Sensor de Presin Capacitivo

Reporte de proyecto
Dra. Myriam Paredes Olgun
Alumnos:
Jhonatan Flores Gonzlez
Josu Gilberto Salazar Navarrete
Grupo 160951
Viernes 28 de Octubre de 2016

Contenido
Introduccin
. 3
Marco
terico. 4,5
Objetivos
... 6
Metodologa
7 - 11
Desarrollo
. 11 - 40
Conclusiones
41
Referencias.
. 42

Introduccin
La simulacin y modelacin de un sistema es de importancia para poder
determinar el comportamiento de dicho modelo, como en este caso la modelacin
de un sensor de presion capacitivo y la simulacin. La diferencia entre ambos es
que en la modelacin se realiza la construccin de modelos con los cuales se
pueden realizar un estudio con condiciones aplicadas al sistema que se va a
manejar y en el caso del sensor construir la geometra y la simulacin es aquella
en donde ya se construy el modelo del sistema (en este caso el sensor) y se
proceder al estudio de que pasara si al sistema se le aplican ciertos cambios en
su entorno como exponerlo a cierta presion.
La importancia del modelado en sistemas como son en MEMS y NEMS son
importantes ya que se tienen grandes aplicaciones tecnolgicas en la actualidad,
como son en las lneas de investigacin relacionadas, con diferentes mecanismos,
ejemplo de ello podra ser en microchips, sensores para el mbito aeronutico o
para celulares, Tablet, laptops, notebooks, etc.
Como en nuestro caso se utiliz para un sensor en donde el COMSOL es una
aplicacin acopladora en los dispositivos NEMS.

Marco terico
La capacitancia es la propiedad de un circuito elctrico de oponerse a un cambio
en la magnitud de tensin a travs del circuito. Adems, capacitancia se refiere a
la caracterstica de un sistema que almacena carga elctrica entre sus
conductores y un dielctrico, almacenando as una energa en forma de campo
elctrico. Este dispositivo se le denomina Capacitor.
En el Sistema Internacional de Unidades la capacitancia es el farad (F), y es
definido por el volt (V) y el coulomb (C), que a su vez est definido por el segundo
(s) y el ampere (A).

Un sensor de presin capacitivo es un capacitor cuyas dos terminales se juntan o

se separan por accin de la presin. Esta separacin se traduce en una variacin
de la capacitancia, la cual es medida, y se usa como base para calcular la presin
del medio.
La medicin capacitiva de la presin se realiza mediante un cuerpo base cuya
membrana metlica, con recubrimiento metlico constituye una de las placas del
condensador.
La deformacin de la membrana, inducida por la presin, reduce la distancia entre
las dos placas con el efecto de un aumento de la capacidad, manteniendo igual la
superficie y la constante dielctrica.
Este sistema permite la medicin de presin con elevada sensibilidad y por lo
tanto la medicin de rangos muy bajos hasta unos pocos milibares. Dado que la
membrana permite una deformacin mxima hasta apoyarse a la placa esttica
resulta una elevada seguridad contra sobrecarga. Las limitaciones practicas estn
determinadas por el material y las caractersticas de la membrana y las tcnicas
de unin y sellado.
Cuando las placas tienen carga, el campo elctrico se localiza casi en su totalidad
en la regin comprendida entre las placas, este campo es uniforme y las cargas de
las placas estn distribuidas uniformemente en sus superficies opuestas. A este
arreglo se le llama capacitos de placas paralelas.
4

La capacitancia de dos placas paralelas est dada por:

C=

A
d

Donde:
= Constante dielctrica del material entre las placas
A = rea de las placas
d = distancia entre las placas
Si la constante dielctrica del material entre las placas no se mantiene pueden dar
como resultado un error. Los sensores de presin capacitivos con un vaco
absoluto entre las placas son ideales en este sentido.
Sensores basados en membrana
Los sensores de presin utilizan un diseo simple que consiste en una membrana
y una cavidad sellada; el elemento de membrana responde y se desva bajo
presin
Las ventajas de miniaturizacin de la tecnologa de
sistemas microelectromecnicos (MEMS) pueden
escalar estas membranas deformables en un
pequeo factor de forma y crear sistemas de microescala.
La deteccin capacitiva, se utiliza un electrodo
colocado en la parte inferior de la superficie (rgido)
de la cavidad sellada superior (deformable). La
deflexin de la membrana provoca cambios en la
capacitancia medida entre el par de electrodos.

Objetivos

Explorar ms opciones de trabajo que nos puede proporcionar COMSOL

Obtener las medidas adecuadas para la geometra, especficamente en la
membrana y la cavidad.
Visualizar los planos deseados para el estudio de la membrana.
Finalizar el proceso, como resultados las grficas de Capacitancia vs
Presin, Diagrama de desplazamiento mximo y promedio, Desplazamiento
vs Esfuerzo y Capacitancia.
Mejorar an ms nuestro manejo (habilidad) de dicho software asi como
conocer el grado de deformacin que puede tener la membrana del sensor
a diferentes presiones

Metodologia
Para igualar la geometra del proyecto se realiz un cilindro y nueve bloques, en
los cuales se trabaj sobre un plano. Y se hicieron los cortes necesarios para
trabajar solo sobre 1/4 de la figura.
6

Primero se dieron las medidas y geometra del sensor las cuales fueron las
siguientes

Se ven pequeas especificaciones que a nivel macro no se ven como la

membrana que va en la cavidad central de la geometra

Se definen los parmetros fsicos con los cuales se realizar la simulacin

Definiendo la cavidad donde se ejercer la presin

Estudio 1
En estudio 1 elegimos la opcion de Estacionario y en ajustes elegimos Barrido
Auxiliar eligiendo el parametro p0 con los siguientes datos
-

Inicio: 0
Paso: 5000
Parar: 25000

Resultados
Despues de calcular nos vamos al consturctor de modelo y localizamos la parte
de Resultados, posteriormente a buscar Conjunto de datos y desglosar la flecha.
Aqu encontraremos la opcin de Estudio1/solucin 1, dar clic derecho y
encontraremos la opcin de Seleccin.
En Nivel de identidad geomtrico, elegir Dominio. Y de la lista de selecciones
elegimos el 3 y el 4
Potencial
En Constructor de modelo, elegimos potencial y hacemos clic en Corte 1. En la
ventana Configuracin para Corte, esta la seccin de plano de datos.Enseguida
elegimos el plano xy-plano y escribmos 1
En la casilla de verificacin Interactivo y escribimos -5.8E-6 y realizamos el grafico
Grupo grafico 1D
En home seleccionamos agregar nuevo grupo y agregamos el Grupo grafico 1D e
hicimos clic en Global agregando los nuevos datos.

En la lista Tipo de Ttulo, seleccionamos Manual. Modificamos el Ttulo escribiendo

Desplazamiento del diafragma. En la seccin Configuracin de trazado
seleccionamos la casilla de verificacin del eje x y escribimos Presin (Pa)del
tambien en la casilla de verificacin de etiquetas del eje Y y escribimos
Desplazamiento (um) y lo nombramos Desplazamiento del diafragma vs Presin
Expansin termica
En el constructor de modelo tenemos la opcin de Electromecanica, desglosamos
la flecha y en Material elstico lineal 1, se habilita la opcin de Atributos y
podemos elegir la opcin de Expansin Termica
Material Silicio
Agregamos en Expansin termica e insertamos los siguentes valores en la tabla

Estudio 2
En estudio 2 elegimos la opcion de Estacionario, despes en ajustes elegimos
Barrido Auxiliar eligiendo el parametro p0 con los siguientes datos
-

Inicio: 0
Paso: 5000
Parar: 25000

Resultados

Desplazamiento

Agregamos en Ms graficos y seleccionamos Espejo 3D y lo construimos.

Desplazamiento del diaframa vs Presin

Nos vamos a la grafica de Desplazamiento del diaframa vs Presin y duplicamos

el estudio Global y en seleccin de datos elegimos Estudio 2/Solucin 2 y en
datos de la Y agregamos

Por ultimo creamos el grafico

Estudio 3
Para el ultimo estudio elegimos la opcion de Estacionario, en ajustes elegimos
Barrido Auxiliar eligiendo el parametro t0 con los siguientes datos
-

Inicio: 290
Paso: 5
Parar: 300

Nos regresamos a la opcin de estudio 3 y en ajustes de estudio hay que

desmarcar la opcion Generar graficos por defecto y mandamos a calcular
Resultados
En Home egregamos un Grupo grafico 1D, en ajustes de dato elegimos
Estudio3/estudio3, duplicamos el estudio global y rempazamos la opcin de
Capacitancia, en datos de Y agregamos los siguientes datos

Y por ultimo hacemos cambio al nombre de Capacitancia Vs Operador de

temperatura.

Desarrollo
- Geometria
Primero comenzamos agregando un bloque que 0.003um de ancho y de
profundidad y de altura 7e-4 um y usamos la opcin de redondear para darle la
forma de circulo

10

Colocamos un bloque con los siguentes parametros para crear el cuadro que esta
con la base.

Construimos el bloque 3 el que sera la continuacin de nuestro cuadro de la base.

Creamos el bloque 4 que ser parte del vacio con 1.1e-6 en posicion de Z.

11

Creamos el bloque 5 que ser la mebrana y podemos observar la base,lo que ser
la cavidad y la membrana.

Agregamos un
correspondientes

nuevo bloque que ser donde se hagan los cortes

Agregamos un plano de trabajo y agregamos las coordenandas para generar el

primer corte y agregamos el objeto de particion para que se notara el plano en la
figura.

12

Agregamos otro Plano de trabajo para realizar el segundo corte y agregamos el

objeto de particin.

13

Posteriormente suprimimos lo que no nos servia que en este caso era el bloque
que esta marcado en azul.

Agregamos un nuevo Plano de trabajo y agregamos las coordenandas para poder

realizar la vista de un cuadro pequeo en donde estar la membrana.

14

Obteniendo nuestra geometria final

Finalmente unimos los dominios de nuestro interes para poder formar la geometria
correcta

15

Posteriormente se llenaron los parametros correspondientes.

APARTADO DE DEFINICIONES
Se agreg una casilla con el nombre de promedio , dentro de la geometria donde
seleccionamos la parte superior de la membrana que es la arista 12.

16

Despues se agrego en Definiciones, entramos a una casilla de Integracin, donde

se elige el punto numero 4.

Agregamos una casilla la cual nos da un plano el cual llamamos YZ el cual nos
marca en la imagen.

17

Agregamos una casilla la cual nos da un plano el cual llamamos XZ el cual nos
marca en la imagen.

Para nuestra base de acero llevamos acabo una plano

18

Para la cavidad hicimos una funcion de Explicito y seleccionamos el dominio 3.

Nos selecciona la parte que ser la
cavidad.

19

Para la cavidad hicimos una funcion de Explicito para todos los dominios .

Agregamos una Diferencia en a cual eliminariamos el espacio de la cavidad.

20

Electromecanica
Material elastico lineal
En la parte de la fisica agregamos el material elastico lineal en donde elegimos en
la seccin de seleccin nuestra Diferencia en donde se encontraba el vacio.

Simetra 1
21

Agregamos un ajuste en Simetra 1 donde elegimos el plano XZ que habiamos

construido anteriormente.

Simetra 2
Seleccionamos el plano YZ ya construido previamente.

Desplazamiento preescrito 2
En fisica encontramos la opcin de Puntos del cual elegimos la opcin de
Desplazamiento preescrito 2 y elegimos el punto 44.
22

Terminal 1
Para esta opcin elegimos el contorno numero 12 que es la parte superior de la
membrana y configuramos que el tipo de terminal sea Voltaje (V) y que el
potencial electrico sea de 1V.

23

Tierra 1
En esta opcion de tierra seleccionamos el contorno 9 que es la parte superior de
la membrana.

24

Materiales
Material 1 - Silicio
Agregamos un material en blanco el cual nombramos Silicio y llenamos la tabla
co los datos indicados en el prodecimeinto

Material 2 - Vacio
Agregamos un nuevo material en blanco y lo nombramos Vacio, seleccionamos
el dominio 3 que le pertenecia al vacio de la membrana y llenamos la tabla
correspondiente, indicando 1 en la permitividad relativa.

Material 3 - Steel AISI 4340

En la opcion de materiales agregamos un nuevo material y nos desglosa una lista
y elegimos el material Steel AISI 4340
25

Mallado
En el mallado le dimos clic derecho para poder desglosar un menu y elegir la
opcion de Editar secuencia inducida por la fisica y automaticamente nos da la
opcin de Tetradrico libre el cual nos pide que deshabilitemos.

26

Tamao 1
En esta opcin Selecionamos la opcin de Tamao maximo de los elementos y le
agregamos el valor de 50e-6 ya que su mallado llevara un diferente mallado que
es la parte ms pequea

Mapeado
Elegimos los contornos 3, 16 y 32 los cuales son la parte inferior de la base para
indicar su mapeado.

Barrido 1
27

Realizamos un barrido
de toda la geometra para que quedara finalmente
nuestra malla, nos prevenimos que cada valor fuera el correcto para obtener una
mejor distribucin de la malla.

Estudio 1
Estudio: Estacionario 1
Para este paso acudimos a un barrido auxiliar tomando en cuenta el parametro de
presin y con un rango de:
-

Inicio: 0
Paso: 5000
Parar: 25000
28

Se lleva acabo el calculo y se nota que la punta donde esta la cavidad se

concentra los colores.

El siguiente paso es obtener una vista de la membrana la cual es la que

estudiaremos, para ello en la parte de resultados se encuentra la opcin de
29

conjunto de datos , despues nos desglosa la opcin de Estudio1/solucin1

podemos elegir la opcin de seleccin.
Elegimos el dominio 3 y 4 correspondientes a la membana.

Y obtenemos lo siguiente

30

Vista en Potencial
Debido a la deformacin del diafragma el potencial es no uniformemente
distribuida, cuando se traza la deformacin de la membrana como una funcin de
la presin diferencial a travs de ella. Incluya ambos desplazamientos media y
mxima

31

Grupo grafico 1D 3
En la
Home elegimos la opcion de agregar un Grupo grafico 1D 3 y
posteriormente la opcin de Global llenando los parametros correspondientes.

Al Grupo grafico 1D 3 lo nombramos Drigrama de desplazamiento vs presin y se

obtuvo la grafica de Desplazamiento maximo y promedio

32

Agregamos un segundo Grupo grafico 1D 4 y elegimos nuevamente Global, en la

opcin de Informacin del eje Y remplazamos la opcin de replazar expresin, en
componente- tomamos la opcin de electromecanica Terminal Capacitancia

Llenamos los parametros correspondientes y al Grupo grafico 1D 4 lo nombramos

modelo de Capacitancia vs Presin, obteniendo la grafica de Capacitancia y
Capacitancia linearizada analitica.
33

Agregamos un nuevo valor en la electromecanica en fisica elegimos la opcion de

Material elastico lineal 1 y elegimos de Atributos y escogemos la opcin de
Expansin Termica

34

Hacemos el cambio en la tempetatura marcandolo solo como T0 y Tref se cambia

a Tref

Nos regresamos a la opcion de materiales y en la opcion de Coeficiente de

Expansin termica le agregamos

35

ESTUDIO 2
Se realiza un segundo estudio Estacionario,para ello nos vamos a home y
elegimos la opcion de agregar un nuevo estudio

36

Aadimos un Barrido auxiliar tomando en cuenta el parametro de presin y con un

rango de:
-

Inicio: 0
Paso: 5000
Parar: 25000

Se llleva acabo el calculo y se nota que la punta donde esta la cavidad se

concentra los colores y en la base del sensor. Aplicamos un espejo 3D para
obtener el segundo cuarto de nuestro sensor

Diagrama de Desplazamiento vs Presin .

Anteriormente habiamos creado una grafica llamada desplazamiento vs presin,
duplicamos su estuidio global para meter nuevos datos y creamos el grafico

37

Podemos observar que ahora esta el desplazamiento vs la tensin de la

membrana.

ESTUDIO 3
38

Creamos un nuevo estudio para el cual utilizamos un barrido auxiliar y utlizamos

el parametro de T0 con el siguiente rango :
-

Inicio: 290
Paso: 5
Parar: 300

Posteriormente creamos un nuevo Grupo grafico 1D 7 donde elegimos un estudio

global . Remplazamos la expresin eleigiendo

Y lo nombamos Modelo de capacitancia vs operacin de temperatura y obtuvimos

al siguiente grafica.

Flujo magnetico

39

El aplicar las flechas en el modelo se realiz con la intencin de comprender como

se comporta el flujo dentro de esta geometra y el resultado fue algo que un tanto
inesperado y es que las flechas se pueden apreciar que van hacia el exterior

Aplicando las flechas de superficie

Estas fueron colocadas en el Desplazamiento (emi)1
En la pestaa de desplazamiento emi 1 > Elegimos flechas de superficie > Luego
en la ventana de ajuste de las flechas de superficie colocamos los valores > En
componentes x, y, z sucesivamente > Title se queda en automatico > Y se
selecciona el nmero de flechas que se quiere en colores y estilos

40

Aplicando las flechas de superficie en el potencial ( emi ) 1

Aqu observamos que a diferencias de las anteriores estas no salen si no que va
hacia dentro el flujo de las flechas
En la pestaa de potencial emi 1 > Elegimos flecas de superficie > En los ajustes
en los datos podemos elegir los parmetros a evaluar estos sern los rangos de
Presin que se colocaron > En plot settings se dej Fram: material (x,y,z)

41

Conclusiones
Segn los datos arrojados por el software utilizado (COMSOL) la placa del
diafragma de nuestro sensor capacitivo de presin, el capacitor al aplicarle un
voltaje se genera la presin en la membrana y se desplaza .89m al aplicarle
10Kpa de presin para despus aplicarle una temperatura la membrana se vuelve
ms sensible debido a la expansin trmica que causa la temperatura en la
membrana
Segn las grficas el material de la membrana es un buen material para aplicarlo
en este tipo de membranas ya que se obtienen buenos rangos en las tareas que
es requerido, adems tambin muestra buen comportamiento al aplicarle
temperatura, lo cual es muy bueno ya que no vara su funcionamiento, debido al
trabajo que ejerce se puede llegar a calentar
Asi mismo en el estudio observamos el mximo desplazamiento y el
desplazamiento promedio la membrana cuando se le ejerci la presin.
En el modelo de capacitancia vs presin se observ la capacitancia de la
membrana cuando se le aplica la presin; con y sin el esfuerzo.
En el modelo de la capacitancia vs operacin de temperatura pudimos observar
que la temperatura si depende de la capacitancia y que estas varan cuando hay
algn cambio en el diafragma.

42

Referencias
-Alan M. Portis. Campos electromagnticos. Editorial reverte. Barcelona (2005)
-ngel Zetina. Electrnica Bsica, Mxico: Editorial Limusa (2004)
-Bloginstrumentacion.com (2010) Cmo funciona un transmisor de presin? Recuperado
de http://www.bloginstrumentacion.com/blog/2010/06/28/como-funciona-un-transmisor-depresion/
-Ramn Pallas Areny, Sensores y acondicionadores de seal, Barcelona: Editorial
Marcombo (2003)
-Sensors (2014). Chronically Implanted Pressure Sensors: Challenges and State of the
Field. Recuperado de http://www.mdpi.com/1424-8220/14/11/20620/htm
-Sensors Online (1998) Pressure Fundamentals of Pressure Sensor Technology.
Recuperado de http://www.sensorsmag.com/sensors/pressure/fundamentals-pressuresensor-technology-846

43