1 en Es

Las Positas College Tecnologa de vaco 60A y 60B
Captulo 3: Revisin de los clculos bsicos de vaco

Antes de ir ms lejos, en algn momento debe ser gastado en algo del vocabulario especfico de la
tecnologa de vaco.
Vaco: desde un punto de vista prctico, el vaco puede definirse como el estado de un gas bajo presin
inferior a la atmosfrica.
Tabla 3.1: rangos de vaco
Descripcin de vaco Distancia
bajo vaco 25-760 Torr

vaco Medium 10- 3 a 25 Torr
alto vaco 10- 6 a 10- 3 torr
Muy alto vaco 10- 9 a 10- 6 torr
de vaco ultra alta 10- 12 a 10- 9 torr
vaco Extreme ultra alta por debajo de 10- 12 torr
La tecnologa de vaco se basa en la creacin de un entorno en el que un proceso (deposicin de pelcula delgada,
la soldadura por haz de electrones, etc.) puede llevarse a cabo. Esto implica normalmente que un aire quitar de un
sistema a una cierta presin atmosfrica sub aceptable por el uso de algn tipo de equipo de bombeo de vaco.
Atmsfera: La capa de gases que rodea la superficie de la tierra y se extiende hacia el exterior a una distancia de alrededor
de 25 millas se conoce como "aire" o "el ambiente". Esta mezcla de gases ejerce una presin que presiona de manera
uniforme en todos los objetos en la superficie de la tierra. Esta presin es de aproximadamente 15 libras por pulgada cuadrada
a nivel del mar.
T capaz 3.2: Composicin de tintorera Ai r
Gas Presin parcial [Torr] Porcentaje [por volumen]
nitrgeno 593 78.1

oxgeno 159 20.9
argn 7.1 0,934
dixido de carbono 0.25 0,033
nen 1,4 x 10- 2 0,0018
helio 4,0 x 10- 3 0,00053
metano 1,5 x 10- 3 0,0002
criptn 8,6 x 10- 4 0,00013
hidrgeno 3,8 x 10- 4 0.00005
xido nitroso 3,8 x 10- 4 0.00005
xenn 6,6 x 10- 5 0.0000087
pgina 33 Derechos Reservados, Biltoft, Benapfl, y Swain Otoo de 2002

Propiedades de los sistemas bajo vaco
Si eliminamos una cierta cantidad de gas atmosfrico desde un recipiente sin fugas habremos creado un
ambiente que es drsticamente diferente en muchos aspectos: mecnica, qumica y fsicamente.
Efectos mecnicos de vaco: Alguna vez ha colocado un contenedor de plstico llena de refrescos 2 litros medio que est a
temperatura ambiente en un refrigerador, y se dio cuenta ms tarde despus de que se haya enfriado que sus lados se
distorsionan y tir hacia dentro? Lo que han hecho es crear inadvertidamente una condicin en la que se redujo la presin
interna del recipiente de plstico, haciendo que su superficie de hebilla. ingenieros de vaco son muy consciente de este
fenmeno, y los vasos diseo de vaco para ser lo suficientemente resistente para soportar la presin atmosfrica externa de
14,7 libras por pulgada cuadrada (a nivel del mar) en ausencia de compensacin de la presin interna. Estructuras y
componentes que son particularmente susceptibles a la distorsin bajo condiciones de vaco incluyen, superficies planas no
compatibles, las secciones delgadas, y lneas flexibles o fuelles.
Problema de la muestra:
3.1 Calcular la fuerza total aproximado que se ejerce sobre un puerto de vista de vidrio de dimetro 4" que se utiliza en
un recipiente bajo condiciones de alto vaco.
Efectos qumicos de vaco: La eliminacin de los gases desde un recipiente reducir el nmero de tomos de gas que estn
disponibles para interactuar con materiales en el recipiente. Por esta razn, muchos materiales que son higroscpicas (tienen
una tendencia a absorber agua de la atmsfera) se almacenan en vaco. Los materiales que se oxidan fcilmente tambin a
menudo se almacenan ya sea bajo alto vaco, o en una atmsfera inerte (nitrgeno o gas argn) despus de que el aire ha
sido eliminado del recipiente de almacenamiento.
3.2 Lista tantos elementos reactivos o compuestos que sabe de los cuales que se considerara el almacenamiento bajo
condiciones de vaco o de gas inerte.
Efectos fsicos de vaco: Muchas de las propiedades fsicas de los gases se ven fuertemente afectados por la
presin del gas. La conductividad trmica, conductividad elctrica, propagacin del sonido, transmisin ptica,
absorcin ptica son slo unos pocos. Adems del efecto de la presin reducida sobre las propiedades fsicas
de los gases, bajo slidos de vaco y lquidos tambin mostrar un comportamiento marcadamente diferente. Los
lquidos, tales como agua, se pueden hacer a hervir en un recipiente de vaco sin la aplicacin de calor. Esto se
produce tan pronto como la presin de vapor del agua excede la del ambiente de vaco .. Del mismo modo, los
tomos de material slido bajo condiciones de vaco se espontneamente dejar la superficie del slido. La
velocidad a la cual los materiales se vaporizan bajo vaco es una funcin de la presin en el sistema y la presin
de vapor del material.
3.3 Hemos sugerido que los cambios fsicos en la conduccin trmica y elctrica de los gases son provocados por
una disminucin en la presin. Cules son las tendencias

que se puede esperar en estas dos caractersticas fsicas como la presin se reduce desde la atmosfrica?
(Incrementar o disminuir?)
Leyes de los gases
Gases se componen de independiente, tomos o molculas que se expanden de forma espontnea para llenar cualquier
recipiente en movimiento al azar. El comportamiento colectivo de estos tomos o molculas en un volumen contenido puede
ser descrito cuando uno sabe cualquier tres de los cuatro siguientes cantidades:
1. Presin: La fuerza por unidad de rea de un gas ejerce sobre su entorno. (En nuestros clculos
utilizaremos principalmente Torr o atmsferas).
2. Volumen: La capacidad interna de un recipiente o vaso. (Litros)
3. Temperatura: La temperatura de un gas es una funcin de su energa cintica, es decir, cmo vigorosamente
los tomos de gas estn vibrando. La temperatura debe ser especificada en trminos de una
escala de temperatura absoluta. Vamos a utilizar la escala Kelvin (K = C + 273).
4. Cantidad: El nmero de tomos de gas en un volumen (puede ser en trminos de tomos o moles). {A
mol de material es 6,02 x 10 23 partculas}.
Ley de Boyle : En condiciones de temperatura constante, la ley de Boyle da la relacin entre el volumen y la
presin para una cantidad fija de gas.
P1 V1 = P2 V2
Vamos a hacer un experimento para demostrar la ley de Boyle. Imagine un sistema de dos buques libres de fugas, como se muestra
a continuacin.
TC1 TC2
Recipiente de vaco Recipiente de vaco
1 2
Figura 3.1
Suponiendo que la temperatura es constante en todas partes de nuestro sistema, y que podemos medir con precisin la
presin en los dos recipientes, debemos ser capaces de aplicar la ley de Boyle para calcular el volumen de cmara de
vaco 2.

Si sabemos que al principio de nuestro experimento el volumen del recipiente 1 es de 120 litros, y la presin de gas en el interior
de recipiente 1 es de 760 Torr, y que recipiente de vaco 2 se ha bombeado en bruto a aproximadamente 10 mTorr podemos
escribir:
PAG 1 = 760 Torr V 1 = 120

litros
Ahora, si abrimos la vlvula entre los vasos 1 y 2, y dar tiempo suficiente para que el sistema se equilibre,
leemos presiones en TC1 y TC2 a ser de 500 Torr.
(760 Torr) (120Liters) = (500 Torr) (V 2 + 120 litros)
Resolviendo para V 2 Podemos encontrar el segundo recipiente tiene un volumen de 62 litros (nota que incluimos el tubulation a
la derecha de la vlvula como parte del volumen de vaso V 2.).
3.4 Lo que sera el volumen de recipiente 2 en la figura 3.1 si la presin final leer en TC1 y TC2 fue de 350 Torr
en lugar de 500 Torr?
Ley de Charles: En condiciones de volumen fijo y la cantidad de gas, ley de Charles describe la relacin
entre la temperatura y la presin de un gas.
P1 T1 = P2 Si elevamos la temperatura en un recipiente a prueba de fugas cerrado que

contiene un gas inicialmente a presin P 1 la presin se elevar a P 2, siguiendo la ley
T2 de Charles.
TC1 TC1
Recipiente de vaco Recipiente de vaco
en T1 en T2
Figura 3.2

3.5 Si la presin inicial y la temperatura del recipiente a prueba de fugas en la figura 3.2 fueron de 50 mTorr y 25 C
respectivamente, y el recipiente se calent de manera uniforme a 100 C lo que sera la nueva lectura de la presin?
La ley de los gases ideales: La relacin entre presin, volumen, la cantidad de gas y la temperatura del gas para los gases
"ideales" est dada por la ley del gas ideal. Afortunadamente, la mayora de los gases se comportan "idealmente" en
condiciones subatmosfricas.
P = presin [Atmospheres] V = volumen

[Litros] n = moles de gas [moles] R = gas
PV nRT
= Ideal constante de la Ley (0,08206 L-atm /
K-mol) T = temperatura absoluta [Kelvin]
3.6 Si un recipiente de 100 litros a temperatura ambiente se evacua a una presin de 50 mTorr, el nmero de moles de
gas se encuentran en el recipiente? Cuntas molculas es esto? Cuntas molculas por centmetro cbico es
esto?
Tabla 3.3: Quantiti ES, Smbolos una Unidades d
Cantidad Smbolo Unidad
longitud L cm, m
zona UN cm 2, metro 2
volumen V cm 3, metro 3
dimetro re cm, m
masa metro gramo
hora t seg, minuto, hora
cantidad de sustancia norte Topo
temperatura termodinmica T k
velocidad de las partculas en el flujo de do cm / s, m / s
viscosidad dinmica kg / ms
conductividad trmica W / mk
presin (gas) PAG Torr, mTorr
capacidad calorfica molar (prensa const) do pag J / kn
capacidad calorfica molar (volumen const) do v J / kn
nmero de Reynolds RE
nmero de Knudsen kn
constante de Avogadro norte UN 6,02 x 10 23 partculas
constante de la ley de gas R 0.059 L-atm / kn
velocidad v cm / s, m / s
tasa de flujo msico q metro g / s, en kg / s
tasa de incidencia Z UN cm- 2- s- 1
tasa de incidencia volumen ZV cm- 3- s- 1

tasa de flujo volumtrico qV cm 3 / s, m 3 / s

cantidad de gas (valor PV) GRAMO Torr-L
velocidad de bombeo (flujo volumtrico) S L/s
tasa de flujo msico Q Torr-L / s
conductancia do L/s
tasa de fuga ql Torr-L / s
peso molecular METRO g/n
camino libre medio L cm
densidad del nmero de partculas norte cm- 2
Descripcin cintica del comportamiento de los gases

Como su propio nombre indica, la teora cintica de los gases tiene que ver con la descripcin de cmo se comportan los
gases bajo la influencia de fuerzas externas que inducen el movimiento. Hay cuatro supuestos bsicos que constituyen la
base de la teora cintica de los gases:
1) Gases se componen de un gran nmero de partculas extremadamente pequeas (tomos o

molculas).
2) Estas molculas de gas estn en constante movimiento, rpido de una manera catica.
3) Las distancias entre las molculas de gas individuales son grandes en comparacin con el dimetro de
las molculas.
4) Las molculas ejercen ninguna fuerza sobre uno de otro, o en las paredes de un recipiente, excepto
durante las colisiones.
Las molculas velocidad del gas: La velocidad a la que viajan las molculas de gas es independiente de la presin, pero
es una funcin de la temperatura y el peso molecular del gas.
v velocidad molecular = Media [cm / seg] T =

4 T cm temperatura absoluta [K] M = peso molecular del gas
v = 1.455 10
x [gramos / mol]

W metro segundo

3.7 Calcular la velocidad de una molcula de nitrgeno a 100 C. (Convertir de
centgrados a grados Kelvin, aadir 273).
Camino libre medio: La distancia una molcula de gas puede viajar (en promedio) es una funcin de la presin total y
el dimetro de las molculas de gas.
L = recorrido libre [cm] significar N = densidad del nmero

1[ de partculas de [cm- 3]
L cm ] = d = dimetro molecular [cm] P =
2
2 PND presin, Torr

3.8 Para un sistema de vaco a temperatura ambiente con un volumen de 50 litros, y que contiene gas nitrgeno a
una presin de 5 x 10- 6 Torr, encontrar la densidad del nmero, N, y el camino libre medio, L {la molecular
dimetro de N 2 es 3.8a o 3.8 x 10- 8 cm }
Para la mayora de sistemas de vaco limpias la mayora de la carga de gas puede ser asumido como nitrgeno, y a
temperatura ambiente la siguiente aproximacin se puede usar para calcular el recorrido libre medio para N 2 molculas:
-3 L = recorrido libre medio [cm] P =

5,0 10
x
L = presin [Torr]
PAG
Las colisiones de gaseosas Especie: Las molculas de gas viajan en lnea recta entre colisiones y tienden a atacar todas las
superficies internas expuestas del recipiente en el que estn contenidos. Las presiones que medimos usando varios tipos de
medidores (ms sobre esto en el captulo 5) son el resultado de los impactos colectivos de estas molculas de gas en las
superficies internas del recipiente que contiene. La velocidad de impacto (o tasa de incidencia) de molculas de gas por
segundo por centmetro cuadrado de rea de superficie es una funcin de la velocidad de las molculas y la densidad del
gas
N = densidad molecular, [cm- 3]

v = velocidad molecular [cm / seg] I = tasa de
Nv I 1
= incidencia [cm- 2- segundo- 1]
2
- segundo
4 cm
Por lo general, las cantidades que podemos medir fcilmente son la presin y la temperatura, por lo que, la misma ecuacin expresan en
trminos de estas unidades es la siguiente:
22 PAG 1
yo = 3.5 10
x
cm 2 -
WTmetro
segundo
3.9 Cul es la tasa de incidencia de las molculas de nitrgeno sobre la superficie interior de una
recipiente de vaco que tiene una presin de 5 x 10- 6 Torr y una temperatura de 25 C? Lo que es lo mismo
para el sistema en 5 x 10- 9 Torr?
El movimiento de molculas de gas: Como las colisiones se producen entre las molculas de gas y las superficies expuestas
interiores de un recipiente, las molculas son "difusa" reflejada, es decir no existe relacin entre el ngulo de llegada y el
ngulo de salida despus de una colisin. El ngulo de salida de una superficie plana ha sido estudiada y se observ que
siguen una distribucin de coseno tal como se muestra en la figura 3.4

100
97
90
87
75
60 71
45 50
30
26
Figura 3.4: probabilidad acumulada de ngulos de salida de las molculas de gas que salen una superficie lisa. Por
ejemplo, 50% de las partculas partir con un ngulo de 30 o menos.
Flujo de gas a travs de un orificio: Hagamos otro experimento mental. Imagine un sistema de vaco libre de fugas
compuesta de dos vasos separados por una vlvula cerrada. Un recipiente contiene gas nitrgeno a una presin de 5
x 10- 5 Torr y el otro recipiente es bajo alto vaco extrema (5 x 10- 10 Torr). Ambos recipientes estn a temperatura
ambiente. Si de repente se abre la vlvula de lo que ocurrir durante el tiempo de equilibrio de presin? Slo aquellas
molculas que afectan al azar {flujo molecular, verdad?} De la abertura entre los vasos saldrn del recipiente a
mayor presin y mover en el recipiente a presin inferior. Permtanme aclarar este punto al afirmar lo contrario:. Esas
molculas en el recipiente a presin superior inicial, que no incide en la abertura entre los barcos no pueden salir del
buque, que estn en Lo que esto sugiere es que la velocidad de flujo de gas molculas que salen de un recipiente es
una funcin de la tasa de colisiones de molculas por unidad de rea superficial. los nmero de las molculas de gas
que sale es:
los volumen de partida de gas se puede calcular

Nv I 1 dividiendo el nmero de molculas de gas que sale
=
cm 2
- segundo
por el nmero de molculas por unidad de volumen
4 (N)
los tasa de flujo volumtrico de gas a travs de un

agujero es independiente de la presin del gas;
sino que depende de la velocidad del gas, v, que es
una funcin de la temperatura y peso molecular.
Para la situacin en la que el recorrido libre medio de las molculas de gas es mayor que el dimetro de la
abertura en la pared de la cmara, la velocidad de flujo volumtrico (s) est dado por:

S = velocidad de flujo volumtrico [L / s] T =

v 4 T temperatura absoluta [K] W M = peso
S = = 1.455 10
x
molecular [g / mol]
4 W metro
Modos del flujo de gas en diversas condiciones de vaco

Los tres modos de flujo de gas que va a estar interesado en la descripcin son: turbulento (o viscoso), laminar (o
de transicin) y el flujo molecular.
El rgimen de flujo crea cuando se induce aire para moverse a travs de tubos cilndricos es una funcin del
dimetro del tubo y la presin media.
Para estas ecuaciones, D es el dimetro interior, en
pulgadas, y P bar es la presin media en Criterios
DP 0.18 Torr durante Viscoso Criterios para el flujo de
rgimen Molecular Criterios para el flujo de rgimen
DP 0,004 Transicin Rgimen de flujo
0,004 DP 0.18
Al iniciar una bomba hacia abajo, el flujo de molculas de gas es a menudo turbulento, exhibiendo remolinos y corrientes
mucho como un rpido que rabia.
Figura 3.5 Viscoso flujo de molculas de gas durante abajo de la bomba.

Figura 3.6 Las molculas de gas en transicin condiciones de flujo. camino libre medio es ms o menos
equivalente al dimetro de la tubera.
Figura 3.7 Las molculas de gas en molecular condiciones de flujo. camino libre medio es mayor que
1,5 veces el dimetro de la tubera.
El flujo de gas Tarifas
Volumtrico: Velocidad de flujo (S) es la cantidad de volumen de gas que pasa por un punto por unidad de tiempo. Ejemplos de
unidades son: litros / pies segunda o cbicos / minuto. La tasa de flujo volumtrico puede ser considerada como la velocidad de
bombeo de un sistema en un punto especificado en la ruta de la conductancia.
Cuantitativo: Velocidad de flujo (Q) es la cantidad de gas que pasa por un punto por unidad de tiempo. Las unidades son: Torr
litros / segundo. La velocidad de flujo cuantitativa tambin se conoce como el caudal, o flujo de masa, y es constante en todas
partes en el sistema de vaco, a menos gas tiene fugas o est siendo capturado o condensa a lo largo del camino.

vlvula
ventilacin cmara de
Cmara de vaco
IG1 TC1 la vlvula interior vlvula de ventilacin
cmara
puerta cabeza de
IG2
Q
respiradero DP
TC3
TC2
vlvula de
lnea frontal
Figura 3.8 El gas que fluye a travs de un sistema de vaco a partir de la entrada a la cmara de vaco y que sale en el
escape de la bomba de desbaste. En todos los lugares en el circuito de vaco la velocidad de flujo cuantitativa (Q) es el
mismo.
Q = caudal cuantitativa [torr-litros / seg.] S = velocidad de
Q SP
flujo volumtrico [litros / seg] P = presin [Torr]
=
Conductancia en un sistema de vaco:
Gases que se mueven a travs de elementos de conductancia (tuberas, tubos, recipientes, y orificios) en un sistema de vaco
resistencia encuentro a su movimiento. A presiones ms altas, esta resistencia es un differnce de presin de funcin y de la
geometra del elemento de conductancia.
Z = resistencia [seg / litro] P =

PPZ- presin [Torr] Q = tasa de flujo
= 1 2
[Torr-L / s]
Q
La conductancia es la inversa de la resistencia y por lo tanto,
C = conductancia [litros / seg]

1 QCZPP
= =
1
- 2
Incluso los sistemas de vaco muy simples se componen de muchos elementos de conductancia, algunos estn
conectados en serie, algunos en paralelo. Vamos a examinar la forma de calcular el efecto de diversos componentes en los
sistemas simples.

vlvula trampa
90 codo
Cmara de
vaco C3
C1 C2
bombear
Figura 3.9 elementos de conductancia conectados en serie
do T = conductancia total de elementos C 1,

do 2, do 3 ... que estn conectados en serie
1 1 1 1 1
= + + + ... =
CCCC
T 1 2 3
do yo
C1
Cmara de
C2
vaco
Figura 3.10 elementos de conductancia conectados en paralelo.
etctera que estn conectados en paralelo en la figura

CCCC
= T 1
+ 2
+ 3
+ ... = dodoyoconductancia
3.10 T= total de elementos C 1, do 2,
Ejemplos de problemas
3.10 Para el sistema de vaco se muestra en la figura 3.9, si C 1 = 50 L / s, C 2 = 100 L / s y C 3 =
100 L / s Cul es la conductancia total de los tres elementos?
3.11 En la figura 3.10, si C 1 y C 2, tienen los mismos valores que en el problema anterior,
cul es la conductancia neta de la asamblea?

El clculo de la conductancia
En esta seccin vamos a presentar varias frmulas "de uso general" para el clculo de la conductancia en
virtud de las situaciones ms frecuentes.
Flujo viscoso : Para la situacin en la que el recorrido libre medio, L, es aproximadamente el mismo que el
dimetro del elemento de conductancia; el caudal, Q v, para aire seco est dada por:
4 P = presin media (P 1+ PAG 2) / 2 D =

3000 PD litros Torr
-
Q = ( PPL- ) dimetro del tubo [pulgadas] L =
v 1 2
segundo longitud del tubo [pulgadas]
La conductancia en esta situacin viene dada por:
QCPP 3000 litros PD

4
C
= v
=
v
( - ) v
L segundo

1` 2
{Nota: La longitud de la conductancia elemento y el dimetro (L y D, respectivamente) estn en unidades de pulgadas.}
Flujo molecular: Para la situacin en la que el recorrido libre medio de las molculas es mucho ms grande que el dimetro
del elemento de conductancia, las relaciones para el rendimiento, Q y la conductancia, C metro vienen dados por:
3
80 DQ
metro
= ( PPL
1
- 2
)
QCmetro 3
80 corriente
metro
= =
continua
- 2)
( PGINAS
1
metro
L
Ahora vamos a aplicar esta informacin para el clculo de las velocidades de bombeo en un sistema de vaco sencillo.

P1 P2
Q DEL SUR
S CAROLINA
t pag
Figura 3.11: Un sistema de vaco simple.
En cualquier lugar en el circuito de vaco el caudal volumtrico o la velocidad de bombeo en ese punto se pueden
encontrar si se conoce la presin en ese punto, la presin en la bomba, y la conductancia de la va de conexin de
estos dos. En el lado de la cmara del sistema P 1 = Q / S t, y de manera similar en el lado de la bomba, P 2 = Q / S pag. Haremos
uso de la relacin entre el flujo de masa (Q), la cada de presin (P 1- PAG 2), y la conductancia (C):
QPPC
=( 1 - 2
)
Sustituyendo Q / S t para p 1 y Q / S pag para p 2 obtenemos:
QQQ
= - CSS

t pag
Dividiendo ambos lados de la ecuacin por QC obtenemos:
111
= -
CSS t pag
Ahora podemos resolver por S t, la velocidad de bombeo en el orificio de la cmara.
3.12 Para el sistema de vaco sencillo representado en la figura 3.11, calcular la velocidad de bombeo
en la cmara de si la bomba tiene una velocidad de 200 L / s, la presin en la bomba de vaco es de 5 x 10- 6, y
el elemento de conductancia es un tubo de 30" de largo por 2" de dimetro.
Conductancia de aberturas ser importante cuando se realizan los clculos del sistema de vaco cuando dimetros de
tubo abruptamente cambio de dimetro en un factor de dos o ms (ver foto abajo).

8" 3"
Mientras ecuaciones exactas para el flujo de apertura son complejas en el rgimen de flujo viscoso, esta aproximacin es a
menudo bastante vlida:

A = rea de la abertura circular o casi cuadrado. do v = Conductancia
dov = 130 UN en l / s en rgimen viscoso
En el rgimen de flujo molecular lo siguiente es vlido para el nitrgeno cerca de la temperatura ambiente:
A = rea de la abertura circular o casi cuadrado. do v = Conductancia

do metro= 75 UN en l / s en rgimen molecular
Antes de comprar componentes para y la construccin de un sistema de vaco caro, los clculos se realizan
generalmente que proporcionan informacin en cuanto a la cantidad de tiempo que ser necesaria para evacuar el
sistema de vaco a una cierta presin. Tpicamente, el clculo se rompe (se reparti) en "intervalos de presin" cinco o
ms y en cada intervalo se calcula la conductancia de la tubulation entre el recipiente y la bomba. La velocidad de la
bomba entregado al recipiente se calcula, y finalmente, el tiempo para bombear desde el lmite de presin superior del
intervalo para el lmite de presin inferior del intervalo se calcula. El clculo se realiza en segmentos porque tanto la
conductancia (en flujo viscoso) y de cambio de velocidad de la bomba cuando la presin disminuye.
PV t = tiempo para bombear desde la presin P 1 parte superior 2, ( sec) V =
=t S En 1

Volumen de la cmara, incl. tubulation, (litros) St = velocidad de la bomba
entregado, (litros / segundo)
t
PAG
2
Intervalo de presin de 1: Tiempo necesario para bombear de 760 Torr a 100 Torr.
A. Calcula la conductancia del tubo entre la bomba y el recipiente (asegrese de comprobar para condiciones de
flujo viscoso o moleculares).
B. Usar una curva de eficiencia de la bomba para determinar la velocidad de bombeo volumtrico de la bomba para el
intervalo de presin de inters.
C. Calcular la velocidad de la bomba entregado.
D. Calcular el tiempo para bombear de P 1 parte superior 2.
Repetir los pasos A a D para los intervalos de presin siguientes:
Intervalo de presin 2: Tiempo requerido para bombear de 100 Torr a 10 Torr.

Intervalo de presin de 3: Tiempo requerido para bombear desde 10 Torr a 1 Torr.

Intervalo de presin 4: Tiempo requerido para bombear de 1 Torr a 0,1 Torr.

Intervalo de presin 5: Tiempo requerido para bombear de 0,1 Torr a 0,01 Torr.
flujo viscoso
Conductancia
4
C = 3000 PD
L
3
C = 80 D
L
flujo transicin
flujo molecular
C = 3,000 PD4 +
L 80 D3
Presin
Figura 3.1 Conductancia vs. presin para el aire seco que se bombea a travs de un tubo de
seccin circular.
Velocidad de la Bomba [litros / seg]
100
1 10
.1
. 01 .1 1 10 100 1000
Presin [Torr]
Figura 3.2 Bomba de velocidad vs. presin para una bomba mecnica aceite de sellado.

Para la lectura adicional :
teora cintica de gases -

Alta tecnologa del vaco , Hablanian, Marsbed, M., Marcel Dekker, INC., Nueva York, Nueva York. 1990.
los clculos del sistema de vaco -

Alta tcnica de vaco, Yarwood, J., Chapman y Hall, Ltd, calle 11 de Nueva Fetter,
Londres, 1967.
Alta tecnologa del vaco , Hablanian, Marsbed, M., Marcel Dekker, INC., Nueva York, Nueva York. 1990.
Gua del usuario para la tecnologa del vaco , O'Hanlon, John F. John Wiley & Sons Nueva York, Nueva York.
1980.
Sistemas de Vaco prcticos , Lapelle, Roland R., McGraw-Hill Book Co. Nueva York, Nueva York. 1972.
Las respuestas a problemas Captulo 3 muestra

3.1 4" vista puerto tiene un rea de superficie = xr 2 = 3,14 x 4 = 12,6 sq. In.
12.6 sq. In x 14,7 lbs / sq. en = 185 lbs.
3.2 De sodio (metal reactivo), hierro puro (se oxida rpidamente en el aire hmedo), y litio (metal reactivo).
3.3 A medida que disminuye la presin, conductividad trmica y elctrica conductividad de aire
Ambos deben disminucin.
3.4 140 litros.
3.5 63 m Torr.
3.6 A. Resolver para el nmero de moles, n en el recipiente. Paso 1: convertir la presin 50 mTorr / 760
Torr = 6,58 x 10- 5 paso atm 2: convertir la temperatura 25 C + 273 = 298K paso 3: PV = nRT
(6,58 x 10- 5 atm) (100 L) = n (0.08206L-atm / k-mol) (298K) n = 2,69 x 10- 4 moles de molculas de
gas.
B. Resolver para el nmero de molculas en el recipiente. {Hay 6,02 x 10 23 molculas por mol} (2,69 x
10- 4 moles) (6,02 x 10 23 molculas por mol) = 1,62 x 10 20 molculas.
C. Resolver para el nmero de molculas por centmetro cbico. (1,62 x 10 20 molculas

/ 100 litros) / 100 =
1,62 x 10 18 molculas / litro. (1,62 x 10 18 molculas / litro) / 1000 centmetros
cbicos / litro =
1,62 x 10 15 molculas / centmetro cbico
3.7 T = 373K, M = 28 g / mol. V = 53.100 cm / seg.

3.8 Dado: T = 25 C, V = 50 litros, P = 5 x 10- 6 Torr.

A. Halla el nmero de moles de gas, usando la ley de los gases ideales. Paso 1: presin convert (5 x
10- 6 Torr) / 760 Torr = 6,7 x 10- 9 Cajero automtico. Paso 2: convertir la temperatura 25 C +
273 = 298K paso 3: PV = nRT (6,7 x 10- 9 atm) (50 L) = n (0.08206L-atm / k-mol) (298K) n =
1,36 x 10- 8 moles de molculas de gas en 50 litros
volumen.
B. Calcular el nmero de molculas en el volumen de 50 litros. (1,36 x 10- 8 moles) (6,02 x 10 23 molculas por
mol) = 8,2 x 10 15 molculas.
C. Calcular el nmero de molculas en un centmetro cbico. (8,2 x 10 15 molculas / 50
L) / 50 L = 1,64 x 10 14 molculas / L (1,64 x 10 14 molculas / L) / 1000
centmetros cbicos / L = N = 1,64 x 10 11 molculas / centmetro cbico.
D. El recorrido libre medio, L =

3.9 I = 1,92 x 10 15 molculas / sec-cm 2.
3.10 C = 25 L / s.
3.11 C = 150 L / s
3.12 En primer lugar calcular la conductancia de la conductancia element.given: tubo es de 30" de largo,
2" de dimetro, asumir flujo molecular. C = 80 x (4" ) 3 / 30" = 21,33 L / s = 171 l / s. A continuacin, utilice 1 / S 1 = 1 /
C + 1 / S 2 para resolver S 1. S 1 = 92 L / s.
Ejercicio de laboratorio 3.1:

Medida de la velocidad de bombeo en la cmara de vaco
Configuracin experimental: Seleccionar una bomba mecnica rotativa de paletas de trabajo y las apropiadas galgas,
tubulation, y accesorios para montar un sistema de vaco como se muestra en la figura 3.13 En primer lugar, montar el
sistema con un elemento de conductancia corto entre la cmara y la bomba. Calcula la conductancia del elemento
utilizando frmulas discutidas en este captulo. Evacuar la cmara, permitiendo que la bomba mecnica para alcanzar su
presin de base. registro P 1 y P 2, y usando el valor calculado de C, y el valor del fabricante de velocidad de la bomba,
resolver para la velocidad de bombeo en la cmara. Repita el experimento para un elemento de conductancia mucho
ms tiempo del mismo dimetro.

P1 P2
TC1 TC2
Q DEL SUR
S CAROLINA
t pag
Figura 3.13 Montaje experimental para la medicin de la velocidad de bombeo en el vaco

cmara.
Discusin:
El cambio en la conductancia longitud del elemento entre la bomba y la cmara de causar el cambio
esperado en velocidad de bombeo, medida a la cmara? Por qu o por qu no?

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Las Positas College Tecnologa de vaco 60A y 60B

Captulo 3: Revisin de los clculos bsicos de vaco

bajo vaco 25-760 Torr

T capaz 3.2: Composicin de tintorera Ai r

Gas Presin parcial [Torr] Porcentaje [por volumen]

nitrgeno 593 78.1

pgina 33 Derechos Reservados, Biltoft, Benapfl, y Swain Otoo de 2002

Propiedades de los sistemas bajo vaco

pgina 34 Derechos Reservados, Biltoft, Benapfl, y Swain Otoo de 2002

Leyes de los gases

2. Volumen: La capacidad interna de un recipiente o vaso. (Litros)

Recipiente de vaco Recipiente de vaco

pgina 35 Derechos Reservados, Biltoft, Benapfl, y Swain Otoo de 2002

PAG 1 = 760 Torr V 1 = 120

(760 Torr) (120Liters) = (500 Torr) (V 2 + 120 litros)

P1 T1 = P2 Si elevamos la temperatura en un recipiente a prueba de fugas cerrado que

Recipiente de vaco Recipiente de vaco

pgina 36 Derechos Reservados, Biltoft, Benapfl, y Swain Otoo de 2002

P = presin [Atmospheres] V = volumen

Tabla 3.3: Quantiti ES, Smbolos una Unidades d

Cantidad Smbolo Unidad

pgina 37 Derechos Reservados, Biltoft, Benapfl, y Swain Otoo de 2002

tasa de flujo volumtrico qV cm 3 / s, m 3 / s

Descripcin cintica del comportamiento de los gases

1) Gases se componen de un gran nmero de partculas extremadamente pequeas (tomos o

v velocidad molecular = Media [cm / seg] T =

L = recorrido libre [cm] significar N = densidad del nmero

pgina 38 Derechos Reservados, Biltoft, Benapfl, y Swain Otoo de 2002

-3 L = recorrido libre medio [cm] P =

N = densidad molecular, [cm- 3]

pgina 39 Derechos Reservados, Biltoft, Benapfl, y Swain Otoo de 2002

los volumen de partida de gas se puede calcular

los tasa de flujo volumtrico de gas a travs de un

pgina 40 Derechos Reservados, Biltoft, Benapfl, y Swain Otoo de 2002

S = velocidad de flujo volumtrico [L / s] T =

Modos del flujo de gas en diversas condiciones de vaco

Para estas ecuaciones, D es el dimetro interior, en

pulgadas, y P bar es la presin media en Criterios

DP 0.18 Torr durante Viscoso Criterios para el flujo de

rgimen Molecular Criterios para el flujo de rgimen

DP 0,004 Transicin Rgimen de flujo

Figura 3.5 Viscoso flujo de molculas de gas durante abajo de la bomba.

pgina 41 Derechos Reservados, Biltoft, Benapfl, y Swain Otoo de 2002

El flujo de gas Tarifas

pgina 42 Derechos Reservados, Biltoft, Benapfl, y Swain Otoo de 2002

Q = caudal cuantitativa [torr-litros / seg.] S = velocidad de

Z = resistencia [seg / litro] P =

C = conductancia [litros / seg]

pgina 43 Derechos Reservados, Biltoft, Benapfl, y Swain Otoo de 2002

Figura 3.9 elementos de conductancia conectados en serie

do T = conductancia total de elementos C 1,

Figura 3.10 elementos de conductancia conectados en paralelo.

etctera que estn conectados en paralelo en la figura

pgina 44 Derechos Reservados, Biltoft, Benapfl, y Swain Otoo de 2002

4 P = presin media (P 1+ PAG 2) / 2 D =

La conductancia en esta situacin viene dada por:

QCPP 3000 litros PD

{Nota: La longitud de la conductancia elemento y el dimetro (L y D, respectivamente) estn en unidades de pulgadas.}

pgina 45 Derechos Reservados, Biltoft, Benapfl, y Swain Otoo de 2002

Figura 3.11: Un sistema de vaco simple.

Sustituyendo Q / S t para p 1 y Q / S pag para p 2 obtenemos:

Dividiendo ambos lados de la ecuacin por QC obtenemos:

Ahora podemos resolver por S t, la velocidad de bombeo en el orificio de la cmara.