Escola Politcnica da USP PGEE

PSI5781-1 Introduo a Descargas Eltricas e Plasmas

Lista de exerccio - 03
18/07/2011

Aluno: Edmilson Roberto Braga.

Nmero USP: 2524662-1

Prof. Dr. Ronaldo Domingues Mansano.

 1. Quais as vantagens dos plasmas de
microondas em relao aos plasmas de RF ?
Os plasmas de microondas so normalmente gerados a partir de vlvulas do
tipo magnetron e apresentam energias maiores que as obtidas em plasmas
DC ou RF. No utilizam eletrodos e podem ser utilizados com paredes
dieltricas. Os regimes de presso tambm so diferenciados.
Os potenciais tpicos de microondas so de alguns keVs enquanto que em
plasmas DC e RF situam-se entre 1 e 15 eV. A densidade a 2,45 GHz de
7x1016 e/m 3 . Os sitemas convencionais de micoondas trabalham em
presses de 10 mTorr a 1 atm. Os ECRs podem trabalhar entre 1 Torr e 10
mTorr

O magtron do microondas disponivel a preos populares e mais robusto.

A energia do magtron mais elevada que DC ou RF e no possui eletrodo,

mas possui uma antena.
A presso nesse sistema de microondas muito elevada, a dezenas de Torr,
chegando a presso atmosfrica.

2. Qual a diferena entre plasmas ressonantes

e no ressonantes?
Reator com cavidade ressonante: Este plasma gerado a baixa presso e
necessita de uma janela dieltrica para a propagao do microondas. Os
materiais comumente usados nestes sistemas so a alumina e o quartzo.
As dimenses da cavidade so comparveis a o livre caminho mdio, se as
dimenses so muito grandes ocorrem vrias harmnicas e so conhecidas
como cavidades multimodo.
Ecr: caracteristicas :
Poucos gases neutros e radicais;
Alto grau de ionizao;
Alta densidade de eltrons;
Baixo bombardeamento inico;
Sem controle do bombardeamento inico, necessrio o uso de DC bias;
Dificuldade de acoplamento;
Custo elevado dos sistemas.

Plasmas no ressonantes

Estes sistemas de micoondas, no apresentam nenhuma induo

magntica, no entando a densidade e a energia dos plasma so
equivalentes as obtidas em plasmas indutvos de alta potncia.

As principais aplicaes so em ionizao de materiais para anlises

qumicas, principalmente em reaes ativadas por ultra-violeta, Reatores
de fluxo contnuo so os maiores empregas destes sistemas e podem ser
usados em espectroscopia de fase gasosa ou em tochas de plasma