MEB/SEM: El microscopio electrónico utilizado es un equipo que permite la observación de la superficie de

materiales, obteniendo imágenes de hasta 1.000.000 de aumentos y una resolución de hasta 3 nm en presión
variable. El funcionamiento se basa en la incidencia de un haz electrónico sobre una muestra conductora. Este
haz se enfoca en un punto en el que se lleva a cabo un barrido de la superficie. El resultado de la interacción
es la emisión de diversas señales: electrones retrodispersados, electrones secundarios y rayos X, entre otros.
Estas señales son captadas por detectores que las procesan, posteriormente se amplifican y se transforman en
señales eléctricas que son codificadas como píxeles en un monito
Los primeros instrumentos desarrollados para este propósito fueron los microscopios ópticos. Estos
instrumentos consistieron, a lo largo de los años, desde una simple lupa hasta un microscopio compuesto. Sin
embargo, aún en el mejor instrumento óptico, la resolución está limitada a la longitud de onda de la luz que se
utilice, que en este caso es la luz violeta, cuya longitud de onda es de aproximadamente 400 nanómetros,
separación máxima entre detalles que puede observarse de esta manera. En términos de amplificación, esto
quiere decir que no podemos amplificar más de 1000 veces.
Una salida inmediata a este límite de resolución consistió en utilizar alguna radiación de longitud de onda más
corta que la de la luz violeta. Los candidatos inmediatos son los rayos X, que se caracterizan por una longitud
de onda del orden de 0, 15 nanómetros; desafortunadamente éstos tienen la gran desventaja de ser absorbidos
rápidamente por las lentes de vidrio, y de no poder ser desviados por las lentes magnéticas (además de las
precauciones que debería tener el operador).
Otra posibilidad que se contempló fue la de aprovechar el comportamiento ondulatorio de
los electrones acelerados por alguna diferencia de potencial. Sea el caso, por ejemplo, de electrones acelerados
en un campo de 100 000 voltios que presentan comportamiento ondulatorio con una longitud de onda de 0,0037
nm (3,7 picómetros), lo que en principio permitiría tener un aparato que resolviera detalles del mismo orden.
Esto, en principio, sería suficiente para resolver detalles atómicos, puesto que los átomos en un sólido están
separados en un orden de 0, 2 nm. Sin embargo, en la práctica, los detalles inherentes a la técnica de observación
o los defectos en el maquinado de las piezas polares producen aberraciones.
En el microscopio electrónico de barrido es necesario acelerar los electrones en un campo eléctrico, para
aprovechar de esta manera su comportamiento ondulatorio, lo cual se lleva a cabo en la columna del
microscopio, donde se aceleran mediante una diferencia de potencial que puede ir desde 50 hasta 30 000
voltios. Los electrones acelerados por un voltaje pequeño se utilizan para muestras muy sensibles, como
podrían ser las muestras biológicas sin preparación adicional o muestras muy aislantes. Los voltajes elevados
se utilizan para muestras metálicas, ya que éstas en general no sufren daños como las biológicas y de esta
manera se aprovecha la menor longitud de onda para tener una mejor resolución. Los electrones acelerados
salen del cañón, y se enfocan mediante las lentes condensadora y objetiva, cuya función es reducir la imagen
del filamento, de manera que incida en la muestra un haz de electrones lo más pequeño posible (para así tener
una mejor resolución). Con las bobinas deflectoras se barre este fino haz de electrones sobre la muestra, punto
por punto y línea por línea.
Cuando el haz incide sobre la muestra, se producen muchas interacciones entre los electrones del mismo haz y
los átomos de la muestra; puede haber, por ejemplo, electrones que reboten como las bolas de billar. Por otra
parte, la energía que pierden los electrones al "chocar" contra la muestra puede hacer que otros electrones
salgan despedidos (electrones secundarios), y producir rayos X, electrones Auger, etc. El más común de éstos
es el que detecta electrones secundarios, y es con el que se hacen la mayoría de las imágenes de microscopios
de barrido.1
También podemos adquirir la señal de rayos X que se produce cuando se desprenden estos mismos de la
muestra, y posteriormente hacer un análisis espectrográfico de la composición de la muestra.
Se utilizan ampliamente en la biología celular. Aunque permite una menor capacidad de aumento que
el microscopio electrónico de transmisión, éste permite apreciar con mayor facilidad texturas y objetos en tres
dimensiones que se hayan pulverizado con un metal antes de su observación. Por esta razón solamente pueden
observarse organismos muertos, y no se puede ir más allá de la textura externa que se quiera ver. Los
microscopios electrónicos sólo pueden ofrecer imágenes en blanco y negro puesto que no utilizan la luz visible.
Este instrumento permite la observación y caracterización superficial de materiales inorgánicos y orgánicos,
entregando información morfológica del material analizado. A partir de él se producen distintos tipos de señal
que se generan desde la muestra y se utilizan para examinar muchas de sus características. Con él se pueden
observar los aspectos morfológicos de zonas microscópicas de diversos materiales, además del procesamiento
y análisis de las imágenes obtenidas.
Detectores
El microscopio electrónico de barrido (SEM) es un instrumento capaz de ofrecer un variado rango de
informaciones procedentes de la superficie de la muestra. Su funcionamiento se basa en barrer un haz de
electrones sobre un área del tamaño que deseemos (aumentos) mientras en un monitor se visualiza la
información que hayamos seleccionado en función de los detectores que hayan disponibles. En el Servicio de
Microscopía de la U.P.V. existen los siguientes:
Detector de electrones secundarios (SE): es el que ofrece la típica imagen en blanco y negro de la topografía
de la superficie examinada. Es la señal más adecuada para la observación de la muestra por ser la de mayor
resolución.
Detector de electrones retrodispersados (BSE): también ofrece una imagen de superficie aunque de menor
resolución. Su ventaja consiste en que es sensible a las variaciones en el número atómico de los elementos
presentes en la superficie. Si tenemos una superficie totalmente lisa observaremos distintos tonos de gris en
función de que existan varias fases con distintos elementos.
Detector de rayos X (EDS): es el que recibe los rayos X procedentes de cada uno de los puntos de la superficie
sobre los que pasa el haz de electrones. Como la energía de cada rayo X es característica de cada elemento,
podemos obtener información analítica cualitativa y cuantitativa de áreas del tamaño que deseemos de la
superficie. Por ello se conoce esta técnica como Microanálisis por EDS.
Detector de rayos X (WDS): similar al anterior, pero en vez de recibir y procesar la energía de todos los rayos
X a la vez, únicamente se mide la señal que genera un solo elemento. Esto hace que esta técnica, aunque más
lenta, sea mucho más sensible y precisa que la de EDS. Realmente son complementarias, pues el EDS ofrece
una buena información de todos los elementos presentes en la superficie de la muestra y el WDS es capaz de
resolver los picos de elementos cuyas energías de emisión estén muy cercanas, así como detectar
concentraciones mucho más pequeñas de cualquier elemento y, sobre todo, de los ligeros.
Detector de electrones retrodispersados difractados (BSED): en este caso sólo se reciben aquellos electrones
difractados por la superficie de la muestra que cumplen la ley de Bragg en el punto que son generados, es decir,
se trata de una señal que nos aporta información de la estructura cristalina de la muestra. Si conocemos
previamente la o las fases cristalinas presentes en nuestra muestra, el sistema es capaz de procesar la señal que
recibe en forma de “líneas de Kikuchi” y ofrecer una variada información cristalográfica: orientación de granos,
orientaciones relativas entre ellos, textura, identificación de fases, evaluación de tensión, fronteras de grano,
tamaño de grano…
Partes y Funciones
En el MEB es necesario acelerar los electrones en un campo eléctrico, aprovechando su comportamiento
ondulatorio dentro de la columna del microscopio.
1. Cañón de electrones: de aquí salen los electrones acelerados.
2. Ánodo: parte del cañón de electrones que acelera los electrones emitidos desde el cátodo por medio de un
gran potencial positivo que los atrae.
3. Diafragma concentrador: regula el paso de electrones hacia las lentes.
4. Bobinas de alineamiento: alinea el tamaño del objetivo. Lente condensador 1: enfoca los electrones hacia el
objetivo. La Microscopía Electrónica de Barrido (MEB) Tricomas glandulares de planta carnívora (Drosera
binnata) Partes y funciones
5. Lente condensador 2: enfoca los electrones a mayor intensidad hacia el objetivo reduciendo la imagen del
filamento otorgando una mejor resolución.
6. Stigmator: enfoca la muestra, reduciendo el astigmatismo.
7. Bobinas deflectoras: barre un fino haz de electrones sobre la muestra punto por punto y línea por línea.
8. Detector de electrones secundarios: otorga resolución a la imagen reflectando los electrones.
9. Lente condensador 3: enfoca la imagen con la mayor resolución por electrones.
10. Porta espécimen: se coloca la muestra a observar. 11. Cámara porta espécimen: se colocan las muestras y
se genera el vacío para la muestra. 12. Sistema de vacío: permite generar un haz de electrones de mayor
intensidad.

Imagen 1. MEB
Imagen 2.Componentes de un MEB
Los materiales bombardeados con electrones de alta energía pueden dar lugar a las emisiones de rayos X
características del material que se bombardea. Los rayos X emitidos cuando el haz se detiene en una región
particular de la muestra pueden detectarse con un detector de estado sólido (silicio derivado de Li) que produce
un pulso de voltaje proporcional a la energía de los fotones incidentes (método de dispersión de energía) o con
un espectrómetro de rayos X para medir la longitud de onda y la intensidad (método de dispersión de longitud
de onda).
El microanálisis de la caracterización de materiales 145 materiales se presenta en la Sección 5.4.5.
Alternativamente, si el haz se escanea como de costumbre y la intensidad de la emisión de rayos X,
característica de un elemento en particular, se utiliza para modular el CRT, se obtendrá una imagen que muestra
la distribución de ese elemento en la muestra. Las imágenes de rayos X suelen ser muy "ruidosas" porque la
eficiencia de producción de rayos X es baja, lo que requiere exposiciones mil veces mayores que las imágenes
de electrones
La intensidad de los electrones dispersos hacia atrás también es sensible a la orientación del haz incidente en
relación con el cristal.
Este efecto dará lugar al contraste de "orientación" de grano a grano en una muestra policristalina a medida
que el escaneo cruza varios granos.
Además, el efecto también puede proporcionar información cristalográfica de muestras a granel mediante un
proceso conocido como canalización de electrones.

Como su nombre lo indica, los electrones se canalizan entre planos de cristal y la cantidad de canalización por
plano depende de su empaquetamiento y espaciado. Si el haz de electrones incide en un
el cristal se balancea a través de un ángulo grande, luego la cantidad de canalización variará con el ángulo y,
por lo tanto, la imagen BS exhibirá contraste en forma de patrones de canalización de electrones que pueden
usarse para proporcionar información cristalográfica.

Referencias Imagen 3.Funcionamiento MEB

-Jones, I. P. (1992).).Chemical Microanalysis using Electron Beams Institute of Materials, London

-Modern Physical Metallurgy 8th Edition
-Microscopia de fuerza (afm), Páginas 583 - 620 6. Electron microscopy of thin crystals, Peter Hirsch
(Butterworths, 1965)
-Electron microscopy of thin crystals, Peter Hirsch (Butterworths, 1965) 7. Díaz, C, F. (2008)
Complemento:

El equipo mostrado es un Philips XL-30

Imagen 4. MEB PHILIPS XL-30

Nos permite observación y caracterización superficial de materiales orgánicos e inorgánicos de los cuales
podemos obtener información morfológica y química elemental del material analizado
Las señales son generadas por
 Electrones secundarios: La propia muestra emite electrones secundarios debido a la colisión con el
haz incidente para generar imágenes tridimensionales de alta resolución SEI (Secundary Electron
Image), la energía de estos electrones es muy baja, inferior a 50 eV, por lo que los electrones
secundarios provienen de los primeros nanómetros de la superficie.

 Electrones retrodispersados: Algunos electrones primarios son reflejados o retrodispersados tras

interactuar con los átomos de la muestra. La intensidad de emisión de estos electrones está
directamente relacionada con el número atómico medio de los átomos de la muestra (Z promedio), así
los átomos más pesados producen mayor cantidad de electrones retrodispersados, permitiendo la
obtención de imágenes planas de composición y topografía de la superficie
 E- Auger
 Rayos x Característicos

Hay 2 tipos de detector de imagen:

S.E. Morfología y topografía de la superficie

B.S.E Morfología y contraste por numero atómico

El detector de análisis químico (EDX: Espectrometría de dispersión energía de RX)

Sus principales Áreas de aplicación son:

 Geología
 Estudió materiales
 Metalúrgico
 Paleontología y Arqueología
 Control de calidad
 Peritajes
 Medicina Forense
 Botanica,Biomedicina etc.