Andrzej ZBROWSKI

Instytut Technologii Eksploatacji - PIB, Radom

Metoda i urzdzenie do precyzyjnego pozycjonowania skanera w

mikroskopie si atomowych

Sowa kluczowe
mikroskop AFM, skaner, wstpne zblianie, przekadnia falowa, mechanizm
mimorodowy
Streszczenie
W artykule przedstawiono opracowan metod i urzdzanie do
wstpnego zbliania prbki zamocowanej na stoliku do igy cantilevera w
mikroskopie si atomowych. Prezentowane rozwizanie jest stosowane w
mikroskopie, w ktrym iga skanujca znajduje si w gowicy nad badana
prbk. Dokadne przemieszczanie prbki wzgldem igy, w czasie procesu
skanowania zapewnia rurka piezoelektryczna. Przedstawione rozwizanie jest
przeznaczone do wstpnego zbliania rurki piezoskanera z zamocowan prbk
pod ig cantilevera. Ostateczne zblienie ukadu prbka-iga jest wykonywane
poprzez zmian dugoci piezorurki. Opracowane rozwizanie ukadu zbliania
wstpnego wykorzystuje mimorodowy mechanizm popychaczowy z
przekadni falow i silnikiem krokowym. Zalet rozwizania jest bardzo
szybki ruch efektora przy zachowaniu wysokiej rozdzielczoci i precyzji
pozycjonowania oraz wyeliminowanie luzu nawrotnego.
Wprowadzenie
W mikroskopie si atomowych bardzo istotne jest dokadne
pozycjonowanie ostrza sondy skanujcej wzgldem prbki. Ze wzgldu na ma
odlego pomidzy powierzchni prbki a ostrzem konieczne jest zastosowanie
precyzyjnego ukadu sterowania pooeniem prbki. Tak rol peni skaner
piezoelektryczny, ktry pod wpywem potencjau elektrycznego, zmienia swoj
geometri - odpowiednio wydua si bd skraca w kierunku przyoonego
napicia (Rys. 1c). Dziaanie wikszoci skanerw wykorzystywanych w
nowoczesnych mikroskopach typu AFM wykorzystuje odwrotny efekt
piezoelektryczny,
polegajcy
na
zmianie
rozmiarw
materiau
piezoelektrycznego pod wpywem przyoonego pola elektrycznego. Zanim
jednak skaner piezoelektryczny zostanie uruchomiony i zostanie

przeprowadzona procedura skanowania, konieczne jest zblienie prbki do

ostrza skanujcego na odlego umoliwiajc rozpoczcie procesu
digitalizacji powierzchni prbki. Ten element procedury jest wanym i trudnym
etapem w metodyce bada. Nieprecyzyjne zblienie prbki moe spowodowa
uszkodzenie igy skanujcej. Mechanizm zbliania wstpnego musi umoliwia
korekcj pozycji z rozdzielczoci na poziomie co najmniej 0,0005 mm,
zarwno w kierunku zbliania jak i oddalania prbki od ostrza skanujcego.
Ukad wstpnego zbliania moe by zwizany z piezorurk (Rys.1b) lub
cantileverem (Rys.1a).
Najczciej spotykane s rozwizania, w ktrych wstpne zblianie
rurki skanera w mikroskopach si atomowych jest realizowane za pomoc
mechanizmw gwintowych np. ze rub mikrometryczn lub ukadw
piezoelektrycznych [1]. Rozwijane s take rozwizania, w ktrych skaner
pozycjonowany jest w ukadzie kinematyki rwnolegej z aktuatorami
piezoelektrycznymi [2]. Wad rozwiza wykorzystujcych mechanizmy
gwintowe do przemieszczania liniowego rurki skanera s luzy wystpujce w
poczeniu gwintowym. Szczeglnie luz nawrotny jest znacznym utrudnieniem
w precyzyjnym pozycjonowaniu rurki skanera podczas zbliania wstpnego
prbki umieszczonej na stoliku skanera do ostrza kocwki skanujcej. Wad
rozwiza
piezoelektrycznych
jest
ograniczony, niewielki
zakres
pozycjonowania
oraz
utrata
pozycji
podczas
zaniku
zasilania
elektrycznego [3, 4].
a)

b)

c)

Rys. 1. Schemat skanera w mikroskopie AFM: a) wstpne zblianie cantilevera, b)

wstpne zblianie piezorurki, c) schemat deformacji piezorurki

Wysokie wymagania stawiane precyzyjnym ukadom pozycjonujcym

wykorzystywanym we wspczesnej aparaturze badawczej i pomiarowej
stwarzaj sta potrzeb doskonalenia ich konstrukcji. Ze wzgldu na
precyzyjny charakter mechanizmw czsto s to rozwizania nie spotykane w
klasycznej budowie maszyn [5]. Mechatronizacja urzdze precyzyjnych w
poczeniu z nowoczesnymi metodami projektowania stwarza moliwoci

osigania coraz wyszych dokadnoci pozycjonowania. W tym celu

wykorzystywane s m.in. mechanizmy krzywkowe z krzywk czoow lub
obwodow [6]. Mechanizmy mimorodowe zapewniaj wysok precyzj
pozycjonowania z jednoczesnym uproszczeniem acucha kinematycznego [7]
w precyzyjnych stoach laboratoryjnych wykorzystywanych do ekspozycji
prbek np. w badaniach umoliwiajcych wyznaczanie ktw zwilania oraz
obliczanie swobodnej energii powierzchniowej materiaw. Rozwj zastosowa
kinematyki rwnolegej rwnie jest zwizany z wykorzystywaniem ukadw
mimorodowych w konstrukcji moduowych aktuatorw stanowicych
koczyny precyzyjnych, wieloosiowych manipulatorw stosowanych w
technice laboratoryjnej [8].
Model matematyczny
W opracowanej konstrukcji mechanicznego ukadu zbliania wstpnego
zastosowano popychaczowy mechanizm mimorodowy. W celu zmniejszenia
tarcia w mechanizmie, na obwodzie tarczy mimorodu zastosowano oysko
kulkowe. Metoda pozycjonowania polega na przemieszczaniu belki trawersu za
pomoc obracajcego si mimorodu zamocowanego do wau motoreduktora
(rys.1). oyskowanie belki zapewnia jeden stopie swobody aktuatora w ruchu
posuwisto zwrotnym.
a)

b)

Rys. 1. Model geometryczny ukadu pozycjonowania a) widok z przodu, b) widok z

boku

Na podstawie zalenoci geometrycznych wynikajcych z rysunku 1,

rwnanie modelu matematycznego mechanizmu, dla dowolnego pooenia
ktowego wau mimorodowego, przedstawia zaleno:
H ( ) e(1 cos( ))

gdzie:

(1)

H- wznios popychacza
e warto mimorodu (6 mm)
- kt obrotu mimorodu
Zastosowane rozwizanie jest charakterystyczne dla mechanizmw
mechaniki precyzyjnej. Charakteryzuje si krtkim acuchem kinematycznym
oraz ograniczon liczb czci ruchomych. Zastosowanie spryn nacigowych
umoliwia kasowanie luzw oraz tumi oddziaywanie drga zewntrznych.
Punktowy styk popychacza z mimorodem minimalizuje wpyw tarcia i
zapobiega histerezie pozycjonowania.
Badania symulacyjne parametrw pozycjonowania
W celu wyznaczenia charakterystyki pozycjonowania efektora
przeprowadzono badania symulacyjne modelu geometrycznego. Okrelono
charakterystyk wzniosu popychacza w funkcji kta obrotu mimorodu
zamocowanego na wale silnika napdowego (Rys. 2).

Rys. 2. Charakterystyka wzniosu popychacza

Wyznaczono dokadno wzgldn pozycjonowania efektora w sterowaniu

mikrokrokrokowym (Rys. 3). W tym trybie zastosowano podzia kroku
podstawowego na osiem mikrokokw.

Rys. 3. Charakterystyka rozdzielczoci pozycjonowania popychacza (przy zastosowaniu

mikrokoku 1/8)

Dokadno wzgldna pozycjonowania kocwki lizgu popychacza w

zalenoci od kta obrotu mimorodu okrelona jest wzorem:
( ) K H

(2)

gdzie:
K - Wznios kocwki lizgu popychacza po realizacji pojedynczego

kroku silnika napdowego

K ( ) e(1 cos( ( )))

(3)

( ) - skok ktowy wau zespou napdowego

( )
gdzie:

K S
[rad]
180o G

G przeoenie przekadni falowej

K = 1.8- kt obrotu silnika w sterowaniu penokrokowym
S = 1/8 - podzia skoku silnika w sterowaniu mikrokrokowym

Model 3D

(4)

Konstrukcja skanera ma budow moduow. Struktur urzdzenia

tworzy motoreduktor pozycjonujcy tarcz mimorodu, trawers, modu rurki
skanera piezoelektrycznego oraz precyzyjny stolik XY.
W opracowanym modelu 3D mechanizmu motoreduktora na wale
zdawczym przekadni zamocowano tarcz mimorodu z osadzonym oyskiem
tocznym i piercieniem noowym. Piercie noowy wsppracuje z belk
trawersu wywoujc pionowe przemieszczanie piezorurki skanera. Toczne
oysko piercienia noowego umoliwia zamian tarcia lizgowego pomidzy
noem a belk trawersu na korzystniejsze tarcie toczne kulek pomidzy
piercieniami oyska. Na korpusie reduktora zabudowano dwa miniaturowe
czujniki optyczne do detekcji kracowych pooe belki trawersu (Rys. 4).

Rys. 4. Modu motoreduktora

Jako element napdowy wytypowano silnik krokowy o rozdzielczoci

200 krokw/obrt wsppracujcy z miniaturow przekadni falow HFUC-11100 o przeoeniu 1:100 i mimord o promieniu 6 mm. Reduktor zosta
zaprojektowany z zastosowaniem miniaturowej przekadni falowej firmy
Harmonic Drive (Rys. 5).
a)

b)

Rys. 5. Komponenty zastosowane do budowy aktuatora: a) zesp miniaturowej

przekadni falowej (Harmonic Drive), b) silnik krokowy (Elra)

Kracowe pooenia efektora zaprogramowano w dolnym i grnym

zwrotnym pooeniu wynikajcym z pozycji ktowej mimorodu. Oznacza to,
e kt obrotu mimorodu zmienia si w zakresie od 0 do rad.
Modu trawersu (Rys. 6) skada si z poprzecznej belki prowadzonej za
pomoc dwch supw w ukadzie oysk liniowych. W belce trawersu znajduje
si gniazdo umoliwiajce jednoznaczne bazowanie wymiennych segmentw
piezorurki. Zamknicie mechanizmu mimorodowo-popychaczowego jest
zamkniciem siowym z zastosowaniem spryn nacigowych. Spryny
zabudowano w module trawersu po obu stronach ruchomej belki. W konstrukcji
moduu trawersu zastosowano miniaturowe kulkowe oyska liniowe firmy
Faulhaber

Rys. 6. Modu trawersu

Modu rurki piezoelektrycznej suy do dokadnego pozycjonowania

badanej prbki materiau (Rys. 7). Rurka zabudowana jest na cokole, wewntrz
tulei speniajcej rol osony mechanicznej. Piezorurka zakoczona jest
stolikiem magnetycznym do mocowania prbek. Uchwyt moduu umoliwia
instalowanie segmentu jako wymiennego skadnika systemu skanera. W
przypadku zastosowania rurki 1 zakres skanowania w osiach X i Y wynosi 12
m z rozdzielczoci 0,3 nm, a w osi Z 2,5 m z rozdzielczoci 0,05 nm. W
przypadku zastosowania rurki 2 zakres skanowania z w osiach X i Y wynosi
50 m z rozdzielczoci 1 nm, a w osi Z 6 m z rozdzielczoci 0,1nm [9].
Modu rurki skanera piezoelektrycznego moe by wyposaony w rurki o
rnej dugoci (1 cal i 2 cale). Wymiana moduu umoliwia zmian zakresu
skanowania.

Rys. 7. Modu rurki piezoelektrycznej

Modu motoreduktora z moduem trawersu i piezorurki zamocowane s

do wsplnej pyty podstawy (Rys. 8).

a)

b)

Rys. 8. Model 3D skanera w mikroskopie sil atomowych: a) mechanizm bez

zainstalowanej piezorurki, b) mechanizm z zainstalowanym moduem piezorurki

Na korpusie skanera znajduje si precyzyjny stolik XY z elementami

bazujcymi gowic pomiarow z cantileverem (Rys. 9). Zesp stolika X-Y jest
przeznaczony do pozycjonowania gowicy mikroskopu wzgldem badanej
prbki. Stolik umieszczony jest na grnej pycie obudowy skanera. Wzki
stolika pozycjonowane s z zastosowaniem miniaturowych gowic
mikrometrycznych firmy Mitutoyo. Precyzyjne prowadzenie wzkw
zapewniaj miniaturowe liniowe oyska waeczkowe firmy INA. Zamknicie
mechanizmu pozycjonujcego zrealizowano z zastosowaniem spryn
nacigowych. Konstrukcja stolika zapewnia bezkolizyjne przemieszczanie
moduu rurki piezoelektrycznej w kierunku pionowym. Blat stolika posiada
otwory do bazowania gowicy pomiarowej. Na stoliku umieszczono
zatrzaskowe prowadnice umoliwiajce atwe i jednoznaczne zamocowanie
wymiennych moduw AFM i STM.

Rys. 9. Modu stolika X-Y.

Regulacja stolika za pomoc rub mikrometrycznych umoliwia

naprowadzenia ostrza kocwki skanujcej nad badany obszar w powierzchni
badanej prbki. Niezaleny ukad pozycjonujcy zainstalowany w gowicy
umoliwia naprowadzenie wizki lasera na ostrze cantilevera.
Prototyp
Urzdzenie do precyzyjnego zbliania rurki pizoelektrycznej (rys 10a)
w mikroskopie si atomowych jest elementem ukadu skanera (rys 10b)
stanowicego podstaw dla gowicy z zamontowanym systemem projekcji
wizki laserowej oraz cantileverem (rys 10c).
a)

b)

b)

Rys. 9. Struktura mikroskopu: a) modu precyzyjnego zbliania wstpnego, b) modu

skanera, c) kompletny mikroskop z gowic AFM umieszczon na skanerze

W celu tumienia drga zesp skanera posadowiono na grubej

granitowej pycie z czterema elastomerowymi wibroizolatorami.

WNIOSKI
Zalet przedstawionego rozwizania jest brak luzw, w tym
nawrotnego, oraz szeroki zakres pozycjonowania belki trawersu, do ktrej moe
by mocowany element pozycjonowany, w tym rurka skanera mikroskopu si
atomowych lub mikroskopu tunelowego. Wyeliminowanie luzw oraz histerezy
zwizanej ze sprystoci elementw acucha kinematycznego zapewnia
natychmiastow reakcj i zmian pozycji efektora, bez opnie lub efektw
dynamicznych.
W konstrukcji ukadu zbliania wstpnego zastosowano popychaczowy
mechanizm mimorodowy z siowym zamkniciem za pomoc spryny.
Zastosowanie aktuatora z mimorodowym elementem wykonawczym
wprowadza sinusoidaln nieliniowo w charakterystyce pozycjonowania.
Toczne oysko osadzone na mimorodzie umoliwia zamian niekorzystnego
tarcia lizgowego pomidzy noem a belk trawersu na korzystniejsze tarcie
toczne kulek pomidzy piercieniami oyska. Przeprowadzone weryfikacyjne
badania eksploatacyjne potwierdziy uzyskanie zakadanych parametrw. Ukad
pozycjonowania w sterowaniu mikrokrokowym przy uyciu kroku 1/8
umoliwia uzyskanie rozdzielczoci nie gorszej ni 0,00025 mm w caym
zakresie ruchu wynoszcym 12 mm. Mechanizm nie wykazuje
lepkosprystoci i reaguje na kady pojedynczy impuls mikrokoku 1/8
zarwno w ruchu jednokierunkowym jak i rewersyjnym
Bibliografia
1. Merry r., Uyanik M., Koops R., Van De Molengraft R., Van Veghel M.,
Steinbuch M.: Modeling, identification and control of a metrological atomic
force microscope with a 3dof stage. American Control Conference. 2008,
str. 2716-2721,
2. Sebastian A., Salapaka S.: Design methodologies for robust nanopositioning, control systems technology, IEEE Transactions, Volume 13
Issue 6,2005, pp. 868-876,
3. Fantner G., Schitter G., Kindt J., Ivanov T., Ivanova K, Patel R., Hansma P.:
Components for high speed atomic force microscopy. Ultramicroscopy, 106
8/2006, str. 881-887,
4. Schitter G., Astrom K., Demartini B., Thurner P., Turner K., Hansma P.:
Design and modeling of a high-speed afm-scanner, control systems
technology. Ieee transactions, volume 15 issue 5, 2007, str. 906-915,
5. Slocum A.: Precision machine design, SME, 1992,
6. Giesko T.: Mechatronic precision positioning system. International
Conference Mechatronics 2000, str. 334-337,
7. Zbrowski A.: Analiza kinematyczna modelu mechanizmu funkcjonalnego w
precyzyjnym stoliku obrotowym. Problemy Eksploatacji 1/2005, str. 61-72,

8. Zbrowski A.: Miniature tripod with parallel kinematics for use in clean
room laboratory applications. 9th International Conference Mechatronic
Systems and Materials MSM 2013, 2013, str. 266-267,
9. Majcher A, Mrozek M., Zbrowski A., Olejniczak W, Pawowski S.,
Piskorski M.: Mikroskop STM/AFM do zastosowa badawczych w
zaawansowanych technologiach w przemyle oraz w dydaktyce szk
wyszych. Problemy Eksploatacji, 3/2011, str. 177-188.
Title in English
Key words
Key words in English
Abstract
Abstract in English