UNIVERSIDAD DE SONORA

DIVISIÓN DE INGENIERÍA INDUSTRIAL

DEPARTAMENTO DE INGENIERÍA INDUSTRIAL
INGENIERÍA INDUSTRIAL Y DE SISTEMAS

MATERIA:
INSTRUMENTACIÓN Y METROLOGÍA

ALUMNO:
VILLAESCUSA MENDOZA JESUS RAFAEL

MAESTRO:
LUEQUE MORALES RAMÓN ALBERTO

RESUMEN:
NANOMETROLOGÍA

16/02/2017
INTRODUCCIÓN.
El siguiente trabajo fue hecho como tarea para la materia de Instrumentación y
Metrología, impartida en el sexto semestre de la Ingeniería Industrial y de sistemas.
La investigación se llevó a cabo en la base de datos de la biblioteca digital de la
universidad de Sonora. El objetivo es encontrar artículos arbitrados y recientes de
los últimos 8 años, que hablen de diversos temas relacionados con la metería de
Metrología, en este caso se hablara sobre la Nanometrología. Para realizar las citas
se utilizó el estilo IEEE. El propósito a continuación es conocer lo que es la
nanometrología y algunas de sus herramientas y métodos de medición, así como
también relacionarnos e interactuar con la biblioteca digital y aprender a utilizarla.
Hice distintas observaciones y datos para así poder llegar a discernir un poco más
y tener un mayor conocimiento del tema.
Los nombres de los artículos consulados son:
1. Nano-metrology between necessity and reality.
2. Nanometrology of deformations by temperature in metallic materials.
3. Nanometrology of an ultraprecision machined surface by using optical
sensors.

DESARROLLO.
El centro español de metrología define Nanotecnología como: La Ciencia de la
medida en la nano escala. Juega un papel crucial en la caracterización de nano
materiales y nano dispositivos con exactitud y fiabilidad.
El microscopio es una de las principales herramientas para medir cosas muy
pequeñas y se está utilizando en la industria cada vez más como herramienta de
metrología, por lo que demanda una gran precisión en estos instrumentos.
Para medir a escala nanométrica se necesita una tecnología de medición
específica y muy exacta.
Actualmente no hay estándares de calibración a lo largo de toda la industria ni algún
nivel de precisión que puede utilizarse para las herramientas de metrología. En su
lugar, la industria se basa en varios esquemas de auto referencia que son inexactos,
costoso, consume tiempo y son ineficaces.[1]
Interferómetros.
La medición por láser se lleva a cabo a través de la interferometría, una técnica que
utiliza la longitud de onda de la luz como unidad de medida.
Los interferómetros láser proporcionan la mejor solución para la realimentación de
la posición que combina alta resolución, detección sin contacto, altas tasas de
actualización y tiene una exactitud de 0,02 ppm (incertidumbre relativa 2 10-8) que
resulta en un error de 1 nm. en 50 mm.
Un sistema de interferómetro mide la variación de la distancia contando el número
de longitudes de onda de luz vista por la óptica del detector. A medida que la
longitud de onda se conoce con gran precisión, entonces la distancia total se puede
calcular a gran exactitud.
Los interferómetros láser se pueden dividir en dos categorías: el conteo de
franjas y sistemas de dos frecuencias.

Un microscopio metrológico se calibra con un sistema de interferómetro láser 3D

con precisión de rango nanométrico.[1]
La Metrología Óptica trata de hacer mediciones usando las propiedades de la luz,
como la polarización, la fase y frecuencia.

La interferencia es un fenómeno propio de las oscilaciones, más que todo en las

ondas sonaras en qué consiste que una fuente x con una fuente y, que están
separadas a una distancia determinada, producen un sonido cuya onda tienen la
misma o parecida frecuencia, las cuales chocan entre sí para producir así el patrón
de interferencia. Con los patrones de interferencia podemos determinar la
topografía, la reflectividad y la textura de los materiales con precisión de
nanómetros.[2]
El sensor fibróptico contiene una fibra óptica conectada a una fuente de luz, a fin de
facilitar la detección en espacios reducidos o cuando un perfil pequeño resulta
conveniente. El sensor de fibra óptica puede medir la redondez así como también
la rugosidad superficial de un cono.

A diferencia del principio de medición del Sensor de fibra óptica, el

microinterferómetro láser analiza el cambio de interferencias para evaluar el cambio
de distancia entre el microinterferómetro láser y el objeto de medición,
Que se compone de una franja brillante causada por la interferencia constructiva y
una franja oscura causada por la interferencia deconstructiva.
La medición del láser Micro interferómetro está muy afectado por la rugosidad de la
superficie del cono debido al principio de medición relativa del
Microinterferómetro láser.[3]
CONCLUSION.
Con base a las lecturas consultadas podemos concluir que existen muchas y
diferentes formas para medir cosas a escala nanometrica y cada vez más estas
técnicas se están integrando a las industrias debido a que el hombre ayudado con
la tecnología se está empeñado en fabricar todo a la escala más pequeña posible,
entonces estas tienen que ser mediciones muy exactas porque el mínimo error
puede afectar por completo algún procedimiento o producto, es por eso que los
instrumentos de medición requieren patrones de calibración cada vez más finos y
avanzados, además se requiere que haya homogeneidad en la calibración de
dichos instrumentos.

REFERENCIAS.
[1] D. Apostol, P. C. Logofatu, and R. Muller, “Nano-metrology between
necessity and reality,” in Proceedings of the International Semiconductor
Conference, CAS, 2007.
[2] Z. NIU, R. KOBAYASHI, Y. L. CHEN, Y. SHIMIZU, S. ITO, and W. GAO.
“Nanometrology of an ultraprecision machined surface by using optical
sensors.” in Proceedings of the 16th International Conference on
Nanotechnology, Sendai, Japan, August 22-25, 2016
[3] E. F. Mendoza, C. J. Perucho, and A. Plata, “NANOMETROLOGY OF
DEFORMATIONS BY TEMPERATURE IN METALLIC MATERIALS.”