Introduccin:

Recubrimientos y lminas delgadas.

Propiedades y Aplicaciones

DR. J.M. ALBELLA

PREPARACIN Y CARACTERIZACIN DE RECUBRIMIENTOS Y LAMINAS DELGADAS, 2007

CARACTERSTICAS DEL SISTEMA

RECUBRIMIENTO/SUBSTRATO:
Propiedades de superficie:
Propiedades de superficie:
Rugosidad
Rugosidad
No interaccin con atmsfera
No interaccin con atmsfera
Reflectividad, color, etc.
Reflectividad, color, etc.
Propiedades de volumen:
Propiedades de volumen:
Propiedades especficas (mecnicas
Propiedades especficas (mecnicas
elctricas, mecnicas, pticas, etc. )
elctricas, mecnicas, pticas, etc. )
Composicin y estructura cristalina
Composicin y estructura cristalina
Espesor
Espesor

Recubrimiento

Substrato

Propiedades de la intercara:
Propiedades de la intercara:
Adherencia
Adherencia
Interdifusin
Interdifusin
Ausencia de tensiones, etc.
Ausencia de tensiones, etc.

Propiedades del substrato:

Propiedades del substrato:
Compatibilidad con el recubrimiento
Compatibilidad con el recubrimiento
Propiedades fsico-qumicas adecuadas a
Propiedades fsico-qumicas adecuadas a
sus funcin (activa o pasiva)
sus funcin (activa o pasiva)

PREPARACIN Y CARACTERIZACIN DE RECUBRIMIENTOS Y LAMINAS DELGADAS, 2007

APLICACIONES DE LAS CAPAS DELGADAS

Tools &
machine parts

Automotive &
Domestic items

Optics

Medical
Prosthesis

Selective
glass panels

Electronic
components

Turbine blades

Decorative tiles

PREPARACIN Y CARACTERIZACIN DE RECUBRIMIENTOS Y LAMINAS DELGADAS, 2007

Food
packaging

TCNICAS DE PREPARACIN DE CAPAS

DELGADAS
Inmersin en caliente (recubrimientos
metalrgicos de Zn, Al, Sn sobre Fe)
Soldadura (deposito por fusin de un metal)
Deposicin en fase vapor
Mtodos qumicos o electroqumicos
Tratamientos superficiales de difusin
(nitruracin, carburacin, etc)
Otros (esmaltes, lacas, vidrios, tratamientos
qumicos de P, Cr, etc)

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FUNDAMENTO DE LAS TCNICAS DE DEPOSICION

DE CAPAS DELGADAS A PARTIR DEL VAPOR
Basadas en la formacin de un vapor del material a depositar, con objeto
de que el vapor se condense sobre la superficie del substrato formado
una capa delgada
Generalmente el proceso ha de realizarse en vaco o en atmsfera
controlada para evitar la interaccin del vapor con la atmsfera del aire
Esquema:
SUBSTRATO
CAMARA
DE VACIO

RECUBRIMIENTO

FUENTE DE
VAPOR

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CLASIFICACIN DE LAS TECNICAS DE

DEPOSICIN A PARTIR DEL VAPOR

Tcnicas fsicas (PVD): Se parte de un material slido que se

pretende depositar para convertirlo en vapor mediante
calentamiento (evaporacin) o bombardeo con iones energticos.
Tcnicas qumicas (CVD): Se parte de directamente de los gases (a
veces en forma lquida que pasan a estado vapor) los cuales
mediante reaccin dan un producto nuevo que se condensa en
forma de pelcula delgada sobre el substrato.
Notar
Una diferencia esencial entre las tcnicas de
PVD y de CVD es que en las primeras el
material a depositar ya existe (en forma de
slido) mientras que en las segundas el
material no existe previamente: se sintetiza
mediante reaccin en fase vapor

PREPARACIN Y CARACTERIZACIN DE RECUBRIMIENTOS Y LAMINAS DELGADAS, 2007

TCNICAS DE PREPARACIN DE CAPAS DELGADAS

SOLUCIN

FASE VAPOR

SOL-GEL

TRAT. SUPERF.

ELECTROQUM

DIFUSIN
FSICAS (PVD)

EVAPORN

SPUTTER

IMPLANTACIN

QUMICAS (CVD)

T. IONES

PLD
Sin plasma

HACES
MOLECULAR

LSER

ARCO,
PROYEC TERM

LPCVD

Con plasma

PECVD (DC, RF, ECR)

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ASPECTOS CRITICOS EN EL DESARROLLO

DE APLICACIONES DE LAS CAPAS DELGADAS

APLICACION

REQUERIMIENTO

Superficies reflectantes, p.e. para espejos

de lseres

Baja rugosidad

Barreras trmicas para las hlices de

turbina

Estabilidad qumica a T altas,

Baja conductividad trmica

Recubrimientos de vlvulas y otros

componentes en plantas de gasificacin del
carbn

Resistencia a la corrosin,
Estabilidad qumica a T altas,
Resistencia mecnica

Capas duras para herramientas de corte

(aumento tiempo de vida y eliminacin de
fluidos de refrigeracin)

Estabilidad qumica a T altas,

Resistencia mecnica, Dureza,
Resistencia al desgaste

Pared primera en vasijas de reactores

nucleares

Estabilidad qumica a T altas

Materiales superconductores en capa

delgada

Estructura cristalogrfica,
Composicin qumica

Modificacin de membranas para

separacin de gases

Tamao poro nanomtrico,

Estabilidad qumica a T altas,
Resistencia mecnica,

PREPARACIN Y CARACTERIZACIN DE RECUBRIMIENTOS Y LAMINAS DELGADAS, 2007

ASPECTOS MAS CRITICOS EN EL DESARROLLO

DE APLICACIONES DE LAS CAPAS DELGADAS
APLICACION

REQUERIMIENTO

Modificacin de membranas para

separacin de gases

Tamao poro nanomtrico,

Estabilidad qumica a T altas,
Resistencia mecnica,

Reactores catalticos

Tamao poro nanomtrico,

Superficie especifica alta,
Actividad qumica

Dispositivos fotovoltaicos en capa delgada

Crecimiento epitaxial,
Propiedades semiconductoras

Recubrimientos transparentes y
fototrmicos para paneles de vidrio
arquitectnicos.

Espesor nanomtrico,
Absorcin y reflexin ptica

Implantes biomdicos, rganos artificiales,

vlvulas cardacas, etc.

Biocompatibilidad,
Resistencia corrosin y
desgaste

Conservacin de materiales del patrimonio

artstico

Estabilidad qumica,
Resistencia erosin

Dispositivos electrnicos submicrnicos.

Espesor nanomtrico

PREPARACIN Y CARACTERIZACIN DE RECUBRIMIENTOS Y LAMINAS DELGADAS, 2007

CARACTERSTICAS GENERALES DE LAS TCNICAS DE

PREPARACIN DE CAPAS DELGADAS Y RECUBRIMIENTOS
RANGO TPICO DE ESPESORES:

Proyeccin Trmica
CVD & PECVD
Evapor, Sputter, etc.
Sol-Gel
Electroqum.
IBAD
MBE
IMPL
Espesor (mm)
10-1

100

101

102

103

104

PREPARACIN Y CARACTERIZACIN DE RECUBRIMIENTOS Y LAMINAS DELGADAS, 2007

CARACTERSTICAS GENERALES DE LAS TCNICAS DE

PREPARACIN DE CAPAS DELGADAS Y RECUBRIMIENTOS
RANGO TPICO DE TEMPERATURAS DE PREPARACION:

Proyeccin Trmica
PECVD

CVD

Evaporacin, Sputtering
IBAD
MBE
Sol-Gel
Electr.
Implant.

200

400

600

800

1000

1200
Temperatura, C

PREPARACIN Y CARACTERIZACIN DE RECUBRIMIENTOS Y LAMINAS DELGADAS, 2007

CRITERIOS DE SELECCION DE LAS

TECNICAS DE DEPOSICIN:

Material que ha de ser depositado (composicin, estructura, etc )

Espesor, velocidad de deposicin
Limitaciones impuestas por la temperatura de deposicin
Adhesin del depsito al substrato
Homogeneidad de las capas (espesor, composicin, etc.)
Pureza de los materiales de partida
Complejidad y coste del equipo
Disponibilidad y Problemas de seguridad en el manejo de las
materias primas (tcnicas de CVD)
Eliminacin de subproductos para evitar la contaminacin

PREPARACIN Y CARACTERIZACIN DE RECUBRIMIENTOS Y LAMINAS DELGADAS, 2007

OBJETIVOS DEL CURSO:

Adquirir informacin sobre una serie de cuestiones relativas al desarrollo de
capas delgadas. En particular:
Fundamentos fsicos de las tcnicas de preparacin
Cual es la tcnica mas apropiada para la preparacin de un determinado
material en forma de capa delgada
Cmo influyen los parmetros del proceso de deposicin en los
mecanismos de crecimiento. Cuales son los parmetros mas crticos.
A su vez, qu influencia tienen los mecanismos de crecimiento en las
propiedades microscpicas de las capas delgadas: composicin,
morfologa, estructura, etc.
Qu efecto tiene el substrato en las propiedades de crecimiento
Cmo se determinan las propiedades de las capas delgadas (mecnicas,
elctricas, pticas y magnticas) y qu relacin tienen estas
propiedades con la microestructura
Aplicaciones ms importantes de las capas delgadas

PREPARACIN Y CARACTERIZACIN DE RECUBRIMIENTOS Y LAMINAS DELGADAS, 2007

PROGRAMA:
1. Aspectos Generales
0. Introduccin. Recubrimientos y capas delgadas: Propiedades y Aplicaciones
1. Tcnicas de Vaco
2. Descargas elctricas en medios ionizados: Plasmas

2. Tcnicas Fsicas/Qumicas de Deposicin

3. Tcnicas de deposicin fsica en fase vapor (PVD): I. Evaporacin trmica,
arco, proyeccin trmica, etc
4. Tcnicas de PVD: II. Deposicin mediante bombardeo catdico ('sputtering')
5. Tcnicas de PVD: III. Deposicin por haces de iones
6. Tcnicas de PVD: IV. Deposicin epitaxial mediante haces moleculares (MBE)
7. Tcnicas de deposicin qumica en fase vapor (CVD)
8. Mtodos qumicos y electroqumicos de deposicin
9. Preparacin de recubrimientos por Sol-Gel: Aplicaciones en electro-ptica
10. Mecanismos de nucleacin y crecimiento de capas delgadas. Influencia en la
morfologa

PREPARACIN Y CARACTERIZACIN DE RECUBRIMIENTOS Y LAMINAS DELGADAS, 2007

PROGRAMA (cont.):
3. Tcnicas de caracterizacin
11. Caracterizacin estructural y morfolgica de lminas delgadas: I.
Espectroscopa de electrones y fotones: AES, XPS, RBS, etc
12. Caracterizacin Estructural y Morfolgica de Lminas Delgadas: II Tcnicas
de Radiacin Sincrotrn (EXAFS, XANES, PES, etc.)
13. Caracterizacin estructural y morfolgica de lminas delgadas: III.
Microscopas electrnica y de efecto tnel: TEM, SEM, STM, AFM, etc.
14. Propiedades mecnicas de recubrimientos y lminas delgadas

4. Propiedades y Aplicaciones
15. Aplicaciones mecnicas de recubrimientos y lminas delgadas
16. Aplicaciones qumicas de los recubrimientos: Proteccin contra la corrosin
17. Aplicaciones de las lminas delgadas en Microelectrnica.
18. Aplicaciones de las lminas delgadas en Optica y Optoelectrnica
19. Propiedades magnticas de capas delgadas. Aplicaciones.
20. Prcticas de Laboratorio: Preparacin de capas delgadas mediante tcnicas
de "Sputtering" y CVD (Opcional)

PREPARACIN Y CARACTERIZACIN DE RECUBRIMIENTOS Y LAMINAS DELGADAS, 2007

SISTEMA DE EVALUACIN:
Tests de seguimiento (diario)

Asistencia:

85-100 %
70-85 %
50-70 %

Trabajo Monogrfico:

Sobresaliente
Notable
Aprobado
Sube un nivel

Nota: Alumnos con matrcula oficial de Doctorado

Solo necesitan acreditar la asistencia en 15 sesiones de clase
para obtener la mxima nota en el expediente

PREPARACIN Y CARACTERIZACIN DE RECUBRIMIENTOS Y LAMINAS DELGADAS, 2007

INFORMACIN:

Pagina web:
http://www.icmm.csic.es/fis/espa/cursos_f.html
Apuntes y bibliografa:
http://www.icmm.csic.es/fis/espa/cursos_f.html
Libro:
LAMINAS DELGADAS Y RECUBRIMIENTOS
http://www.publicaciones.csic.es
Consulta al profesor:
Despacho 310, ICMM

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