BOLETN DE LA S O C I E D A D ESPAOLA DE

Cermica y Vidrio
A R T I C U L O
4 4 ^

Determinacin de las constantes pticas de lminas delgadas

calcogenuras amorfas a partir de las envolventes de sus espectros
de transmisin y reflexin
J.M. GONZLEZ-LEAL, E. MRQUEZ, A.M. BERNAL-OLIVA Y R. JIMNEZ-GARAY
Departamento de Fsica de la Materia Condensada, Facultad de Ciencias, Universidad de Cdiz, Apdo. 40, 11510 Puerto Real (Cdiz)

En el presente trabajo, se han obtenido los espectros de transmisin y reflexin ptica de lminas delgadas calcogenuras amorfas
binarias de composicin qumica 063386^7, depositadas sobre substratos vitreos, mediante evaporacin trmica en vaco, en el rango
espectral comprendido entre 400 nm y 2200 nm. Las constantes pticas de estos materiales amorfos han sido determinadas usando
un nuevo y relativamente sencillo mtodo de caracterizacin ptica propuesto por Minkov, basado en las envolventes de los espec-
tros de transmisin y reflexin ptica a incidencia normal, el cual permite obtener la parte real e imaginaria del ndice de refraccin
complejo, nyk, respectivamente, y el espesor de la pelcula, d. Los resultados obtenidos mediante la aplicacin del presente mtodo
han sido contrastados con las medidas mecnicas de espesores realizadas con un perfilmetro. La dispersin de n se analiza segn
el modelo de Wemple-DiDomenico basado en el oscilador simple. El gap ptico ha sido determinado a partir de los valores del coe-
ficiente de absorcin, a, segn el procedimiento de Taue.

Palabras clave: Calcogenuros, Caracterizacin Optica, Lminas Delgadas, Borde de Absorcin, Gap ptico

Determination of the optical constants of chalcogenide glass thin films from the envelopes of their transmission and reflection
spectra

In the present work, optical transmission and reflection spectra, at normal incidence, of binary chalcogenide glass thin films of che-
mical composition Ge33Se57, deposited by thermal evaporation, were obtained in the 400 nm to 2200 nm spectral region. The optical
constants of these amorphous materials were determined using a novel optical characterization method proposed by Minkov, based
on the envelopes of the transmission and reflection spectra, which allows to obtain both the real and imaginary parts of the complex
refractive index, n and k, respectively, and the film thickness, d. The results of the application of the present method were cross-chec-
ked by using a surface-profiling stylus to measure the film thickness. The dispersion of n is discussed in terms of the single-oscillator
Wemple-DiDomenico model. The optical band gap has been determined from the absorption coefficient, a, by Tauc's procedure.

Key words: Chalcogenides, Optical Characterization, Thin Films, Absorption Edge, Optical Gap.

1. INTRODUCCIN tecnolgicas se refiere, ya que sta produce cambios muy sig-

Los vidrios calcogenuros son materiales que presentan un
gran inters por sus potenciales aplicaciones tecnolgicas, deri-
vadas de dos de sus principales propiedades: la transparencia
en la regin infrarroja del espectro (1), y su capacidad para
mostrar una amplia gama de efectos fotoinducidos (fotocrista-
lizacin, fotopolimerizacin, fotodescomposicin, fotovapori-
zacin, fotodisolucin de ciertos metales y fotovitrificacin
(2,3)). Estos efectos vienen acompaados, en general, por cam-
bios en las constantes pticas (4,5) y, en particular, de cambios
en el borde de absorcin (fotoaclarado o fotooscurecimiento),
lo cual permite su uso como filtros de absorcin y en el diseo
de otros elementos pticos (6). En numerosas ocasiones, stos
cambios en las constantes pticas son tan dbiles, que se hacen
necesarios mtodos de caracterizacin suficientemente preci-
sos para detectarlos. De todos estos efectos, la fotodisolucin
de metales, es quizs el ms atractivo en lo que a aplicaciones
nificativos en las propiedades pticas de los vidrios calcoge-
nuros. Adems, variando la composicin qumica de estos
materiales, el ndice de refraccin cambia de forma continua
entre ^ 2.0 y 3.5 (7-11). As, pelculas vitreas calcogenuras, pue-
den ser usadas de forma eficiente como lminas antirreflectan-
tes. Con todo esto, el conocimiento de las propiedades pticas
de los vidrios calcogenuros se hace muy necesario de cara a
explotar sus potenciales aplicaciones tecnolgicas.
Actualmente, existen numerosos mtodos de caracterizacin
ptica de lminas delgadas, sin embargo, algunos requieren
muy complicadas tcnicas computacionales y otros no son sufi-
cientemente precisos (12-15). En el presente trabajo, se ha desa-
rrollado un nuevo y relativamente sencillo mtodo propuesto
por Minkov (16), basado en las envolventes de los espectros de
transmisin y reflexin ptica de pelculas delgadas y de espe-
sor uniforme, obtenidos a incidencia normal en el rango espec-
tral comprendido entre 400 nm y 2200 nm. En este artculo,
dicho mtodo se ha usado para calcular las constantes pticas

282 Bol. Soc. Esp. Cerm. Vidrio, 36 [2-3] 282-288 (1997)

 DETERMINACIN DE LAS CONSTANTES OPTICAS DE LAMINAS DELGADAS CALCOGENURAS AMORFAS A PARTIR DE LAS ENVOLVENTES DE SUS ESPECTROS DE TRANSMISIN Y REFLEXION

y el espesor de lminas uniformes, obtenidas por evaporacin

trmica en vaco, de composicin qumica Geo^oe^y. Las pro- R
piedades pticas de este material son claramente, representati- aire
vas de los sistemas binarios calcogenuros. ^ 0 = 1

2. PROCEDIMIENTO EXPERIMENTAL
I
ijifcli

Las pelculas, depositadas sobre substratos vitreos (BDH substrato

superpremium), se obtuvieron por evaporacin trmica en
vacio (Edwards, modelo E306A) de fragmentos, previamente
triturados y tamizados, de lingotes de la aleacin vitrea > <>
Ge33Se^7, preparada por la tcnica del material fundido y el
enfriamiento brusco en aire. Durante el proceso de deposicin,
los substratos se mantuvieron rotando a una velocidad de ~ 45
rpm, lo cual garantiza una mayor uniformidad en el espesor de
n=s
las pelculas as obtenidas (17,18). La temperatura de los subs-
tratos durante la evaporacin fu aproximadamente la tem-
aire no = 1
T
peratura ambiente, y la presin en la cmara de vaco se man-
tuvo por debajo de 10'" Torr. La velocidad de deposicin fu
de ~ 0.5 nm s" , y se monitoriz durante todo el proceso Fig. 1. Esquema del sistema ptico en estudio, constituido por dos capas plano-
mediante un sensor constituido por un cristal de cuarzo, cuya paralelas inmersas en aire, una de ellas transparente (substrato) y la otra dbil-
mente absorbente (calcogenuro).
frecuencia de oscilacin vara en funcin de la cantidad de
material depositado (Edwards, modelo FTM-5). Esta baja velo-
cidad de deposicin da lugar a pelculas cuya composicin est
muy cercana a la del lingote vitreo.
Los espectros de transmisin ptica fueron obtenidos a inci-
dencia normal, para la regin espectral comprendida entre 400
nm y 2200 nm, mediante un espectrofotmetro UV/VIS/NIR
(Perkin Elmer, modelo Lambda-19). De igual forma, los espec-
tros de reflexin ptica se obtuvieron con una incidencia de 6
que, si bien, obviamente, no se trata de incidencia normal, esta
suposicin no introduce errores significativos en los posterio-
res clculos basados en estos espectros. Las medidas de refle-
xin ptica requieren el uso de un espejo cuya reflectancia es
conocida en el intervalo espectral de trabajo. Las medidas
mecnicas del espesor de las pelculas se realizaron mediante
un perfilmetro (Sloan, modelo Dektak 3030), a fin de compa-
rar estos resultados con aquellos obtenidos con el mtodo de
caracterizacin ptica expuesto en el presente trabajo. Todas
las medidas se realizaron a temperatura ambiente.
400 800 1200 1600 2000

Longitud de Onda, nm
3. CONSIDERACIONES TERICAS
Fig. 2. Espectros de transmisin y reflexin ptica para la pelcula de compo-
sicin qumica Ge^^Scy, junto a sus envolventes y los espectros de transmi-
Como se ha mencionado anteriormente, mantener girando sin y reflexin del substrato en solitario.
los substratos durante la deposicin, permite conseguir pelcu-
las de una mucho mayor uniformidad en el espesor. As, el sis-
Le transmitancia, T{X,s,n4,k) y la reflectancia R{'k,s,n4,k) del
tema ptico en estudio consta de dos capas, una, la de calcoge-
sistema ptico mostrado en la figura 1, tienen las siguientes
nuro, de espesor uniforme d y dbilmente absorbente, con un
expresiones (16,19,20):
ndice de refraccin complejo n^ = n- i/c, donde el coeficiente de
extincin k puede expresarse en funcin del coeficiente de G"x
absorcin a, mediante la ecuacin: k = ak/An; y otra, la del [la]
D" - (E" coscp - E2SQn(p)x + F"x
substrato, transparente y de ndice de refraccin s, con un espe-
sor varios rdenes de magnitud superior al espesor de la capa
A' - {B[ cos((p) - 52sin((p))x + C'x^
calcogenura (ver figura 1). Los espectros de transmisin y refle- R=
A" - (5;'cos((p) - 52'sin((p))x + C'jc^
xin ptica de estas pelculas son del tipo representado en la
figura 2, en la cual pueden verse los efectos interferenciales que
A"'x^
aparecen en un sistema bicapa de las caractersticas anterior-
A" - (5j"cos((p) - B'sm{(^))x + C"x^
mente detalladas. Estas franjas interferenciales son usadas para
calcular con gran exactitud las constantes pticas y el espesor
1 [Ib]
de estas pelculas delgadas, tal y como se describe a continua-
D" - (E'cos((p) - 2'sin(cp))x + F"x^
cin.

Boletn de la Sociedad Espaola de Cermica y Vidrio. Vol. 36 Nms. 2-3 Marzo-junio 1997
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 J.M. GONZALEZ-LEAL, E. MARQUEZ, A.M. BERNAL-OLIVA Y R. JIMNEZ-CARAY

donde d o n d e a = n-\,h = n + l,c = n-s,d = n + s,e = n-s^,f=n +

s ,g = 64 s {s-\r rr' y h = \6 rr- s. C o m o p u e d e o b s e r v a r s e , las
A^ = [(n-iy+k'][(n + sy+k% [2a]
envolventes son funciones d e n, s y x.
[2b] El ndice d e refraccin del s u b s t r a t o s, p u e d e c a l c u l a r s e p a r a
c a d a l o n g i t u d d e o n d a del intervalo espectral d e trabajo, a par-
BL = 4k[s(n^+k^- 1) - (n^ + k^-s\ [2c] tir del espectro d e t r a n s m i s i n o del d e reflexin d e l s u b s t r a t o
en solitario, m e d i a n t e las expresiones:
C' = [(n + lf + k\in-sf + k\ [2d]
2s
[6]
A"=[in+\f+k\(n + sf+k% [2e]

B =^ 2[in +k^~ l)in + r - / ) - 4^^], [2f]

B; = 4k[s(n^ +k^-i) + (n^+k^- / ) ] , [2g] [7]

" /+1

C" = [in-lf+k\(n-sf+k\ [2h]

a partir d e las cuales se obtiene, respectivamente
A'"=64s(s-lf(n^+kY, [2i]

D" =[{n+\f+ i][{n +!)( + / ) + k\ [2j] ^4H-' [8]

E'l =^ 2[(n^ + k^- l){n^+k^-s^) - 2k\s^+ 1)], [21<]

\+ [RS2~K)f
l-R. [9]
E' = 2k[{n + i-s") + ( / + l){n +- 1)], [21]

F" ^[{n-\f + k\{n - 1)( - / ) + k\ [2m]

G" = \6s{n+i)
4%k
X = exp {-ad),
4%nd
Es necesario m e n c i o n a r q u e las ecuaciones [la] y [lb] repre-
sentan, respectivamente, la transmitancia y la reflectancia pti-
ca, s u p o n i e n d o coherentes las reflexiones m l t i p l e s d e n t r o d e
la pelcula, e incoherentes las q u e tienen l u g a r en el interior del
substrato.
Por otra parte, las ecuaciones d e las envolventes del espectro
d e transmisin, Ty^ y T^, y del espectro d e reflexin, Ry^ y R^,
p u e d e n obtenerse s u s t i t u y e n d o en las ecuaciones [la] y [Ib],
(p = TT y (p = 0. Estas ecuaciones tienen las siguientes expresiones:
C o n o c i d o s , p o r t a n t o , los valores del ndice d e refraccin del
[2n] s u b s t r a t o , l i m i t a m o s la d e p e n d e n c i a d e las e n v o l v e n t e s a las
constantes pticas d e la pelcula calcogenura.
C o n t o d o esto, d i s p o n e m o s d e c u a t r o ecuaciones c o n d o s
incognitas, n y x, q u e p o d r a m o s d e t e r m i n a r t o m a n d o cual-
[3a]
quier p a r d e stas y resolvindolas m e d i a n t e a l g n a l g o r i t m o
iterativo d e resolucin d e ecuaciones t r a s c e n d e n t e s ( m t o d o
[3b] d e N e w t o n - R a p h s o n ) . E n particular, e n el p r e s e n t e trabajo
t o m a r e m o s las ecuaciones c o r r e s p o n d i e n t e s a la e n v o l v e n t e
[3c] inferior del espectro d e t r a n s m i s i n T j ^ , y la e n v o l v e n t e s u p e -
rior del espectro d e reflexin, Ry^, c o m o p u n t o d e p a r t i d a del
m t o d o d e caracterizacin ptica a q u e x p u e s t o . El d i a g r a m a
d e b l o q u e s del a l g o r i t m o c o r r e s p o n d i e n t e al m t o d o p r o p u e s -
to p o r M i n k o v , p a r a el clculo del espesor y d e la d e p e n d e n -
cia espectral del ndice d e refraccin y del coeficiente d e extin-
cin d e u n a pelcula u n i f o r m e d b i l m e n t e a b s o r b e n t e , se
m u e s t r a en la figura 3.
4. R E S U L T A D O S Y D I S C U S I N

T T =- ^"^ [4a]
2 4.1. Clculo del ndice de refraccin y del espesor
M' m ,f>:fE"x + F"x^

A'B!X + C'X^ A'"x' [4b] El p r i m e r p a s o a seguir, a la h o r a d e a b o r d a r la caracteriza-

^ M > Kr,
A" BCX + C"x' (A" Blbc + C"x'){D" Elbe + F"x') cin ptica d e este tipo d e pelculas d e l g a d a s , s i g u i e n d o el
m t o d o p r o p u e s t o p o r Min]<ov, es g e n e r a r las e n v o l v e n t e s
Por otra parte, en el intervalo espectral d e trabajo d o n d e la -^M' ^m^ ^ M y ^ m ^^ ^^^ espectros d e t r a n s m i s i n y reflexin
pelcula es d b i l m e n t e absorbente, se c u m p l e q u e nk y sk, ptica, tal c o m o se m u e s t r a en la figura 2; stas h a n s i d o obte-
d e forma q u e en las ecuaciones [4a] y [4b] se p u e d e ignorar k n i d a s u s a n d o d o s p r o g r a m a s informticos diferentes, p r o p o r -
frente a n y a s (21). En particular, p a r a las pelculas e s t u d i a d a s , c i o n a n d o a m b o s r e s u l t a d o s similares (22,23). U n a vez conoci-
esta z o n a se encuentra p o r e n c i m a d e - 6 0 0 n m , c o m o p u e d e d o s los p u n t o s d e tangencia del espectro con las e n v o l v e n t e s y
v e r s e en la figura 2. Las ecuaciones d e las e n v o l v e n t e s q u e d a - el ndice d e refraccin del substrato s, en el intervalo espectral
ran c o m o sigue (16,20): d e trabajo, p o d e m o s resolver cualquier p a r d e ecuaciones tras-
c e n d e n t e s c o r r e s p o n d i e n t e s a las ecuaciones [4a] y [4b], u s a n -
hx
^IvA^m ~
[5a] d o el m t o d o d e N e w t o n - R a p h s o n . La g r a n ventaja d e trabajar
b f + 2abcdx^a ex con las e n v o l v e n t e s y n o con los espectros, es q u e las p r i m e r a s
son funciones m o n t o n a s , mientras q u e los espectros v a r a n
.,Jadbc.r^_ gx [5b]
(bd acxY {bd acxfib^f 2abcdx + a^ex^) r p i d a m e n t e con la l o n g i t u d d e o n d a . Es p o r esto q u e , en
general, c u a l q u i e r a d e los sistemas d e ecuaciones tiene u n a

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 DETERMINACIN DE LAS CONSTANTES PTICAS DE LMINAS DELGADAS CALCOGENURAS AMORFAS A PARTIR DE LAS ENVOLVENTES DE SUS ESPECTROS DE TRANSMISIN Y REFLEXIN

mnimos de transmisin (mximos de reflexin). Si n^-^ y ^e2

Espectros experimentales Espectros de transmisin
de transmisin
son los ndices de refraccin de dos extremos interferenciales
y de reflexin del
y reflexin T, R substrato T^, R^ adyacentes, de longitudes de onda X| y ^2^ respectivamente, la
siguiente expresin proporciona un valor aproximado del
T espesor para cada longitud de onda.
Obtener envolventes T^ and R^
X^X-y
Clculo de s a partir de r
X d=-
4(XjW,2 - ^ 2 ^ e l )
[12]
Valores de T^ y R^ en A^^^tr

Los valores de d determinados a partir de esta ecuacin, se

T recogen en la tabla I. Normalmente, algunos de los valores
Hallar valores aproximados
de HQ y XQ en ^^xtr correspondientes a las longitudes de onda ms bajas se desv-
an considerablemente del resto, y deben ser consecuentemen-
T te rechazados al promediar el conjunto de valores del espesor
Clculo de los espesores
aproximados d^ en X^^^ anteriormente hallados. La primera aproximacin del espesor,
Q, correspondiente a una de las pelculas representativas de la
T composicin G^'^'e^j fu de 1980 53 nm, con un error rela-
Promediar los valores dn
tivo del 2.7 %. Haciendo uso de d^ y de los valores de TLQ, se
j_ puede calcular el orden interferencial aproximado, mg, corres-
Estimacin de los ordenes pondiente a cada extremo interferencial. La precisin del espe-
interferenciales VQ en X^^^ sor es mejorada significativamente haciendo uso de los corres-
pondientes valores enteros o semienteros de m asociados a
X cada extremo. A partir de la ecuacin [11] y usando de nuevo
Redondear los ITIQ a ios enteros o
los valores de HQ, se obtiene para cada extremo un nuevo valor
semi-enteros correspondientes, m en X^^^
del espesor, d-^. Estos valores, as como los de mg y m, corres-
i pondientes a la pelcula en estudio, se recogen en la tabla I. La
Clculo de nuevos espesores baja dispersin que muestran los nuevos valores del espesor,
mejorados d^ en ^^g^t^ dy es indicativa del excelente funcionamiento del mtodo y
T permite tomar el valor medio de estos como el valor final del
Promediar los valores d^ espesor de la pelcula. El espesor encontrado para la pelcula
estudiada fu de 1983 2 nm, con un error relativo del 0.1 %.
Clculo de los ndices de Como puede observarse, ha habido una notable mejora en la
refraccin n^ en Xg^t^ determinacin del espesor final de la pelcula. Por otra parte,
el espesor obtenido mediante medidas mecnicas fu de 1957
Fig. 3. Diagrama de Hoques del algoritmo del mtodo para el clculo del espe- 39 nm. Este valor muestra un buen acuerdo con el encontra-
sor y las constantes pticas de una pelcula delgada uniforme a partir de sus do haciendo uso del presente mtodo de caracterizacin pti-
espectros de transmisin y reflexin.
ca.
Usando los valores apropiados de m y el valor medio de los
solucin nica para n y x. Estudios sobre la convergencia de dy la ecuacin [11] puede resolverse para cada longitud de
los distintos sistemas de ecuaciones posibles, a partir de las onda ^extr Y ^^^' obtener los ndices de refraccin correspon-
ecuaciones [4a] y [4b], han demostrado que, usando la envol- dientes, n^ (ver tabla 1). Estos valores pueden ajustarse al
vente inferior del espectro de transmisin T^^ y la envolvente modelo de Wemple-DiDomenico, basado en el oscilador sim-
superior del espectro de reflexin Ry^, se consiguen los valo- ple, segn la siguiente relacin (24):
res ms precisos para el ndice de refraccin (16).
As pues, ny X son determinados para aquellas longitudes ^(a))-l + - ^ O ^ d [13]
-{fKY
de onda en las que se presentan extremos interferenciales,
'^extp como soluciones del sistema:
donde EQ es la energa del oscilador unidimensional y E j es
la energa de dispersin. El parmetro EQ est relacionado
[10] con el gap ptico, E^^PVa travs de una sencilla expresin
propuesta por Tanaka (25): EQ ^ lEJ^V^. La energa de dis-
Los resultados obtenidos proporcionan para la pelcula persin E^, obedece tambin una simple relacin emprica:
estudiada una aproximacin inicial del ndice de refraccin y E^ = ^N^Z^NQ, donde es una constante, que segn Wemple
de la absorbancia, TIQ y XQ, respectivamente. Estos valores se (24), para materiales covalentes cristalinos y amorfos, tiene un
recogen en la tabla I. Asimismo, a fin de calcular una aproxi- valor de 0.37 0.04 eV. N^ es el nmero de cationes vecinos
macin inicial del espesor de la pelcula, d, es necesario tener ms prximos al anin, Z^ es la valencia qumica del anin y
en consideracin la ecuacin bsica de interferencias. Ng es el nmero efectivo de electrones de valencia por anin.
Representando (n^-1)"^ frente a (fi co)^, para el conjunto de
2nd = mX [11] valores de n^, y realizando un ajuste lineal, pueden determi-
narse los valores de EQ y E a partir de la pendiente, (EQE^)"^,
que se verifica para cada ^extr- ^ ^ ^^^^ ecuacin, m represen- y de la ordenada en el origen, EQ/E^, de la recta de ajuste. La
ta el orden interferencial, que ser entero para los mximos de ecuacin encontrada en el presente estudio, correspondiente a
transmisin (mnimos de reflexin) y semientero para los esta recta de ajuste fu: (n^ - 1)"! = 0.213 - 0.0110 (JO))^, con un

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TABLA I
V A L O R E S DE X, Ty^ Y R^ C O R R E S P O N D I E N T E S A LOS ESPECTROS DE T R A N S M I S I N Y REFLEXIN PTICA D E LA FIGURA 2. C L C U L O DEL NDICE D E REFRAC-
C I N Y DEL ESPESOR SEGN EL MTODO DE CARACTERIZACIN EXPUESTO EN EL PRESENTE TRABAJO

X (nm) T ^M s ^0 ^0 dQ (nm) mo m d-^ (nm) ^1

2118 0.640 0.360 1.520 2.406 1.000 2029 4.50 4.5 1981 2.403
1914 0.638 0.362 1.515 2.410 1.000 1971 4.99 5.0 1986 2.413
1742 0.638 0.362 1.523 2.414 1.000 1964 5.49 55 1984 2.416
1599 0.636 0.364 1.521 2.420 1.000 1977 5.99 6.0 1983 2.419
1479 0.636 0.364 1.526 2.425 1.000 1967 6.49 6.5 1982 2.424
1376 0.635 0.365 1.533 2.431 1.000 2090 7.00 7.0 1981 2.429
1291 0.634 0.365 1.538 2.435 1.000 1895 7.47 7.5 1988 2.441
1211 0.633 0.367 1.543 2.444 1.000 1954 7.99 8.0 1982 2.443
1142 0.631 0.369 1.544 2.451 1.000 1975 8.50 8.5 1980 2.448
1082 0.629 0.371 1.544 2.459 1.000 2047 9.00 9.0 1980 2.455
1030 0.626 0.374 1.543 2.467 1.000 1943 9.48 9.5 1983 2.467
981 0.624 0.376 1.543 2.476 1.000 2068 9.99 10.0 1981 2.474
939 0.621 0.379 1.540 2.483 1.000 1931 10.47 10.5 1985 2.486
899 0.618 0.382 1.539 2.494 1.000 1966 10.99 11.0 1983 2.493
863 0.614 0.386 1.535 2.504 1.000 2020 11.49 11.5 1982 2.502
831 0.609 0.391 1.523 2.514 1.000 1983 11.98 12.0 1984 2.514
801 0.606 0.394 1.525 2.524 1.000 1933 12.48 12.5 1984 2.525
773 0.602 0.398 1.522 2.536 1.000 2005 12.99 13.0 1982 2.534
748 0.599 0.401 1.520 2.547 1.000 1926 13.48 13.5 1982 2.546
724 0.595 0.405 1.518 2.559 1.000 2042 14.00 14.0 1980 2.556
703 0.591 0.409 1.515 2.571 1.000 1989 14.48 14.5 1982 2.570
683 0.587 0.413 1.513 2.584 1.000 1951 14.98 15.0 1983 2.583
664 0.583 0.417 1.512 2.597 1.000 2028 15.49 15.5 1982 2.595
647 0.575 0.418 1.512 2.610 0.990 1878 15.97 16.0 1983 2.610
630 0.531 0.402 1.510 2.625 0.907 #### 16.50 16.5 1980 2.621

1980 53 n m (2.7 %) d-^ = 1983 2 n m (0.1 %)

105
0.25

- n(0) = 2.388

0.20 A

0.15

Q
10^
O
</)
0 1 2 3 4 <
Cuadrado de la Energa Fotnica, eV

c
0.05
ii=
0
O
O
2.0 2.2 2.4
0,00 Energa Fotnica, eV
400 800 1200 1600 2000
103
Longitud de Onda, nm 2.2 2.4 2.6 2.8
Energa Fotnica, eV

Fig. 4. ndice de refraccin y coeficiente de extincin frente a la longitud de Fig. 5. Borde de absorcin ptica correspondiente a la pelcula estudiada.
onda. Ajuste de Wemple-DiDomenico para los valores del ndice de refraccin Representacin de Taue para el clculo del gap ptico.
obtenidos.

286 Boletn de la Sociedad Espaola de Cermica y Vidrio. Vol. 36 Nms. 2-3 Marzo-Junio 1997
DETERMINACIN DE LAS CONSTANTES OPTICAS DE LAMINAS DELGADAS CALCOGENURAS AMORFAS A PARTIR DE LAS ENVOLVENTES DE SUS ESPECTROS DE TRANSMISIN Y REFLEXION
coeficiente de correlacin de 0.9997. Los valores obtenidos
para los parmetros de dispersin EQ y E^, fueron EQ = 4.40 eV
y Ej^ = 20.67 eV. En la figura 4 se muestra la curva de disper-
sin calculada a partir de la relacin de Wemple-DiDomenico,
junto a los valores de n^ obtenidos con el mtodo de caracteri-
zacin ptica expuesto en el presente trabajo.
Volviendo a la expresin emprica anterior para la energa
de dispersin E^ encontrada por Wemple, y usando el valor
encontrado para la composicin estudiada, el valor del nme-
ro de coordinacin N^ puede obtenerse a partir de la relacin:
N, = E^/>Z^NQ, donde Z^ = 2 y Ng = 8. As pues, encontra-
mos un valor de N^ ~ 3.5. Por otra parte, a partir de EQ se
puede hallar un valor aproximado del gap ptico segn la
expresin p-^P^ ~ ^o/^r obtenindose un valor para EJ^P^ ~
2.20 eV.
4.2. Determinacin del borde de absorcin y del gap ptico
Conocido el valor del ndice de refraccin en el rango espec-
tral en estudio, las ecuaciones [4a] y [4b] pueden resolverse de
forma independiente para encontrar la absorbancia, x.
Particularizando a las envolventes empleadas en el mtodo
expuesto, se obtendran dos conjuntos diferentes de valores
para la absorbancia, X| y X2- En cualquier caso, conocidos x y
d, el coeficiente de absorcin puede obtenerse a partir de la
ecuacin [3b]. A su vez, el coeficiente de extincin, /c, puede
ser calculado a partir de la ecuacin [3a]. Se encuentra que los
resultados obtenidos a partir de la envolvente T^^ son ms
precisos que aquellos obtenidos a partir de la envolvente Ry^.
Es de resaltar que el sistema de ecuaciones [10] presenta una
mayor precisin en el clculo de n que en el clculo de k, en
todo el rango espectral. Esta imprecisin llega a ser considera-
ble, fundamentalmente en la regin de dbil absorcin, debi-
do principalmente al pequeo valor de k en esta regin. En las
figuras 4 y 5 se muestran los resultados obtenidos para ay k,
respectivamente, usando la envolvente T-^.
Einalmente, el gap ptico puede hallarse a partir de a, segn
la siguiente ecuacin propuesta por Taue:
a(n(>) = B [14]
a}
donde fi 03, Ep.^P'- y B son, respectivamente, la energa fotni-
ca, el gap ptico y una constante. El gap ptico se define for-
malmente como el punto de corte con el eje de abcisas, de
la extrapolacin de la zonal lineal en la representacin de
(a /zco)^/^ frente a ?ZC. En la figura 5 se muestra la representa-
cin de Taue para la pelcula representativa de la composicin
Gei^ie^y, analizada en este trabajo; el coeficiente de correla-
cin del ajuste lineal fu 0.99996. El valor del gap encontrado
fu 2.04 eV, el cual est razonablemente prximo al encontra-
do por Kandil (26), 1.99 eV, para pelculas de la misma com-
posicin qumica, preparadas tambin por evaporacin trmi-
ca, pero con una velocidad de deposicin entre 6 nm s"^ y
30nms"^.
5. CONCLUSIONES
El mtodo propuesto por Minkov para el clculo del espesor
y de las constantes pticas de lminas delgadas, usando las
Boletn de la Sociedad Espaola de Cermica y Vidrio. Vol. 36 Nms. 2-3 Marzo-junio 1997
envolventes de los espectros de transmisin y de reflexin, se
ha aplicado a pelculas calcogenuras de la composicin
Ge33Se^7, preparadas por evaporacin trmica en vaco. Se ha
supuesto en el desarrollo del mtodo lo siguiente: tanto la pel-
cula como el substrato son de espesor uniforme y de composi-
cin homognea, la pelcula es dbilmente absorbente y el
substrato es transparente, y por ltimo, las mltiples reflexio-
nes se consideran coherentes en la pelcula e incoherentes en
el substrato (19,21,27). El sistema bicapa pelcula-substrato se
encuentra inmerso en aire, con ndice de refraccin TIQ = 1. El
ndice de refraccin del substrato se considera dependiente de
la longitud de onda, s = s(X).
La coincidencia, en la zona de transparencia, de la envolven-
te superior del espectro de transmisin y de la envolvente infe-
rior del espectro de reflexin con los espectros de transmisin
y de reflexin del substrato en soHtario, respectivamente, es
consecuencia de una significativa uniformidad en el espesor de
la pelcula, conseguida durante el proceso de deposicin
mediante la rotacin de los substratos. Adems, es necesario
mencionar que una falta de homogeneidad en la composicin
qumica o de uniformidad en el espesor de las pelculas, ten-
dra una importante influencia en los espectros. Si alguna de
estas circunstancias se presentara, el mtodo de caracterizacin
ptica funcionara de forma claramente errnea y, obviamente,
no podra ser aplicado. Por otro lado, el valor obtenido para el
ndice de refraccin extrapolando la relacin de Wemple-
DiDomenico hacia la zona espectral del infrarrojo (, -^ oo ),
2.388, muestra un buen acuerdo con el valor encontrado por
Kandil (26), 2.450, para pelculas de la misma composicin.
Resumiendo, el mtodo de caracterizacin ptica propuesto
por Minkov y desarrollado en este trabajo, resulta excelente
para el clculo de n{X), d y k(X) de pelculas delgadas de siste-
mas binarios de calcogenuros amorfos, siempre y cuando el
espesor sea razonablemente uniforme.
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