Microtecnología y Sistemas

Electromecánicos
Una introducción
 ¿Qué son los MEMS?
• MEMS son dispositivos con partes mecánicas y
eléctricas que tienen dimensiones características en el
rango de micras (1 mm=1 millonésima de metro) y
frecuentemente se fabrican con el mismo tipo de
herramientas tecnológicas empleadas para hacer
circuitos integrados.

• Aplicaciones principales:
– Aceleradores, giroscopios, actuadores, filtros, inyectores de
tinta, óptica (MOEMS), radiofrecuencia (RF MEMS), sensores
biológios (BioMEMS) y sistemas lab-on-a-chip, sensores de
presión, sensores de gas y un largo etcétera.
Introducción
 1. Conceptos fundamentales
• MEMS
• Microsistema
• MST
• Sensor
• Actuador
• Transductor
• Procesador
• Microtecnología
• Nanotecnología
2. Historia de la micro- y nanotecnología
 3. Tendencias tecnológicas que
favorecen el desarrollo de MEMS (I)

• Diseño y modelado
• Empaquetado y
encapsulado
• Técnicas de fabricación
• Miniaturización
 3. Tendencias tecnológicas que
favorecen el desarrollo de MEMS (II)
4. Tendencias de mercado que favorecen
el desarrollo de MEMS

• Electrónica de consumo
• Industria automotriz
• Industria de la construcción
• Ingeniería biomédica
• Instrumentación
• Máquinas herramienta
• Plantas y procesos
industriales
• Sistemas hidráulicos
• Telecomunicaciones
5. El mercado mundial de microsensores

Fuente: Yolé Developpement

6. Empresas del MEMS Industry Group
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