#. !.2P re&ativamente simp&es7 pois tinha o ob-etivo de
e+emp&i%icar o %uncionamento do a&#oritmo. Porm7 a deteco de contorno mais di%ci&
4uando a ima#em envo&ve deta&hes #eomtricos com apenas 1 pi+e& 9pontos< ou &inhas de
pi+e&s7 como ocorre na .i#. !.2. 3ssa di%icu&dade est/ re&acionada a ambi#\idades 4ue o
a&#oritmo de deteco de contornos pode retornar nesses casos. Ou se-a7 pode ocorrer 4ue
sur-am po&#onos cruzados7 4ue possuem pontos em comum ou arestas 4ue se interceptam. O
a&#oritmo de deteco proposto7 no detecta po&#onos nessa condio7 mas para compensar
essa restrio7 o a&#oritmo pode retornar v/rios po&#onos 4ue comp8em um ou mais
po&#onos cruzados.
.i#. !.2. 9a< >ma#em de 11+11 pi+e&s com padro em duas cores e no 4ua& a ocorr[ncia de
deta&hes com apenas 1 pi+e& de espessura di%icu&ta a deteco do contorno.
Para detectar contornos nestes casos o primeiro passo aumentar a reso&uo da
ima#em mu&tip&icando por 5 o nBmero de pi+e&s em cada &inha e co&una da ima#em7 de %orma
4ue cada pi+e& ori#ina& passa a ser representado por uma #rupo de 5+5 pi+e&s. Para entender
isto7 consideremos as .i#. !.2Oa e !.2Qa7 onde so mostradas ima#ens de !+! e +J pi+e&s
com deta&hes #eomtricos de apenas 1 pi+e& de espessura 9ponto e &inha<. (as .i#s. !.2Ob e
!.2Qb temos as mesmas ima#ens com a reso&uo aumentada em 4uatro vezes. (ote nestas
%i#uras7 4ue o aumento na reso&uo da ima#em %az com 4ue os deta&hes #eomtricos 4ue
envo&viam apenas 1 pi+e& na ima#em ori#ina&7 passam a ser %ormados por v/rios pi+e&s7 o 4ue
e&imina as ambi#\idades 9se e+istir<. "ssim7 com esta metodo&o#ia7 nosso a&#oritmo pode
detectar contornos em 4ua&4uer ima#em.
P1
a b
.i#. !.2O. >ma#em de um ponto_ a< Ori#ina&; b< "umentada em 5 vezes.
a b
.i#. !.2Q. >ma#em de uma &inha cruzada_ a< Ori#ina&; b< "umentada em 5 vezes.
Para entender me&hor esta aborda#em7 vo&temos U .i#. !.2. O a&#oritmo de deteco
ap&icado a essa ima#em detecta os contornos mostrados na .i#. !.!G. (ote 4ue7 depois de
passar pe&o aut@mato para deteco de contornos7 as coordenadas + e e de cada c&u&a no
contorno 9ou se-a7 no estado '"K)"$O< so armazenadas em uma tabe&a de pontos. 3ssa
tabe&a ser/ usada para construir cada po&#ono 9contorno< detectado na ima#em. " tabe&a
porm7 no armazena nenhuma in%ormao sobre o 4ua& po&#ono o ponto pertence7 nem 4uais
so os pontos vizinhos ao ponto em 4uesto 9o seu antecessor e seu sucessor<. 3ssas
in%orma8es so importantes para construirmos os po&#onos e+istentes na ima#emYmascara.
Para isso7 precisamos determinar as &i#a8es entre cada ponto7 4ue sero sempre duas 9com o
ponto anterior e com posterior<.
P2
.i#. !.!G. " ima#em depois de passar pe&o aut@mato ce&u&ar.
"s &i#a8es de cada ponto com seu antecessor e sucessor7 sero armazenadas num
#ra%o cu-a matriz de ad-ac[ncia possui dimens8es 9a&tura e &ar#ura< i#uais ao nBmero tota& de
pontos na tabe&a7 e 4ue ser/ iniciada com zeros. Para de%inir se um ponto i est/ &i#ado com
um ponto - da tabe&a7 usamos as se#uintes re#ras_
1< " &i#ao de um ponto i com um ponto - 9sempre i r -< ser/ marcada 9va&or i#ua&
a um< se a distCncia entre esses dois pontos %or i#ua& a 1.
2< Para os outros casos7 a &i#ao permanece nu&a 9i#ua& a zero<.
"ssim7 precisamos percorrer todas as &i#a8es da matriz de ad-ac[ncia do #ra%o para
e+trair os po&#onos de contorno. Para isso7 %azemos uma varredura procurando uma &i#ao
P!
na matriz de ad-ac[ncias7 comeando na &inha icG at a &inha nN17 onde n o nBmero tota& de
pontos. Para cada &inha i7 ana&isamos da co&una -cG at a co&una nN1. "o acharmos a primeira
&i#ao 9de coordenada i7 - sempre ir- e cu-o va&or da c&u&a i#ua& a 1<7 encontramos o
primeiro ponto do po&#ono. "ssim7 o ndice i desse primeiro ponto armazenada numa nova
&ista de pontos 4ue %ormar/ o primeiro po&#ono encontrado. $epois disso7 a &i#ao 9i7 -< na
matriz de ad-ac[ncia desmarcada 9atribuindo o va&or G< e procura por outro ponto l
9di%erente de i< &i#ado com o ponto -. 3sse processo repetido at 4ue o ponto l se-a i#ua& ao
ponto de incio 9ponto i<. "ssim7 obtemos um po&#ono %echado %ormado pe&os pontos_ i s -
s l ... s i e depois essa &ista de pontos 94ue e4uiva&e a um po&#ono encontrado<
armazenado numa &ista de po&#onos. Do#o a se#uir7 repeteNse esse a&#oritmo para detectar
outro po&#ono 9se e+istir<7 at 4ue todas as c&u&as da matriz de ad-ac[ncia este-a com va&ores
nu&os.
(ote 4ue a&m de %ornecer a &ista de po&#onos na ima#emYmascara7 a c&asse ,ontorno
tambm indica se os po&#onos em 4uesto so preenchidos ou vazios7 ou se-a7 se as
c&u&as no interior do contorno esto no estado PK33();>$O e no estado R"Z>O. >sto
%eito a partir da ana&ise do estado do primeiro vizinho interno 9no interior do po&#ono< do
primeiro ponto do po&#ono. Ou se-a7 se as coordenadas do primeiro ponto do po&#ono %orem
9i7-<7 ento o preenchimento do po&#ono depende do estado ponto de coordenadas 9i=17 -=1<.
Por e+emp&o7 na .i#. !.!G7 o primeiro ponto do po&#ono mais e+terno tem coordenadas 9G7G<.
"s coordenada do seu primeiro vizinho interno so 9171< e o seu estado PK33();>$O7
portando o po&#ono como um todo ser/ preenchido 9cor verme&ha na %i#ura<. k/ po&#ono
4uadrado comea no ponto com coordenadas 927< e o estado do seu primeiro vizinho
interno7 com coordenadas 92O7O<7 R"Z>O. Portando o po&#ono como um todo ser/ vazio
9cor branca na %i#ura<.
Por B&timo7 tendo a &ista de po&#onos detectados7 precisamos converter os pontos para
a sua reso&uo ori#ina&7 pois e&a est/ aumentada em 5 vezes. Para isso7 basta apenas %azer a
diviso inteira de cada coordenada de ponto de cada po&#ono detectado. (a .i#. !.!1 temos
um e+emp&o dessa converso7 notaNse 4ue o contorno 4uadrado 9considerando somente os
pontos na cor verde escuro< ao so%rer a converso7 passam a ter todos os pontos com a mesma
coordenada 9171<. >sso si#ni%ica 4ue nesse caso7 o contorno se trans%ormou num po&#ono
de#enerado em um ponto e dependendo da ap&icao 94ue ir/ usar esse contorno< esse
contorno pode ser descartado ou no.
P5
a b c
.i#. !.!1. 9a< $eta&he #eomtrico com apenas 1 pi+e& 9ponto<. 9b< )om reso&uo amp&iada 5
vezes. 9c< Ketorno U reso&uo ori#ina& com o contorno detectado.
ArvoreContornos
3ssa c&asse tem como ob-etivo imp&ementar um a&#oritmo para or#anizar os po&#onos
detectados pe&a c&asse ,ontorno de maneira hier/r4uica7 de%inindo a re&ao de contorno pai
94ue contm outros contornos< e %i&hos 94ue est/ contido num po&#ono pai<. 3ssa or#anizao
importante para a&#uns a&#oritmos do m6du&o de Sada e por isso7 ser/ descrita a se#uir.
)onsideremos a ima#emYmascara da .i#. !.!G. Primeiramente7 obtemos a &ista de
po&#onos a partir da c&asse ,ontorno 9ver .i#. !.!2<. (ote 4ue7 para evitar ambi#\idades7 as
coordenadas dos po&#onos devem ser consideradas na sua reso&uo aumentada em 5 vezes.
"&m disso7 a c&asse ,ontorno tambm %ornece o preenchimento de cada po&#ono7 atravs de
uma &ista de preenchimento dos po&#onos na ima#emYmascara. >sto e+emp&i%icado na .i#.
!.!!7 na 4ua&7 o preenchimento de cada po&#ono de%inido pe&a cor de preenchimento7 sem
considerar os subcontornos 9ou contornos %i&hos<.
.i#. !.!2. Fodos os po&#onos na mascara da .i#. !.!G.
PJ


.i#. !.!!. Fodos os po&#onos com os seus respectivos preenchimentos
$epois7 criamos uma matriz 4ue possui o nBmero de co&unas i#ua& ao nBmero tota& de
contornos detectado na ima#em e o nBmero de &inhas i#ua& a !7 na 4ua& a 1
a
&inha corresponde
ao ndice do contorno pai 9o contorno na 4ua&7 esse po&#ono est/ contido<7 a 2
a
&inha
corresponde ao preenchimento do po&#ono 4ue podem ter apenas um dos dois va&ores
possveis7 PK33();>$O e R"Z>O7 caracterstica 4ue como -/ dizemos7 %ornecida
pe&a c&asse ,ontorno. k/ a !
a
&inha corresponde a um va&or au+i&iar 4ue ser/ descrito mais
adiante.
Fudo isso pode ser me&hor entendido a partir da .i#. !.!57 onde podemos ver a matriz
de contornos correspondente os contornos detectados da .i#. !.!G. (ote 4ue neste ponto7
conhecemos os po&#onos 9contornos< mas no sabemos se e+istem ou no7 po&#onos dentro
de outros po&#onos. Por esse motivo7 a matriz de contornos iniciada supondo 4ue todos os
contornos so de tipo cabea7 ou se-a7 4ue no esto dentro de outros contornos 9no
possuem pais<. >sso %eito dando o va&or N1 para todos os contornos na 1
a
&inha da matriz
de contornos. k/ a !
a
&inha iniciada com um va&or au+i&iar i#ua& ao nBmero tota& de
po&#onos 4ue no caso da ima#emYmascara da .i#. !.!G J. Por outro &ado7 na 2
a
&inha os
va&ores de preenchimento so 17 se o po&#ono tiver preenchimento R"Z>O e 27 se o
po&#ono tiver preenchimento PK33();>$O.
.i#. !.!5. " matriz de contornos detectados
PP
Para determinar a hierar4uia entre os po&#onos7 o a&#oritmo veri%ica se e+iste pe&o
menos um ponto do po&#ono - contido no po&#ono i 9Sempre i r -<. Se e+istir7 isso si#ni%ica
4ue o po&#ono - um contorno %i&ho de i. 3nto7 armazenaNse o ndice desse po&#ono 9-<
numa &ista de contornos %i&hos. " se#uir7 repeteNse o processo para os outros po&#onos7 4ue
t[m ndices _ - = 17 - = 27 at - = n N 17 onde n o nBmero tota& de po&#onos. " partir disso
obtmNse o nBmero tota& de contornos %i&hos e com esse va&or7 ana&isamos todos os contornos
%i&hos 07 0 = 1 at 0 = num.contornos.fil*os N 17 na 4ua&7 num.contornos.fil*os o
nBmero de contornos %i&hos do po&#ono i. 3 para cada contorno %i&ho 07 veri%icaNse o va&or
au+i&iar na matriz maior 4ue num.contornos.fil*os. Se sim7 o va&or au+i&iar para o contorno
%i&ho 0 a&terado para num.contornos.fil*os7 e o contorno pai desse contorno ser/ i. $epois
disso7 apa#aNse a &ista de contornos %i&hos e %azNse esse mesmo processo para outros contornos
i =17 i = 27 at i = n j 1. (a .i#. !.!J temos a matriz de contornos atua&izada durante a
e+ecuo do a&#oritmo descrito anteriormente. k/ na .i#. !.!P7 podemos ver a /rvore de
contornos #eradas pe&o a&#oritmo.
.i#. !.!J. " matriz de contornos depois de passar pe&o a&#oritmo.
.i#. !.!P. Risua&izando a arvore de contornos a partir dos dados da matriz da %i#ura anterior
Triangulacao
" c&asse !rian-ulacao tem como %ina&idade7 imp&ementar um a&#oritmo de
trian#u&ao de po&#onos V2P7272OW 4ue ser/ usado no m6du&o de Sada. " trian#u&ao
consiste em preencher um po&#ono com triCn#u&os no seu interior7 de maneira 4ue o
P
mesmo se-a de&imitado somente por triCn#u&os. " motivao da construo dessa c&asse7
reside no %ato de 4ue7 o uso de triCn#u&os torna o po&#ono mais %/ci& de ser renderizado em
4ua&4uer bib&ioteca #r/%ica e+istente V2J72QW7 pois essas mesmas imp&ementam como recurso
b/sico7 a renderizao de triCn#u&os.
(esta c&asse7 %oi imp&ementado o a&#oritmo de trian#u&ao de Dennes V!GW 4ue
permite %azer a trian#u&ao de po&#onos simp&es 9sem buracos< mas tambm %oram
introduzidas modi%ica8es para permitir a trian#u&ao de po&#onos com buracos.
Para entender o processo de trian#u&ao7 consideremos a ima#emYmascara da .i#.
!.2. Primeiramente7 o a&#oritmo subdivide a ima#em7 4ue representada por uma matriz de
estados7 em 5 re#i8es7 con%orme mostra a .i#. !.!. Para cada re#io so detectado os
contornos usando a c&asse ,ontorno 4ue %oi descrita anteriormente. " se#uir7 nos contornos
detectados7 veri%icaNse a e+ist[ncia de contornos pai 9atravs do uso de ob-etos da c&asse
Arvore,ontornos<. Se e+istir um contorno pai7 descartaNse o contorno detectado e chamaNse o
a&#oritmo recursivamente para dividir novamente em 5 essa re#io. Se no e+istir um
contorno pai7 ento chamaNse o a&#oritmo de trian#u&ao para dividir em triCn#u&os essa
re#io. $epois disso7 repeteNse esse processo para todas as outras re#i8es. O a&#oritmo s6
ana&isa as re#i8es da ima#emYmascara no estado PK33();>$O.
a

8


c

d

.i#. !.!. " matriz dos po&#onos subdividida em 5 re#i8es
(a .i#. !.!O podemos ver os po&#onos detectados em cada uma das 5 re#i8es da .i#.
!.! 9obtidas a partir da ima#emYmascara inicia& na .i#. !.2<. )omo podemos notar7 no
PO
4uadrante do item b %oi necess/rio %azer mais uma subdiviso7 por causa da e+ist[ncia de
contornos pai 9ver .i#. !.!b<7 ou se-a7 nessa re#io o a&#oritmo %oi chamado de maneira
recursiva7 para com isso7 obter apenas 1 po&#ono 9sem %i&hos< para cada subNre#io. 3 por
B&timo7 na .i#. !.!Q7 temos o resu&tado %ina& do processamento da c&asse !rian-ulacao.
a 8
c d
.i#. !.!O. Po&#onos obtidos a partir da .i#. !.! %azendo subdivis8es at
4ue todos os po&#onos resu&tantes se-am simp&es 9sem buracos<.
a
8
c d
.i#. !.!Q. Kesu&tado da trian#u&ao dos po&#onos da .i#. !.!O
PQ
M!d&lo de Entrada
O '6du&o de 3ntrada tem como ob-etivo7 %ornecer as c&asses para con%i#urar o incio
da simu&ao da corroso de si&cio7 o 4ue envo&ve a preparao do %i&me de mascaramento e a
de%inio do substrato de si&cio e tambm7 se necess/rio7 o desenho das mascaras
%oto&ito#ra%icas. "s c&asses desse m6du&o so_ %ascara7 %aterial7 Substrato7 Substrato%atri&
e Substrato%atri&,ontinuo. Re-a na .i#. !.5G o dia#rama de c&asses do m6du&o de 3ntrada e
como essas c&asses se re&acionam.
.i#. !.5G. $ia#rama de )&asses do '6du&o de 3ntrada
Material, Substrato e LimiteSubstrato
" c&asse abstrata %aterial %ornece as especi%ica8es b/sicas para de%inir os materiais
uti&izados em nossa simu&ao. (o momento temos basicamente7 2 materiais _ substrato e
materia& de mascaramento7 porm as propriedades de%inidas pe&a c&asse %aterial no so
%sicas7 mas re&ativas ao processo de simu&ao em si. Por e+emp&o7 nesta c&asse %eita a
de%inio da corroso nas bordas dos materiais7 4ue pode ou no ser rea&izada. " c&asse
abstrata Substrato7 por sua vez7 deriva da c&asse 'ateria&7 e de%ine as caractersticas
G
especi%icas do substrato de si&cio7 como o acesso a cada c&u&a do aut@mato 4ue representa
/tomo de si&cio7 mas no de%ine a rede crista&ina do si&cio. Por B&timo7 a c&asse
)imiteSubstrato derivada da c&asse )imite do m6du&o Ati&it/rios e permite de%inir o &imite da
c&asse Substrato com maior preciso e de acordo com o mapeamento compactado.
Mascara
" c&asse %ascara derivada da c&asse %aterial e tem como %uno de%inir o materia&
9%i&me< de mascaramento uti&izado durante a simu&ao da corroso do si&cio. "ssim7 para
de%inir a matriz de c&u&as 4ue representa o %i&me de mascaramento7 essa c&asse herda tambm
da c&asse %atri&inaria do m6du&o Ati&it/rios7 descrita anteriormente. O acesso direto a essa
c&asse base7 permite herdar caractersticas de acesso U matriz de c&u&as7 assim7 podemos
de%inir manua&mente o estado de cada c&u&a e conse4\entemente7 de%inir o desenho 4ue vai
estar no %i&me de mascaramento. 3sta c&asse tambm usa a bib&ioteca &ibpn# para &er uma
ima#emYmascara com a #eometria das aberturas 4ue devem ser inc&udas no %i&me de
mascaramento. Para &er uma ima#emYmascara7 as re#i8es 4ue correspondero Us aberturas do
%i&me de mascaramento devem estar marcadas com a cor branca7 componentes K?, 92JJ7
2JJ7 2JJ<. Para de%inir re#i8es preenchidas no %i&me7 basta usar uma cor di%erente da branca.
(a .i#. !.517 temos dois e+emp&os de mascaras _ em 9a< a mascara de )ampo )&aro em
9b< a mascara de )ampo 3scuro.
a b
.i#. !.51. >ma#em de um D para mascaras de 9a< )ampo )&aro e 9b< )ampo 3scuro.
1
Am e+emp&o de um trecho de c6di#o para criar um ob-eto da c&asse %ascara7
mostrado a se#uir_
char *nome&ar'ui(o = )*+,n"-; // .e#ine o nome da ima"em )*+,n"-
Mascara *mascara = new Mascara(nome&ar'ui(o); // /ria a mascara
delete mascara;
SubstratoMatriz e SubstratoMatrizContinuo
"s c&asses Substrato%atri& e Substrato%atri&,ontinuo so derivadas da c&asse
Substrato e representam um substrato de si&cio 4ue ser/ usado na simu&ao da corroso. O
acesso a cada c&u&a da matriz de estados %eito por inter%aces de a&to nve& 4ue imp&ementam
o mapeamento compactado 9mencionada na seo !.1<. 3ssas duas c&asses tambm usam dois
ob-etos da c&asse %ascara para de%inir o %i&me de mascaramento na %rente 9super%cie
superior< e nas costas 9super%cie in%erior< do substrato 4ue devem possuir o mesmo tamanho
em nBmero de &inhas e co&unas em re&ao a essa c&asse. " di%erena %undamenta& entre essas
duas c&asses 4ue a Substrato%atri& derivada tambm da c&asse %atri&inaria 4ue %ornece
uma matriz de c&u&as com dois estados possveis por c&u&a. 3 tambm7 essa c&asse uti&izada
pe&os dois mode&os de simu&ao da corroso 4ue so o "ut@mato )e&u&ar )onvenciona& e
3stoc/stico 9mencionado na seo 2.J<. k/ a c&asse Substrato%atri&,ontinuo usada
e+c&usivamente para a simu&ao da corroso pe&o mode&o do "ut@mato )e&u&ar )ontnuo
9mencionado na seo 2.J<. 3 por usar um nBmero de estados por c&u&as maior 4ue 27 essa
c&asse obri#atoriamente ser/ derivada da c&asse %atri&'stados7 na 4ua& podemos ter at
PJJ!P estados possveis por c&u&a.
" se#uir7 temos um e+emp&o de um trecho de c6di#o para criao e uso de um ob-eto
da c&asse Substrato'atriz _
int 0 = 100; // 23mero de clulas no ei0o 0+
int 4 = 100; // 23mero de clulas no ei0o 4+
int z = %00; // 23mero de clulas no ei0o z+
int i = 3; // *inha 3
int 5 = 4; // /oluna 4
int 6 = 1; // /amada 1
7ubstratoMatriz *substrato&matriz = new 7ubstratoMatriz(0, 4, z);
// Obtendo o n3mero de li"a89es da clula na ,osi8:o (i, 5, 6)+
int numero&li"acoes = substrato&matriz;<"et2um*i"acoes(i, 5, 6, 6 = 4);
delete matriz;
2
M!d&lo de Sim&la(o
3ste m6du&o %ornece c&asses com o ob-etivo para %azer a simu&ao da corroso do
si&cio7 se-a no mode&o do "ut@mato )e&u&ar )onvenciona&7 3stoc/stico ou )ontnuo. "s
c&asses deste m6du&o so_ Automato$ Automato,ontinuo$ Automato,onvencional$
Automato'stocastico$ )imite,ristal$ /erfilSimulacao e !a0a,orrosao. (a .i#. !.52 temos o
dia#rama de c&asses do '6du&o de Simu&ao _
.i#. !.52. $ia#rama de )&asses do '6du&o de Simu&ao
LimiteCristal e TaaCorrosao
" c&asse )imite,ristal derivada de )imite$ usada na c&asse Automato para
especi%icar os &imites da matriz de c&u&as do aut@mato ce&u&ar usado para %azer a simu&ao
da corroso do si&cio. " c&asse !a0a,orrosao imp&ementa a tabe&a de ta+as de corroso
usadas no mode&o do "ut@mato )e&u&ar )ontnuo. (ote 4ue7 nesse mode&o7 para cada
con%i#urao possve& das &i#a8es de um /tomo com seus vizinhos7 teremos associada uma
ta+a de corroso espec%ica. (a seo 2.J.27 essa tabe&a %oi de%inida e e+emp&i%icada
considerando apenas as &i#a8es com os /tomos vizinhos 4ue esto na super%cie ou no
substrato. (ote porm7 4ue esta c&asse estende a sua imp&ementao para as PQ possibi&idades
de ta+as de corroso 9baseado no uso dos 1
os
e 2
os
vizinhos dos /tomos<7 con%orme mostra a
tabe&a !.!.
!
Fabe&a !.!. "s PQ possibi&idades de ta+as de corroso para o "ut@mato )e&u&ar )ontnuo.
N:m#ro -# 'i6$0;#! -o
"omo
N:m#ro -# 'i6$0;#! %om o! "omo! <i=i)>o!
1? Vi=i)>o ? Vi=i)>o 5? Vi=i)>o 7? Vi=i)>o T$@$
1 1 N N N 1GG
1 2 N N N 1GG
1 ! N N N 1GG
1 5 N N N 1GG
2 1 1 N N 1GG
2 1 2 N N 1GG
2 1 ! N N 1GG
2 1 5 N N 1GG
2 2 2 N N 1GG
2 2 ! N N 1GG
2 2 5 N N 1GG
2 ! ! N N 1GG
2 ! 5 N N 1GG
2 5 5 N N 1GG
! 1 1 1 N 1GG
! 1 1 2 N 1GG
! 1 1 ! N 1GG
! 1 1 5 N 1GG
! 1 2 2 N 1GG
! 1 2 ! N 1GG
! 1 2 5 N 1GG
! 1 ! ! N 1GG
! 1 ! 5 N 1GG
! 1 5 5 N 1GG
! 2 2 2 N 1GG
! 2 2 ! N 1GG
! 2 2 5 N 1GG
! 2 ! ! N 1GG
! 2 ! 5 N 1GG
! 2 5 5 N 1GG
! ! ! ! N 1GG
! ! ! 5 N 1GG
! ! 5 5 N 1GG
! 5 5 5 N G
5 1 1 1 1 G
5 1 1 1 2 G
5 1 1 1 ! G
5 1 1 1 5 G
5 1 1 2 2 G
5 1 1 2 ! G
5 1 1 2 5 G
5 1 1 ! ! G
5 1 1 ! 5 G
5 1 1 5 5 G
5 1 2 2 2 G
5 1 2 2 ! G
5 1 2 2 5 G
5 1 2 ! ! G
5 1 2 ! 5 G
5 1 2 5 5 G
5 1 ! ! ! G
5 1 ! ! 5 G
5 1 ! 5 5 G
5 1 5 5 5 G
5 2 2 2 2 G
5 2 2 2 ! G
5 2 2 2 5 G
5 2 2 ! ! G
5 2 2 ! 5 G
5 2 2 5 5 G
5 2 ! ! ! G
5 2 ! ! 5 G
5 2 ! 5 5 G
5 2 5 5 5 G
5 ! ! ! ! G
5 ! ! ! 5 G
5 ! ! 5 5 G
5 ! 5 5 5 G
5 5 5 5 5 G
5
Automato, AutomatoConvencional, AutomatoEstocastico e
AutomatoContinuo
" c&asse abstrata Automato mode&a um aut@mato ce&u&ar para %azer a corroso de
si&cio. $e%ine tambm o &imite 9atravs do uso da c&asse )imite,ristal< para a matriz de
c&u&as 4ue pode ser do tipo peri6dico ou por va&or %i+o7 e a vizinhana das c&u&as no
aut@mato. Fambm %ornece mtodos abstratos para %azer a iterao no aut@mato ce&u&ar7
usando como matriz de c&u&as o ob-eto da c&asse %atri&'stados cu-o estado inicia& deve ser
con%i#urado no mapeamento convenciona&.
" c&asse Automato,onvencional derivada da c&asse Automato e imp&ementa os
mtodos abstratos de iterao do aut@mato de acordo com as re#ras do mode&o do "ut@mato
)e&u&ar )onvenciona&. "&m disso7 essa c&asse de%ine mtodos para %azer a iterao no
aut@mato usando como matriz de c&u&as7 o ob-eto da c&asse Substrato%atri&. " se#uir7 temos
um e+emp&o de c6di#o mostrando a criao e uso de um ob-eto da c&asse
Automato,onvencional#
7ubstratoMatriz *matriz&inicial = new 7ubstratoMatriz(%00, %00, >0);
7ubstratoMatriz *matriz&#inal = new 7ubstratoMatriz(%00, %00, >0);
?utomato/on(encional auto&con( = new ?utomato/on(encional();
// @azendo uma itera8:o no autAmato
auto&con(;<iniciaBteracao(matriz&inicial, matriz&#inal);
delete matriz&inicial;
delete matriz&#inal;
delete auto&con(;
" c&asse Automato'stocastico tambm derivada da c&asse Automato e imp&ementa os
mtodos abstratos de iterao do aut@mato de acordo com as re#ras do mode&o do "ut@mato
)e&u&ar 3stoc/stico e7 como a c&asse Automato,onvencional7 tambm de%ine mtodos de
iterao para usar o ob-eto da c&asse Substrato%atri& 94ue usa o mapeamento compactado<.
" se#uir mostramos um trecho de c6di#o mostrando a criao e uso de um ob-eto da
c&asse Automato'stocastico. (ote 4ue neste mode&o podemos de%inir como parCmetros
a-ust/veis as ta+as de corroso re&acionadas aos p&anos crista&o#r/%icos V11GW7 V1GGW e V111W do
si&cio_
J
7ubstratoMatriz *matriz&inicial = new 7ubstratoMatriz(%00, %00, >0);
7ubstratoMatriz *matriz&#inal = new 7ubstratoMatriz(%00, %00, >0);
?utomatoEstocastico auto&est = new ?utomatoEstocastico();
auto&est;<setCa0a(?utomatoEstocasticoDDE*?2O&%%0, %$0);
auto&est;<setCa0a(?utomatoEstocasticoDDE*?2O&%00, %00);
auto&est;<setCa0a(?utomatoEstocasticoDDE*?2O&%%%, %);
// @azendo uma itera8:o no autAmato
auto&est;<iniciaBteracao(matriz&inicial, matriz&#inal);
delete matriz&inicial;
delete matriz&#inal;
delete auto&est;
Por B&timo7 a c&asse Automato,ontinuo derivada da c&asse Automato e imp&ementa os
mtodos abstratos de iterao do aut@mato de acordo com as re#ras do mode&o do "ut@mato
)e&u&ar )ontnuo. "ssim7 esta c&asse de%ine mtodos de iterao do aut@mato para usar o
ob-eto da c&asse Substrato%atri&,ontinuo 94ue usa o mapeamento compactado<. " se#uir7
&istamos um trecho de c6di#o mostrando a criao e uso de um ob-eto da c&asse
Automato,ontinuo. (ote 4ue neste mode&o usamos um ob-eto da c&asse !a0a,orrosao 4ue
permite de%inir todas as PQ possibi&idades de ta+as de corroso para ser usadas nas re#ras
desse mode&o.
7ubstratoMatriz *matriz&inicial = new 7ubstratoMatriz(%00, %00, >0);
7ubstratoMatriz *matriz&#inal = new 7ubstratoMatriz(%00, %00, >0);
?utomato/on(encional auto&con( = new ?utomato/on(encional();
Ca0a/orrosao *ta0a = new Ca0a/orrosao();
// @azendo uma itera8:o no autAmato
auto&cont;<setCa0a/orrosao(ta0a);
auto&cont;<iniciaBteracao(matriz&inicial, matriz&#inal);
delete matriz&inicial;
delete matriz&#inal;
delete auto&cont;
!er"ilSimulacao
O ob-etivo principa& da c&asse /erfilSimulacao or#anizar todos os parCmetros
necess/rios para e+ecutar a simu&ao num Bnico ar4uivo te+to. $e %ato7 nesse ar4uivo7 4ue
pode ser escrito7 sa&vo em disco e reaberto para &eitura7 podem ser sa&vos todos os parCmetros
de simu&ao da corroso7 sem precisar reescreveN&os cada vez 4ue se 4uer repetir a simu&ao
ou rea&izar uma nova mudando apenas a&#uns parCmetros. "ssim7 essa c&asse permite
simp&i%icar e automatizar a e+ecuo das simu&a8es por meio de comandos 4ue de%inem
P
cada parCmetro para a simu&ao7 como por e+emp&o7 o nBmero de c&u&as do si&cio nas !
dimens8es7 a &oca&izao %sica das ima#ens das mascaras no sistema de ar4uivos7 o nBmero
inicia& de itera8es do aut@mato7 o nBmero de simu&a8es7 o tipo de visua&izao e outros
parCmetros.
" ttu&o de e+emp&o7 mostramos a se#uir um pe4ueno trecho de um ar4uivo de
con%i#urao tpico7 contendo comandos 4ue servem para de%inir os parCmetro da simu&ao.
(o ar4uivo ori#ina&7 o ar4uivo te+to no tem %ormatao7 portanto no h/ de%inio %ontes7
cores eYou esti&os. (o te+to abai+o porm7 os nomes dos comando esto em ne#rito e os
coment/rios em azu& para %aci&itar a visua&izao. (ote 4ue os coment/rios do uma
e+p&icao #era& sobre cada comando e sobre os va&ores 4ue podem ser dados aos parCmetros
em 4uesto. Por e+emp&o7 os comando SA,SFK"F3 e S;"P3SA, permitem de%inir a %orma
e o nBmero de c&u&as do substrato 9nas dire8es +7 e e z<. 3m nosso e+emp&o temos um
substrato com base retan#u&ar de !GG + !GG c&u&as e uma espessura de 2GG c&u&as. Os
comandos .KO(F'"S: e ,"):'"S: &[em7 a partir de ar4uivos #r/%icos7 as aberturas no
materia& de mascaramento atravs das 4uais ser/ %eita a corroso. k/ o mode&o de "ut@mato
)e&u&ar a ser uti&izado de%inido no comando "AFO'"F"'O$3D. Am e+emp&o de
ar4uivo de entrada comp&eto7 com todos os parCmetros de simu&ao7 pode ser visto no
"ne+o >.
// /omando 7FG7CH?CE I .e#ine o n3mero de clulas do substrato nas dire89es 0, 4 e z+
SUBSTRATE %00 %00 >0

// /omando 7J?EE7FG I .e#ine a #orma do substrato+
// 0 I @orma /on(encional+ (Eadr:o)
// % I @orma Es#rica+
// 1 I @orma /ilKndrica+
SHAPESUB 0

// /omando @HO2CM?7L I .e#ine a ima"em da mascara da #rente
FRONTMASK /DM7imulacoesMcantile(er1&ne"&%00+,n"

// /ommand G?/LM?7L ; .e#ine a ima"em da mascara das costas
BACKMASK /DM7imulacoesM#undo&%00+,n"

// /omando B2BCB?*2FM I .e#ine o n3mero de itera89es inicial (Eadr:o 0)+
INITIALNUM 0

// /omando 7CEE I .e#ine o ,asso de simula8:o (Eadr:o !)+
STEP %0

// /omando 7BMF*?CBO22FM I .e#ine o n3mero de simula89es (Eadr:o 1%)
// 23mero total de simula89esD (B2BCB?*2FM N 7CEE*(7BMF*?CBO22FM ; %))+
SIMULATIONNUM 3

// /omando ?FCOM?COMO.E* I .e#ine o modelo de autAmato celular usado na simula8:o da corros:o
do silKcio+
// 0 I ?utAmato /elular /on(encional (Eadr:o)+
// % I ?utAmato /elular EstocOstico I Ca0asD (Elano&%%0, Elano&%00, Elano&%%%)+
// 1 I ?utAmato /elular /ontKnuo+
AUTOMATAMODEL 0 %$0 %00 %

M#dulo de Sa$da
O aut@mato ce&u&ar em si7 %ornece como resu&tados uma matriz com os estados das
c&u&as7 indicando 4uais /tomos do crista& 9substrato ori#ina&< permaneceram ou %oram
removidos ap6s a corroso. Risua&izar e interpretar essa matriz diretamente no uma tare%a
%/ci&7 menos ainda se &evamos em conta 4ue simu&a8es tpicas envo&vem substratos com
a&#umas centenas de /tomos por cada &ado. Por isso7 desenvo&vemos %erramentas de
visua&izao 4ue tem como ob-etivo7 e+trair da matriz de estados7 um resu&tado #r/%ico 4ue
se-a de %/ci& an/&ise e entendimento.
3ssas %erramentas de visua&izao %oram imp&ementadas no '6du&o de Sada7 4ue
possui as se#uintes c&asses_ 1omeAr2uivo$ Saida,ores$ Saida+rafica$ Saida34$ Saida54$
SaidaAr2uivos34 e SaidaSim%'%S# (a .i#. !.5! temos um dia#rama de c&asses do '6du&o
de Sada.
.i#. !.5!. $ia#rama de )&asses do '6du&o de Sada
SaidaGra"ica
" c&asse abstrata Saida+rafica a base do sistema de visua&izao desse m6du&o.
"travs de&a7 de%inimos as %erramentas de visua&iza8es disponveis e #erenciamos o nBmero
e a ordem em 4ue e&as e+ibidas no pro#rama. )ada %erramenta de visua&izao corresponde a
uma %orma #r/%ica de representar os resu&tados da simu&ao7 4ue esto na %orma de matrizes
O
de estados7 con%orme %oi mencionado na descrio dos outros m6du&os.
" c&asse Saida+rafica de%ine J tipos de %erramentas de visua&iza8es b/sicas 4ue so_
)ontornos de ntomos7 )ontorno de ntomos Otimizados7 Di#a8es7 )&u&a Anit/ria e
Fetraedro.
Contornos de ;tomos e Contornos de ;tomos Otimi<ados
3ste tipo de %erramenta permite visua&izar 9atravs da c&asse ,ontorno< os contornos
das re#i8es corrodas em cada camada at@mica. " hierar4uia de contornos e preenchimento
so obtidas com au+&io das c&asses Arvore,ontornos e !rian-ulacao#
" uti&izao de contornos em vez de desenhar diretamente os /tomos7 t[m a vanta#em
evidente de diminuir o nBmero de ob-etos a ser desenhado7 o 4ue simp&i%ica a an/&ise dos
resu&tados obtidos na simu&ao. $e %ato7 desenhando o contorno das re#i8es corrodas 9em
cada camada at@mica< so desenhados apenas os /tomos re&evantes para a ana&ise7 -/ 4ue os
/tomos do contorno so a4ue&es 4ue7 na4ue&a camada at@mica7 se encontram na super%cie do
substrato. Ou se-a7 so os /tomos passveis de serem removidos num processo de corroso.
Por isso7 as c&u&as ou /tomos 4ue se &oca&izam no interior de uma camada7 no necessitam ser
desenhadas. ,asta saber o tipo de preenchimento interno de cada contorno. )om isso7 o
desenho de mi&hares de /tomos 9ou c&u&as da matriz do aut@mato< simp&i%icado para um
con-unto de p&anos 91 para cada cama at@mica< nos 4uais os contornos detectados representam
as bordas da super%cie corroda.
" di%erena entre as %erramentas )ontornos de ntomos e )ontorno de ntomos
Otimizados 4ue no primeiro tipo7 os contornos detectados so %ormados por &inhas 4ue
contm pontos para todos os /tomos no contorno7 assim7 cada ponto corresponde a um /tomo.
Por outro &ado7 no )ontorno de ntomos Otimizados7 somente os pontos 4ue de%inem o
comeo e %im de uma &inha so considerados7 os pontos intermedi/rios 9contidos nessa &inha<
so descartados. " .i#. !.55 mostra visua&mente essa di%erena.
a b
.i#. !.55. 9a< )ontornos de ntomos e 9b< )ontorno de ntomos Otimizados.
Q
+i/a(*es= C3l&la Unit4ria e Tetraedro
" %erramenta de visua&izao Di#a8es permite visua&izar as &i#a8es de cada /tomo
de si&cio. " %erramenta de )&u&a Anit/ria permite visua&izar c&u&as unit/rias do si&cio em
posi8es onde e+iste pe&o menos um /tomo de super%cie. k/ a visua&izao em Fetraedro
permite visua&izar cubos 4ue de&imitam um /tomo com as suas &i#a8es7 mas o cubo #erado
somente para /tomos de super%cie.
(a .i#. !.5J vemos a&#uns e+emp&os dos tipos de visua&izao de%inidos na c&asse
Saida+rafica.
Saida%& e SaidaAr'uivos%&
" c&asse abstrata Saida34 herda da c&asse Saida+rafica todas as %unciona&idades -/
descritas nessa c&asse7 mas e&a especia&izada na visua&izao em 2 dimens8es. Por isso7
%ornece %erramentas para #erar resu&tados #r/%icos 2$ para as visua&iza8es de%inidas na
c&asse base. "&m disso7 adiciona mais 5 tipos %erramentas de visua&iza8es 4ue so
2uadrados7 2uadrados )o&oridos7 )ontornos de ntomos em modo Fe&a de "rame e
)ontornos de ntomos Otimizados em modo Fe&a de "rame 4ue sero descritas a se#uir.
>&adrados e >&adrados Coloridos
" %erramenta de visua&izao em 2uadrados associa a cada c&u&a do aut@mato no
estado SUS!"A!O7 um 4uadrado #eomtrico representando 1 /tomo. "ssim7 temos uma
matriz de 4uadrados #eomtricos para cada camada at@mica. (o tipo de visua&izao por
2uadrados )o&oridos7 ana&isado o nBmero de &i#a8es de cada c&u&a do aut@mato no
estado SUS!"A!O e con%orme esse nBmero7 de%inida uma cor para cada 4uadrado. "ssim7
teremos 4uadrados com uma cor especi%ica 4ue representa /tomos de uma &i#ao com o
substrato 9cor verde<7 outra cor para representar /tomos com duas &i#a8es 9cor azu&<7 com tr[s
&i#a8es 9cor amare&a<7 4uatro &i#a8es 9cor cinza<7 %i&me de mascaramento 9cor verme&ha<.
OG
a b
c d
.i#. !.5J. Os tipos de visua&izao_ 9a< )ontorno de ntomos Otimizados7 9b< Di#a8es7 9c<
)&u&as Anit/rias e 9d< Fetraedros.

Contornos de ;tomos e Contornos de ;tomos Otimi<ados em modo 9Tela de
Arame:
3sses tipos de %erramentas de visua&iza8es so i#uais aos tipos )ontorno de ntomos
e )ontorno de ntomos Otimizados de%inidos na c&asse base Saida+rafica7 mas se
di%erenciam no %ato de usar apenas as &inhas obtidas na c&asse ,ontorno7 no sendo usadas a
hierar4uia de contornos obtidas na c&asse Arvore,ontornos e os triCn#u&os obtidos na c&asse
O1
!rian-ulacao#
" c&asse Saida2$ no de%ine %ormatos de ar4uivos de sada para as visua&iza8es7 mas
permite 4ue 4ua&4uer c&asse 4ue herde de&a7 possa de%iniN&/. 3 tambm7 temos uma c&asse
SaidaAr2uivos34 4ue de%ine 5 tipos de %ormatos de ar4uivos7 a saber7 os %ormatos SR?7 PS7
P$. e P(?7 o 4ue %eito atravs do uso da bib&ioteca )airo V2JW.
(a .i#. !.5P podemos ver 2 e+emp&os dos tipos de visua&izao em 2uadrados
)o&oridos e )ontornos Otimizados em modo Fe&a de "rame7 de%inidos na c&asse
Saida34 e 4ue %oram imp&ementadas na c&asse SaidaAr2uivos34.
a b
.i#. !.5P. Os tipos de visua&izao_ 9a< 2uadrados )o&oridos e 9b< )ontornos Otimizados em
modo Fe&a de "rame

"s diversas %erramentas de visua&izao podem ser usadas con-untamente7 como
podemos ver na .i#. !.57 onde temos uma combinao das visua&iza8es em )ubos
)o&oridos7 Di#a8es7 )&u&a Anit/ria e )ontornos de ntomos Otimizados 9em modo Fe&a de
"rame< numa mesma ima#em. (ote 4ue ima#em da .i#. 5.5 combina todas essas
in%orma8es mas sa&va num Bnico ar4uivo #r/%ico.
O2
.i#. !.5. >ma#em de uma Bnica camada combinando as se#uintes visua&iza8es_ )ubos
)o&oridos7 Di#a8es7 )&u&a Anit/ria e )ontornos de ntomos Otimizados 9Fe&a de "rame<
Saida(& e SaidaSimMEMS
" c&asse abstrata Saida54 herda da c&asse Saida+rafica todas as %unciona&idades -/
descritas nessa c&asse7 m/s especia&izada somente na visua&izao em ! dimens8es. Por isso7
%ornece %erramentas para #erar resu&tados #r/%icos !$ para as visua&iza8es de%inidas na
c&asse base. "&m disso7 tambm7 adiciona mais 5 tipos de visua&iza8es 4ue so )ubos7
)ubos de Super%cie7 )ubos )o&oridos e )ubos )o&oridos de Super%cie 4ue sero descritas a
se#uir.
C&8os= C&8os de S&"erf#cie= C&8os Coloridos e C&8os Coloridos de S&"erf#cie
O tipo de visua&izao )ubos associa a cada c&u&a no estado SUS!"A!O um cubo
#eomtrico. 'as em virtude do #rande nBmero de c&u&as na matriz tridimensiona&7
visua&izamos apenas os /tomos de super%cie e das bordas da matriz. Outros /tomos7 4ue esto
O!
dentro da matriz7 so irre&evantes para a visua&izao #r/%ica. O tipo de visua&izao em
)ubos de Super%cie i#ua& ao anterior7 mas somente considera os /tomos de super%cie. O
tipo de visua&izao )ubos )o&oridos envo&ve a ana&ise do nBmero de &i#a8es de cada
c&u&a no estado SUS!"A!O. "ssim7 cada /tomo 4ue possui um determinado nBmero de
&i#a8es7 associado a um cubo #eomtrico de uma determinada cor. )ada cor est/
re&acionada ao nBmero de &i#a8es dos /tomos. )om isso7 temos cubos de di%erentes cores
para representar /tomos 4ue %azem nBmeros di%erentes de &i#a8es. k/ o tipo de visua&izao
com )ubos )o&oridos de Super%cie7 i#ua& ao anterior7 mas somente considera os /tomos
de super%cie.
3ssa c&asse no de%ine %ormatos de ar4uivos de sada para as visua&iza8es #eradas7
mas permite 4ue 4ua&4uer c&asse 4ue herde de&a7 possa de%iniN&a. 3 nesse m6du&o7 temos uma
c&asse SaidaSim%'%S 4ue de%ine um %ormato de ar4uivo em modo te+to 9com a e+tenso
.t+t<7 4ue permite criar um ar4uivo 4ue contm estruturas 4ue representam as %ormas
#eomtricas criadas e manipu&adas pe&o pro#rama.
(a .i# !.5O vemos a&#umas %erramentas de visua&izao7 como por e+emp&o7 a
%erramenta de )ontorno de ntomos Otimizados 9.i#. !.5Oa<7 )ubos )o&oridos de
Super%cie 9.i#. !.5Ob<7 )ubos )o&oridos de Super%cie sobreposto com )ontorno de
ntomos Otimizados 9.i#. !.5Oc<. (a .i#. !.5Od temos as mesmas %erramentas de
visua&izao do item anterior7 mas sem %i&me de mascaramento. 3ssas visua&iza8es %oram
de%inidas nas c&asses Saida+rafica e Saida54 4ue %oram imp&ementadas na c&asse
SaidaSim%'%S.
SaidaCores e )omeAr'uivo
3ssas duas c&asses so respons/veis por %ornecer %erramentas para au+i&iar o processo
de #erao das visua&iza8es. " c&asse Saida,ores mantm armazenada uma tabe&a de cores7
assim7 podemos de%inir as cores de cada tipo de visua&izao. 3 a c&asse 1omeAr2uivo7 cria o
nome comp&eto do ar4uivo7 com as indica8es como o nBmero de itera8es no aut@mato7 o
nBmero tota& de itera8es7 o tipo de visua&izao e outros. Fodos esses dados so inc&udos no
nome comp&eto do ar4uivo criado por essa c&asse.
(a .i#. !.5Q7 temos um dia#rama de se4\[ncia7 mostrando as mensa#ens entre os
ob-etos respons/veis para criar7 e+ecutar e #erar os resu&tados da simu&ao.
O5
a b
c
d
.i#. !.5O. .erramentas de visua&izao !$ _ 9a< )ontorno de ntomos Otimizados; 9b< )ubos
)o&oridos de Super%cie; 9c< )ontorno de ntomos Otimizados = )ubos )o&oridos de Super%cie
e 9d< i#ua& ao item anterior7 mas sem %i&me de mascaramento.
.i#. !.5Q. $ia#rama de se4\[ncia com as intera8es entre os ob-etos.
OJ
A Interface Gr4fica
" inter%ace ?r/%ica %oi ori#ina&mente desenvo&vida por outros a&unos do #rupo7 mas
so%reu diversas adapta8es para a-ustar seu %uncionamento Us necessidades especi%icas de
nosso simu&ador de corroso. 3speci%icamente7 o 4ue temos um ambiente inte#rado onde
podemos criar as mascaras %oto&ito#ra%icas7 de%inir os parCmetros da simu&ao7 e ainda e+ibir
os resu&tados da simu&ao atravs das %erramentas descritas anteriormente. (a .i#. !.JG
vemos a ima#em com o aspecto #era& da inter%ace #r/%ica7 com a barra de %erramentas7 a barra
de menus7 a -ane&a de desenho e o conso&e.
.i#. !.JG. >nter%ace ?r/%ica do Pro#rama de Simu&ao da )orroso do Si&cio
(a barra de %erramentas 9%&utuante< temos diversas %erramentas 4ue au+i&iam na
construo de desenhos 2$ e !$7 como po&#onos7 retCn#u&os7 cruzes7 D7 crcu&os e ob-etos
!$ obtidos atravs da e+truso dessas #eometrias. Fambm temos %erramentas para %azer
opera8es boo&eanas com ob-etos 2$7 a saber adio7 interseco e subtrao de po&#onos.
"&m disso7 o pro#rama %ornece %erramentas para mover e copiar ob-etos 2$ e !$ e
OP
%erramentas de au+i&io como_ zoom7 en4uadramento dos desenhos na -ane&a7 %uno de
des%azer e re%azer opera8es7 a&m de7 obviamente7 ser possve& abrir e sa&var ar4uivos com
desenhos comp&e+os em 2$ e !$ #erados com o pr6prio pro#rama.
i com essas %erramentas 4ue podemos %azer os desenhos 2$ contidos nas mascaras
%oto&ito#ra%icas7 e a partir de&as7 de%inir a #eometria das aberturas no %i&me de mascaramento.
$urante a adaptao da inter%ace #r/%ica7 imp&ementamos uma %erramenta para #erar de %orma
automatizada7 a mascara 4ue ser/ usada na simu&ao. Para #erar a mascara7 necess/rio
se&ecionar os desenhos 4ue vo %azer parte dessa mascara. "&m disso7 precisaNse se&ecionar o
diret6rio onde o ar4uivo em %ormato .pn# 9com o desenho da mascara< ser/ sa&vo. Por B&timo.
Fambm e necess/rio acertar outros parCmetros7 como as dimens8es 9em pi+e&s< da mascara e
se e&a de campo escuro ou campo c&aro. " cai+a de dia&o#o da %erramenta para #erao das
mascaras mostrada na .i#. !.J1.
.i#. !.J1. >nter%ace de #erao de mascaras
Para a entrada dos parCmetros de simu&ao %oi desenvo&vido um menu popNup
especi%ico 9Simu&ation na ve-a .i#. !.J2<7 onde podemos a&terar todas as con%i#ura8es da
simu&ao descritas nos ! m6du&os da bib&ioteca autosim. "ssim7 podemos abrir7 e sa&var
um ar4uivo com o per%i& de simu&ao 9item .i&e<7 podemos de%inir o nBmero de c&u&as da
matriz de estados 9item )reate 'atri+ do menu<7 de%inir a mascara da %rente e das costas
9item $e%ine 'asl<7 esco&her o mode&o de aut@mato ce&u&ar a ser usado na simu&ao
O
9)onvenciona&7 3stoc/stico ou )ontnuo no item "utomata 'ode& do menu< e tambm
esco&her as %erramentas de visua&izao no item Risua&ization do menu7 entre outras op8es.
.i#. !.J2. 'enu com as con%i#ura8es de simu&ao
(o item Risua&ization do menu Simu&ation 9ver .i#. !.J2<7 temos submenus para
con%i#urar cada uma das diversas %erramentas de visua&izao disponveis. 3m particu&ar7 na
opo Risua&ization (umber do 'enu Risua&ization temos uma cai+a de dia&o#o 9ver .i#.
!.J!< 4ue permite esco&her as %ormas de visua&izar os resu&tados da simu&ao. (essa cai+a7
temos do &ado es4uerdo as %erramentas de visua&izao disponveis7 dentre as 4uais podemos
se&ecionar 9atravs do boto II< as 4ue se dese-a uti&izar. O boto S"R3 permite
con%irmar a esco&ha e as %erramentas de visua&izao se&ecionadas sero ento usadas para
mostrar o resu&tado da simu&ao.
.i#. !.J!. >nter%ace para de%inir as %erramentas de visua&izao
OO
7. R#!u'"$-o!
Os primeiros resu&tados 4ue apresentaremos esto re&acionados a simu&a8es
envo&vendo o mode&o de "ut@mato )e&u&ar )onvenciona& e o uso de m/scaras com
#eometrias mais simp&es7 como os buracos 4uadrados e &osan#os 9correspondentes a um
4uadrado inc&inado 5J
o
com re&ao U borda do substrato7 4ue neste traba&ho nos admitimos
como sendo para&e&a ao chan%ro ori#ina& da &Cmina de Si<. O resu&tado da corroso atravs
dessas #eometrias bastante conhecido na &iteratura VJ7157!17!2W e nossas simu&a8es
mostram #rande concordCncia com esses resu&tados. >sso pode ser visto nas .i#. 5.1 e 5.27
onde mostramos o resu&tado da simu&ao ap6s di%erentes cic&os de iterao e uti&izando
visua&izao de tipo )ontorno de ntomos Otimizados. "ssim7 na corroso de uma abertura
4uadrada 9.i#. 5.1< podemos ver o aparecimento de uma cavidade piramida& com paredes
inc&inadas 4ue7 ap6s tempo su%iciente de corroso 9nBmero de itera8es em nosso simu&ador<7
se encontram num ponto centra&7 no interior da cavidade. "&m disso e embora no possa ser
notado na .i#. 5.17 a inc&inao das paredes com re&ao U super%cie de J57
o
7 o 4ue
caracterstico dos p&anos crista&o#r/%icos da %am&ia g111h7 4ue no so corrodos. "ssim7
ap6s o encontro das paredes no ponto centra& dentro da cavidade7 a corroso cessa tota&mente.
++ 9+ 7++
.i#. 5.1. Simu&ao da corroso no caso mais simp&es de aberturas 4uadradas no %i&me de
mascaramento. Kesu&tados para G7 JG e 1GG itera8es em vista superior 9&inha superior< e em
perspectiva 9&inha in%erior<.
OQ
Por outro &ado7 na corroso de uma abertura com %ormato de &osan#o 9.i#. 5.2<
tambm podemos ver as paredes inc&inadas em J57
o
com re&ao U super%cie7 mas neste caso
sur#em na re#io dos vrtices do &osan#o. "&m disso7 tambm vemos 4ue ocorre o %en@meno
de underNetch 9corroso por bai+o do materia& de mascaramento< 4ue resu&ta no sur#imento
de paredes verticais7 4ue esto re&acionadas a p&anos crista&o#r/%icos da %am&ia g1GGh. (ote
4ue essas paredes verticais desaparecem depois de v/rias itera8es no aut@mato ce&u&ar. >sso
ocorre por4ue as paredes verticais 9p&anos g1GGh< vo diminuindo em /rea super%icia&
en4uanto as paredes inc&inadas J57
o
9p&anos g111h< se e+pandem at cobrirem toda a
super%cie &atera& da cavidade. (esse instante7 as paredes verticais desapareceram e o resu&tado
%ina& se asseme&ha U corroso de um 4uadrado simp&es7 ou se-a7 a cavidade tende a ser
piramida&7 com paredes &aterais %ormadas por p&anos da %am&ia g111h.
++ *+ ;+
<+ ,+ 7++
.i#. 5.2. Simu&ao da corroso no caso de aberturas com #eometria de &osan#o 94uadrado
inc&inado 5J
o
com re&ao U borda do substrato< no %i&me de mascaramento. Kesu&tados para
G7 2G7 5G7 PG7 OG e 1GG itera8es visua&izados em perspectiva. (ote o underNetch nas &aterais do
&osan#o e o sur#imento de paredes verticais7 correspondente a p&anos 91GG<. (ote tambm a %orma
%ina& da cavidade tende a ser piramida&7 com paredes &aterais %ormadas por p&anos da %am&ia
g111h.
QG
"&m de aberturas no materia& de mascaramento7 onde todo o substrato prote#ido e
apenas a&#umas re#i8es so e+postas U corroso7 tambm podemos traba&har com i&has de
materia& de mascaramento7 onde todo o substrato e+posto U corroso e apenas a&#umas
re#i8es so prote#idas. Am e+emp&o mostrado na .i#. 5.!7 onde vemos a vista superior e em
perspectiva da corroso atravs de uma i&ha de 4uadrada7 mostrando o underNetch
caracterstico sob os vrtices conve+os deste tipo de #eometria.
a b
++ <+ 7++
.i#. 5.!. Kesu&tado da simu&ao da corroso de uma i&ha 4uadrada_ a< Rista Superior; b< Rista
>n%erior.
(as .i#s. !a e !b uti&izamos %erramentas de visua&izao atomstica 9)ubos )o&oridos
de Super%cie<7 o 4ue permite identi%icar os /tomos &i#ados com dois vizinhos 9cubosY/tomos
azuis< e com ! vizinhos 9cubosY/tomos amare&os<. )omo devia ser7 todos os /tomos da
super%cie horizonta& so azuis7 pois pertencem a um p&ano 91GG< -/ 4ue a &Cmina de Si de
tipo 91GG<. k/ os /tomos amare&os7 &o#o abai+o das &aterais do 4uadrado7 so amare&os7 pois
pertencem a p&anos da %am&ia g111h7 onde cada /tomo %az ! &i#a8es com /tomos do
substrato e apresenta apenas 1 &i#ao pendente. (ote porm7 4ue na re#io &o#o abai+o dos
Q1
vrtices7 tambm e+istem /tomos &i#ados a 2 e ! vizinhos 9/tomos azuis e amare&os7
respectivamente< mas estes no %ormam p&anos 91GG< nem 9111<. (a verdade7 nesta re#io7 os
/tomos azuis e amare&os %ormam p&anos da %am&ia g!11h. 3ste um e+emp&o do tipo de
an/&ise 4ue a visua&izao atomstica permite rea&izar. Por outro &ado7 a evo&uo tempora& da
corroso tambm mostrada na .i#. 5.!7 onde podemos ver 9em visua&izao por )ontorno de
ntomos Otimizados< o resu&tado da simu&ao no incio e ap6s PG e 1GG itera8es7 ou se-a7
ap6s PG e 1GG camadas at@micas terem sido removidas.
(a .i#. 5.5 temos uma visua&izao deta&hada da primeira camada de /tomos da .i#.
5.!a. (esta %i#ura7 usamos 5 %erramentas de visua&izao 2$ a saber7 )&u&as Anit/rias
9representados por &osan#os de cor be#e<7 Di#a8es 9representados por &inhas azuis e
verme&has7 4ue indicam as &i#a8es com /tomos superiores e in%eriores<7 2uadrados )o&oridos
9representados pe&as cores cinza7 amare&o e azu& c&aro7 4ue indicam o nBmero de &i#a8es 4ue
so 57 ! ou 2< e )ontorno de ntomos Otimizados em Fe&a de "rame 9)ontorno de cor
preta<. 3ste tipo de visua&izao permite determinar o Cn#u&o 4ue %ormam os /tomos nos
cantos vivos 9vrtices conve+os<. )omo podemos ver7 esse Cn#u&o 94ue pode ser obtido
diretamente da %i#ura< de 15!71!, e corresponde ao Cn#u&o de cruzamento dos p&anos
9!11<.
.i#. 5.5. Rista de cima da primeira camada de /tomos da .i#. 5.!
a
7 mostrando o Cn#u&o 4ue
%ormam os /tomos sob os cantos vivos 9vrtices conve+os< uma i&ha 4uadrada.
"na&ises como as descritas anteriormente %oram %eitas para diversas casos7 ap6s
di%erente nBmero de itera8es e no %az sentido descrever cada uma de&as a4ui. Am resumo
Q2
deta&hado das diversas #eometrias testadas pode ser visto nas se4\[ncias do "ne+o >>7 onde
mostrado7 para di%erente nBmero de itera8es7 o resu&tado da simu&ao 9por "ut@mato
)e&u&ar )onvenciona&< da corroso do Si atravs de mascaras 9aberturas e i&has< com
di%erentes #eometrias. 3sses resu&tados demonstram 4ue o simu&ador permite traba&har com
#eometrias arbitrarias7 inc&usive com contornos curvos e aninhadas umas dentro das outras. "
se#uir7 veremos a&#uns e+emp&os esco&hidos por permitirem ava&iar o desempenho e
potencia&idades do simu&ador desenvo&vido.
$.1. Sim&la(o de Microfa8rica(o de &m Cantile-er
)anti&evers so estruturas 4ue podem ser usadas na %abricao de diversos dispositivos
sensores e atuadores. )onse4\entemente7 %izemos as simu&a8es da corroso de um canti&ever
no %ormato F7 cu-os resu&tados esto mostrados na .i#. 5.J7 onde podemos ver 5 ima#ens
i&ustrando o resu&tado da simu&ao da corroso por aut@mato convenciona& ap6s 5G7 OG7 12G e
1PG itera8es.
A7A ABA
1A 1CA
.i#. 5.J. Simu&ao da corroso de um canti&ever F em 5G7 OG7 12G e 1PG itera8es. (ote
4ue a corroso rea&izada pe&a %rente e pe&as costas da &Cmina7 simu&taneamente.
Q!
(a .i#. 5.J podemos ver 4ue o pro#rama de simu&ao permite simu&ar a corroso
simu&tCnea pe&a %rente e pe&as costas do substrato. "ssim7 nas simu&a8es com 5G e OG
itera8es7 as corros8es avanando pe&a %rente e pe&as costas da &Cmina de Si ainda no se
encontraram. k/ com 12G itera8es podemos ver c&aramente como a corroso atravessa todo o
substrato. Am7 aspecto interessante da corroso na .i#. 5.J a %ormao de uma ponteira na
e+tremidade do canti&ever. 3sta ponteira resu&tado da mascara uti&izada nas costas da &Cmina
9uma i&ha 4uadrada aninhada dentro de uma abertura 4uadrada<. (ote os deta&hes estruturais
na ponteira7 na base do canti&ever e nas re#i8es onde se encontram as corros8es pe&a %rente e
pe&as costas da &Cmina. Ama comparao entre a simu&ao da .i#. 5.J e resu&tados
e+perimentais obtidos uti&izando :O; como so&uo corrosiva7 mostrada na .i#. 5.P7 onde
podemos ver a e+ce&ente concordCncia entre a previso da simu&ao os resu&tados obtidos no
&aborat6rio.
a $
c d
.i#. 5.P. )omparao entre resu&tados simu&ados e e+perimentais obtidos uti&izando :O; como
so&uo corrosiva. 9a e b< vista %ronta& e 9c e d< vista posterior 9pe&as costas da &Cmina de Si<.
Q5
$.2. Sim&la(o de Microfa8rica(o de Micro"ontas de Sil#cio
'icropontas de Si so estruturas bastante interessantes7 4ue podem ser %abricadas
uti&izando apenas a corroso anisotr6pica do Si V!!7!5W. "ssim7 nesta seo uti&izaremos nosso
simu&ador para descrever em deta&he a sua %abricao. "&m disso7 como at a4ui %a&amos
apenas dos resu&tados re&ativos ao simu&ador baseado no "ut@mato )e&u&ar )onvenciona&7
uti&izaremos a %abricao destas estruturas para descrever os resu&tados obtidos uti&izando os
mode&os de "ut@mato )e&u&ar 3stoc/stico e )ontinuo.
$.2.1. Sim&lando a Corroso das Micro Pontas "or A&t'mato Con-encional
(a .i#. 5. vemos 5 est/#ios da simu&ao da corroso de si&cio para obter uma
microponta de si&cio7 ap6s !J7 G7 1GJ e 15G itera8es.
59 DA
1A9 17A
.i#. 5.. Simu&ao da %ormao de uma microponta de Si atravs de "ut@mato
)onvenciona&. >ncio do processo_ !J itera8es; $esaparecimento das paredes verticais_ G
itera8es; .ormao da base da ponta_ 1GJ itera8es; .ormao comp&eta da ponta_ 15G
itera8es.
QJ
)omo podemos ver7 a microponta se %orma a partir do underNetch 4ue ocorre ao se
traba&har com 5 aberturas 4uadradas com &ados inc&inados 5J
o
com re&ao U borda da &Cmina
9%ormato de &osan#o<. (um primeiro momento 9!J itera8es< observaNse o aparecimento de
paredes verticais 9%ormadas por p&anos g1GGh< e a %ormao de uma estrutura piramida& no
centro da &Cmina7 na re#io entre os 5 &osan#os. )om G itera8es7 vemos 4ue as paredes
verticais desaparecem e e uma pirCmide iso&ada -/ pode ser vista c&aramente. $epois de 1GJ
itera8es no aut@mato7 a pro%undidade de toda a cavidade por bai+o do materia& de
mascaramento aumenta ainda mais7 e a mor%o&o#ia da ponta se apro+ima de seu %ormato %ina&
"ssim7 podemos ver 4ue a microponta possui um base 4uadrada com parede inc&inada com
re&ao U horizonta& e uma re#io superior com o %ormato de uma pirCmide de O &ados. $epois
de 15G itera8es7 a microponta est/ tota&mente %ormada7 com apenas 1 /tomos na sua
e+tremidade e tota&mente desco&ada do materia& de mascaramento. Se avanarmos mais na
simu&ao7 ou se-a7 para um nBmero maior de itera8es7 a ponta continua a ser corroda at
desaparecer tota&mente.
(a .i#. 5.O7 temos a comparao da corroso de si&cio com a simu&ao7 no est/#io
inicia& de %ormao das micropontas7 do aparecimento das paredes verticais at o seu
desaparecimento e %ormao da base da ponta. (a .i#. 5.Oa vemos 4ue o aparecimento das
paredes verticais 9p&anos g1GGh< previsto em poucas itera8es 91G apenas< do aut@mato7 o
4ue corresponde a 5 minutos de corroso. (as .i#. 5.Ob e 5.Oc vemos a concordCncia entre os
resu&tados e+perimenta& e simu&ado7 e 4ue as paredes verticais desaparecem ap6s 5G itera8es7
o 4ue corresponde a 5 minutos de corroso.
QP
7 Mi)u"o! -# %orro!1o 1A I"#r$0;#!
$
1C Mi)u"o! -# %orro!1o 5A I"#r$0;#!
/
A Mi)u"o! -# %orro!1o 7A I"#r$0;#!
%
.i#. 5.O. 3st/#io inicia& da %ormao da micro ponta_ a< "parecimento das paredes verticais;
b< "vano da corroso nas paredes verticais; c< $esaparecimento das paredes verticais.
(a .i#. 5.Q temos a comparao do resu&tado e+perimenta& com o simu&ado na etapa de
%ormao da base da ponta 9pirCmide<. 3mbora nas %oto#ra%ias a base da pirCmide este-a
des%ocada7 podemos ver a seme&hana entre os dois resu&tados na re#io do topo7
particu&armente na .i#. 5.Qa. $e %ato7 nas outras ima#ens a seme&hana menor mas isso no
um prob&ema da simu&ao e sim do processo de corroso em si7 -/ 4ue por 4uest8es de
a&inhamento durante os processos %oto&ito#ra%icos7 a mor%o&o#ia das micropontas costuma
apresentar de%orma8es imprevisveis. $e 4ua&4uer %orma7 tanto na .i#. 5.Qb como na .i#.
5.Qc podemos observar a %ormao de um octaedro no topo da pirCmide7 con%orme previsto
pe&a simu&ao.
Q
5 Mi)u"o! -# %orro!1o 9A I"#r$0;#!
$
B Mi)u"o! -# %orro!1o 99 I"#r$0;#!
/
5C Mi)u"o! -# %orro!1o C9 I"#r$0;#!
%
.i#. 5.Q. 3st/#io de %ormao da base da micro ponta_ a< >ncio da %ormao da base; b<
.ormao do octaedro no topo da base; c< "%inamento do octaedro no topo da base;
(a .i#. 5.1G temos a visua&izao da etapa %ina& de %ormao da micro ponta de si&cio.
(a .i#. 5.1Ga vemos o a%inamento do octaedro no topo da pirCmide e com isso7 o tronco da
ponta vai se %ormando7 at sua %orma %ina& 9.i#. 5.1Gc<.
QO
7 Mi)u"o! -# %orro!1o DA I"#r$0;#!
$
7B Mi)u"o! -# %orro!1o D9 I"#r$0;#!
/
9 Mi)u"o! -# %orro!1o BA I"#r$0;#!
%
.i#. 5.1G. 3st/#io %ina& de %ormao da micro ponta_ a< "%inamento do octaedro; b<
"vano do a%inamento do octaedro e %ormao do tronco da ponta; c< 'icro ponta
%ormada.
QQ
$.2.2. Sim&lando a Corroso das Micro Pontas "or A&t'mato Estoc4stico
Os resu&tados descritos anteriormente permitem conc&uir 4ue o simu&ador baseado no
"ut@mato )e&u&ar )onvenciona& e+tremamente vers/ti& e permite previs8es 4ue concordam
muito bem com os resu&tados e+perimentais. Porm7 e+iste a &imitao de no podermos
variar os parCmetros da simu&ao7 ou se-a7 dadas uma certa #eometria no materia& de
mascaramento7 no temos meios de a&terar o resu&tado da simu&ao7 a no ser c&aro7 4ue
mudemos as re#ras de transio 4ue #overnam o "ut@mato )e&u&ar. Por outro &ado7
"ut@mato )e&u&ar 3stoc/stico no tem essa &imitao. $e %ato7 no "ut@mato 3stoc/stico7
podemos variar a ta+a de corroso dos p&anos das %am&ias g1GGh7 g11Gh e g111h7 o 4ue
permite por e+emp&o7 a-ustar o simu&ador Us varia8es observadas da corroso com
parCmetros e+perimentais como tipo e concentrao da so&uo corrosiva7 presena de
aditivos7 temperatura e a#itao.
(o "ut@mato 3stoc/stico as ta+a de corroso no so de%inidas em va&ores abso&utos
9ou se-a7 umYmin< mas atravs da re&ao entre as ta+a dos ! p&anos mencionados
anteriormente7 4ue deve ser obtida e+perimenta&mente. "ssim7 tomando por base os va&ores
reportados por ;. Seide& et.a&. na re%er[ncia V5W7 o va&or padro uti&izado no pro#rama para a
re&ao entre as ta+a de corroso dos p&anos g11Gh_g1GGh_ g111h de 1PG_1GG_1. So os
va&ores desta re&ao os 4ue podem ser variados. "&m disso7 importante &embrar 4ue7 no
"ut@mato 3stoc/stico as re#ras de transio no de%inem se um /tomo ser/ removido ou no7
mas a probabi&idade de 4ue isso ocorra. (esse sentido7 o "ut@mato 3stoc/stico
probabi&stico e como resu&tado7 as simu&a8es %eitas uti&izando este mode&o apresentam uma
ru#osidade super%icia& caracterstica. )omo e+emp&o de tudo isto7 consideremos a .i#. 5.117
onde mostramos o resu&tado da simu&ao da %ormao da microponta de Si 9.i#. 5.<7 %eita
a#ora por "ut@mato 3stoc/stico.
1GG
5A CA
EA 1A
.i#. 5.11. Simu&ao de %ormao de uma microponta de Si uti&izando "ut@mato )e&u&ar
3stoc/stico com uma re&ao padro entre as ta+a de corroso dos p&anos g11Gh_g1GGh_
g111h i#ua& a 1PG_1GG_1. 9a< >ncio do processo_ !G itera8es; 9b< $esaparecimento das
paredes verticais_ PG itera8es; 9c< .ormao da base da ponta_ QG itera8es; 9d< .ormao
comp&eta da ponta_ 12G itera8es.
)omo podemos ver7 o "ut@mato 3stoc/stico prev[ a %ormao da microponta de Si de
%orma muito seme&hante ao "ut@mato )onvenciona&7 com o %en@meno de underNetch e o
sur#imento de paredes verticais e outras inc&inadas em J57. Porm notamNse a ru#osidade
super%icia& antes mencionada e o arredondamento das %ases &aterais com re&ao ao mode&o
anterior.
(o atua& est/#io de desenvo&vimento7 nenhum dos mode&os de "ut@mato
imp&ementado no simu&ador incorpora a depend[ncia com os parCmetros %sicoN4umicos 4ue
a%etam a corroso anisotr6pica do Si7 como a temperatura ou a concentrao da so&uo
corrosiva. "ssim7 a principa& vanta#em do "ut@mato 3stoc/stico permitir a-ustar7 pe&o
menos em parte 9atravs da re&ao entre a ta+a de corroso dos principais p&anos
crista&o#r/%icos<7 o simu&ador com os resu&tados e+perimentais. "ssim7 e em princpio7
1G1
norma&mente sero usadas pe4uenas varia8es na re&ao entre as ta+as de corroso. Porm
de interesse did/tico7 estudar a&#uns casos e+tremos 4ue7 mesmo no tendo correspondentes
e+perimentais7 permite entender o pape& da ve&ocidade de corroso de cada p&ano no car/ter
anisotr6pico da corroso. >sso %eito nos e+emp&os a se#uir.
Para comear7 consideremos um caso em 4ue invertemos a re&ao de ta+as de
corroso7 ou se-a7 a ta+a de corroso dos p&anos g111h passa a ser a mais a&ta e a dos p&anos
g11Gh passa ser a mais bai+a. >sto %eito na .i#. 5.12 para uma re&ao de ta+as entre os
p&anos g11Gh_g1GGh_g111h i#ua& a 1_ 1GG_1PG.
A 7A
CA BA
.i#. 5.12. .ormao de microponta uti&izando "ut@mato )e&u&ar 3stoc/stico com uma re&ao
de ta+as entre os p&anos g11Gh_g1GGh_g111h i#ua& a 1?1@@?1A@. 9a< 2G itera8es; 9b< 5G
itera8es; 9c< PG itera8es e 9d< OG itera8es.
)omo podemos ver7 a mudana na re&ao entre as ta+as de corroso mudou
drasticamente em re&ao ao aut@mato convenciona& a evo&uo mor%o&6#ica da cavidade
corroda7 de %orma 4ue praticamente no observamos a %ormao de uma ponta de Si. >sto
acontece por4ue7 como a ta+a de corroso dos p&anos g11Gh a mais bai+a7 as paredes
verticais por bai+o do materia& de mascaramento demoram a ser corrodas e7 como a ta+a de
1G2
corroso dos p&anos g111h a mais a&ta7 as paredes inc&inadas J57 so corrodas
rapidamente. "ssim7 a microponta de Si no che#a a se %ormar7 ou me&hor7 se %orma mas tem
vida curta. $e %ato7 a .i#. 5.12 mostra 4ue7 ap6s 5G iterao ainda no temos uma pirCmide
iso&ada no centro da cavidade e 4ue ap6s PG iterao7 e&a -/ praticamente desapareceu.
Outro caso interessante 4uando invertemos as ta+a de corroso dos p&anos g111h e
g1GGh7 ou se-a7 4uando consideramos a ta+a de corroso dos p&anos g1GGh como sendo a mais
bai+a e a dos p&anos g111h como sendo amais a&ta. O resu&tado da simu&ao das micropontas
de Si nessas condi8es mostrado na .i#. 5.1!7 onde a re&ao de ta+as entre os p&anos g11Gh_
g1GGh_g111h %oi i#ua& a 1PG_1_1GG.
A I"#r$0;#! 7A I"#r$0;#!
CA I"#r$0;#! BA I"#r$0;#!
.i#. 5.1!. .ormao de microponta uti&izando "ut@mato )e&u&ar 3stoc/stico com uma re&ao
de ta+as entre os p&anos g11Gh_g1GGh_g111h i#ua& a 1A@?1?1@@. 9a< 2G itera8es; 9b< 5G
itera8es; 9c< PG itera8es e 9d< OG itera8es.
)omo podemos ver7 neste caso e+iste uma demora7 em re&ao ao aut@mato
convenciona&7 no apro%undamento da super%cie superior da &Cmina 94ue est/ num p&ano
g1GGh. >sto ocorre por4ue a ta+a de corroso dos p&anos g1GGh a mais bai+a. Por outro &ado7
os p&anos g111h so corrodos muito rapidamente e conse4\entemente7 praticamente no
1G!
observamos as paredes inc&inadas J57o 9correspondentes aos p&anos g111h<. "&m disso7
como o "ut@mato 3stoc/stico um mode&o probabi&stico7 a cada iterao e+iste uma certa
possibi&idade 9%avor/ve& e pe4uena< de 4ue os /tomos num certo p&anos se-am corrodos.
'esmo 4ue o p&ano em 4uesto tenha a menor ta+a de corroso7 como ocorre com os p&anos
g1GGh da .i#. 5.1P. Por e+emp&o7 se e+istem 1GGG /tomos nesse p&ano7 pode ocorrer 4ue pe&o
menos 1G /tomos tenham uma chance maior de ser corrodos. Pois so esses poucos /tomos
corrodos os 4ue aparecem como se %ossem pontinhos na .i#. 5.1!. (ote 4ue os /tomos
vizinhos desses pontos7 numa pr6+ima iterao do aut@mato7 estaro em outro p&ano7 4ue
possui ta+a de corroso maior7 dando ori#em a um %en@meno seme&hante U per%urao da
super%cie. "ssim7 poucos /tomos corrodos numa certa camada7 podem &evar a uma corroso
em maior esca&a 9envo&vendo um nBmero maior de /tomos< nas pr6+imas itera8es. Por
B&timo7 tambm podemos notar 4ue7 assim como no caso anterior7 ponta 4ue se %orma
re&ativamente pe4uena e desaparece rapidamente. >sso ocorre por4ue7 mesmo 4ue como a ta+a
de corroso dos p&anos g111h no se-a a maior7 e&a ainda re&ativamente a&ta.
O B&timo e+emp&o de interesse 4ue vamos considerar a4ui 4uando invertemos as ta+a
de corroso dos p&anos g1GGh e g11Gh7 ou se-a7 4uando consideramos a ta+a de corroso dos
p&anos g1GGh como sendo mais a&ta 4ue a dos p&anos g11Gh. O resu&tado mostrado na .i#.
5.157 onde a re&ao de ta+as entre os p&anos g11Gh_g1GGh_g111h %oi i#ua& a 1GG_ 1PG_1. (ote
4ue neste e+emp&o7 a ta+a de corroso dos p&anos g111h vo&ta a ser considerave&mente mais
bai+a 4ue a dos p&anos g1GGh e g11Gh.
)omo podemos ver nesse caso7 a maior ta+a de corroso dos p&anos g1GGh a%eta
pro%undamente a mor%o&o#ia da microponta 9base e tronco<. $e %ato7 podemos perceber 4ue
neste caso temos a cavidade mais pro%unda7 o 4ue acontece por4ue a super%cie e+posta no
incio U corroso um p&ano 91GG< e portanto7 corrida rapidamente para dentro do substrato.
3sse e%eito to intenso7 4ue as bases das paredes verticais no desaparecem tota&mente7
resu&tando uma re#io &evantada 4ue une a pirCmide centra& 9e microponta no %ina&< Us bordas
da cavidade. Por B&timo7 como neste caso a ta+a de corroso dos p&anos g111h vo&ta a ser
muito mais bai+a 4ue a das outras %am&ias de p&anos7 vo&tamos a ver a %ormao das pareces
inc&inadas J57
o
9%ormadas por p&anos g1GGh<7 embora com contornos arredondados e uma
certa ru#osidade.
1G5
A I"#r$0;#! 7A I"#r$0;#!
CA I"#r$0;#! BA I"#r$0;#!
1AA I"#r$0;#! 1A I"#r$0;#!
.i#. 5.15. .ormao de microponta uti&izando "ut@mato )e&u&ar 3stoc/stico com uma re&ao
de ta+as entre os p&anos g11Gh_g1GGh_g111h i#ua& a 1@@?1A@?1. 9a< 2G itera8es; 9b< 5G
itera8es; 9c< PG itera8es7 9d< OG itera8es7 9e< 1GG itera8es e 9%< 12G itera8es.
1GJ
$.2.). Sim&lando a Corroso das Micro Pontas "or A&t'mato Cont#n&o
)omparado ao "ut@mato 3stoc/stico7 o "ut@mato )e&u&ar )ontinuo permite um
contro&e ainda maior sobre as condi8es em 4ue os /tomos so removidos. >sso7 por4ue como
vimos na seo 2.J.27 este mode&o permite manipu&ar a ta+a de corroso no dos p&anos7 mas
sim dos /tomos diretamente7 dependendo de cada um dos PQ di%erentes arran-os at@micos 4ue
pode assumir a vizinhana em torno de cada /tomo 9considerando at os 2
os
vizinhos<.
)omo %orma de demonstrar o uso e potencia&idades do simu&ador da corroso baseado
no "ut@mato )e&u&ar )ontnuo7 consideremos o e+emp&o da %ormao das micropontas de Si.
Primeiramente7 ana&isamos a simu&ao da corroso 9no aut@mato convenciona&< e
identi%icamos as con%i#ura8es at@micas de todos os /tomos e+istentes em sua super%cie. >sto
nos permite reduzir o nBmero de re#ras 4ue teremos 4ue variar no "ut@mato )ontinuo. >sto
por4ue7 no h/ necessidade de modi%icar as re#ras para condi8es de vizinhana at@mica 4ue
no e+istem na ponta. Ou se-a7 se vari/ssemos as ta+a de corroso para essas re#ras7 isso no
teria e%eito na simu&ao da corroso das pontas.
" partir dessa primeira ana&ise7 identi%icamos pe&o menos P re#ras 9dentre as PQ
possveis< 4ue podem a&terar o resu&tado da corroso de maneira si#ni%icativa. " primeira
re#ra7 4ue chamaremos de 157 representa a condio onde7 o /tomo considerado possui
apenas 1 &i#ao e esta com um /tomo 4ue possui 5 vizinhos. " se#unda re#ra7 4ue
chamaremos de 2!57 representa um /tomo com 2 &i#a8es das 4uais7 uma com um /tomo
de ! &i#a8es e a outra com um /tomo de 5 &i#a8es. " terceira re#ra7 2557 corresponde a
um /tomo com 2 &i#a8es7 as duas com /tomos 4ue possuem 5 &i#a8es. (ote 4ue essa re#ra
e4uiva&e U re#ra do aut@mato convenciona& 4ue diz 4ue7 se um /tomo tiver 2 &i#a8es com o
substrato ento ser/ removido 9isso ocorre para os /tomos nos p&anos g1GGh<. " 4uarta re#ra
!!!57 corresponde a um /tomo com ! &i#a8es das 4uais7 duas so com /tomos de !
&i#a8es e uma com um /tomo de 5 &i#a8es. " 4uinta re#ra7 !!557 corresponde a um
/tomo com ! &i#a8es das 4uais7 uma &i#ao com um /tomo de ! &i#a8es e duas so com
/tomos de 5 &i#a8es. 3 por B&timo7 a P
a
re#ra7 !5557 corresponde a um /tomo com 5
&i#a8es das 4uais as tr[s so com /tomos de 5 &i#a8es. (ote 4ue7 esta re#ra e4uiva&e U re#ra
do aut@mato convenciona& 4ue diz 4ue7 se o /tomo estiver com ! &i#a8es das 4uais todas so
com /tomos de substrato7 ento o /tomo ser/ mantido 9isso ocorre para /tomos nos p&anos
g111h<. O con-unto dessas re#ras pode ser visua&izado na .i#. 5.1J.
1GP
R#6r$ 17 R#6r$ 57 R#6r$ 77
R#6r$ 5557 R#6r$ 5577 R#6r$ 5777
.i#. 5.1J. Risua&izando as P re#ras 4ue a&teram si#ni%icativamente o resu&tado da simu&ao. "
identi%icao das re#ras %oi baseada na simu&ao %eita com o "ut@mato )onvenciona&.
(a .i#. 5.1J7 os crcu&os verme&hos nos cubos verdes e azuis indicam /tomos 4ue
satis%azem a re#ra 15 e 2!5 respectivamente. k/ os /tomos 4ue se encontram nas
condi8es e+pressa pe&as re#ras 2557 !!!57 !!55 e !555 so indicadas pe&as re#i8es
co&oridas.
>denti%icadas as re#ras 4ue t[m e%eito sobre a mor%o&o#ia das micropontas 9se#undo a
simu&ao %eita com o "ut@mato )onvenciona&< rea&izamos uma srie de simu&a8es
uti&izando o "ut@mato )ontnuo mas7 consideramos apenas essas P re#ras descritas
anteriormente. Para obter essas simu&a8es7 modi%icamos cada uma dessas re#ras uma por
uma7 com um va&or mnimo 9i#ua& a zero< e com um va&or m/+imo dup&icado em re&ao as
outras ta+as 9va&or i#ua& a 2GG<. "ssim7 temos num tota& de 12 simu&a8es 4ue sero
e+p&icadas brevemente a se#uir.
(a .i#. 5.1P temos as simu&a8es com pe&o menos uma re#ra modi%icada 9das P re#ras
si#ni%icativas< e a-ustada no va&or m/+imo 9i#ua& a 2GG<. )omo podemos ver7 a mor%o&o#ia
das pontas so pro%undamente a&teradas mesmo 4uando se muda apenas uma re#ra 9a-ustada
com o va&or m/+imo<. (a simu&ao com a re#ra 15 modi%icada7 percebemos 4ue o per%i&
%ina& da ponta no se a&tera7 pois durante a simu&ao7 /tomos nessa condio no so
encontrados7 somente na %ormao %ina& da ponta. Por outro &ado7 com a re#ra 2!5 o tronco
da ponta se asseme&ha a um corpo ci&ndrico. )om a re#ra 255 a super%cie da base da
1G
cavidade 94ue nos outros casos era sempre um p&ano g1GGh< pro%undamente a&terada. >sso
a%eta tambm a %orma #era& da ponta7 4ue passa a ter uma base muito &ar#a. )om a re#ra
!!!57 a ponta ad4uire a %orma de um cone7 com a base muito bai+a e &evemente circu&ar.
)om a re#ra !!557 tem um e%eito enorme sobre a mor%o&o#ia da ponta7 4ue ad4uire a %orma
de um #rande ci&indro. 3sse e%eito to intenso 4ue tambm modi%icada a base da cavidade7
principa&mente nas pro+imidades da ponta. Por B&timo7 a re#ra !5557 a ponta tambm
ad4uire uma %orma ci&ndrica7 mas com o avano da corroso7 a ponta decresce em a&tura e
tende a desaparecer.
R#6r$ 17 R#6r$ 57
R#6r$ 77 R#6r$ 5557
R#6r$ 5577 R#6r$ 5777
.i#. 5.1P. "na&ise da %ormao das micropontas de Si7 uti&izando o "ut@mato )e&u&ar )ontnuo7
em simu&a8es onde as re#ras indicadas %oram a-ustadas num va&or m/+imo i#ua& a 2GG.
1GO
(a .i#. 5.1 temos as simu&a8es com pe&o menos uma re#ra modi%icada 9das P re#ras
si#ni%icativas< e a-ustada a#ora no va&or mnimo 9i#ua& a G<. )omo podemos ver7 com a re#ra
15 novamente no modi%ica a estrutura da ponta. )om a re#ra 2!5 o tronco da ponta %ica
novamente ci&ndrico7 porm mais #rosso7 e sua e+tremidade %ica pontia#uda. Por outro &ado e
como era de se esperar7 ao a-ustar a re#ra 255 com o va&or mnimo i#ua& a zero7 no
obtemos nenhuma corroso. >sso era esperado7 pois a re#ra 255 envo&ve /tomos em p&anos
g1GGh7 4ue o caso dos /tomos super%cie da &Cmina de Si. )om a re#ra !!!5 a base da
ponta %icou mais arredondada 9na verdade um oct/#ono<7 e a praticamente no observamos
uma re#io superior7 com a ponta %ormando uma una estrutura piramida&. )om a re#ra
!!55 a base da ponta %ica muito maior e a base da cavidade mais pro%unda. Por B&timo7 com
a re#ra !5557 o per%i& da ponta no a&terado7 ou se-a7 o mesmo obtido com a re#ra 15
e com o "ut@mato )onvenciona&.
R#6r$ 17 R#6r$ 57
R#6r$ 77 R#6r$ 5557
R#6r$ 5577 R#6r$ 5777
.i#. 5.1. "na&ise da %ormao das micropontas de Si7 uti&izando o "ut@mato )e&u&ar )ontnuo7
em simu&a8es onde as re#ras indicadas %oram a-ustadas num va&or mnimo i#ua& a G.
1GQ
)om base nessas simu&a8es7 conc&umos 4ue a re#ra 2!5 a&tera as 4uinas e o tronco
das pontas7 a re#ra 255 a&tera a corroso da super%cie superior e as paredes verticais nos
p&anos g1GGh. " re#ra !!55 a&tera o per%i& da base das pontas e dos p&anos inc&inados J57o.
" re#ra !555 a&tera a %ormao das parede inc&inadas J57o.
" simu&ao da corroso para produzir micropontas de Si uti&izando os tr[s mode&os de
aut@mato desenvo&vidos neste traba&ho7 permitem conc&uir 4ue o aspecto #era& das
micropontas simu&adas concorda bastante bem com o resu&tado e+perimenta&. >sto pode ser
visto na .i#. 5.1O7 onde mostrada uma microponta de Si 9%abricada em :O;< con%orme %oi
vista no 'icrosc6pio 3&etr@nico de Rarredura. "pesar disso7 nos deta&hes a concordCncia no
tota&7 principa&mente na base. 3%etivamente7 en4uanto a base da ponta rea& menor e tem
%ormato de estre&a de 5 pontas7 a ponta obtida no "ut@mato )onvenciona& maior e tem a
%orma de uma pirCmide de base 4uadrada. k/ a base da ponta simu&ada no "ut@mato
3stoc/stico tem um %ormato mais parecido7 mas di%ere por apresentar uma ru#osidade na sua
super%cie. Por B&timo7 o "ut@mato )ontnuo com a re#ra !!!5 a&terada para o va&or
m/+imo7 apresenta uma base menor7 mas o seu aspecto #era& arredondado.
Res#ltado E?peri'ental A#t/'ato 2on"encional 67;+ itera@es5
A#t/'ato EstocAstico 67*9 itera@es5 A#t/'ato 2ont%n#o 6*,+ itera@es5
.i#. 5.1O. Kesumo comparativo entre uma microponta rea& 9%abricada por corroso em :O;< e as
pontas simu&adas com "ut@mato )onvenciona&7 "ut@mato 3stoc/stico 9usando as ta+as padr8es<
e com "ut@mato )ontnuo 9com a re#ra !!!5 a&terada para o va&or m/+imo<.
11G
i importante destacar 4ue as discrepCncias observadas nas compara8es da .i#. 5.1O
no comprometem a va&idade das simu&a8es. $e %ato7 a pr6pria mor%o&o#ia %ina& das
micropontas %abricadas nem sempre a mesma7 e varia de um processo corrosivo para outro.
Por e+emp&o7 nem sempre a base da microponta to pe4uena e Us vezes tambm se apresenta
arredondada. Am dos %atores respons/veis por essa variao o a&inhamento das #eometrias
nas mascaras7 o 4ue pode ser simu&ado com o pr6prio pro#rama desenvo&vido a4ui. (o
momento isso est/ ainda sendo estudado7 mas resu&tados pre&iminares mostram 4ue
e%etivamente7 o desa&inhamento pode ser o respons/ve& pe&a base com %ormato de estre&a de 5
pontas. >sso pode ser visto na simu&ao da .i#. 5.1Q7 onde o con-unto de 5 &osan#os est/
desa&inhado em O
o
com re&ao U borda da &Cmina. (ote 4ue embora na vista em perspectiva
9.i#. 5.1Qa< a de%ormao da base no se-a evidente7 na vista superior 9.i#. 5.1Qb< podemos
ver c&aramente uma estre&a de 5 pontas no contorno da base.
a b
.i#. 5.1Q. Simu&ao 9por "ut@mato )onvenciona&< para #erar uma microponta de Si onde o
con-unto de &osan#os %oi proposita&mente rotacionado em O
o
com re&ao U borda da &Cmina. "
ima#em em 9b< mostra 4ue essa a&terao %az aparecer a estre&a de 5 pontas no contorno da
base.
O e+emp&o acima mostra como o simu&ador a4ui desenvo&vido pode ser uti&izado no
estudo e ana&ise dos resu&tados e+perimentais. (esse mesmo esprito na .i#. 5.2G mostramos
um B&timo e+emp&o envo&vendo micropontas de Si7 a#ora num arran-o mais comp&e+o para
#erar uma matriz de J micro pontas. 3ssa simu&ao %oi %eita uti&izando o "ut@mato
)onvenciona& e na ima#em7 o materia& de mascaramento %oi removido para %aci&itar a
111
visua&izao das micropontas. " ima#em das micropontas reais %oi obtida num microsc6pio
6ptico convenciona&.
a

b

.i#. 5.2G. )omparao com o resu&tado e+perimenta&7 da simu&ao da corroso para
%abricao de uma matriz de J micropontas si&cio. 9a< per%i& simu&ado; 9b< resu&tado
e+perimenta&. " simu&ao %oi %eito com o "ut@mato )onvenciona&.
$.). Sim&la(o de Corroso de &ma Estr&t&ra 9Ba/on BCeel:
" %orma mais comp&eta de se observar a corroso para di%erentes Cn#u&os atravs da
estrutura conhecida como Ea#on Ehee&. 3sta estrutura constituda por uma srie de
cavidades com %ormato de setores an#u&ares7 dispostos periodicamente num arran-o circu&ar
ou semicircu&ar. "ssim7 ao se corroer o substrato atravs dessas aberturas7 podemos observar
a corroso nas di%erentes dire8es. >sso permite determinar a ta+a de corroso em cada direo
e tambm estudar7 por e+emp&o7 a inc&inao e mor%o&o#ia dos p&anos 4ue %ormam as paredes
&aterais da cavidade em cada uma dessas dire8es. Am e+emp&o disto mostrado na .i#. 5.217
112
onde setores circu&ares de J
o
dispostos a cada J
o
7 permitem observar a corroso para os
Cn#u&os variando de J
o
a OJ
o
.
+ iterao *+ itera@es
:+ itera@es ;+ itera@es
;+ itera@es
.i#. 5.21. Simu&ao da corroso do Si 9por "ut@mato )onvenciona&< atravs de uma
#eometria de tipo Ea#on Ehee& 9na verdade7 um 4uarto da estrutura comp&eta de !PG
o
<. (a
simu&ao os setores circu&ares so de J
o
e esto dispostos a cada J
o
.
11!
(a .i#. 5.217 o avano da corroso por bai+o do materia& de mascaramento permite
identi%icar as dire8es nas 4uais a ta+a de corroso mais a&ta. $e %ato7 vemos 4ue a maior
ta+a de corroso ocorre para um Cn#u&o de apro+imadamente !G
o
. "&m disso7 tambm
podemos ver a inc&inao das paredes das cavidades. Por e+emp&o7 vemos 4ue para 5J
o
as
paredes so verticais.
Para se obter um dia#rama mais deta&hado7 necess/rio %azer a simu&ao com um
passo an#u&ar menor do 4ue J
o
. "ssim7 %izemos a simu&ao de uma estrutura Ea#on Ehee&
com passo i#ua& a 1
o
e o resu&tado mostrado na .i#. 5.227 onde para comparao tambm
mostramos um resu&tado e+perimenta& e+trado do traba&ho de ;. Seide& V5W.
a b
.i#. 5.22. )omparao entre os resu&tados 9a< 3+perimenta& e 9b< Simu&ado com o "ut@mato
)onvenciona&7 para a 2J itera8es e uti&izando um passo de 1
o
na #eometria Ea#on
Ehee&.
O resu&tado mostrado na .i#. 5.22b %oi obtido a partir de um con-unto de simu&a8es
rea&izado desde J a JG itera8es7 a interva&os de J itera8es 9&embre 4ue cada iterao
corresponde U remoo de 1 camada at@mica<. $entre e&as7 a simu&ao para 2J itera8es a
mostrada na .i#. 5.22. Por 4uest8es de simetria7 no %oi necess/rio uti&izar uma Ea#on
Ehee& comp&eta 9com os !PG
o
<7 e na verdade7 a %i#ura %oi montada a partir da simu&ao de
apenas 1 4uadrante 9o superior direito<. >sso %oi necess/rio pois para se obter a a&ta reso&uo
re4uerida por este tipo de #eometria7 devemos uti&izar substratos com um nBmero
115
e+tremamente #rande de /tomos7 o 4ue e+i#em muito em termos computacionais. $e %ato7
para obter o resu&tado da .i#. 5.22 %oi uti&izado um substrato de si&cio de 5GG1+5GG1+1GG
c&u&as do aut@mato 9s6 para o 4uadrante superior direito t<. )om esse tamanho7 cada uma das
etapas de simu&ao 9obtidas a cada J itera8es< &evou certa de 12 horas de processamento.
Porm7 importante destacar 4ue esse tempo consumido principa&mente pe&as rotinas de
deteco de contornos7 uti&izadas para #erar a sada #r/%ica da simu&ao e no pe&o
"ut@mato em si. 3%etivamente7 o a&#oritmo 4ue testa a remoo dos /tomos no consumiu
mais do 4ue a&#umas dezenas de minutos para cada etapa de simu&ao.
.eitas essas considera8es7 necess/rio destacar a e+ce&ente concordCncia entre o
resu&tado e+perimenta& e o simu&ado. Am aspecto 4ue deve ser mencionado 4ue a ima#em
mostrada na .i#. 5.22b corresponde U vista de cima de uma estrutura tridimensiona&7 onde a
parte c&ara representa a super%cie da &Cmina de Si e a parte mais escura corresponde ao %undo
da cavidade. (ote 4ue esse %undo de%ine uma re#io centra& com a %orma de uma %&or de 5
pta&as pontia#udas7 e se estende ao &on#o dos raios da Ea#on Ehee& at sua re#io mais
e+terna. 3+iste porm7 uma re#io mais escura7 cu-o contorno mais e+terno apresenta o per%i&
de uma %&or de 5 pta&as bi%urcadas. 3ssa re#io %ormada por paredes de Si em %ormato de
cunha7 4ue se ori#inam do underNetch atravs do materia& de mascaramento e possuem
uma a&tura 4ue cresce desde a base 9mais escura< at a super%cie da &Cmina 9mais c&ara<. >sto
pode ser me&hor visua&izado na .i#. 5.21 para o caso de 5G itera8es. )onc&uindo7 o per%i& da
%&or de 5 pta&as bi%urcadas o 4ue devemos comparar com o resu&tado e+perimenta&. Para
me&hor visua&izao desse per%i&7 repetimos na .i#. 5.2! o resu&tado amp&iado da .i#. 5.22b7
onde ademais introduzimos marcas para destacar per%i&.
11J
.i#. 5.2!. Simu&ao da corroso atravs de mascara com #eometria Ea#onNEhee& em passos
de 1
]
. " ima#em %oi montada a partir da simu&ao7 com o "ut@mato )onvenciona&7 do 4uadrante
superior direito da %i#ura7 4ue %oi simu&ado com uma matriz de 5GG1+5GG1+1GG c&u&as do
aut@mato. 3sse tipo de simu&ao demora em mdia 12 horas para ser rea&izada7
consumindo apro+imadamente 27 ?, de mem6ria numa m/4uina >nte& 2uad $uo de 275
?;z e 5?, de mem6ria K"'. (a %i#ura destacamos o contorno caracterstico observado neste
tipo de estruturas.
$.$. Sim&la(o de Corroso de &ma Esfera de Sil#cio
Os resu&tados apresentados anteriormente permitiram testar o simu&ador em diversas
situa8es7 com #eometrias comp&e+as e envo&vendo um #rade nBmero de /tomos. "pesar
disso7 se trata de e+emp&os convencionais de ap&icao7 no sentido de 4ue envo&vem b&ocos
at@micos de bordas para&e&as7 Bteis para simu&ar os processos mais comuns envo&vendo
substrato recordados de &Cminas de Si&cio. Porm7 o simu&ador desenvo&vido a4ui permite
11P
traba&har com substratos de %ormato di%erente7 particu&armente7 com b&ocos es%ricos de Si.
Para e+emp&i%icar a simu&ao da corroso de es%eras de Si7 na .i#. 5.25 mostramos o
resu&tado para uma es%era inscrita dentro de um cubo de JGG+JGG+JGG c&u&as. " simu&ao
%oi %eita por "ut@mato )onvenciona&7 de 2G em 2G itera8es 9ou se-a7 com etapas de
simu&ao a cada 2G camadas at@micas removidas< at 1GG itera8es.
.i#. 5.25. Simu&ao da corroso de uma es%era de Si. " simu&ao %oi %eita uti&izando uma
matriz de JGG+JGG+JGG c&u&as e a se4\[ncia de %i#uras mostra a evo&uo mor%o&6#ica da es%era
inicia& ap6s 2G7 5G7 PG7 OG e 1GG camadas at@micas serem removidas.
)omo podemos ver7 uma es%era de si&cio uma estrutura interessante para se %azer
simu&ao pois7 di%erentemente do 4ue acontece no caso da #eometria Ea#on Ehee&7
permite uma visua&izao direta7 em ! dimens8es7 da anisotropia da corroso7 ou se-a7 do
e%eito das di%erentes ta+as de corroso para cada direo di%erente. Por esse motivo7 v/rios
#rupos V!J7!PW

t[m usado es%eras po&idas para estudar a corroso anisotr6pica do Si7 num
processo 4ue do ponto de vista e+perimenta& bastante comp&e+o7 tanto na produo e
manipu&ao das es%eras como na caracterizao e medida das ta+a de corroso. "ssim sendo7
a possibi&idade de simu&ar este tipo de corroso #anha uma importCncia ainda maior.
(o simu&ador a4ui desenvo&vido o vo&ume es%rico obtido por uma rotina interna a
11
partir de uma matriz cBbica de%inida da mesma %orma padro como so de%inidos os
substratos convencionais. Ou se-a7 deveNse apenas tomar o cuidado de inc&uir i#ua& nBmero de
c&u&as nas ! dire8es +7 e e z. (ote 4ue neste caso7 tambm no necess/rio uti&izar
uma #eometria no materia& de mascaramento por4ue o pr6prio materia& de mascaramento no
uti&izado.
O aspecto mais evidente dos resu&tados mostrados na .i#. 5.25 a possibi&idade de se
apreciar a corroso anisotr6pica em toda sua comp&e+idade espacia&7 com a es%era ori#ina&
sendo substituda por um s6&ido %acetado onde as %aces so determinadas pe&os p&anos
corrodos mais rapidamente e os vrtices %ornecem as dire8es em 4ue a corroso mais
&enta. >sso pode ser me&hor apreciado na .i#. 5.2J7 onde tomando como base a simu&ao ap6s
5G itera8es7 marcamos as ! principais dire8es crista&o#r/%icos.
Rista superior Rista perspectiva
.i#. 5.2J. Rista superior e em perspectiva da mor%o&o#ia da es%era de Si 5G camadas at@micas
serem removidas. So indicadas as respectivas orienta8es crista&o#r/%icas. (ote como os
p&anos g11Gh 9com maior ta+a de corroso< do ori#em a %aces e os p&anos g111h 9com menor
ta+a de corroso< do ori#em aos vrtices.
Por B&timo7 uma comparao entre estas simu&ao e resu&tados e+perimentais obtidos
por P.k. ;esleth et. a&. na re%er[ncia V!JW7 uti&izando :O; 9concentrao de 5G^7 J
o
) por
1J horas< mostrada na .i#. 5.2P.
11O
.i#. 5.2P. )omparao entre a mor%o&o#ia da es%era de Si obtida por simu&ao ap6s 5G camadas
at@micas serem removidas7 e resu&tados e+perimentais obtido em :O; 95G^7 J
o
)7 1J horas< e
reportados P.k. ;esleth et. a&. na re%er[ncia V!JW.
(ote como7 embora as ima#ens mostrem di%erente Cn#u&os de visua&izao7 a
concordCncia entre os resu&tados e+perimentais e as simu&a8es e+ce&ente. 3%etivamente7 a
marcao indicativa das ! principais dire8es crista&o#r/%icos permite observar c&aramente7
4ue ao redor das dire8es V111W temos P %acetas trian#u&ares e ao redor das dire8es V1GGW
temos apenas 5. (esta %i#ura ainda7 podemos ver mais c&aramente o pape& dos p&anos de
menor ta+a de corroso na %ormao das %aces da estrutura %ina&.
11Q
9. CONCLUSFES
"presentadas as caractersticas do simu&ador7 sua operao7 desempenho e principais
resu&tados na simu&ao de diversas estruturas7 podemos %azer a&#umas considera8es %inais.
,asicamente7 %oi desenvo&vido 9em &in#ua#em )==< um so%t0are baseado em
"ut@mato )e&u&ar para %azer a simu&ao atomstica da corroso anisotr6pica do si&cio.
3mbora no tenha sido desenvo&vido para nenhuma so&uo corrosiva em particu&ar7 %oram
&evadas em conta as caractersticas #eomtricas de corroso em so&u8es a&ca&inas7
particu&armente em :O;.
3m termos de so%t0are7 o simu&ador %oi imp&ementado numa inter%ace #r/%ica 4ue
inte#ra numa Bnica inter%ace com o usu/rio7 os recursos para pro-eto e con%eco das
mascaras 9com as #eometrias usadas durante as simu&a8es<7 os a&#oritmos de simu&ao em si
e recursos para an/&ise e visua&izao #r/%ica 2$ e !$ dos resu&tados das simu&a8es. "
entrada dos parCmetros de con%i#urao da simu&ao pode ser %eita iterativamente7 atravs e
menus e cai+as de di/&o#o disponveis na inter%ace #r/%ica ou7 atravs de um ar4uivo te+to
contendo todos os parCmetros re&evantes 9ver "ne+o ><. (ote 4ue7 as mascaras a serem
uti&izadas na simu&ao devem ser sa&vas em ar4uivos #r/%ico 9%ormato pn#< e estando estas
disponveis7 o pr6prio pro#rama pode ser e+ecutado em &inha de comandos7 atravs da &eitura
do ar4uivo de parCmetros7 e sem re4uerer do uso da inter%ace #r/%ica. (o 4ue se re%ere U
visua&izao dos resu&tados7 %oram desenvo&vidas diversas %erramentas 4ue podem ser
esco&hidas con%orme necessidades especi%icas. "ssim7 por e+emp&o7 a representao em
cubos co&oridos tem processamento r/pido e a vanta#em de evidenciar o car/ter atomstico
da simu&ao7 mas inapropriado para simu&a8es envo&vendo muitos /tomos. Para muitos
/tomos7 a me&hor opo a representao por contornos otimizados7 -/ 4ue embora se-a
custosa em termos computacionais para ser produzida 9devido U necessidade de deteco de
contornos<7 a sua manipu&ao dinCmica na te&a r/pida. "&m disso7 o seu aspecto de curvas
de nve& permite uma boa visua&izao do car/ter tridimensiona& dos per%is corridos.
)om re&ao aos m6du&os de simu&ao7 %oram desenvo&vidos ! a&#oritmos baseados
em Aut6mato ,elular ,onvencional7 Aut6mato ,elular 'stoc7stico e Aut6mato ,elular
,ontnuo7 os 4uais em seu con-unto7 permitem uma #rande versati&idade em termos de
simu&ao. O Aut6mato ,onvencional o mais simp&es e r/pido7 por isso %oi desenvo&vido
antes 4ue os outros. Por isso mesmo7 est/ con%i#urado como mode&o padro de simu&ao7
12G
mas tem o inconveniente de no possuir parCmetros a-ust/veis. 3ssa &imitao removida no
Aut6mato 'stoc7stico7 4ue permite variar a re&ao entre as ta+as de corroso dos ! principais
p&anos crista&o#r/%icos 9as %am&ias de p&anos g1GGh7 g11Gh e g111h<7 o 4ue por sua vez7
permite a-ustar o resu&tado das simu&ao aos resu&tados e+perimentais. Por outro &ado7 por ser
um mode&o probabi&stico7 as simu&a8es produzem super%cies ru#osas7 o 4ue em certos caso
pode ser mais rea&ista mas em outros pode resu&tar e+a#erado. " esses respeito7 so
necess/rios mais estudos para a-ustar o parCmetro probabi&stico 4ue #overna a remoo dos
/tomos7 de %orma a diminuir a ru#osidade %ina& das super%cies. Por B&timo7 o Aut6mato
,ontnuo permite um contro&e ainda maior dos parCmetros 4ue #overnam a corroso7 ou se-a7
das condi8es 4ue determinam se um /tomo ser/ ou no removido do substrato. >sso7 por4ue
neste mode&o podemos a&terar de %orma independente7 a ta+a de remoo dos /tomos em cada
uma das PQ di%erentes %ormas em 4ue podem estar &i#ados dentro do crista& 9considerando at
os 2
os
vizinhos<. O inconveniente -ustamente essa ri4ueza de possibi&idades7 -/ 4ue nem
sempre %/ci& decidir 4ua& parCmetro mudar e de 4ue %orma.
"inda sobre os a&#oritmos de simu&ao7 um aspecto importante 4ue estes %oram
desenvo&vidos na %orma de uma bib&ioteca de c&asses 9autosim<7 o 4ue %aci&ita a evo&uo
%utura deste simu&ador de corroso e permite uti&izar o mesmo c6di#o para desenvo&ver outras
ap&ica8es baseadas em aut@mato ce&u&ar.
$o ponto de vista das simu&a8es 4ue podem ser rea&izadas7 os resu&tados7
e+trapo&aram as e+pectativa7 uma vez 4ue demonstramos a possibi&idade de prever7 em
concordCncia com resu&tados e+perimentais7 a evo&uo tempora& da corroso do Si atravs de
aberturas e i&has de #eometria e+tremamente comp&e+as. $e %ato7 as aberturas e i&has podem
ser individuais ou dispostas em #rupos 9matrizes ou distribudas a&eatoriamente pe&o
substrato<7 possuir #eometria de comp&e+idade arbitraria e estar aninhadas umas dentro das
outras. 'ais ainda7 o pro#rama permite simu&ar a corroso simu&tCnea do Si a partir da %rente
e das costas da &Cmina7 e traba&har com substratos de di%erentes #eometrias7 particu&armente7
&Cminas retan#u&ares e circu&ares7 e tambm es%eras de Si.
3 em termos de desempenho7 o pro#rama -/ passou por uma srie de etapas de reviso
para a otimizao do c6di#o7 -/ 4ue os tempos de simu&ao podem ser e+tremamente &on#os.
Principa&mente7 4uando se 4uer uma a&ta reso&uo nos deta&hes7 -/ 4ue nestes casos so
necess/rias tipicamente7 matrizes com mi&hares de c&u&as em cada uma das ! dire8es +7
e e z.
121
Por B&timo7 necess/rio mencionar a&#uns aspectos 4ue podem ser importantes na
continuidade destas pes4uisas. Primeiramente7 importante mencionar 4ue nosso ob-etivo
disponibi&izar U comunidade cient%ica o so%t0are de simu&ao a4ui desenvo&vido. Para isso7
necess/rio corri#ir pe4uenos %a&has 4ue ainda e+istem7 conc&uir a imp&ementao de a&#uns
recursos 4ue ainda esto sendo desenvo&vidos7 testar e+austivamente o pro#rama7 -/ 4ue pe&o
seu tamanho7 ainda no %oi possve& veri%icar o %uncionamento de todos os recursos
disponveis. Fudo isso %undamenta&7 para disponibi&izar uma %erramenta ami#/ve& e
con%i/ve&7 4ue se-a rea&mente Bti&.
"&m desses traba&hos otimizao do so%t0are propriamente dito7 h/ bastante traba&ho
a ser %eito no 4ue diz respeito ao uso do simu&ador. >sto se ap&ica aos ! mode&os de "ut@mato
)e&u&ar imp&ementados7 mas principa&mente ao "ut@mato )e&u&ar )ontnuo7 4ue com toda a
sua ri4ueza de possibi&idades7 deve ser usado de %orma sistem/tico em a&#uns estudos de caso7
como %izemos a4ui com as micropontas de Si. (esse sentido7 necess/rio apro%undar o
entendimento do e%eito iso&ado e combinado das PQ re#ras 4ue podem ser a&teradas nesse
mode&o. Outra 4uesto pendente7 a rea&izao de um estudo sistem/tico de comparao das
simu&a8es com resu&tados e+perimentais7 e isso deve ser %eito para os ! mode&os de
"ut@mato.
Para rea&izar esses estudos ser/ essencia& desenvo&ver novas %erramentas para an/&ise
4uantitativa do resu&tados das simu&a8es. 3ssas %erramentas so necess/rias7 por e+emp&o7
para determinar Cn#u&os7 distCncias e p&anos crista&o#r/%icos associados Us paredes das
cavidades e estruturas resu&tantes da corroso. "&m destas7 so necess/rias novas %aci&idades
de i&uminao e visua&izao7 -/ 4ue a an/&ise &oca& das con%i#ura8es at@micas pode ser
bastante comp&e+a. (este sentido ser/ de #rande importCncia desenvo&ver %erramentas de
reconstruo topo#r/%ica das super%cies co&oridas. $e %ato7 no momento temos basicamente 2
tipos de representao dos resu&tados _ atomstico7 com cubos co&oridos representando os
/tomos7 ou por contornos7 onde no vemos os /tomos7 mas sim um empi&hamento de p&anos
91 para cada camada at@mica ou c&u&a unit/ria do substrato<7 contendo os contornos da re#io
corroda em cada um desses p&anos. 3m ambos os casos portanto7 no temos uma super%cie
contnua envo&vendo uma estrutura !$ rea&7 4ue corresponda ao substrato corrodo. 3ssa seria
uma %aci&idade de #rande importCncia tanto para an/&ise como para representao dos
resu&tados das simu&a8es.
Por B&timo7 um aspecto da maior importCncia a inc&uso de parCmetros %sicoN
122
4umicos nas simu&a8es. 3%etivamente7 embora as re-ras de transio 4ue #overnam o
comportamento do "ut@matos )e&u&ares imp&ementados no simu&ador se-am inspiradas em
resu&tados e+perimentais bem conhecidos da corroso anisotr6pica do Si7 os critrios
uti&izados so basicamente #eomtricos. (este sentido seria de #rande interesse inc&uir nas
simu&a8es7 parCmetros como a temperatura7 ener#ia das &i#a8es7 tipo e concentrao da
so&uo corrosiva7 dopa#em do substrato7 etc.
12!
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R. Dindroos7 "pp&ied Sur%ace Science7 1O 92GG1<7 N 2P
2! " !N$ Simu&ator %or Si&icon "nisotropic Eet )hemica& 3tchin# Process ,ased on
)e&&u&ar "utomata7 ZaiN.a Zhou7 2in#N"n ;uan#7 EeiN;ua Di e )hi Zhu7 kourna& o%
Phesics_ )on%erence Series !5 92GGP< P5NPQ j >nternationa& '3'S )on%erence 2GGP.
25 http_YY000.&ibpn#.or#YpubYpn#Y
2J http_YY000.cairo#raphics.or#
2P Frian#u&atin# Simp&e Po&e#ons and 34uiva&ent Prob&ems 7 "D">( .OAK(>3K e
$3D.>( f. 'O(FA(O7 ")' Fransactions on ?raphics vo&. !7 (o 27 "bri& de 1QO57
P/#inas 1J! j 15.
2 " Simp&e and .ast >ncrementa& Kandomized "&#orithm %or )omputin# Frapezoida&
$ecompositions and %or Frian#u&atin# Po&e#ons7 K. Seide&7 )omput. ?eom. Fheore
"pp&.7 191<_ J1NP57 1QQ1.
2O Frian#u&atin# a Simp&e Po&e#on in Dinear Fime7 ,. )haze&&e7 $iscrete )omputationa&
?eometre7 P9J<_ 5OJNJ257 1QQ1.
2Q http_YY000.open#&.or#
!G Fheorems on the Simp&e .inite Po&e#on and Po&ehedron7 (.k. Dennes7 Amer# 8# %at*#
!!7 !NP27 1Q11.
!1 Si&icon "nisotropic 3tchin# in "&la&ine So&utions >>> 7 >. Zube&7 Sensors and "ctuator
"7 Ro&.O5 92GGG< 11PN12J.
!2 Fhe >n%&uence o% "tomic )on%i#uration o% 9h l &< P&anes "dsorption Process "ssociated
0ith "nisotropic 3tchin# o% Si&icon7 >. Zube&7 Sensors and "ctuator "7 Ro&.Q5 92GG1<
PNOP.
!! $esenvo&vimento de 'icropontas de Si com 3&etrodos >nte#rados para $ispositivos de
3misso por 3%eito de )ampo7 $issertao de 'estrado de "&e+ de Dima ,arros7 $epto.
de 3n#enharia de Sistemas 3&etr@nicos7 3sco&a Po&itcnica7 ASP7 2GG.
!5 .abrication o% Si&icon 'icrotips 0ith >nte#rated 3&ectrodes7 '.Z. 'ie&&i7 ".D. ,arros7
".F. Dopes and '.(.P. )arre*o7 aceito para pub&icao no kourna& >nte#rated )ircuits
and Sestems em 2GGO.
!J Sur%ace .ree 3ner#e 'ode& o% Si&icon "nisotropic 3tchin#7 P.k. ;esleth7 ). ku7 S.
?o0da7 3. Zanoria and S. $ane&ul7 8# 'lectroc*em# Soc#$ R.15G7 (
o
57 "pri& 91QQ!< 1GOG.
12J
C. REFERGNCIAS
!P )haracterization o% OrientationNdependent 3tchin# Properties o% Sin#&eNcresta& Si&icon_
3%%ects o% :O; )oncentration7 :. Sato7 '. Shilida7 f. 'atsushima7 F. famashiro7 :.
"saumi7 f. >riee7 '. famamoto7 Sensors and "ctuators " P5 91QQO< ONQ!.
12P