Microtecnologia

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Microtecnologia � a tecnologia de fabrica��o em escala perto do micrometro 1 �m
( milh�o de vezes menor que 1 metro).

Na d�cada de 60, os cientistas aprenderam que com um grande n�mero transistores

microsc�picos em uma �nica microplaqueta poderiam ser constru�dos circuitos
microelectr�nicos que melhoraram dramaticamente o desempenho, a funcionalidade, e a
confiabilidade e reduzir o custo de fabrico dos mesmos. Mais recentemente, os
cientistas aprenderam que n�o somente os dispositivos el�tricos, mas tamb�m os
dispositivos mec�nicos, podem ser miniaturizados, prometendo os mesmos benef�cios
tanto ao mundo mec�nico como a tecnologia de circuito integrado deu ao mundo
el�trico. Hoje, os dispositivos micromec�nicos s�o os componentes chave em uma
larga escala de produtos tais como airbags de autom�veis, impressoras.

Sistemas Mec�nicos Micro-Eletronicos

circuito microscopico
O termo MEMS significa Micro Electromechanical systems, ou seja, sistemas
microelectromec�nicos, foi inventado nos anos 80 para descrever os novos sistemas
mec�nicos, sofisticados em uma microplaqueta, tal como os micro motores el�tricos,
ressonadores, engrenagens, e assim por diante. Hoje, o termo MEMS � usado na
pr�tica para consultar todo o tipo de dispositivo microsc�pio com uma fun��o
mec�nica, (por o exemplo, uma disposi��o das engrenagens microsc�picas fabricadas
em um microchip seria considerada um dispositivo de MEMS mas um componente feito a
lase ou um rel�gio n�o ).

A tecnologia de MEMS gerou uma quantidade tremenda de entusiasmo, devido �s

aplica��es importantes de desempenho e da confiabilidade. Em uma idade onde tudo
deva ser menor, mais r�pido, e mais barato, MEMS oferece uma solu��o. MEMS t�m tido
j� um impacto profundo em determinadas aplica��es tais como sensores e impressoras

Microtecnologia � constru�do frequentemente usando a fotolitografia. Os artigos s�o

focalizados atrav�s de uma m�scara em uma superf�cie. Ent�o a gravura � mergulhada
em �cido forte afastado o material n�o protegido.