Segundo avance del proyecto MatLabTM

En el diagrama de una dimensin (1-D) resorte-masa-capacitor de la figura 1, se

ilustra

el

principio

bsico

de

un

dispositivo

micro-mecnico

activado

electrostticamente. Consiste de una placa superior mvil, suspendida por resortes

flexibles, sobre una placa inferior fija (ver figura 1a). Se aplica un voltaje, como
resultado de aquello, la placa superior se mueve hacia abajo como se muestra en la
figura 1b. Controlando el voltaje, la placa puede ser posicionada con exactitud
dentro del espacio entre placas o si el voltaje es suficiente, directamente en el lmite,
ponerse en contacto con la placa inferior (ver figura 1c). Mientras se mueve, la placa
libera el aire dentro de las placas, esto es una fuente significativa de amortiguacin.
En el tercio de su espacio inicial g 0, la placa est al borde de la inestabilidad. No hay
posicin de equilibrio ms all de este punto (y hasta el punto de contacto) porque el
incremento de la fuerza electrosttica debido a un desplazamiento adicional excede
la fuerza mecnica de restauracin. Esta realimentacin positiva mueve la placa
mvil a la placa fija (es decir, a la posicin de la figura (c)).

R e s is t o r
M o v a b le
E le c t r o d e
V
u
g0

S q u e e z e F i lm

u
g0

g0
C o n ta ct

F ix e d E le c t r o d e
(a)

(b )

(c)

Figura 1. Modelo de un dispositivo micro mecnico accionado electrostticamente (a) Posicin inicial. (b) El
voltaje aplicado genera una fuerza electrosttica que acta el electrodo mvil. El aire es desplazado fuera del
espacio entre los electrodos. Al 1/3 del espacio original, la placa est en su lmite de retorno. A medida que el
voltaje se incrementa la placa mvil hace contacto con la placa fija (c). Una capa dielctrica delgada previene la
fusin debido al contacto entre las placas conductor-conductor.

Capa
dielctrica

Los fenmenos de adhesin1, carga, compresin2 y otros efectos superficiales

empiezan a ser importantes en la comprensin del problema como se demostrar a
continuacin. Un anlisis de las fuerzas mecnicas y electrostticas (ver ecuaciones
1 y 2) ilustra el fundamento del comportamiento electro-mecnico del sistema.
Fmechanical ku

(1)

En la ecuacin 1, la fuerza mecnica restauradora est dada por F mechanical, el

desplazamiento

de la placa superior se expresa por u y k es la constante del

resorte. La fuerza electrosttica Felectrostatic es proporcional al cuadrado del voltaje

aplicado, V, e inversamente proporcional al cuadrado del espacio entre las placas,
como se muestra en la ecuacin 2.

Felectrostatic

A 0V 2

2
2 g 0 u

(2)

En la ecuacin 2, g0 es el espacio inicial entre las placas, A es el rea de las placas

y 0 es la permitividad del medio. En este anlisis inicial, la capa dielctrica se
desprecia. Igualando las fuerzas mecnica y electrosttica y resolviendo para el
desplazamiento en funcin del voltaje produce la curva de la figura 2. Use MatLab TM
para construir la curva de la figura 2.

Figura 2. Distancia normalizada entre las placa en funcin del voltaje aplicado. Cuando la deflexin alcanza el
1/3 de la distancia inicial go, el sistema es est en el lmite de estabilidad o punto de no retorno.

La adhesin es la propiedad de la materia por la cual se unen y plasman dos superficies cuando entran en
contacto, y se mantienen juntas por fuerzas intermoleculares.
2
La compresin se refiere a estrechar, apretar o reducir a menor volumen.

En la figura 2 se muestra que una vez que la placa se mueva ms all de u/go = 2/3,
no hay una solucin de equilibrio esttico. En el equilibrio, la fuerza total en la placa
superior es cero, ver ecuacin 3.

Ftotal Fmechanical Felectrostatic ku

A 0V 2

2 g 0 u

0.

(0)

Demuestre que para un equilibrio esttico, se cumple la ecuacin 4 y la ecuacin 5,

donde Utotal es la energa potencial. Adems, demuestre que tomando la derivada e
igualando a cero para obtener el lmite de la estabilidad, resulta la ecuacin 6.

Demostracin de la ecuacin (4):

Antes de poder demostrar la ecuacin 4 hemos de tener presente un concepto que
involucra partculas en cualquier campo gravitatorio simplificado. Este es una
consecuencia prctica del teorema de Torricelli.
Si el potencial V es mnimo en la posicin de equilibrio, sta es estable
Para un sistema sometido a un campo gravitatorio uniforme, las posiciones de equilibrio estable son las que
corresponden a los mnimos de la altura (coordenada vertical) del centro de masas.

Se debe de tener presente, que F ha de ser normal a la superficie, lo que equivale

que sea normal al vector tangente de aquel desplazamiento constante

u . Donde u

definir la posicin de equilibrio sobre la superficie de la placa. Dado que F proviene

de un Potencial:

V r
V u

0
0
r u
u

Es decir, equivale a que el potencial V (u, v) expresado como funcin de las

coordenadas (u, v) de la superficie, sea estacionario.

V ha de tomar un valor estacionario. Para que este equilibrio sea estable, tal y como
hemos visto con anterioridad, este punto debe constituir un mnimo de V, lo que ha
garantizado que al derivar por segunda vez el potencial este debe de ser mayor que
cero es decir positivo. Por lo tanto queda demostrado la ecuacin (4)

2U total
0
u 2

(4)

Demostracin de la ecuacin (5):

Para poder demostrar la ecuacin 5 haremos uso de los conceptos del gradiente del
potencial que es igual a Fuerza. Ya que se trata de un sistema que presenta un
equilibrio estable consecuentemente tendremos lo siguiente
F V

dV
<0
dr

Por lo tanto la Fuerza total en equilibrio esttico debe ser negativa debido a lo antes
mencionado. Finalmente derivamos la fuerza para el valor de desplazamiento
esttico

u.
Ftotal
0
u

(5)

Demostracin de la ecuacin (6):

Debido a que se necesitar la estabilidad lmite del sistema procederemos a derivar
la ecuacin 3 obtenida anteriormente:

Ftotal
A 0V 2

ku
2 = 0
u
u
2 g 0 u

A 0V 2
ku
0
u
u 2 g 0 u 2
k

A 0V 2

g0 u 3

(6)

Demuestre que substituyendo la ecuacin 3 en la ecuacin 6 resulta en la relacin 7

y resolviendo para u en el lmite para estabilidad produce el mximo desplazamiento
para estabilidad (ver ecuacin 8). Demuestre adems que substituyendo la
expresin de la ecuacin 8 en la ecuacin 3 produce el voltaje en el lmite
threshold, conocido como voltaje pull-in (ver ecuacin 9).
k

2ku
0.
g0 u

(7)

Demostracin de la ecuacin (7):

A partir de la ecuacin 3 y 6 determinados anteriormente:

ku
k

A 0V 2

2 g 0 u
A 0V 2

g0 u 3

(3)

(6)

Procederemos a encontrar el mximo desplazamiento para estabilidad.

Despejando de la ecuacin (6):
A 0V 2 2ku g 0 u

Reemplanzando en la ecuacin (3):

ku

2ku g 0 u

g0 u 3

2ku
0
g0 u

Demostracin de la ecuacin (8):

A 0
k

2ku ( g 0 u ) 2
A 0

g0 u 3
k

2ku
0
g0 u

g 0 k uk 2uk
0
g0 u
g 0 k 3uk

u max

g0
.
3

(8)

(7)

Demostracin de la ecuacin (9):

Para poder hallar el voltaje en el lmite threshold, conocido como voltaje pull-in
procederemos a utilizar la ecuacin (8) que describe el mximo desplazamiento para
la estabilidad. Para luego remplazarlo en la ecuacin (3) que determina la Fuerza
total estable.

A 0V 2

ku

2 g 0 u

2ku
A 0

V pi

2ku
A 0

V pi

(9)

g0 u 2

g0

2ku
A 0

V pi
8kg 03
.
27 A 0

g0

2ku 2 g 0

A 0 3

V pi

V pi

4g0 2

8kg 02
9 A 0