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Las bombas de vacío tienen una presión mínima de entrada, que es la presión más baja que puede
obtenerse, y también, un límite superior a la salida o presión previa. Si la presión previa aumenta por
encima de este valor, el bombeo se para. Las bombas previas, son capaces de bombear a partir de la
presión atmosférica, hasta una presión a la cual empiezan a funcionar las bombas de alto vacío. El
tipo de bomba previa más corriente es la rotativa con paletas deslizantes con sistema de lubricación.
La bomba de vacío debe estar protegida de la humedad ambiental durante el proceso de vacío, esto
impide que se oxide el interior de la cámara de vacío del equipo y que deje de funcionar. Una opción
para atrapar la humead es mediante el uso de las llamadas “trampas de humedad”, consistentes en
un matraz Kitazato, un desecante como la silica gel, un tramo de manguera de hule, tapones y una
pipa de vidrio.