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ET-18
A. M. ELECTRONICOS
PROCESOS DE DOPADO
Durante el crecimiento (Czochralski)
Se utiliza para dopar regiones extensas de
silicio de
forma homognea (obleas
enteras). El sistema utilizado es el mismo
que para el crecimiento de silicio intrnseco:
horno Czochralski
Se aaden pequeas cantidades del
dopante elegido a la carga fundida, que se
incorporarn progresivamente al lingote
durante el crecimiento.
Uno de los principales problemas es que los
dopantes no se incorporan homogneamente desde la fase lquida a la fase
slida.
Difusin
Es uno de los mtodos ms importantes usados para formar uniones pn Se
utiliza para fabricar diodos, transistores bipolares y circuitos integrados En
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Implantacin inica
La implantacin inica es un mtodo de
impurificacin tanto de Silicio como de GaAs. Es
el mtodo dominante de dopaje utilizado hoy
da a pesar de sus desventajas, es un proceso
ms costoso y complejo que la difusin y una
alternativa a la misma.
Se dopa un substrato mediante un flujo de iones
energticos de la impureza (obtenidos de un
plasma de la misma) que se proyectan contra la oblea (blanco).
Los iones de impurezas penetran en el substrato
con una alta energa (velocidad) y pierden su
energa mediante colisiones con los ncleos y los
electrones que acaban detenindolos.
Los iones quedan parados a una determinada
distancia de la superficie de la oblea formado un
perfil de implantacin.
La profundidad a la que se localiza la impureza depende en la energa (o
velocidad) de los iones.
Las colisiones con los ncleos del blanco hacen que se modifique la
situacin de los iones de la red cristalina daando el substrato:
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Bibliografa
Anon,
(2016).
[online]
Available
http://proton.ucting.udg.mx/materias/tecnologia/Tec_Planar.htm
[Accessed 14 Feb. 2016].
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