INTRODUCCIN A LA METROLOGA

Curso Acadmico 2011-

2011-12

Rafael Muoz Bueno

Laboratorio de Metrologa y Metrotecnia
LMM--ETSII
LMM ETSII--UPM
 TEMA 6. Sistemas lser en medicin de longitudes

ndice

1. Concepto de interferometra.

2. Interfermetros para medicin de longitudes con desplazamiento.

3. Interfermetros para medicin de longitudes sin desplazamiento.

4. Calibracin de sistemas interferomtricos lser

Introduccin a la Metrologa Curso Acadmico 11-12

 Patrn primario de longitud: El metro, m
Definicin actual del metro
La actual definicin del metro fue adoptada en la XVII Conferencia General de Pesas
y Medidas, en 1983 como:

La longitud del trayecto recorrido por la luz en el vaco durante un tiempo

de 1 / 299 792 458 s.

Esta definicin del metro es legal en Espaa tras la entrada en vigor del Real
Decreto 1317/1989, de 27 de octubre, publicado en el BOE n 264, de 3 de
noviembre de 1989.

El Centro Espaol de Metrologa disemina la unidad de longitud desde sus

lseres primarios, mediante la calibracin de lseres estabilizados por diversos
mtodos, emitiendo en 633 nm, los cuales son ampliamente utilizados en metrologa
de longitudes.

Introduccin a la Metrologa Curso Acadmico 11-12

 Interferometra: Conceptos generales (i)

La luz es capaz de producir interferencias luminosas, cuando se superponen al

menos dos trenes de ondas.

La formacin de estas franjas de interferencia es consecuencia de la diferencia

de fase que existe entre ambos trenes de ondas

Interferencia destructiva: En la interseccin de dos ondas de igual

amplitud y longitud de onda, si la diferencia de fase es mltiplo impar de
radianes, los valles de una onda coinciden con las crestas de la otra,
resultando una interferencia destructiva, es decir, una onda de amplitud nula,
observndose una franja oscura.

Interferencia constructiva: Si la diferencia de fase es mltiplo par de

radianes, entonces coinciden tanto los valles como las crestas de ambas
ondas, resultando una interferencia constructiva; es decir, una onda de
amplitud doble, observndose una franja clara.

Introduccin a la Metrologa Curso Acadmico 11-12

 Interferometra: Conceptos generales (iii)
Interferencia destructiva
Onda
1+2
Onda 1

Interferencia destructiva

Onda 2

Introduccin a la Metrologa Curso Acadmico 11-12

 Interferometra: Conceptos generales (ii)
Interferencia constructiva

Onda 1
Onda
1+2

Onda 2

Introduccin a la Metrologa Curso Acadmico 11-12

 Interferometra: Conceptos generales (iii)
Interfermetro de Michelson

Espejo Cuando los espejos estn a la misma distancia

del divisor de haz los dos haces estn en fase y
se produce interferencia constructiva.

Si el espejo mvil se desplaza un cuarto de

X onda, entonces el haz recombinado estar fuera
Divisor de haz de fase 180 y tendremos interferencia
Fuente de luz
destructiva.
monocromtica,
Si se alejan los espejos, entonces las diferencias
de camino ptico producir franjas de
I0 interferencia

2
I = 2 I 0 1 + cos 2n X
Haz I
Espejo Si el ndice de refraccin n se mantiene cte., las
recombinado mvil variaciones en el camino ptico se debe slo al
desplazamiento del espejo y, si se conoce ,
Franjas de interferencia pueden determinarse con gran exactitud los
desplazamientos del espejo mvil, X
Pantalla
Introduccin a la Metrologa Curso Acadmico 11-12
 Interferometra: Conceptos generales (iv)
Mtodo interferomtrico

El mtodo interferomtrico de medida de

longitudes puede aplicarse en:

Mediciones de longitud con desplazamiento:

Evaluar el desplazamiento relativo existente
entre dos sistemas de franjas.

Mediciones de longitud sin desplazamiento:

Contar el nmero de franjas contenidas en una
determinada longitud.

Este mtodo se lleva a la prctica en aparatos

denominados interfermetros.

Introduccin a la Metrologa Curso Acadmico 11-12

Interfermetros para medicin de longitudes con desplazamiento

El esquema del interfermetro de Michelson es muy simplista. Existen

modificaciones ms o menos complejas, en las que varan:

El tipo de lser utilizado

La complejidad del sistema ptico (en el que haces con diferente polarizacin
y/o frecuencia recorren caminos diferentes).
La electrnica y software de deteccin y tratamiento de las seales de
interferencia.
Se han desarrollado dos mtodos principales de deteccin segn el tipo de lser
utilizado:
Sistemas homodinos: Emisiones lser en una sola frecuencia
Sistemas heterodinos: Lser emite en dos frecuencias ms o menos
cercanas.

Introduccin a la Metrologa Curso Acadmico 11-12

Interfermetros para medicin de longitudes con desplazamiento

Sistemas heterodinos

Para sistemas heterodinos se emplean dos mtodos para generar haces lser con
dos frecuencias distintas:

Modulacin acusto-ptica: Un lser estabilizado emite un haz de una sola

frecuencia, f1. Posteriormente se le hace pasar por un sistema de modulacin
acusto-optico (AOM). Se generan as dos haces separados tanto fsicamente
como en frecuencia, f1 y f2. La separacin en frecuencias es siempre de
algunas decenas de MHz.

Efecto Zeeman: Es el propio lser el que emite dos haces de distinta

frecuencia (entre cientos de kHz y 4 MHz) polarizados linealmente en
cuadratura, f1 y f2.

Introduccin a la Metrologa Curso Acadmico 11-12

Interfermetros para medicin de longitudes con desplazamiento

Principio de medida interferomtrico de distancias para un sistema heterodino (i)

El batido del haz lser antes de la entrada en el interfermetro, ser proporcional a la

siguiente seal en funcin de la diferencia de frecuencias y de fases de los dos haces
perpendiculares que lo forman:

I r = 2 E01 E02 cos[2 ( f 2 f1 ) t + (02 01 )]

Esta primera seal de batido se denomina seal de referencia, Ir siendo su frecuencia
muy estable e igual a la diferencia de frecuencia de los haces, que es precisamente la
generada por el efecto Zeeman en un caso o la de la excitacin de AOM en el otro.

Si a la salida del lser el haz es dividido, de una manera u otra cada haz recorre caminos
distintos en el interfermetro, uno hacia el reflector fijo y otra hacia el reflector mvil.

Posteriormente se combinan fsicamente ambos haces para, despus de atravesar un

polarizador, detectar su batido en un segundo fotodetector, Im:

I r = 2 E01 E02 cos[2 ( f 2 f1 ) t + (02 01 ) + (m r )]

Introduccin a la Metrologa Curso Acadmico 11-12
Interfermetros para medicin de longitudes con desplazamiento

Principio de medida interferomtrico de distancias para un sistema heterodino (ii)

Ir e Im se diferencian nicamente en una fase que es proporcional a la diferencia

de caminos que ha recorrido cada haz. Esta segunda seal se denomina seal de
medida, siendo su fase y frecuencia instantnea variable durante el desplazamiento del
reflector mvil.

Cuando el reflector mvil se desplaza, esta diferencia de fase depende del tiempo,
generndose un corrimiento Doppler de la frecuencia del segundo haz que es proporcional
a la velocidad, v: 2 nf
f = 2
c
La diferencia de fase entre las seales de referencia y medida en los puntos de reposo del
espejo mvil ser la integral temporal de la variacin de frecuencia entre los instantes
correspondientes: 2
nf
2
f
m r = = 2 f dt =4 2
v dt = 4 n 2
X
1
c 1
c
Es decir, para determinar el desplazamiento del reflector mvil hay que medir la diferencia
de fase entre ambas seales.
2
X =
4 n

Introduccin a la Metrologa Curso Acadmico 11-12

Interfermetros para medicin de longitudes con desplazamiento

Principio de medida interferomtrico de distancias para un sistema heterodino (iii)

Introduccin a la Metrologa Curso Acadmico 11-12

Interfermetros para medicin de longitudes con desplazamiento
Sistema interferomtrico lser comercial

Introduccin a la Metrologa Curso Acadmico 11-12

Interfermetros para medicin de longitudes con desplazamiento

Configuracin habitual de sistemas interferomtricos

Los sistemas interferomtricos lser estn constituidos:

Fuente luminosa de radiacin lser He-Ne estabilizada.

Efecto Zeeman (f1 y f2 perpendiculares).

Sensores de temperatura de material.

Sensores de temperatura, humedad y presin del ambiente.

Componentes pticos.

Introduccin a la Metrologa Curso Acadmico 11-12

Interfermetros para medicin de longitudes con desplazamiento

Sistema interferomtrico lser: Configuracin medida de longitudes

La posicin que debe ser determinada es la posicin del reflector lineal mvil. El
interfermetro lineal est constituido por un divisor de haz y un segundo reflector.
El haz desde el lser incide en el divisor de haz y el 50% de la luz va al reflector fijo y
el otro 50% al reflector mvil. Los dos haces se recombinan y vuelven al fotodetector.
El detector determina la distancia de movimiento mediante el conteo de
franjas.

Introduccin a la Metrologa Curso Acadmico 11-12

Interfermetros para medicin de longitudes con desplazamiento

Sistema interferomtrico lser: Configuracin medida de ngulos

Puede tambin realizarse un montaje en configuracin de medida de ngulos. Para ello

se necesita un reflector angular formado por dos reflectores montados en un nico
bloque. El haz de referencia es el A1 y el de medida es el A2.

Cuando el bloque rota la diferencia de longitud entre (A1 - A2 ) cambia y se puede

medir la longitud. Conociendo la separacin entre los espejos se pasa a medida de
ngulos mediante trigonometra.

Introduccin a la Metrologa Curso Acadmico 11-12

Interfermetros para medicin de longitudes con desplazamiento

Sistema interferomtrico lser: Fuentes de incertidumbre

Los interfermetros lser, como cualquier instrumento de medida, estn sujetos a errores si
no se emplean correctamente y tienen limitaciones.

Las contribuciones a las inexactitudes en la medida se pueden clasificar atendiendo a sus

diversos orgenes:

Geometra del montaje

Condiciones del entorno fsico: Variaciones de la velocidad de la luz debido a las
variaciones en el ndice de refraccin del aire. Por ello en cualquier medida de
interferometra deben medirse las condiciones ambientales para calcular el factor de
compensacin de
Caractersticas de la instrumentacin
ptica del interfermetro
Conocimiento y estabilidad del lser
Electrnica de medida

Introduccin a la Metrologa Curso Acadmico 11-12

 Interfermetros para medicin de longitudes sin desplazamiento
Se utilizan para la determinacin precisa de la longitud de bloques patrn.
Otros diseos permiten la medicin de esferas y de barras de extremos esfricos,
situando stas entre dos planos paralelos constituidos por un bloque patrn y un
plano de referencia.

Existen diversas configuraciones de

interfermetros: de Michelson, de
Fizeau, etc.
Hasta hace pocos aos, se
utilizaban lmparas espectrales
como fuente de radiacin.
Hoy da, prcticamente todos
utilizan fuentes lser.

Interfermetro de Ksters para la

medida de bloques patrn

Introduccin a la Metrologa Curso Acadmico 11-12

Interfermetros para medicin de longitudes sin desplazamiento

Medida de longitud de BPL mediante interferometra

Introduccin a la Metrologa Curso Acadmico 11-12

Interfermetros para medicin de longitudes sin desplazamiento

Medida de planitud mediante interfermetro de Fizeau

Introduccin a la Metrologa Curso Acadmico 11-12

 CALIBRACIN DE SISTEMAS INTERFEROMTRICOS LSER

La calibracin de un sistema interferomtrico lser que va a ser empleado en

el aire consiste en la calibracin de los siguientes parmetros:

Determinar el valor de la longitud de onda en el vaco del lser (0),

as como su variacin durante varias horas de funcionamiento, lo
que da idea de su estabilidad a lo largo del tiempo.

Verificar el clculo del ndice de refraccin, n.

Calibracin de sensores de condiciones ambientales.

Calibracin de sensores de material.

Verificacin del contador del sistema.

Valoracin del sistema completo.

Introduccin a la Metrologa Curso Acadmico 11-12

 CALIBRACIN DE SISTEMAS INTERFEROMTRICOS LSER

Determinacin del valor de 0

La determinacin de la longitud de onda en el vaco (0) se realiza mediante la tcnica

de batido de frecuencias, la cul se realiza entre el lser a calibrar y el lser de
referencia, siendo este ltimo un lser de He-Ne estabilizado mediante clula de
absorcin de yodo, emitiendo en 474 THz.

Introduccin a la Metrologa Curso Acadmico 11-12

 CALIBRACIN DE SISTEMAS INTERFEROMTRICOS LSER

Determinacin del valor de 0

Los dos haces, el haz a calibrar y el haz del lser patrn se sitan de forma
que los haces viajen juntos.

La seal del fotodetector enviada a un contador permite conocer el valor de

la frecuencia interferencia de las dos.

La seal de intensidad obtenida en el batido de frecuencias es una seal

modulada con la diferencia de frecuencias: fref - f

Conocida la frecuencia del lser patrn queda determinada la frecuencia del

lser en calibracin. Aplicando el valor de la velocidad de la luz en el vaco
se determina la longitud de onda del lser en calibracin.

0 = c/f
Introduccin a la Metrologa Curso Acadmico 11-12
 CALIBRACIN DE SISTEMAS INTERFEROMTRICOS LSER

Determinacin de la estabilidad de 0

Las mediciones se realizan durante varias horas de funcionamiento y a

intervalos de tiempo determinados.

1 t (h) 14 horas

Introduccin a la Metrologa Curso Acadmico 11-12

 Verificacin del factor de correccin de la longitud de onda

La longitud de onda en el medio es distinta a la longitud de onda en el vaco:

NECESIDAD DE COMPENSACIN.

Los sistemas interferomtricos normalmente disponen de un sensor

ambiente que proporciona los valores de temperatura, presin y humedad a
la unidad de control, la cul mediante un algoritmo calcula el factor de
compensacin.

Es necesario verificar el factor de compensacin

proporcionado por el sistema.

Introduccin a la Metrologa Curso Acadmico 11-12

 Verificacin del factor de correccin de la longitud de onda

La verificacin del factor de correccin de 0 implica las siguientes

actuaciones:

Calibrar el sensor de temperatura del sensor ambiente en un

laboratorio de temperatura.
Comprobacin que el error es menor que el permitido por el fabricante.

Calibrar el sensor de presin del sensor ambiente en el laboratorio

de presin.
Comprobacin que el error es menor que el permitido por el fabricante.

Verificar la validez del algoritmo empleado.

Sensores de material.
Se calibrarn en el laboratorio de temperatura proporcionando los
resultados de errores e incertidumbres.

Introduccin a la Metrologa Curso Acadmico 11-12

 Verificacin del Contador del sistema

Dos sistemas interferomtricos, uno de ellos empleado como

patrn y otro el sistema a calibrar. Deben situarse de forma
que empleen el mismo interfermetro y los mismos
retrorreflectores.

No debern tenerse en cuenta las condiciones ambientales,

pues nos interesa la verificacin del contador.

Como patrn puede emplearse un contador de franjas o un

contador de otro sistema interferomtrico recientemente
calibrado.

Introduccin a la Metrologa Curso Acadmico 11-12

 Valoracin del sistema conjunto
Por ltimo, se realiza una valoracin del sistema completo de medida, donde
se emplearn:

El lser a calibrar autocompesado con sus sensores ambiente.

El lser de referencia junto con sensores patrones, contador de

franjas y empleando la aproximacin de la frmula de Edln para el
clculo del ndice de refraccin del aire.

Se realizan medidas a varios metros de distancia con ambos sistemas.

Se calcular el error del sistema en calibracin frente al patrn, y

comprobaremos que los valores deben estar dentro del error e
incertidumbre calculados.

Introduccin a la Metrologa Curso Acadmico 11-12