BAB I

PENDAHULUAN

A. Latar Belakang
Pada saat ini dunia penelitian berkembang dengan sangat cepat. Berbagai macam
penelitian dilakukan untuk mengetahui ilmu-ilmu baru. Dalam proses penelitian tersebut
membutuhkan berbagai bahan dan alat penunjang. Agar tujuan dari penelitian tersebut dapat
tercapai. Terutama penelitian dalam ilmu sains.

Dengan perkembangan dunia penelitian tersebut, maka berkembang pula alat- alat
penelitian yang digunakan. Karena hal itu seorang peneliti harus mengetahui berbagai alat
yang dapat digunakan dalam penelitian. Salah satu alat canggih yang digunakan pada saat ini
adalah Field Emission Scanning Elektron Microscope yang biasanya disingkat dengan nama
FE SEM.

FESEM digunakan untuk memvisualisasikan rincian topografi yang sangat kecil di

permukaan atau seluruh objek dari benda. FE SEM dikembangkan pertama kali tahun 1938
oleh Manfred von Ardenne (ilmuwan Jerman). Konsep dasar dari FE SEM ini sebenarnya
disampaikan oleh Max Knoll (penemu TEM) pada tahun 1935. FE SEM bekerja berdasarkan
prinsip scan sinar elektron pada permukaan sampel, yang selanjutnya informasi yang
didapatkan diubah menjadi gambar. Imajinasi mudahnya gambar yang didapat mirip
sebagaimana gambar pada televisi.

Cara terbentuknya gambar pada FESEM berbeda dengan apa yang terjadi pada
mikroskop optic dan TEM. Pada FESEM gambar dibuat berdasarkan deteksi elektron baru
(elektron sekunder) atau elektron pantul yang muncul dari permukaan sampel ketika
permukaan sampel tersebut discan dengan sinar elektron. Elektron sekunder atau elektron
pantul yang terdeteksi selanjutnya diperkuat sinyalnya, kemudian besar amplitudonya
ditampilkan dalam gradasi gelap-terang pada layar monitor CRT (cathode ray tube). Di layar
CRT inilah gambar struktur obyek yang sudah diperbesar bisa dilihat. Pada proses
operasinya, FE SEM tidak memerlukan sampel yang ditipiskan, sehingga bisa digunakan
untuk melihat obyek dari sudut pandang 3 dimensi. Demikian, FE SEM mempunyai resolusi
tinggi dan familiar untuk mengamati obyek benda berukuran nano meter. Meskipun
demikian, resolusi tinggi tersebut didapatkan untuk scan dalam arah horizontal, sedangkan
scan secara vertikal (tinggi rendahnya struktur) resolusinya rendah. Ini merupakan kelemahan
FE SEM yang belum diketahui pemecahannya. Namun demikian, sejak sekitar tahun 1970-
an, telah dikembangkan mikroskop baru yang mempunyai resolusi tinggi baik secara
horizontal maupun secara vertikal, yang dikenal dengan "scanning probe microscopy (SPM)".
SPM mempunyai prinsip kerja yang berbeda dari SEM maupun TEM dan merupakan
generasi baru dari tipe mikroskop scan. Mikroskop yang sekarang dikenal mempunyai tipe ini
adalah scanning tunneling microscope (STM), atomic force microscope (AFM) dan scanning
near-field optical microscope (SNOM). Mikroskop tipe ini banyak digunakan dalam riset
teknologi nano. Mikroskop elektron adalah sebuah mikroskop yang mampu untuk melakukan
pembesaran objek sampai 2 juta kali, yang menggunakan elektrostatik dan elektromagnetik
untuk mengontrol pencahayaan dan tampilan gambar serta memiliki kemampuan pembesaran
objek serta resolusi yang jauh lebih bagus daripada mikroskop cahaya. Mikroskop elektron
ini menggunakan jauh lebih banyak energi dan radiasi elektromagnetik yang lebih pendek
dibandingkan mikroskop cahaya. Dan materi yang akan dijadikan objek pemantauan dengan
menggunakan mikroskop elektron ini harus diproses sedemikian rupa sehingga menghasilkan
suatu sampel yang memenuhi syarat untuk dapat digunakan sebagai preparat pada mikroskop
elektron.

B. Rumusan Masalah

1. Apa itu FESEM ?

2. Bagaimana komponen-komponen dari FESEM ?
3. Bagaimana prinsip kerja dari FESEM ?
4. Bagaimana karakteristik sampel yang digunakan untuk pengujian menggunakan
FESEM ?
5. Bagaimana tahap persiapan sampel dari FESEM ?
6. Bagaimana interpretasi data dari FESEM ?

C. Tujuan

1. Menjelaskan apa itu FESEM.

2. Menjelaskan komponen-komponen dari FESEM.
3. Menjelaskan prinsip kerja FESEM.
 4. Menjelaskan karakteristik sampel yang digunakan untuk pengujian menggunakan
FESEM.
5. Menjelaskan tahap persiapan sampel dari FESEM.
6. Menjelaskan interpretasi data dari FESEM.

D. Manfaat

Adapun Manfaat dari penulisan makalah ini adalah sebagai berikut :

1. Menambah wawasan bagi para pembaca, khususnya untuk penulis sendiri.

2. Sebagai salah satu referensi untuk meneliti beberapa bahan atau sampel yang biasa
digunakan dalam pendektesian karakterisasi menggunakan FESEM.
3. sebagai salah satu syarat untuk memenuhi tugas mata kuliah Teknik Karakterisasi
Material.
 BAB II
KAJIAN TEORI

A. PENGERTIAN FESEM ( Field Emission Scanning Elektron Microscope )

Mikroskop bidang emisi (FEM) adalah teknik analisis yang digunakan dalam ilmu
material untuk menyelidiki struktur permukaan molekul dan sifat elektronik. Diciptakan oleh
Erwin Wilhelm Mller pada tahun 1936, FEM adalah salah satu instrumen analisis
permukaan pertama yang mendekati atom resolusi (Wikipedia).

Scanning electron microscop serbaguna, teknik non-destruktif yang mengungkapkan

informasi rinci tentang morfologi dan komposisi bahan-bahan alami, SUPRA 40 (Zeiss)
telah dikembangkan sebagai FESEM serbaguna yang mampu memberikan solusi pencitraan
berkualitas tinggi untuk banyak aplikasi menuntut di bidang teknologi nano. Ia menawarkan
stabilitas yang tinggi dan besar (130 mm) sepenuhnya bermotor eucentric specimen holder
serbaguna. Terutama layak disebut bahwa kolom GEMINI FESEM digunakan pada SUPRA
40 memiliki medan magnet yang sangat rendah di luar lensa objektif yang memungkinkan
penyelidikan bahan magnetik dan perangkat. Sebuah katoda bidang emisi di electron gun
menyediakan balok menyelidik sempit di rendah serta energi elektron tinggi, sehingga baik
resolusi spasial meningkat dan pengisian sampel diminimalkan dan kerusakan
(areeweb,diakses tgl 1-04-15).

FEM adalah mikroskop elektron gambar. Teknologi bidang emitor baru dan kolom
Gemini canggih memungkinkan untuk resolusi tinggi pencitraan elektron, lebih 1.000.000X
(> 10 nm pada 1 kV) untuk beberapa sampel. Pada tegangan rendah seperti, sampel non
konduktif yang mudah tanpa gambar lapisan. Modus VP berjalan di ruang sampel pada
tekanan tinggi (20-40 Pa) yang membantu bertugas-kompensasi sampel. Hal ini
memungkinkan sampel isolasi yang akan dianalisis dan gambar tanpa lapisan. Sistem EDS
mendeteksi sinar-X yang dipancarkan dari sampel sebagai akibat dari energi tinggi sinar
elektron menembus ke dalam sampel. Spektrum sinar-X dapat dikumpulkan dan dianalisis,
menghasilkan informasi kuantitatif tentang unsur sampel. Sebuah "standardless" rutin
digunakan, yang menghasilkan akurasi 1-2% dan sensitivitas untuk beberapa elemen turun
menjadi 0,1 persen beratnya. Memindai garis dan peta x-ray juga dapat dihasilkan. Elektron
backscattered difraksi (EBSD) sistem menggunakan layar fluorescent untuk menangkap
elektron difraksi dari sampel kristal. Pola difraksi adalah karakteristik dari struktur kristal dan
orientasi wilayah sampel dari yang dihasilkan. Dengan bantuan perangkat lunak yang sangat
canggih dan beberapa database kristalografi, struktur kristal dapat diidentifikasi dan
berorientasi. Untuk sampel ahli-dipoles, pemetaan orientasi, tekanan, Morfologi, dll juga
mungkin.( montana.edu, diakses tgl 1-04-15 ).

Penelitian Hitachi pada mikroskop elektron, yang menggunakan sinar elektron untuk
menerangi spesimen dan menghasilkan gambar diperbesar, mulai mendekati 70 tahun yang
lalu. Pada tahun 1942, Hitachi mengembangkan pertama mikroskop elektron komersial
Jepang. Perusahaan kemudian bekerja selama beberapa dekade untuk meningkatkan
teknologi. Tetapi yang lain, termasuk Crewe, yang pada awal 1960-an adalah direktur
Argonne National Laboratory, di Downers Grove Township, Ill., Juga membuat kemajuan
dalam mikroskop. Crewe telah menjadi tertarik pada mikroskop elektron karena program
biologi lab-nya luas. Dia ingin memperbaiki gambar mikroskopis yang begitu integral
penelitian ahli biologi '. Dia datang dengan desain untuk mikroskop yang memindai sampel
dengan sinar energi tinggi elektron dalam persegi panjang, garis-at-a-time pola. Karena
berkas elektron sempit, gambar scanning-elektron-mikroskop memiliki kedalaman besar
lapangan, menghasilkan penampilan tiga dimensi karakteristik yang berguna untuk
memahami struktur sampel. Crewe membentuk sebuah kelompok di Argonne untuk
mengubah konsep menjadi kenyataan, dan pada tahun 1963 para peneliti membuat perangkat
berfungsi. Setahun kemudian, ia mengembangkan bidang emisi pertama (FE) pistol, yang
meningkatkan mikroskop elektron kualitas optik. Pistol menghasilkan berkas elektron lebih
kecil dengan diameter dan dengan rapat arus yang lebih besar dan kecerahan daripada yang
dapat dicapai dengan termionik emitter-yang konvensional bergantung pada aliran panas
yang disebabkan dari pembawa muatan dari permukaan. Pistol juga meningkatkan sinyal
untuk rasio kebisingan dan resolusi spasial. (theinstitute.ieee.org, Di akses tgl 1-04-15)

B. Perbedaan FESEM dan SEM

Jenis Emitter (emitor termionik dan Lapangan emitor, masing-masing) adalah perbedaan
utama antara Scanning Electron Microscope (SEM) dan Emisi Scanning Electron Microscope
Lapangan (FESEM). Termionik Emiten menggunakan arus listrik untuk memanaskan
filamen; dua bahan yang paling umum digunakan untuk filamen adalah Tungsten (W) dan
Lanthanum Hexaboride (LaB6). Ketika panas yang cukup untuk mengatasi fungsi kerja dari
bahan filamen, elektron dapat melarikan diri dari bahan itu sendiri. Sumber termionik
memiliki kecerahan relatif rendah, penguapan bahan katoda dan drift termal selama operasi.
Lapangan Emisi adalah salah satu cara menghasilkan elektron yang menghindari masalah ini.
A Bidang Emisi Gun (FEG); juga disebut emitor lapangan katoda dingin, tidak panas filamen.
Emisi dicapai dengan menempatkan filamen dalam gradien potensial listrik yang sangat
besar. The FEG biasanya kawat Tungsten (W) dibentuk menjadi titik yang tajam.
 BAB III
FE SEM ( FIELD EMISSION SCANNING ELECTRON MICROSCOP )

A. Nama Alat

FE SEM ( FIELD EMISSION SCANNING ELECTRON MICROSCOP )

Gambar 1. Alat FE SEM

Gambar di atas adalah salah satu alat FE SEM merk JEOL JSM - 7000F, berikut spesifikasi
alat FE SEM merk JEOL JSM - 7000F ;

Karakterisasi struktur nano

Struktur permukaan nyata dapat diamati dengan kontras yang optimal. Analisis EDS dapat
dilakukan pada analisis volume yang sub-mikron.

High Power Optik

Menyimpan elektron penyelidikan ukuran kecil bahkan pada energi elektron yang lebih
rendah. High Power Optik Baru, menghasilkan hingga 200 nA probe saat sambil
mempertahankan probe ukuran kecil. Bukaan lensa terkecil obyektif menyediakan sampai 20
nA penyelidikan saat ini. Probe yang lebih tinggi saat ini meningkatkan efisiensi analisis EDS
dan EBSD.

Gambar Kualitas Tinggi

The High Power Optik memiliki banyak lintang bahkan pada perbesaran yang lebih tinggi
dari x100,000. Hal ini dimungkinkan untuk menurunkan energi elektron untuk pengamatan
struktur permukaan halus. The backscattered detektor elektron mempertahankan sensitivitas
tinggi bahkan pada energi elektron yang rendah dan memungkinkan seseorang untuk
mengamati gambar komposisi dengan resolusi setara dengan gambar SE. Sensitivitas tinggi
backscattered detektor elektron sangat diperlukan untuk karakterisasi Nano-struktur untuk
kedua dalam ilmu material dan aplikasi biologis.

B. Komponen Alat

Gambar 2. Peralatan FE SEM

Keterangan:

1. Tabung elektron, berfungsi untuk menjaga suhu dari sampel yang diamati
2. Panel steering, Mikroskop yang sedang dioperasikan dari panel steering menutup
salinan panel ini yang digunakan untuk simulasi

3. Cryo-unit, berfungsi untuk mengamati bagaimana struktur dari sampel

4. Alat ini berfungsi apabila sampel tidak terlihat jelas maka mikroskop inilah yang akan
memperjelas struktur sampel tersebut

5. Layar besar, berfungsi untuk menangkap panjang gelombang

6. Layar kecil, berfungsi untuk melihat objek ruang

7. Komputer untuk pengarsipan dan pengolahan gambar

8. Lemari yang berisi Lot of elektronik

Beberapa bentuk peletakan sampel:

Sebuah spesimen dimasukkan ke dalam ruang spesimen melalui ruang airlock dengan
JEOL dipatenkan Satu Aksi Spesimen Exchange.
Gambar 3. Bentuk-bentuk preparasi sampel

Sebuah gambar bagaimana

tampilannya dalam kehidupan
nyata
 C. Prinsip Kerja FESEM

Gambar 3. Skema FESEM secara umum

(Field Emission Scanning Electron Microscope--Theory.mht)

Gambar di atas menunjukkan suatu bagan atau skema FESEM secara umum. Elektron dari
suatu kawat pijar diletakkan di dalam suatu tabung elektron yang berbentuk bertiang untuk
specimen atau sampel di dalam suatu ruang hampa. Berkas cahaya akan membentuk satu
baris secara terus-menerus memindai ke seberang sampel pada kecepatan tinggi. Berkas
cahaya ini akan menyinari sample yang mana pada gilirannya menghasilkan suatu isyarat
peta elektronik dalam wujud berupa fluorescence sinar x, elektron backscattered atau
sekunder.

FESEM mempunyai suatu detektor elektron sekunder. Isyarat yang diproduksi oleh
elektron sekunder dideteksi dan dikirim untuk dijadikan suatu gambaran pada CRT.
Memindai suatu nilai tingkat berkas cahaya pada elektron dapat ditingkatkan atau diatur
sedemikian rupa sehingga suatu gambar 3D dapat dilihat pada sample yang telah discanning.

D. Karakteristik Sampel

Dengan menggunakan FE SEM ( FIELD EMISSION SCANNING ELECTRON

MICROSCOPE ) karakteristik sampel yang ingin dilihat yaitu berupa sayatan, jasad
renik, serbuk dari tumbuhan, dan lain-lain.
Tujuan dari percobaan ini adalah melihat bagaimana bentuk morfologi dari jasad renik
atau tumbuhan setelah melakukan perbesaran beberapa kali.

E. Tahap Persiapan Sampel

Agar pengamat dapat mengamati preparat dengan baik, diperlukan persiapan sediaan
dengan tahap sebagai berikut :

1. Melakukan fiksasi, yang bertujuan untuk mematikan sel tanpa mengubah struktur sel
yang akan diamati. Fiksasi dapat dilakukan dengan menggunakan senyawa
glutaraldehida atau osmium tetroksida. Fiksasi yaitu suatu metoda persiapan untuk
menyiapkan suatu sampel agar tampak realistik (seperti kenyataanya) dengan
menggunakan glutaraldehid dan osmium tetroksida.
2. Dehidrasi, yang bertujuan untuk memperendah kadar air dalam sayatan sehingga tidak
mengganggu proses pengamatan. Dehidrasi yaitu suatu metode persiapan dengan cara
menggantikan air dengan bahan pelarut organik seperti ethanol atau aceton.
3. Pelapisan atau pewarnaan, bertujuan untuk memperbesar kontras preparat yang akan
diamati dengan lingkungan sekitarnya. Pelapisan atau pewarnaan dapat menggunakan
logam mulia seperti emas dan platina. Pewarnaan (Staining) yaitu suatu metode
persiapan dengan menggunakan metal berat seperti timah, uranium atau tungsten
untuk menguraikan elektron gambar sehingga menghasilkan kontras antara struktur
 yang berlainan dimana khususnya materi biologikal banyak yang warnanya nyaris
transparan terhadap elektron (objek fase lemah).

F. Interpretasi Data

Contoh sampel yang dideteksi dengan alat FESEM ini adalah sel kulit makhluk hidup
dan berbagai serangga. Dimana dapat dilihat contoh gambar sampelnya sebagai
berikut :

1. Contoh sampel Cat Flea (kutu kucing) dengan perbesaran 350 kali. Tidak
sama dengan mata campuran kebanyakan serangga, kutu mempunyai mata
sederhana.

Gambar 4. Kutu kucing ( cat flea )

2. Contoh sampel lalat kuning dengan perbesaran berjuta kali sehingga
memperlihatkan detail gambar yang sedikit menyeramkan dalam bentuk
3D.

Gambar 5. Lalat kuning

3. Contoh sampel lebah yang diperbesar berjuta kali sehingga
memperlihatkan detail gambar yang agak menyeramkan dalam bentuk 3D.
 Gambar 5. Lebah
4. Menunjukkan mikrograf AC-1Z-N lebih tinggi, perbesaran 7500x.
Mikrograf ini memperbesar rongga internal yang lebih jelas. Pengukuran
langsung dari mikrograf menunjukkan bahwa rata-rata pori diameter 1m.
Permukaan AC-1Z-N tampak lebih jelas dan halus dibandingkan
permukaan mentah-PKS akibat penghapusan senyawa volatil dan kotoran
selama proses aktivasi

5. Gambar 5. menunjukkan mikrograf permukaan mentah-PKS. Permukaan

mentah-PKS padat dan planar tanpa ada yang retak dan celah-celah.
Butiran kayu dapat dilihat dengan jelas pada permukaan cangkang kelapa
sawit adalah jenis khas bahan lignoseluosa
 Gambar 5. mikrograf mentah-PKS dengan perbesaran 500x

BAB IV
PENUTUP

A. Kesimpulan

1. FESEM merupakan singkatan dari kata Bidang Emisi Scanning Electron mikroskop.
FESEM digunakan untuk memvisualisasikan rincian topografi yang sangat kecil di
permukaan atau seluruh objek dari benda.
2. Komponen penyusun FESEM berupa: Tabung elektron, Panel steering, Mikroskop,
Cryo-unit,dll
3. Prinsip kerja dari FESEM yaitu Elektron dari suatu kawat pijar diletakkan di dalam
suatu tabung elektron yang berbentuk bertiang untuk specimen atau sampel di dalam
suatu ruang hampa. Berkas cahaya akan membentuk satu baris secara terus-menerus
memindai ke seberang sampel pada kecepatan tinggi. Berkas cahaya ini akan
menyinari sample yang mana pada gilirannya menghasilkan suatu isyarat peta
elektronik dalam wujud berupa fluorescence sinar x, elektron backscattered atau
sekunder.

4. Dengan menggunakan FE SEM ( FIELD EMISSION SCANNING ELECTRON

MICROSCOPE ) karakteristik sampel yang ingin dilihat yaitu berupa sayatan, jasad
renik, serbuk dari tumbuhan, dan lain-lain.
5. Ada 3 tahap untuk persiapan sampel untuk FESEM yaitu fiksasi, dehidrasi dan
pelapisan atau pewarnaan.
6. Interpretasi yang di dapat yaitu Pada penggunaan FESEM kita dapat mengamati
bentuk morfologi pada spesimen yang diamati dan juga dapat mengukur ukuran
partikel pada spesimen dan dapat melihat kandungan bahan jika digunakan tambahan
identifikasi bahan(EDS).

B. SARAN
Makalah ini masih jauh dari kesempurnaan baik dari segi isi maupun tata penulisan
yang benar. Maka oleh sebab itu, penulis berharap banyak kepada pembaca untuk ikut
berpartisipasi agar makalh ini bisa menjadi lebih baik dari sebelumya.
 DAFTAR PUSTAKA

http://areeweb.polito.it/ricerca/carbongroup/fac_fesem.html
http://www.physics.montana.edu/ical/instrumentation/fesem.asp
http://www.vub.ac.be/META/toestellen_FE_SEM.php?m=xpand&d=menu7
http://en.wikipedia.org/wiki/Field_emission_microscopy
file:///E:/semester%206/KELOMPOK%20ALAT/FE%20SEM%20TIA
%202015/bahan%20fesem%202/Politecnich%20of%20Turin%20-%20Carbon
%20Group.htm
http://theinstitute.ieee.org/technology-focus/technology-history/field-emission-
scanning-electron-microscope-earns-milestone
http://qminutes.blogspot.com/2010/03/photo-serangga-yg-diperbesar-jutaan.html
Field Emission - Scanning Electron Microscopes from Carl Zeiss