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Introducción al tema
Debido a los cambios en el escalamiento de fuerzas que ocurren a pequeñas distancias (y que se vieron
en el capítulo anterior), los principios de operación en que se basan los MEMS son diferentes de,
por ejemplo, los que explican el funcionamiento de un motor de inducción de corriente alterna o
un relevador electromagnético. Por esta misma razón, así como otras debidas a la infraestructura
industrial existente, los MEMS suelen fabricarse con materiales muy diferentes que las máquinas que
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Anexo
Normas y estándares
UL
DIN
Etc.
Se plantea la estructura
Plantillas
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Fabricación
Encapsulación
Estructuras
Trampolines
Membranas capacitivas
Diapasones
Metales
Aluminio (Al)
Cobre (Cu)
Oro (Au)
Compuestos III-V
Arseniuro de galio (GaAs)
Etc.
Diamante (C)
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Se han de nido seis tipos de dominios de operación de los dispositivos empleados comúnmente en
1. E → dominio eléctrico
2. M → dominio magnético
3. Me → dominio mecánico
5. T → dominio térmico
1. Sensores magnéticos: M →E
3. Sensores de radiación: R → E
4. Sensores térmicos: T → E
Nótese que, en el caso de los sensores, la variable de salida siempre es una señal eléctrica. En los
actuadores, la entrada es una señal eléctrica. Lo anterior lleva a una clasi cación alternativa de los
transductores (sean sensores o actuadores) en función de la propiedad eléctrica o tipo de señal
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Algunos fenómenos empleados en el diseño de MEMS con propiedades transductoras son los
siguientes:
Piezoelectricidad
Propiedad de ciertos materiales (entre ellos, el cuarzo, el azúcar de caña, el topacio y la zincblenda) de
desarrollar cargas eléctricas super ciales cuando se les somete a esfuerzos mecánicos (como
descubrieron los hermanos Jacques y Pierre Curie en 1880); también puede darse el fenómeno
opuesto, en el que un campo eléctrico aplicado al material produce deformaciones mecánicas (como lo
descubrió Gabriel Lippmann en 1881). El fenómeno piezoeléctrico resulta ser muy importante en la
estabilización de osciladores y el control de frecuencia, así como en varios tipos de transductores, por
lo que el desarrollo de MEMS que hacen uso de esta propiedad ha despertado gran interés.
Piezorresistividad
Propiedad de un material, en virtud de la cual su resistividad es afectada por los esfuerzos mecánicos
que se le aplican. Recuerde que, en resistores cilíndricos, la resistividad ρ se relaciona con la resistencia
R, el área transversal A y la longitud del resistor a través de . A diferencia de los materiales
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Termoelectricidad
Propiedad por la cual, diferencias de temperatura en cierta región de un material general diferencias
Antes de modelar un MEMS, es preciso modelarlo de forma razonablemente realista, pero simple. La
describen la física del dispositivo o dispositivos y en las que las condiciones de frontera
describen el entorno del dispositivo operando con normalidad. La solución de estas ecuaciones
diferenciales requiere a menudo el uso de herramientas tales como el método de elementos nitos
(FEM, Finite Element Method), que es una herramienta numérica para resolver las ecuaciones en una
malla tridimensional.
conocidas. Existe una herramienta de acceso libre –aunque un tanto rudimentaria- para el modelado
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b) Análisis multifísico: Por ejemplos, Algor (comprado por Autodesk hace algunos años), ANSYS,
CATIA y Comsol. Estas plataformas emplean a menudo el método de elementos nitos y permiten
evaluar en detalle el desempeño del modelo.
c) Diseño: Son especialmente reconocidas las plataformas Coventor, Intelliuite (de la empresa
Intellisense), MemsCAP, Tanner. Estas plataformas incorporan reglas de diseño de aplicación común y
toman en cuenta las características físicas y técnicas de los procesos de fabricación de circuitos y
MEMS.
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