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Química Física
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Procesos de plasma-químicos bajo girotrón de alta potencia de descarga

en las mezclas de metal y polvos dieléctricos.
N.S. Akhmadullina a,⁎, N.N. Skvortsovab,c,⁎, E.A. Obraztsovab,d, V.D. Stepakhinb,e,
E.M. Konchekovb,e, A.A. Letunovb, A.A. Konovalova, Yu.F. Kargina, O.N. Shishilovf
a AA Baykov Instituto de Metalurgia y Ciencia de los Materiales, Academia Rusa de Ciencias, Leninsky prospecto 49, Moscú 119334, Rusia
b AM Prokhorov General Instituto de Física l, Academia Rusa de Ciencias, ul. Vavilova 38, Moscú 119991 Rusia
c Universidad Nacional de Investigaciones Nucleares MEPhI, Kashirskoe shosse, 31, Moscú 115409, Rusia
d MM Shemyakin y Yu.A. Ovchinnikov Instituto de Química Bioórganica de la Academia Rusa de Ciencias, Miklujo-Maklaya st. 16/10, Moscú 117997, Rusia
e NI Pirogov Universidad Nacional Rusa de Investigación Médica, Ostrovitianov st. 1, Moscú 117997, Rusia
f F Instituto de tecnologías química fina, Universidad Tecnológica de Rusia, Vernadskogo prospecto 86, Moscú 119571, Rusia

INFO DEL ARTÍC ULO RESUMEN

palabras clave: Síntesis de materiales nano y micro estructuradas es un campo de la alta actividad en la ciencia de materiales. Los
Gyrotron procesos de plasma-químicas son herramientas efectivas y versátiles para este propósito. El plasma se puede generar
Descarga de diferentes maneras, en este trabajo utilizamos pulsos de girotrón de alta potencia (75 GHz / 550 kW) para iniciar
Aluminio
Oxido una descarga en mezclas de polvos metálicos y dieléctricos. Dependiendo de la composición de partida de la mezcla
Nitruro es posible obtener nuevos materiales. Anteriormente se demostró que el MgAl2O4 se puede preparar a partir de la
mezcla de Mg / Al2O3. Ahora demostramos que los compuestos orgánicos también se pueden introducir en la
mezcla. Usando melanina como fuente de nitrógeno, preparamos oxinitruros de aluminio (Al11O15N, Al27O39N) a
partir de Al / Al2O3. Una adición de una pequeña cantidad de carborano C2B10H12 hace que el proceso sea aún
más intensivo, ya que en este caso el hidrógeno está involucrado. Se hicieron propuestas sobre un posible mecanismo
basándose en las observaciones durante el proceso y la composición y morfología de los productos finales.

1. Introducción quemadas [3]. Encontraron que la relación FeO / Fe3O4 y la superficie

Desde 1960, se han dedicado muchos estudios a las transformaciones físicas y
químicas en plasma. En general, todos los procesos de plasma de interés
práctico se pueden dividir en tres tipos: tratamiento de diferentes superficies,
preparación y / o tratamiento de partículas sólidas y aplicaciones especiales,
p. Ej. Corona de descarga para la producción de ozono [1]. Los métodos de
plasma son extremadamente efectivos para materiales cerámicos que incluyen
óxidos, nitruros, carburos, etc. Cuando se obtienen en forma de polvo, los
materiales cerámicos preparados con plasma y / o tratados con plasma
muestran una composición uniforme y una distribución de tamaños de
partículas bastante estrecha, que generalmente aparece como unimodal. Por
ejemplo, en 1983 Yoshida y sus colaboradores prepararon un ultrafino amorfo
Si3N4 con 37.0 ± 0.5% en peso de nitrógeno y un tamaño de 10 a 30 nm
utilizando el reactor de plasma híbrido, que se caracterizó por la superposición
de un plasma de RF y un chorro de arco [ 2]. Posteriormente, Vissokov y sus
colaboradores lograron la preparación de óxidos de hierro ultra dispersos con
calificación de pigmento mediante oxidación en plasma a baja temperatura
(LTP) de FeCl2, FeSO4, Hierro y piritas
específica se pueden controlar fácilmente a través de la temperatura dentro
del reactivo químico del plasma (de 1200 a 3400 K). Durante los 80 y 90 se
utilizaron procesos químicos de plasma para sintetizar óxidos de metales
alcalinotérreos, metales de transición, metales de tierras raras y algunos no
metales (por ejemplo, Si y Ge), nitruros AlN, Si3N4, TiN, carburos SiC, TiC,
WC y óxidos mixtos para aplicaciones catalíticas (Cu-Zn-Al-O, Ni-O-Al,
TiO2-V2O5, etc.) [4]. Todos estos materiales se prepararon como polvos
ultrafinos con un tamaño de partículas no superior a 1 µm. En la mayoría de
los casos, se utilizan dos técnicas principales para la síntesis química del
plasma. El primero utiliza la inyección de soluciones de sales metálicas o
compuestos organometálicos en un arco eléctrico o sopletes de plasma de RF
directamente o en una corriente de gas que fluye a través de los sopletes.
Otra forma es usar electrodos que contengan materiales de partida no
volátiles (o que consistan de ellos) y pasar una corriente de gases reactivos a
través del arco.
Los estudios de las dos últimas décadas se centran en:
- preparación de materiales de alta y ultra-alta pureza con constante

• Que corresponde a los autores: AA Instituto Baikov de Metalurgia y Ciencia de los Materiales, Academia Rusa de Ciencias, Leninsky prospecto 49, Moscú 119334, Rusia;
Instituto de Física AM Prokhorov general, Academia Rusa de Ciencias, ul. Vavilova 38, Moscú 119991 Rusia.
Correos electrónicos: nakhmadullina@mail.ru , mukudori@mail.ru (NS Akhmadullina).

https://doi.org/10.1016/j.chemphys.2018.08.023
Recibido el 6 de julio de de 2018; Aceptado 14 de agosto de 2018
Disponible en Internet el 16 de agosto de 2018
0301-0104 / © 2018 Elsevier BV Todos los derechos reservados
 NS Akhmadullina et al.
composición;
- preparación de polvos ultrafinos con un tamaño promedio controlable de las
partículas y una distribución de tamaño unimodal estrecha;
- Preparación de nuevos materiales basados en nanoestructuras (nanotubos de pared
simple y de múltiples paredes, nano hojas, nanolas, etc.)
Por ejemplo, Ponomarev y colaboradores prepararon SiO2 y TiO2 de alta pureza
(más del 99%) [5]. El acelerador de electrones de pulso TEA-500 se usó para generar
plasma en mezclas en fase gaseosa de SiCl4 (o TiCl4), O2 y H2. SiO2 y TiO2 se
prepararon como polvos con partículas de 10 a 40 nm. De manera bastante
inesperada, las partículas de SiO2 no tenían forma esférica, pero aparecían en su
mayoría como discos planos de diámetros correspondientes. Además, los autores
observaron la formación de algunas fibras de SiO2 con un diámetro de 20 a 40 nm y
una longitud de hasta 1 μm. La misma fuente de plasma también permitió preparar
óxidos de carburo mixtos de silicio [6] y titanio [7] de composición general (Si / Ti)
xCyOz. El tamaño promedio de las partículas fue de 20–40 y 15–30 nm,
correspondientemente. Se observaron partículas cúbicas bien cortadas en el caso del
óxido de titanio cabido. Las muestras de polvos nanodispersados de Cu2O (5–20 nm)
[8] y Fe3O4 (10 nm) [9] de alta pureza se prepararon utilizando la técnica de descarga
por arco. En todos los casos enumerados, el tamaño y la composición de las partículas
podrían ajustarse eficazmente mediante el cambio de los parámetros generales de los
procesos. Kim y sus colaboradores prepararon nanotubos de nitruro de boro
cristalino con alto rendimiento utilizando un proceso de plasma de inducción [10].
Suficientemente aumentan el rendimiento,y la velocidad del proceso que introduce
hidrógeno en la fase gaseosa, lo que condujo a un cambio en las vías de reacción de
tal manera que la formación de nanotubos de nitruro de boro procedió a través de los
borazoles y otros compuestos de boro y nitrógeno que contienen hidrógeno. Ese
parece ser el primer ejemplo de aplicación directa de los principios fundamentales de
la catálisis química al proceso químico del plasma.
Todos los métodos enumerados tienen ventajas bien conocidas, sin embargo,
muy a menudo es bastante difícil introducir todos los reactivos en la zona reactiva en
proporciones y estados adecuados (el estado gaseoso es un problema en la mayoría
de los casos). Además, estos parámetros son bastante difíciles de controlar en
condiciones dinámicas en fase gaseosa a alta temperatura. Sugerimos una nueva
solución para el problema utilizando la descarga de microondas en mezclas de polvos
metálicos y dieléctricos. La descarga aparece cuando las mezclas se tratan con pulsos
de girotrón de alta potencia. El enfoque sintético se desarrolló en un soporte especial
incorporado en el diseño estándar del complejo de girotrón MIG-3 [11]. El complejo
consta de dos giroscopios con una potencia total de hasta 1,5 MW. Fue construido en
2012 para la generación de plasma y calentamiento en el estelarador L-2M. Se llevaron
a cabo experimentos con plasma químico en un reactor especialmente construido.
[12] Utilizando un girotrón con una potencia de hasta 550 kW, una frecuencia de
75 GHz y una duración del impulso de microondas entre 0,1 y 12 ms. Se midió una
potencia gy-rotron real con un calorímetro [13].La descarga fue
Figura 1. ( a) reactor químico de plasma: 1 - cámara hermética, 2 - ventana de salida de cuarzo, 3 - boquilla de vacío, 4 - ventana de diagnóstico. (B) Esquema general del reactor y medidas:
1 - placa de cuarzo, 2 - capa de polvo dieléctrico, 3 - mezcla de polvo de metal y dieléctrico, 4 - plasma, 5 - gas, 6 - cilindro de cuarzo ( d = 70 mm,L = 100 mm). Las flechas del lado
izquierdo indican líneas de visión de dos cámaras (# 1, 2) y tres espectrómetros (# 1, 2, 3).
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iniciado en Ti + B, Mo + B, W + B, Mo + W + B, Mo + BN, Ti + KBF4 y Mg + CB4
en el aire y nitrógeno [12,14,15]. Se encontró que la temperatura en la superficie de
las mezclas en la etapa de descomposición era de 2000–5000 K, mientras que la
temperatura en la capa de plasma-gas alcanzó los 10,000 K [13]. Los principales
productos del proceso fueron el metal y los óxidos de boro y los boruros metálicos
[12,13] y también en algunos casos se produjo la formación de BN.
En este trabajo, demostramos que la descarga de microondas se puede iniciar en
mezclas de aluminio metálico con Al2O3 y AlN mediante pulsos de girotrón de
alta potencia. La descarga da inicio al proceso químico de plasma, que puede durar
de 1 a 3 órdenes de magnitud por más tiempo contra la duración del pulso. El
proceso conduce a la formación de nuevos materiales a través de reacciones de
oxidación y nitruración. El inicio del proceso se puede observar visualmente como
un flash muy brillante y depende en gran medida de la relación entre los polvos
metálicos y dieléctricos y los parámetros del pulso: potencia (generalmente 150–
350 kW) y duración (2–12 ms). La etapa principal del proceso es al menos 10 veces
más larga en comparación con la duración del pulso, la temperatura en la zona
reactiva varía de 2500 a 5000 K. Esta etapa incluye la evaporación de alguna parte
de materiales y reacciones químicas de gases con partículas sólidas (o fundidas) y
El uno al otro. Cuando se consumen todos los reactivos, se produce una
condensación posterior de los materiales que conduce a la formación de nuevas
partículas y el crecimiento de las ya existentes. Los productos finales incluyen
materiales de partida y nuevos materiales, su composición depende de la
composición general del sistema reactivo, incluida la atmósfera (aire o nitrógeno).
El rendimiento suele ser bastante bajo (2–3%) pero se puede aumentar hasta 5–10%
mediante la adición de hidrógeno en forma de hidruros sólidos (NaBH4,
C2B10H12, etc.). Los compuestos orgánicos también se pueden agregar a la mezcla
de partida, por ejemplo, usamos melamina como fuente de nitrógeno para
promover reacciones de nitruración. Como resultado, observamos la formación de
fases de oxinitruro de aluminio con baja concentración de nitrógeno (por ejemplo,
Al11O15N, Al27O39N).
2. Experimental
2.1. Materiales para empezar
Los materiales de partida utilizados fueron polvos de aluminio metálico (grado técnico,
98% +, tamaño promedio de partículas CA. 4 μm), α-Al2O3 (grado químico, tamaño
promedio de partículas CA. 50 μm) y polvo comercial de AlN para selladores, con la
siguiente composición: N ≥ 33.0% en peso, O ≤ 1.2%, Fe ≤ 0.1% y C ≤ 0.05%; la pureza es
de 96 +% (tamaño promedio de las partículas CA. 20 μm).
2.2. Configuración experimental
Los experimentos se llevaron a cabo con el soporte montado en plasma -químico
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complejo de la instalación MIG-3. Instalación MIG- es el sistema de calefacción

por plasma de ciclotrón electrónico de L-2M stellarator con el girotrón 75 / 0.8
(frecuencia 75 GHz, duración del pulso de hasta 12 ms, potencia de hasta 550
kW) [11] . Se colocó un reactor químico-plasma especialmente diseñado (Fig. 1,
izquierda) [12] entre dos espejos del tracto casi óptico del complejo. La descarga
en el reactor se efectuó en el aire o nitrógeno en la mezcla de metal y polvos
dieléctricos colocados sobre un sustrato de cuarzo con superficie superior libre
(Fig. 1, derecha). Un tubo de cuarzo se puso en el interior del reactor para recoger
las sustancias sintetizadas para su posterior análisis. La potencia del girotrón se
midió mediante un calorímetro de flujo. La evolución de la potencia del girotrón
directa y reflejada durante la descarga de microondas se monitorizó utilizando
un sistema de detectores de microondas, que se calibraron con calorímetro [13] .
Las muestras se prepararon de la siguiente manera: se colocó una capa de 1 mm
de espesor de polvo dieléctrico (2) (Fig. 1, derecha) sobre la placa de cuarzo (1),
seguida de una capa de 0.5–0.7 mm de polvo metal-dieléctrico. Mezcla (3). Las
capas se densificaron un poco y se colocó un cilindro de cuarzo (6). La superficie
superior del polvo permaneció abierta para garantizar la dispersión dinámica del
gas de plasma de los productos de reacción, así como el movimiento del gas
calentado en el volumen del cilindro de cuarzo. La placa con el cilindro se colocó
en el reactor, que se colocó en el centro del tracto casi óptico. La radiación de
microondas gyrotron se suministró a través de la placa de cuarzo inferior. La Figura 2. espectros ópticos registrado por espectrómetros # 3 durante la fase
irradiación de las muestras se realizó con pulsos de 2 2 12 ms con intervalos no principal de proceso de plasma-químico. Los espectros se da en coordinación
inferiores a 20 s. El gyrotron radia- Wien ' s C2 = 1.44•107 nm−1.
La potencia de operación fue de 150 ÷ 350 kW, que corresponde a la intensidad f
∼ 4 ÷ 8 kW cm – 2 dentro de la mezcla de polvo. El haz de microondas gaussiano La temperatura es de al menos 3500 K o superior, porque observamos
con un radio característico de 40 mm penetró en el volumen del reactor y fue espectro molecular de AlO ( Fig. 3 ). Es bien conocido que las formas de AlO
absorbido en fregaderos cerámicos ubicados a 60 cm por encima de la ventana de en fase gaseosa a 3533 K, por lo que podemos considerar como un límite de
salida del reactor superior. Las sustancias sintetizadas se depositaron tanto en las temperatura inferior.
paredes del cilindro de cuarzo (6) como en las superficies internas del reactor,
incluida la ventana superior de cuarzo. 2.5. caracterización de los productos

2.3. La grabación de vídeo y la espectroscopia de emisión óptica (OES)
Las observaciones se realizaron a través de las ventanas de visualización en
el reactor de plasma-químico. La evolución del brillo integrada de la descarga
y el resplandor en la siguiente etapa fue grabado por una cámara de alta
velocidad «Fastec Imaging IN250M512» (marcado como 1 en la cámara Figura
1 b) sincronizado con las mediciones de tres espectrómetros. La radiación de
descarga en el intervalo de longitud de onda óptica se registró con la ayuda de
tres espectrómetros de «Ava-Spec» en el rango de 370 ÷ 920 nm con una
resolución de 0,7 y 0,3 nm y en el intervalo 250 ÷ 800 nm con una resolución de
0,8 nm . La evolución en el tiempo de resplandor de la descarga se analizó
usando los espectros en el rango espectral completo y los intervalos
seleccionados Figura 1 b muestra las ubicaciones de los tres espectrómetros. El
sistema de recepción de espectrómetro # 1 fue dirigida hacia el polvo, lo que
nos permitió registrar el brillo de la superficie del polvo, así como a partir de
plasma y de fase gaseosa (capas 2 - 4 en Figura 1 segundo). Los sistemas de
recepción de espectrómetros # 2 y # 3 fueron dirigidas paralelamente a la
superficie mezcla de polvo lo que nos permite registrar la radiación
principalmente de los de plasma y gas (capas 3, 4 en Figura de metales y
partículas - básicamente, tamaño y forma. En experimentos regulares se partió
de los 1 segundo). En algunos experimentos, uno de los espectrómetros se
utilizó para registrar la radiación procedente de la superficie inferior de la
mezcla de polvo. En un experimento regular cada espectrómetro registró hasta
100 espectros ópticos con intervalos de 4 ms.
2.4.parámetros del plasma
La temperatura del plasma se calculó basándose en la ley de desplazamiento de
Wen´s. Los espectros ópticos registrado por espectrómetro # 3 se utilizaron
para los cálculos. Los espectros típicos de las coordenadas se muestran en la
Figura 2 . De acuerdo con los resultados obtenidos de la temperatura en la parte
inferior de la zona reactiva es CA. 2500 ± 250 K. Temperatura en la parte
superior de la zona de reactivo no puede ser determinada usando espectros
ópticos registrado por espectrómetro # 1. Los productos de proceso químico
de plasma se depositan rápidamente en la superficie de la ventana del reactor
superior, lo que dificulta mucho un registro de los espectros. Sin embargo,
podemos creer con seguridad que la
Las distribuciones del tamaño de las partículas se midieron con Fritsch Laser Particle Sizer
Analysette 22, que utiliza el método de dispersión de luz láser. Las mediciones se llevaron
a cabo para dispersiones húmedas preparadas utilizando agua como disolvente. En la
medida en que las muestras consisten en materiales cerámicos que incluyen óxidos,
nitruros y oxinitruros, no se pueden esperar reacciones con el agua. Cada medición
requiere aproximadamente 100 mg del polvo de la muestra, que puede regenerarse a
partir de la dispersión por filtración.
La composición de la fase de los polvos preparados se determinó mediante análisis de
separación de rayos X (Shimadzu XRD 6000 dinactómetro, radiación CuKα,
monocromador de grafito, λ = 1.54178 Å). Se utilizó la base de datos de ICDD para
identificar las fases.
Las imágenes SEM de las muestras se tomaron con un microscopio VEGA II TESCAN a
un voltaje de aceleración de 20 kV.
3. Resultados y discusión
Como se indica en la sección de introducción, la descarga de microondas se inicia
en mezclas de polvos metálicos y dieléctricos cuando se tratan con poderosos
pulsos de irradiación de microondas (hasta 350 kW en nuestros experimentos). Es
obvio que hay un umbral de energía para la iniciación que depende de la
composición general de la mezcla, el contenido de metal y las propiedades de las
partículas de metal, básicamente el tamaño y la forma. En experimentos regulares,
comenzamos desde los pulsos más cortos (4 ms) con la potencia más baja (150 kW)
aumentando la potencia y luego la duración del pulso. De esta manera, estimamos
las energías de umbral para las mezclas estudiadas en este trabajo (Tabla 1).
Todas las mezclas estudiadas absorben energía de manera muy efectiva, el
coeficiente de absorción siempre es superior al 90% y generalmente varía del 95 al
98%. Las energías de umbral típicas están en el rango de 0.5 a 2.0 kJ / g. Como era
de esperar, los valores más bajos se observan para las mezclas de Al / AlN y Al /
Al (NO3) 3 • 9H2O, es decir, las mezclas con el mayor contenido de aluminio
metálico. Los datos también son consistentes con los resultados obtenidos
anteriormente para mezclas de Mg / Al2O3 / AlN con bajo contenido de magnesio
(CA. 1 y 5% p / p), que mostraron las energías de umbral de aproximadamente 2.5
kJ / g [17].
El inicio de la descarga conduce a la explosión de Coulomb en la mezcla, por lo que
parte del polvo se infla con la explosión al volumen del reactor. Varios procesos
diferentes pueden ocurrir en este momento:
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Fig. 3. espectro molecular de AlO registrado por espectrómetro # 1.

tabla 1 Bastante complicado, en general, sólo hay dos posibilidades principales. Si las
energías de umbral para la iniciación de la descarga MW en diferentes mezclas de metal reacciones en curso no son rápidos y / o lo suficientemente exotérmica a continuación
y polvos dieléctricas. de la zona reactiva se enfría rápidamente (unos pocos milisegundos después de la
descarga). Aunque forman algunos de los nuevos materiales, sin
Atmósfera pulso La duración
Mezcla de
pote n c del pulso, energía embargo, sus cantidades no son suficientes para la caracterizació n de (e incluso
(Razón umbral * ,
molar)
ia, kW ms
KJ / g identificación). Pero si las reacciones son de alta velocidad y exotérmica entonces el
proceso se puede ejecutar en modo autotérmico autosostenido. Se continuará hasta
que la mayoría de las especies reactivas se consumen (de varias decenas de
milisegundos hasta 1 s e incluso más tiempo). En este caso, los nuevos materiales
formados y estudiados pueden ser aplicados
1 Al / Al 2 O 3 ( 1: 2) nitrógeno 280 - 340 4-6 1.1 - 1.7 Para todos los sistemas estudiados observamos la segunda vía, para todas las
2 Al / AlN (4: 1) aire 150 4 0.5 - 0.6 reacciones
3 Al / Al 2 O 3 ///// AlN (2: aire 200 - 250 4-6 0.7 - 1.4
1: 1)
4 Al / Al (NO ·9 HORAS 2 O (14: nitrógeno 200 4 0.7 - 0.8 posibles de aluminio (por ejemplo, nitruración y oxidación) son altamente
3) 3
Para todos los sistemas estudiados observamos la segunda vía, porque todas las reacciones
exotérmica. El vídeo de cámara de alta velocidad muestra que para mezcla 5, por
1)
ejemplo, la etapa alta intensivo del proceso tiene una duración de al menos 40 ms,
5 Al / Al 2 O 3 //
que es diez veces más contra la duración del pulso. En general, las partículas
melamina (1: 2: 1)
Al / Al 2 O
brillantes desaparecieron por completo sólo después de 150 ms ( Fig. 5 ). Los
6 3 // nitrógeno 280 - 340 4-6 1.1 - 1.7
melamina (1: 2: 1)
espectros de emisión ópticos muestran más o menos la misma situación. Según OES
+ 5 w / w% C 2 segundo nitrógeno 280 - 340 4-6 1.1 - 1.7
el proceso es de aproximadamente 80 ms de largo, sin embargo, debemos tener en
cuenta que la deposición de las partículas formadas en las paredes de cilindro de
H 12
cuarzo 6 y ventanas del reactor dificulta el registro de la emisión ( Fig. 6 ). Cuando
10

la etapa principal del proceso es tan largo, es posible recoger suficiente material
de productos para caracterizarlas.
* energía umbral se calcula como cantidad mínima de energía absorbida, lo que conduce a la descarga.
Energía absorbida en cada experimento se determinó a partir de mediciones de microondas balanceada
de acuerdo a [16] teniendo en cuenta toda la energía del pulso de duración del impulso multiplicado por
la energía del pulso. Masa de polvo se utilizó para calcular el significado específico.
Tabla 2 resume los resultados de análisis de XRD de los productos para todas las mezclas.

- La evaporación de sustancias de la superficie de partículas con

disociación simultánea en átomos separados (iones); Como se puede ver, el oxinitruro de aluminio no se forma en la mezcla de Al / AlN,
- La disociación de las moléculas de gas (oxígeno, nitrógeno, etc.); Al / Al2O3 y Al / Al2O3 / AlN, tanto en atmósferas de aire como de nitrógeno.
Además, no se detectó nitruro de aluminio en la mezcla de Al / Al2O3 después de la
- Reacciones de partículas de la superficie con las sustancias de la descarga en todas las condiciones estudiadas. Obviamente, la razón es una unidad
fase de gas; muy alta de aluminio a oxígeno, lo que significa que la reacción con oxígeno es
- Las reacciones de las sustancias en la fase de gas; termodinámicamente favorable para el aluminio en comparación con la reacción con
nitrógeno. Incluso si no hay oxígeno en la atmósfera, un exceso de aluminio forma una
- condensación posterior de todas las sustancias posibles de la fase solución sólida en óxido de aluminio. Podemos concluir que se requiere una alta
gaseosa en la superficie de las partículas. concentración de nitrógeno para los materiales que contienen nitrógeno y aluminio.
Sin embargo, el reactor químico de plasma no se adopta para altas presiones de gases
Fig. 4 resume todos los procesos posibles para mezcla de aluminio (superiores a 1.5 atm), por lo que decidimos agregar a la mezcla algunas especies
metálico y óxido de aluminio en nitrógeno. Aunque la imagen total es sólidas con alto contenido de nitrógeno. Este enfoque se aplica a veces para la síntesis
de AlN; por ejemplo, Wang y sus colaboradores tuvieron éxito en la preparación de
AlxOyN
nanopartículas de AlN a través de la molienda de bolas asistida por plasma de Al y
diaminomaleonitrilo [18]. También demostraron que el molino de bolas preliminar de
N2 Al2O3 en atmósfera de N2 con un asistente de descarga de barrera dieléctrica mejoró
de manera suficiente el rendimiento de AlN en el siguiente proceso de nitruración y
Aln+ + Om- + reducción carbotérmica [19,20]. Tsai y sus colaboradores sintetizaron nanopartículas
de AlN a través de procesos de plasma de microondas de una y dos etapas a una
temperatura relativamente baja (850 ° C) con la adición de polvos de NH4Cl al
AlN aluminio [21,22].
AlxOyN AlxOy Finalmente, seleccionamos el nitrato de aluminio Al (NO3) 3 (no hidratado) y la
AlxOyN melamina (C3H6N6) (mezclas 4 y 5). Las proporciones de todos los componentes en
las mezclas son consistentes con la proporción de aluminio y nitrógeno en γ-AlON
AlxOy Al5O6N. En la medida en que se utilizó nitrato de aluminio en forma de no-hidrato,
p. Ej. contiene una gran cantidad de oxígeno, solo se detectó α-Al2O3 en
-
Aln+ + ne

Fig. 4. Esquema general para los procesos en la zona de reactivo después de la

explosión de descarga y coulomb para la mezcla de metal de aluminio y óxido de
aluminio en atmósfera de nitrógeno. Las flechas continuas muestran reacciones, las
flechas discontinuas indican la evaporación y la condensación.
.

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Fig. 5. Marcos de vídeo grabadas por la cámara de alta velocidad # 1 durante la descarga en la mezcla de 5 ( Al / AlN / melamina).

mezcla 4 después de la descarga. Como se podría esperar se encontró melamina Tabla 2

es una fuente de nitrógeno mucho más efectiva. El análisis DRX de la mezcla 5 Productos de procesos químicos plasma identificado mediante análisis de DRX.
después del tratamiento mostró la formación de Al 11 O 15 N, que es una fase
AlON clásica, es decir, solución sólida de nitruro de aluminio en óxido de No mezcla (razón molar) Fases atmósfera identificadas

aluminio, aunque el contenido de nitruro de aluminio en este material es

suficientemente inferior en comparación con γ- Solo ( Fig. 7 ). A principios para 1 Al / Al 2 O 3 ( 1: 2) nitrógeno Alabama, α- Alabama 2 O 3

Al / AlN (4: 1) Alabama, α- Alabama 2 O 3, AlN

la síntesis de nanotubos de nitruro de boro [10] se demostró que la adición de 2 aire

Al / Al 2 O AlN (2: 1: 1) Alabama, α- Alabama 2 O 3, AlN

hidrógeno a la mezcla reactiva mejora suficientemente el rendimiento debido al 3 3 ///// aire

nitrógeno Alabama, α- Alabama 2 O 3

cambio de la vía de reacción a través de la formación de borazoles y otras 4 Al / Al (NO 3) 3 ·9 HORAS 2 O (14: 1)

Al / Al 2 O melamina (1: 2: 1) nitrógeno Alabama, α- Alabama 2 O 3, Alabama 11 O 15 norte

especies que contienen hidrógeno. En nuestro caso, la formación de N X H y
5 3 /////

Al / Al 2 O 3 ////// melamina (1: 2: 1) 5 w / w% C 2 nitrógeno Alabama, α- Alabama 2 O 3, Alabama 11 O 15 N,

especies también es posible y tales especies son bien conocidos para ser agentes
6

Al 27 O 39 norte
de nitruración altamente efectivos. segundo 10 H 12

Como el reactor químico de plasma no fue diseñado para trabajar con gases
peligrosos decidimos utilizar fuentes sólidas de hidrógeno - algún tipo de
hidruros, que pueden liberar hidrógeno fácilmente bajo condiciones de descarga.
Se encontró que carborano C 2 10 H 12 es una buena opción para ello. Añadiendo
5 w / w. El % De carborano a Al / Al 2 O 3 / mezcla de melamina que logra una
prolongación notablemente de la etapa principal del proceso químico de plasma
y el aumento de la deposición de los productos en las superficies dentro del
reactor. Las fases oxinitruro de aluminio también se identificaron en este caso
incluyendo Al 11 O 15 N y Al 27 O 39 N. No se encontraron carburos y boruros, sin
embargo, el total
el contenido de boro no excede 4 w / w. %, Por lo que la formación de boruros no se puede
excluir con seguridad.
El bajo contenido de fases de oxinitruro y el bajo contenido de nitrógeno en estas fases nos
hacen sugerir que se forman debido a la nitruración en la superficie de las partículas de
óxido de aluminio. Es un resultado bastante importante, ya que apunta a la posible
aplicación de un proceso químico de plasma desarrollado para el dopaje de la superficie de
partículas dieléctricas con iones metálicos. Eso puede ser muy útil para la preparación de
fósforo, por ejemplo, oxinitruros de aluminio dopados con cationes de metales de tierras
raras [23,24] .

Fig. 6. espectros de emisión óptica registrada por espectrómetros # 1 (izquierda) y # 3 (derecha) durante la descarga en la mezcla 5 ( Al / AlN / melamina). Cuando las partículas comienzan a
depositarse sobre las paredes del cilindro de cuarzo 6, el espectrómetro # 1 es capaz de registrar la emisión de no más.

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Fig. 7. patrón de XRD para el producto de mezcla 5 El tratamiento con pulsos girotrón.

Tabla 3 Las partículas de menos de 10 μ m tamaño disminuyen mucho en comparación con la

Un tamaño medio de partículas y partículas distribuciones de tamaño (S - mezclas de partida, P - productos). mezcla de partida. Un proceso muy similar se ha observado anteriormente para los
aerosoles de bismuto [25] .
Las imágenes de SEM de los productos también confirman esta hipótesis: podemos ver
una gran cantidad
Mezcla Tamaño Contenido de partículas,%
(molar) promedio, de partículas de forma esférica con superficie redondeada o ligeramente facetado y
μ metro todas las partículas son más menos del mismo tamaño de 40 - 60 μ m ( Fig. 9 ). Por lo
≤ 20 μ m 20 ÷ 100 μ metro ≥ 100
μ metro tanto, la tercera etapa final de proceso químico de plasma incluye la condensación de
los materiales de la fase gaseosa, las reacciones en la
1S Al / Al 2 O 3 ( 1: 2) 29.8 23.3 68.9 7.8
superficie de las partículas en crecimiento y su enfriamiento a temperatura ambiente.
2S Al / AlN (4: 1) 21.5 30.9 66.5 2.6

3S Al / Al 2 O 3 ///AlN 24.1 27.6 66.8 5.6

(2: 1: 1)
1P Al / Al 2 O 3 ( 1: 2) 48.2
2P Al / AlN (4: 1) 47.3
Al 3P / Ax ''''''' l 2 O 3 /////// AlN 41.9
(2: 1: 1)
Además, en principio es posible unir procesos de formación de películas de
oxinitruro de aluminio en la superficie del óxido de aluminio y el dopaje de la
película con los iones solicitados.
Estudiamos las mezclas 1–3 en términos de distribución de tamaño de partículas
antes y después del tratamiento con microondas (Tabla 3, Fig. 8). Para comenzar las
mezclas, las distribuciones son multimodales con al menos tres picos bien resueltos.
El pico ancho a 2–6 μm puede atribuirse seguramente a las partículas de aluminio
metálico. Picos en CA. Se observan 20 y 50 μm para todas las mezclas, por lo que
provienen de AlN y Al2O3. El pico a 2–6 μm disminuye mucho para los productos
del proceso químico del plasma, mientras que los picos en CA. 20 y 50 μm mantienen
sus intensidades. Creemos que la razón está cerca de la evaporación total de
pequeñas partículas metálicas en condiciones de descarga, cuando
la temperatura de la mezcla reactiva se eleva a 2500–5000 K (el punto de ebullición
del aluminio es 2743 K). Las partículas de AlN y Al2O3 son mucho más grandes con
una superficie específica mucho más baja y para el punto de ebullición de Al2O3 es
500 K más alto, por lo que estas partículas no cambian mucho. En la etapa final del
proceso general, las partículas de AlN y Al2O3 son centros para la condensación
posterior de los materiales formados a partir de la fase gaseosa, por lo que el
contenido de
Considerando todas las cosas discutidos anteriormente, se puede suponer, que los
12.1 71.0 16.9
siguientes procesos proceden después de la iniciación de descarga. En primer lugar, las
10.7 76.3 13.0 partículas en una fase de gas se funden hacia abajo y luego los materiales se evaporan
12.9 77.2 9.9 rápidamente (es decir confirmada por alta intensidad del espectro molecular AlO en el
principio del proceso). Las pequeñas partículas de aluminio metálico puede ser
evaporado por completo, mientras que las partículas de óxido de aluminio y nitruro de
aluminio se evaporan simplemente parcialmente (estas partículas muestran resplandor
brillante para todo el tiempo de proceso). Los compuestos orgánicos y otros aditivos
(carborano, por ejemplo) se descomponen y entran en fase gas. Diferentes reacciones
proceden de la siguiente etapa (principal) en fase gas y en la superficie de las partículas y
la liberación de calor en estas reacciones determina la duración de la etapa. Si hay un
hidrógeno en la zona reactiva algunas reacciones adicionales son posibles y también una
afecta duración de la etapa y la composición de os productos finales. Cuando la mayor
parte de las especies activas en fase de gas han reaccionado ya, las reacciones reducen la
velocidad y la liberación de calor va más lento, así, por lo que la zona reactiva comienza
a enfriarse. Como resultado, las partículas fundidas se cristalizan y al mismo tiempo los
materiales se condensan de la fase gaseosa en la superficie de las partículas. Uno puede
asumir que los materiales se condensan en el orden de sus puntos de ebullición por lo que
en los sistemas estudiados, el óxido de aluminio se condensa primero (punto de ebullición
3250 K, aproximadamente 500 K más alto en comparación con el nitruro de aluminio,). Si
todos los compuestos están en equilibrio en la fase gaseosa , tan pronto como el óxido de
aluminio sale de la zona reactiva a través de la condensación el equilibrio se desplaza
hacia la formación de óxido de aluminio de nuevo. Asi que, finalmente, todo el oxígeno
en el

Fig. 8. partículas Tamaño típico de las distribuciones de mezcla de partida (a la izquierda) y el producto (derecha) (Al / Al 2 O 3 + sistema AIN).

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Fig. 9. SEM-imágenes de los productos de Al / Al 2 O 3 , Al / AlN y Al / Al 2 O 3+ mezclas de AlN (de izquierda a derecha).
Fig. 10. visión general del proceso químico de plasma estudiado.
sistema está unido en forma de óxido de aluminio. Después, el nitruro de
aluminio se condensa en la superficie del óxido de aluminio líquido y forma
oxinitruro de aluminio como una película relativamente delgada en la superficie
de las partículas de α-Al2O3. Además, no podemos excluir la nitruración directa
de óxido de aluminio por nitrógeno y / o especies que contienen nitrógeno de la
fase gaseosa. En lo que respecta a la posible formación de carburos, es bien sabido
que el hidrógeno puede reducir fácilmente el carburo de aluminio:
Al4C3 + H2 = Al + CH4
(proyecto
La melamina contiene algo de hidrógeno y C 2 B 10 H 12 contiene una gran
cantidad de hidrógeno, por lo que la formación de carburo parece ser más bien
desfavorable.
La Fig. 10 resume el mecanismo de propuesta de proceso químico de plasma.
4. Conclusiones
Estudiamos el proceso químico del plasma en condiciones de descarga de
microondas iniciada por un girotrón de alta potencia en las mezclas de metal y
polvo dieléctrico (por los ejemplos de mezclas de aluminio y su nitruro y óxido).
Determinamos tres etapas principales del proceso: (1) inicio de la descarga; (2)
etapa principal, incluida la fusión y la evaluación de una parte suficiente de
materiales sólidos y reacciones en fase gaseosa;
(3) condensación de materiales de la fase gaseosa en la superficie de las
partículas y reacciones en la superficie. Para la primera etapa, determinamos los
umbrales de energía para el inicio de la descarga de microondas en las mezclas de
aluminio metálico con óxido de aluminio y / o nitruro de aluminio. Se encontró
que los umbrales varían de 0.5 a 2.0 kJ / g. La etapa principal del proceso se puede
controlar "químicamente" mediante la adición a la mezcla inicial de diferentes
sustancias para promover las reacciones deseadas. Por ejemplo, la adición de
melamina permite aumentar la concentración de nitrógeno fácilmente y hacer que
la nitruración sea más favorable. La adición de carborano conduce a la aparición
de hidrógeno en una mezcla reactiva con el gas. Por un lado, el hidrógeno induce
nuevas reacciones altamente exotérmicas y la etapa principal del proceso en
general se hace más larga, porque esta es una etapa autosostenida autotérmica. Al
mismo tiempo, el hidrógeno reacciona con el nitrógeno dando amoníaco, que es
bien conocido y altamente efectivo.
Agente nitrante, por lo que también aumenta el rendimiento de las fases de
oxinitruro. Así que,finalmente preparamos materiales formados por partículas
de α-Al2O3 con oxinitruros de aluminio (Al11O15N, Al27O39N).
En general, creemos que el proceso en estudio puede considerarse como base
para nuevo enfoque perspectiva de preparación de nano y
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materiales microestructurados con una composición y estructura controlada.
Además trabajo en esta dirección incluirá un aumento del rendimiento y la
selectividad del proceso y la penetración más profunda en la estructura atómica
de los materiales preparados.
Fondos
Estamos muy agradecidos a la Fundación Rusa para la Investigación Básica
# 18-33-01059) para fi el apoyo financiero de este trabajo. Además, parte metódica
de la obra se llevó
a cabo de acuerdo con el estado de la tarea № 007-0012918-00.
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A N A L Í S I S:
Los procesos de plasma de interés práctico se pueden dividir en tres tipos: tratamiento de diferentes superficies,
preparación y / o tratamiento de partículas sólidas y aplicaciones especiales, p. Ej. Corona de descarga para la producción
de ozono. Los métodos de plasma son extremadamente efectivos para materiales cerámicos que incluyen óxidos, nitruros,
carburos, etc. Cuando se obtienen en forma de polvo, los materiales cerámicos preparados con plasma y / o tratados con
plasma muestran una composición uniforme y una distribución de tamaños de partículas bastante estrecha, que
generalmente aparece como unimodal.Utilizando un girotrón con una potencia de hasta 550 kW, una frecuencia de 75
GHz y una duración del impulso de microondas entre 0,1 y 12 ms. Se midió una potencia gy-rotron real con un
calorímetro .La descarga fue iniciado en Ti + B, Mo + B, W + B, Mo + W + B, Mo + BN, Ti + KBF4 y Mg + CB4 en el aire
y nitrógeno .Se encontró que la temperatura en la superficie de las mezclas en la etapa de descomposición era de 2000–
5000 K, mientras que la temperatura en la capa de plasma-gas alcanzó los 10,000 K. En este trabajo, se demuestra que la
descarga de microondas se puede iniciar en mezclas de aluminio metálico con Al2O3 y AlN mediante pulsos de girotrón
de alta potencia. La descarga da inicio al proceso químico de plasma, que puede durar de 1 a 3 órdenes de magnitud por
más tiempo contra la duración del pulso. El proceso conduce a la formación de nuevos materiales a través de reacciones
de oxidación y nitruración.Los productos finales incluyen materiales de partida y nuevos materiales, su composición
depende de la composición general del sistema reactivo, incluida la atmósfera (aire o nitrógeno). El rendimiento suele
ser bastante bajo (2–3%) pero se puede aumentar hasta 5–10% mediante la adición de hidrógeno en forma de hidruros
sólidos (NaBH4, C2B10H12, etc.). Los compuestos orgánicos también se pueden agregar a la mezcla de partida, por
ejemplo, se usa melamina como fuente de nitrógeno para promover reacciones de nitruración. Como resultado, se
observa la formación de fases de oxinitruro de aluminio con baja concentración de nitrógeno (por ejemplo, Al11O15N,
Al27O39N).

1. Materiales para empezar

Los materiales de partida utilizados fueron polvos de aluminio metálico (grado técnico, 98% +, tamaño promedio de
partículas CA. 4 μm), α-Al2O3 (grado químico, tamaño promedio de partículas CA. 50 μm) y polvo comercial de AlN
para selladores, con la siguiente composición: N ≥ 33.0% en peso, O ≤ 1.2%, Fe ≤ 0.1% y C ≤ 0.05%; la pureza es de 96 +%
(tamaño promedio de las partículas CA. 20 μm).
2. Configuración experimental
Se colocó un reactor químico-plasma especialmente diseñado (Fig. 1, izquierda) entre dos espejos del tracto casi óptico
del complejo. La descarga en el reactor se efectuó en el aire o nitrógeno en la mezcla de metal y polvos dieléctricos
colocados sobre un sustrato de cuarzo con superficie superior libre (Fig. 1, derecha). Un tubo de cuarzo se puso en el
interior del reactor para recoger las sustancias sintetizadas para su posterior análisis. La potencia del girotrón se midió
mediante un calorímetro de flujo. La evolución de la potencia del girotrón directa y reflejada durante la descarga de
microondas se monitorizó utilizando un sistema de detectores de microondas, que se calibraron con calorímetro
Las muestras se prepararon de la siguiente manera: se colocó una capa de 1 mm de espesor de polvo dieléctrico (2) (Fig.
1, derecha) sobre la placa de cuarzo (1), seguida de una capa de 0.5–0.7 mm de polvo metal-dieléctrico. Mezcla (3). Las
capas se densificaron un poco y se colocó un cilindro de cuarzo (6). La superficie superior del polvo permaneció abierta
para garantizar la dispersión dinámica del gas de plasma de los productos de reacción, así como el movimiento del gas
calentado en el volumen del cilindro de cuarzo.

Figura 1. ( a) reactor químico de plasma: 1 - cámara hermética, 2 - ventana de salida de cuarzo, 3 - boquilla de vacío, 4 - ventana de diagnóstico. (B) Esquema
general del reactor y medidas: 1 - placa de cuarzo, 2 - capa de polvo dieléctrico, 3 - mezcla de polvo de metal y dieléctrico, 4 - plasma, 5 - gas, 6 - cilindro de
cuarzo ( d = 70 mm,L = 100 mm). Las flechas del lado izquierdo indican líneas de visión de dos cámaras (# 1, 2) y tres espectrómetros (# 1, 2 , 3).

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2.1La grabación de vídeo y la espectroscopia de emisión óptica (OES)

Las observaciones se realizaron a través de las ventanas de visualización en el reactor de plasma-químico.

La evolución del brillo integrada de la descarga y el resplandor en la siguiente etapa fue grabado por una
cámara de alta velocidad «Fastec Imaging IN250M512» (marcado como 1 en la cámara Figura 1 b)
sincronizado con las mediciones de tres espectrómetros. La radiación de descarga en el intervalo de longitud
de onda óptica se registró con la ayuda de tres espectrómetros de «Ava-Spec» en el rango de 370 ÷ 920 nm
con una resolución de 0,7 y 0,3 nm y en el intervalo 250 ÷ 800 nm con una resolución de 0,8 nm . Figura 1 b
muestra las ubicaciones de los tres espectrómetros. El sistema de recepción de espectrómetro # 1 fue dirigida
hacia el polvo, lo que nos permitió registrar el brillo de la superficie del polvo, así como a partir de plasma y
de fase gaseosa (capas 2 - 4 en Figura 1 ). Los sistemas de recepción de espectrómetros # 2 y # 3 fueron
dirigidas paralelamente a la superficie mezcla de polvo lo que nos permite registrar la radiación
principalmente de los de plasma y gas (capas 3, 4 en Figura de metales y partículas - básicamente, tamaño y
forma.

2.2 parámetros del plasma

Los espectros ópticos registrado por espectrómetro # 3 se utilizaron para los cálculos. Los espectros típicos
de las coordenadas se muestran en la Figura 2 . De acuerdo con los resultados obtenidos de la temperatura
en la parte inferior de la zona reactiva es CA. 2500 ± 250 K. Temperatura en la parte superior de la zona de
reactivo no puede ser determinada usando espectros ópticos registrado por espectrómetro # 1. Los productos
de proceso químico de plasma se depositan rápidamente en la superficie de la ventana del reactor superior,
lo que dificulta mucho un registro de los espectros.

3.-Resultados y discusión

La descarga de microondas se inicia en mezclas de polvos metálicos y dieléctricos cuando se tratan con poderosos pulsos
de irradiación de microondas .En experimentos regulares, se comienza desde los pulsos más cortos (4 ms) con la potencia
más baja (150 kW) aumentando la potencia y luego la duración del pulso. De esta manera, estimamos las energías de
umbral para las mezclas estudiadas en este trabajo (Tabla 1).Todas las mezclas estudiadas absorben energía de manera
muy efectiva, el coeficiente de absorción siempre es superior al 90% y generalmente varía del 95 al 98%. Las energías de
umbral típicas están en el rango de 0.5 a 2.0 kJ / g. Como era de esperar, los valores más bajos se observan para las
mezclas de Al / AlN y Al / Al (NO3) 3 • 9H2O, es decir, las mezclas con el mayor contenido de aluminio metálico. Los
datos también son consistentes con los resultados obtenidos anteriormente para mezclas de Mg / Al2O3 / AlN con bajo
contenido de magnesio (CA. 1 y 5% p / p), que mostraron las energías de umbral de aproximadamente 2.5 kJ /g

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Fig.4Esquema general para los procesos en la zona de reactivo después de la

explosión de descarga y coulomb para la mezcla de metal de aluminio y óxido de
aluminio en atmósfera de nitrógeno. Las flechas continuas muestran reacciones, las
flechas discontinuas indican la evaporación y la condensación.
.

Fig. 4 resume todos los procesos posibles para mezcla de

aluminio metálico y óxido de aluminio en nitrógeno. Aunque la
imagen total es Bastante complicado, en general, sólo hay dos
posibilidades principales. Si las reacciones en curso no son
rápidos y / o lo suficientemente exotérmica a continuación de
la zona reactiva se enfría rápidamente (unos pocos
milisegundos después de la descarga). Aunque forman
algunos de los nuevos materiales, sin embargo sus cantidades
no son suficientes para la caracterización de (e incluso
identificación). Pero si las reacciones son de alta velocidad y exotérmica entonces el proceso se puede ejecutar en
modo autotérmico autosostenido. Se continuará hasta que la mayoría de las especies reactivas se consumen (de
varias decenas de milisegundos hasta 1 s e incluso más tiempo ).
Tabla 2 resume los resultados de análisis de los productos para todas las mezclas.

Como se puede ver, el oxinitruro de aluminio no se forma en la mezcla de Al / AlN, Al / Al2O3 y Al / Al2O3
/ AlN, tanto en atmósferas de aire como de nitrógeno. Además, no se detectó nitruro de aluminio en la
mezcla de Al / Al2O3 después de la descarga en todas las condiciones estudiadas. Obviamente, la razón es
una unidad muy alta de aluminio a oxígeno, lo que significa que la reacción con oxígeno es
termodinámicamente favorable para el aluminio en comparación con la reacción con nitrógeno. Incluso si no
hay oxígeno en la atmósfera, un exceso de aluminio forma una solución sólida en óxido de aluminio.
Podemos concluir que se requiere una alta concentración de nitrógeno para los materiales que contienen
nitrógeno y aluminio.. Como se podría esperar se encontró que la melamina es una fuente de nitrógeno

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NS Akhmadullina et al. Chemical Physics 516 (2019) 63-70

mucho más efectiva. Sin embargo, el reactor químico de plasma no se adopta para altas presiones de gases
(superiores a 1.5 atm), por lo que se decide agregar a la mezcla algunas especies sólidas con alto contenido
de nitrógeno. Como el reactor químico de plasma no fue diseñado para trabajar con gases peligrosos se
decidió utilizar fuentes sólidas de hidrógeno - algún tipo de hidruros, que pueden liberar hidrógeno
fácilmente bajo condiciones de descarga. Se encontró que carborano C 2 10 H 12 es una buena opción para ello.
Añadiendo 5 p / p. El % de carborano a Al / Al 2 O 3 / mezcla de melamina que logra una prolongación
notablemente de la etapa principal del proceso químico de plasma y el aumento de la deposición de los
productos en las superficies dentro del reactor. Las fases oxinitruro de aluminio también se identificaron
en este caso incluyendo Al 11 O 15 N y Al 27 O 39 N

Fig. 9. SEM-imágenes de los productos de Al / Al O Al / AlN y Al / Al O mezclas de AlN (de izquierda a derecha).
2 3 , 2 3+

Fig. 10. visión general del proceso químico de plasma estudiado

La melamina contiene algo de hidrógeno y C 2 B 10 H 12 contiene una gran cantidad de hidrógeno, por lo que la formación
de carburo parece ser más bien desfavorable.
La Fig. 10 resume el mecanismo de propuesta de proceso químico de plasma.
4.-Conclusiones:
Se determinó tres etapas principales del proceso: (1) inicio de la descarga; (2) etapa principal, incluida la fusión y la
evaluación de una parte suficiente de materiales sólidos y reacciones en fase gaseosa;(3) condensación de materiales de
la fase gaseosa en la superficie de las partículas y reacciones en la superficie. Para la primera etapa, determinamos los
umbrales de energía para el inicio de la descarga de microondas en las mezclas de aluminio metálico con óxido de
aluminio y / o nitruro de aluminio. Se encontró que los umbrales varían de 0.5 a 2.0 kJ / g. La etapa principal del proceso
se puede controlar "químicamente" mediante la adición a la mezcla inicial de diferentes sustancias para promover las
reacciones deseadas.
Por ejemplo, la adición de melamina permite aumentar la concentración de nitrógeno fácilmente y hacer que la
nitruración sea más favorable. La adición de carborano conduce a la aparición de hidrógeno en una mezcla reactiva con
el gas. Por un lado, el hidrógeno induce nuevas reacciones altamente exotérmicas y la etapa principal del proceso en
general se hace más larga, porque esta es una etapa autosostenida autotérmica. Al mismo tiempo, el hidrógeno reacciona
con el nitrógeno dando amoníaco, que es bien conocido y altamente efectivo.
En general, creemos que el proceso en estudio puede considerarse como base para nuevo enfoque perspectiva de
preparación de nano y materiales microestructurados con una composición y estructura controlada. Además trabajo en
esta dirección incluirá un aumento del rendimiento y la selectividad del proceso y la penetración más profunda en la
estructura atómica de los materiales preparados.

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NS Akhmadullina et al. Chemical Physics 516 (2019) 63-70

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