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FACULDADES INTEGRADAS CLARETIANAS

Sensores MEMS.

Grupo:
Fabrizio

RA: 2011065

Henrique

RA: 2009881

Ronaldo

RA: 2011104

Rafael

RA: 2010945

Rio Claro
2015

Sensores MEMS.
interessante perceber o quanto a tecnologia avanou durante todo
esse tempo, tornando a vida cada vez mais pratica aos nossos olhos. Mais
incrvel ainda, constatar que existem muitos projetos sendo lanados no
mercado continuamente sem ao menos termos tempo para adaptarmos a eles.
Uns dos dispositivos mais promissores so os dispositivos MEMS
(Micro-Electro-Mechanical Systems, dispositivos microeletromecnico), uma
tecnologia praticamente invisvel que funciona em uma escala microscpica, e
que capaz de realizar diversas aplicabilidade em menor tempo, com melhor
qualidade e preciso do os dispositivos convencionais.
O que so MEMS?
So elementos mecnicos, sensores e eletrnicos integrados em um
pequeno chip que une uma combinao de conceitos da microeletrnica,
engenharia mecnica, cincias dos materiais, fsica e qumicas. Possui uma
informao embutida que determina seu funcionamento. So praticamente
micromquinas programadas para cumprir determinada atividade em diversas
reas.

Onde so utilizados?
Os MEMS so utilizados em inmeros setores, dentre eles a da
indstria. Produtos como telefones celulares, equipamentos de udio e
aparelhos para surdez adotaram a tecnologia sob a forma de microfiltros, o que
melhorou significativamente a qualidade e acabou com problemas como
distoro do som e interferncia por freqncias que atrapalhem o
funcionamento.
No caso dos aparelhos celulares e outros objetos eletrnicos, a
diminuio de tamanho e o aumento da eficincia tambm so decorrncia dos
sistemas microeletromecnicos.
Como os MEMS so estruturas muito pequenas (cerca de 1 a 100
micrmetros, o que corresponde a 0,001 e 0,1 milmetros, respectivamente), os
dispositivos equipados com eles possuem em mdia apenas 20 micrmetros,
no sendo mais necessria de uma grande quantidade de chips comuns para
compor o aparelho.
O fato de serem fabricados por tcnicas bem estabelecidas e natural da
tecnologia dos circuitos integrados, os MEMS experimentaram uma evoluo
extraordinria, tanto do ponto de vista tecnolgico como comercial. Isso
originou:
: Uma Indstria florescente, dinmica e em franca expanso,
particularmente na rea de microestruturas, sensores e atuadores
Interesse em reas muito diversas: industria automotiva, farmacutica,
telecomunicaes,

eletrnica

de

consumo,

biotecnologia

medicina,

microeletrnica e opto-eletrnica.
Devido a suas caractersticas intrnsecas e relao com a
Microeletrnica, os MEMS de silcio (Si) apresentam:
Alta sensibilidade e Baixo tempo de resposta
Baixo custo e Confiabilidade/ Alta reprodutibilidade

Tabela de onde so utilizados os MEMS

Exemplos de sensores e suas aplicaes


Acelermetros
A tecnologia MEMS, ajudou a popularizar os acelermetros, devido a ela
podemos ter esse tipo de sensor em dispositivos pequenos como celulares e
drones. Para exemplos de funcionamento, utilizaremos o modelos mais comum
de acelermetros MEMS.
Os acelermetros MEMS capacitivo so constituidos de pequenas
barras de metal se movem entre outras barras de metal, em resposta ao
movimento, alterando a capacitncia eltrica, com relao a essa alterao,
possvel calcular a fora aplicada no objeto.

Com essa informao, um smartphone poder determinar a mudana na


orientao da tela, ou traduzi-las em movimentos fsicos de personagens em
games.
Sensor de gs
Baseado na tecnologia MEMS sensor supersensvel detecta fluxos de
gs. O sensor um termo-elemento, seu princpio de funcionamento
baseado na diferena de temperatura causada pela passagem do gs.
Quando no existe nenhum fluxo de gs, a distribuio de temperatura do
sensor uniforme, mas quando o sensor capta um movimento de gs, a
temperatura no lado do sensor que recebe o fluxo menor do que no lado
oposto. Essa diferena de temperatura aparece como uma diferena de
potencial no dispositivo, o possibilitando medir tanto a taxa quanto a
velocidade do fluxo de gs.
O sensor pode ser aplicado na area de medicina, sendo utilizado por
exemplo, para medir a quantidade de oxignio, nitrognio e dinitrognio
monxido (N 2O) que so consumidos durante uma cirurgia.

Referncias
Lanado o menor sensor de gs do mercado. Disponvel em:
<http://www.inovacaotecnologica.com.br/noticias/noticia.php?
artigo=010110030714#.VXWo8s9Vikp> Acesso em 08 jun. 2015.
MEMS - Sistemas Microeletromecnicos. Disponvel em:
<http://www.embarcados.com.br/mems/> Acesso em 08 jun. 2015.
Sensores Inerciais. Disponvel em: <http://www.decom.ufop.br/imobilis/?
p=3878> Acesso em 08 jun. 2015.

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