MICROSCOPÍA ELECTRÓNICA DE BARRIDO

Scanning Electron Microscopy (SEM)

J. Díaz-Salaverría
MICROSCOPIO ELECTRÓNICO, SEM
Los principales componentes de un microscopio
electrónico de barrido incluyen:

▪ Fuente de electrones

Esquema de un microscopio electrónico de barrido

▪ Columna con lentes electromagnéticas
▪ Detector de electrones
▪ Cámara de muestra
▪ Ordenador y pantalla para ver las
imágenes

Además, estos microscopios requieren una fuente

de alimentación estable, un sistema de vacío y
refrigeración, un espacio libre de vibraciones y ser
alojados en un área que aísle al instrumento de
campos magnéticos y eléctricos.

Nanoscience Instruments, http://www.nanoscience.com/technology/sem-technology/, 2017

Purdue University, https://www.purdue.edu/ehps/rem/rs/sem.htm, 2017 2
 MICROSCOPIO ELECTRÓNICO, SEM

Señal detectada Información Resolución lateral Profundidad

Topografía superficial, contraste

Electrones secundarios 5–100 nm 5–50 nm
composicional.

Topografía superficial, contraste

Electrones retrodispersados composicional, orientación de 50–1000 nm 30–1000 nm
cristales, dominios magnéticos.

Contraste complementario a la
Corriente de la muestra retrodispersión más la señal 50–1000 nm 30–1000 nm
electrónica secundaria.

Composición y distribución
Rayos X característicos 0.5–2 μm 0.1–1 μm
elemental.

Detección de fases no
Catodoluminiscencia - -
metálicas y semiconductoras.

ASM Handbook Vol. 9, Metallography and Microestructures, 2004.

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MICROSCOPIO ELECTRÓNICO, SEM
Una buena imagen requiere superficies libres de contaminación, resistencia de la
muestra al alto vacío y al haz de electrones, ausencia de carga eléctrica.

Nanofabricación con tecnología ZEISS Crossbeam FIB-SEM.

La cara feliz de oro sólido más pequeña del mundo.
ASM Handbook Vol. 9, Metallography and Microestructures, 2004.
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 MICROSCOPIO ELECTRÓNICO, SEM

Imágenes SEM de muestras de Ag recogidas a 60 min (a), 45 h (b) y 46 h (c). Los insertos muestran
patrones correspondientes a diferentes orientaciones del haz de electrones: perpendicular al plano (100) de
un cubo truncado (superior derecha) y al plano (111) de un tetraedro truncado (inferior izquierdo).

Y. Sun, B. Gates, B. Mayers, and Y. Xia, Nano Lett., 2 (2002) 165.

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