Calibrao de Sistemas Laser Interferomtricos em Distncia no Laboratrio de Comprimento

F. Saraiva, R. Dias, S. Gentil Laboratrio Central de Metrologia, Instituto Portugus da Qualidade Rua Antnio Gio 2, 2829 519 Caparica, Portugal; e-mail: fsaraiva@mail.ipq.pt; rdias@mail.ipq.pt ; sgentil@mail.ipq.pt

Resumo
O Laboratrio de Comprimento (LCO) do Laboratrio Central de Metrologia (LCM), ao longo dos anos, tem procurado identificar e satisfazer adequadamente as necessidades, actuais e futuras, dos seus clientes, Laboratrios Acreditados em Metrologia Dimensional e Industria Nacional. Com vista satisfao das mesmas implementou novos servios de calibrao prestados no campo da medio com sistemas Laser interferomtricos. Da convergncia de estudos, formao e trabalho laboratorial, o LCO implementou em 2006 os seguintes servios de calibrao: Sistemas Laser Interferomtricos em Distncia; pticas de rectitude; pticas angulares e Esquadro pticos. O trabalho desenvolvido assume uma importncia adicional visto que vem permitir a realizao global do processo de calibrao de sistemas Laser interferomtricos no LCO, que at data, s efectuava a calibrao em comprimento de onda. O presente artigo incide sobre os estudos e aplicaes necessrios implementao da calibrao de sistemas Laser interferomtricos em distncia, nomeadamente no que diz respeito descrio do conjunto de etapas a implementar no laboratrio, correces tericas a efectuar, balano de incerteza e consequente emisso de um certificado de calibrao. Palavras chave: Interfermetria, medio de distncias, comprimento de onda, lasers.

Sistema Laser Interferomtrico

Os sistemas Laser interferomtricos podem ser referidos como padres secundrios ou de trabalho com resoluo da ordem da centsima do micrmetro e so frequentemente utilizados em calibraes na rea de Metrologia Dimensional. A rastreabilidade destes sistemas, realizao prtica da definio do metro [1] conseguida atravs da calibrao em frequncia (ou comprimento de onda) por comparao com os sistema Laser Padro (Laser de He-Ne estabilizados com uma clula de iodo) cujo valor do comprimento de onda ou da frequncia, pode ser utilizado com a incerteza explicitada no Certificado de Calibrao correspondente e com as especificaes e as boas prticas de laboratrio a ser seguidas. Por este processo determinada a frequncia e ou o comprimento de onda do feixe emitido. Este tipo de sistemas Laser interferomtricos, para alm das medies lineares em distncia, tm a possibilidade de medir desvios angulares, rectitude e perpendicularidade, possuindo para o facto acessrios pticos correspondentes aos paramentos a avaliar. Assim, uma calibrao completa destes sistemas envolve a calibrao em comprimento de onda, em distncia, em angulo (pticas angulares) e do esquadro ptico. Como referido anteriormente este documento incide exclusivamente na implementao da calibrao de sistemas Laser interferomtricos em distncia. Entre outras aplicaes, os sistemas Laser interferomtricos so dos mais utilizados a nvel nacional para a calibrao de mquinas ferramentas.

Calibrao de Sistemas Laser Interferomtricos em Distncia

Princpio Terico de um Laser Interferomtrico

De uma forma resumida pode descrever-se o princpio de medio de um sistema Laser interferomtrico que utiliza duas frequncias distintas (Heterodyne), da seguinte forma:

Figura 1. Princpio terico Na unidade Laser, um Laser de He-Ne emite um feixe sobre o qual aplicado um campo magntico axial, dividindo-o em dois feixes com frequncias f1 e f2 por efeito de Zeeman. A diferena de frequncia entre estes, da ordem dos 2 MHz e ambos os feixes tm polarizao circular, com direces opostas. Uma lmina de atraso (de /4), colocada no percurso destes, transforma as polarizaes circulares das frequncias f1 e f2 em polarizaes lineares ortogonais entre si, uma no plano horizontal e outra no plano vertical. Antes do feixe laser ser emitido pela unidade de controlo uma parte deste desviado por um divisor de feixe e detectado por um fotodetector A (fig.1). A amplitude de modulao deste sinal, com frequncia f1-f2, detectada e transmitida ao contador. Os dois feixes, com polarizao linear e ortogonais emitidos, f1 e f2, so separados por um divisor de feixe polarizador que, no caso da montagem interferomtrica representada na fig.1 so transformados em feixes com polarizao circular, em virtude de passarem por outra lmina de atraso (/4). Aps a reflexo nos cubos retroreflectores (que correspondem aos extremos dos braos do interfermetro), os feixes passam novamente pelas lminas de atraso, onde so convertidos outra vez em feixes com polarizao linear e ortogonal. Aps a recombinao dos feixes no divisor de feixe, um polarizador a 45 coloca as componentes dos feixes sobre esse plano. O sinal detectado pelo fotodetector B. A amplitude de modulao com frequncia f1-f2-f enviada para o outro contador. A variao de frequncia, f, devida ao efeito Doppler e gerada pelo deslocamento do cubo retroreflector mvel. Os dois sinais so ento comparados, sendo a frequncia obtida dada por:

f = 2 f 2 n
Ou seja

v v = 2 c 2

(1)

v=

2 f
2

(2)

onde 2 o comprimento de onda correspondente frequncia f2 e v a velocidade de propagao do feixe. Por integrao em funo do tempo, determinado o valor do deslocamento, L , do cubo retroreflector mvel [5]:

L = v dt =
t0

t1

2
2

t0

t1

dt

(3)

IPQ - LCO

Pg. 2/7

Calibrao de Sistemas Laser Interferomtricos em Distncia

Esquema de Montagem do Laser de referncia

A medio de distncias lineares efectuada usando os dois cubos retroreflectores e um divisor de feixe, para alm da unidade Laser [8]. O divisor de feixe colocado entre a unidade Laser e os cubos retroreflectores, sendo um dos cubos fixo e em contacto com o divisor de feixe, enquanto o outro se desloca ao longo do eixo de medio. O valor medido pelo sistema Laser interferomtrico e apresentado no mostrador digital do sistema interferomtrico, corresponde distncia percorrida pelo cubo retroreflector mvel ao longo do eixo de medio, em relao ao divisor de feixe. A figura 2 apresenta a montagem do sistema Laser interferomtrico para medio de distncias no Laboratrio de Comprimento. Cubo Retroreflector mvel

Unidade Laser

Divisor de feixe Cubo Retroreflector fixo Figura 2. Sistema Laser interferomtrico

Calibrao de Sistemas Laser Interferomtricos em Distncia

O esquema de montagem de calibrao consiste na utilizao de um s conjunto de sistemas pticos (cubos retroreflectores e divisor de feixe), partilhado pelos dois sistemas interferomtricos Laser, o de referncia e o a calibrar. A Fig.3 apresenta o esquema terico da montagem.

Figura 3. Configurao de Montagem Os dois feixes laser incidem sobre o divisor de feixe perpendicularmente entre si. Como o divisor de feixe polarizador, transmite os feixes com polarizao vertical e reflecte os com polarizao horizontal.

IPQ - LCO

Pg. 3/7

Calibrao de Sistemas Laser Interferomtricos em Distncia

Assim, a polarizao vertical do Laser de referncia transmitida pelo divisor de feixe em direco ao cubo retroreflector mvel, e a polarizao horizontal reflectida em direco ao cubo retroreflector fixo. Para o feixe Laser a calibrar, que incide perpendicularmente sobre o divisor de feixe em relao ao eixo de deslocamento, a componente vertical transmitida pelo divisor de feixe para o cubo retroreflector fixo, sendo a outra componente da polarizao reflectida para o cubo retroreflector mvel. Este facto, permite que em cada brao do interfermetro, os dois feixes Laser (Laser a calibrar e Laser de referncia) se propaguem com polarizaes ortogonais entre si, o que garante a no existncia de interferncias entre os dois feixes, em cada um dos braos do interfermetro. Contudo o divisor de feixe no reflecte totalmente a polarizao horizontal. Com base nas experincias realizadas, o divisor de feixe permite a transmisso da componente horizontal em cerca de 10%, e reflecte cerca de 10% da polarizao vertical. Assim, cerca de 10% de polarizao vertical e 10% da polarizao horizontal do Laser de Referncia direccionado para o Laser a Calibrar, o mesmo se passando no caso contrrio. Para colmatar esta situao, procede-se ao ajuste do alinhamento do Laser de referncia de modo a que esses 10% no incidam sobre a porta de entrada da unidade Laser a calibrar.

Modos de funcionamento do interfermetro

Para avaliao das caractersticas e exactido dos interfermetros so utilizados trs mtodos para avaliao da distncia medida em funo da correco do ndice de refraco do ar, i.e. so utilizados trs modos de funcionamento do Sistema Interferomtrico Laser a calibrar, designados por: Modo A : Os sensores das condies ambientais previstos pelo construtor do sistema Laser so conectados unidade de controlo deste que efectua automaticamente a correco do ndice de refraco. Modo B : So utilizados sensores externos ao sistema interfermetro Laser, sendo introduzidos os valores da temperatura, presso e humidade na unidade de controlo do laser interferomtrico. Pode haver casos em que a unidade de controlo do interfermetro no permita a introduo destes valores, nesses casos possvel introduzir o factor de correco (VOL), dado por:

1 VOL = 0,999 10 6 n

(4)

onde n o ndice de refraco do ar. Neste modo de funcionamento os sensores do interfermetro so desligados. Modo C : Desligando a compensao automtica do Laser em estudo, ou seja, o interfermetro opera com valores padro estabelecidos pelo fabricando, sendo normalmente, t = 20C, p = 1013,25 mbar e H = 50%, e utilizando as frmulas de Edlen [2] calculada a compensao a introduzir sobre a distncia medida. O erro de indicao da comparao dos dois sistemas interferomtricos dado por: e = d-D , onde d a distncia indicada pelo interfermetro a calibrar e D a distncia indicada pelo interfermetro de referncia [5].

Incerteza da Medio
Avaliao da Incerteza de Medio:

u c (l )

Grandezas de entrada e incerteza-padro associada: Repetibilidade (Avaliao Tipo A); Resoluo do interfermetro de referncia;

ndice de refraco do ar : A correco do valor do comprimento medido devido variao do comprimento de onda no ar funo do ndice de refraco do ar. Esta correco efectuada pela medio dos parmetros do ar (temperatura, presso, e humidade) e calculada pela equao dEdlen.
IPQ - LCO Pg. 4/7

Calibrao de Sistemas Laser Interferomtricos em Distncia

Na publicao do seu trabalho em 1966, Bengt Edlen deu a conhecer as relaes que permitem calcular o ndice do refraco do ar em funo da radiao utilizada e nas condies ambientais [2]. A avaliao do ndice de refraco do ar (nas condies ambientes) utilizando os valores de t, p, H (temperatura (C), presso (torr) e humidade(%), respectivamente) dada pela equao (5), conhecida por equao de Bengt Edlen [3]:
p 1 15999 2406294 + 8343,05 + 8 10 96095,43 38,9 1 130 1 0,633 2 0,633 2

n =1+

(5)

1 + 10 8 (0,601 0,00972 t ) p 0,0401 H 10 (1910,1 + 145,0t ) 3,7345 10 1 + 0,003661t 0,633 2

Tendo em conta o desvio padro dos valores mdios da temperatura, presso atmosfrica e humidade presente no laboratrio, a resoluo dos equipamentos de medio e o erro associado equao, determina-se o balano de incerteza associado a este parmetro (Tabela 1); ! Erro do Coseno: Um erro de alinhamento do eixo de medida do feixe Laser em relao ao eixo da deslocao do carrinho do banco de ensaios que suporta o cubo retroreflector introduz um erro de medida L; Death Path: necessrio efectuar a correco na distncia medida pelo sistema interferomtrico devido ao ndice de refraco. No entanto, o sistema interferomtrico s faz a compensao sobre o percurso percorrido pelo cubo retroreflector mvel, e no sobre o percurso efectuado pelo feixe Laser. Isto , quando iniciada uma medio, o cubo retroreflector mvel pode estar j a uma distncia x do divisor de feixe. Essa distncia x no compensada pelo sistema interferomtrico (Death Path), sendo apenas compensado o percurso efectuado pelo cubo retroreflector iniciado em x; Desvios no deslocamento- Rectitude Vertical: o elemento mvel que suporta os cubos retroflectores do interfermetro pode ao longo do percurso efectuado, sofrer um desvio angular perpendicular ao eixo de deslocamento, rectitude vertical Com base em estudos anteriormente realizados de rectitude, efectuados em relao ao banco de ensaios SIP, foi detectado um desvio angular mximo de 1,36 10-5 radianos.

Incerteza-padro da grandeza de sada:

uc (l ) =

l u ( xi ) i =ln ,lCo ,lRV ,lREF xi

(6)

A incerteza de medio expandida dada por:

U = k u c (l )
com k=2 Na Tabela 1 apresentado o balano de incerteza do processo de calibrao.

IPQ - LCO

Pg. 5/7

Calibrao de Sistemas Laser Interferomtricos em Distncia

Componente Incerteza da incerteza padro uc (e) Incerteza tipo A: Repetiblidade Incerteza Tipo B: uc(la) ndice de refraco do ar Leitura na unidade de controlo do 2,9 nm Laser de Referncia 0,2510-6 110 nm Fonte de incerteza Padro u(xi)

c xi

f x1

ui (e) cxi u ( xi )
[m] com L [mm]

110 nm

0,2510-6 L

u (lREF ) u (lCAL )

2,9 nm

Leitura do sistema a calibrar Geometria do Sistema: Erro do Coseno do Laser de

2,9 nm

2,9 nm

u(lcoREF)

0,0510-6

0,0510-6 L

Referncia Erro do Coseno do Laser a

u(lcoCAL)

0,0510-6

0,0510-6 L

Calibrar Rectitude Vertical 28 nm 1 28 nm

u(lSV)

Incerteza Padro combinada:

uc (e) = 0,11 m + 0, 26 106 L U = 0, 22 m + 0, 54 10 6 L

Incerteza expandida com um factor de expanso k=2:

Tabela 1. Balano de incerteza.

Resultados
No laboratrio foram realizadas medies utilizando como referncia o Laser Hewlett Packard e como Laser interfermetro a calibrar o Laser Spindler&Hoyer. Foram efectuadas aquisies para 5 valores nominais (500 mm, 1000 mm, 1500 mm, 2000 mm e 2500 mm). Os valores mdios da temperatura, presso e humidade durante as medies foram os seguintes: t = (20,61 0,20) C p = (101120 145) Pa H = (46,5 2) %
IPQ - LCO Pg. 6/7

Calibrao de Sistemas Laser Interferomtricos em Distncia

Foi calculada a mdia dos valores obtidos para cada distncia nominal e para cada um dos modos de funcionamento dos Lasers e efectuada a avaliao da diferena entre esses respectivos valores. Os resultados finais so apresentados na Tabela 2. Modo de Funcionamento do Laser em estudo Distncia Nominal (mm) e=d-D (m) Desvio Padro Incerteza do Tipo A (m) 0,03 0,04 0,07 0,05 0,07 0,05 0,01 0,06 0,04 0,07 0,04 0,03 0,03 0,01 0,05

500,00 0,76 1000,00 1,51 1500,00 2,32 2000,00 3,10 2500,00 3,83 500,00 0,12 1000,00 0,24 1500,00 0,29 2000,00 0,40 2500,00 0,48 500,00 0,08 1000,00 0,23 1500,00 0,31 2000,00 0,47 2500,00 0,51 Tabela 2. Apresentao dos resultados.

Concluso
A realizao do processo de calibrao de sistemas Lasers interferomtricos em distncia foi implementado de acordo com a norma NP EN ISO/ IEC 17025. Com esse fim, foi concludo o procedimento de calibrao nmero 1011406503, o balano de incertezas e um certificado de calibrao para o Sistema Laser Interferomtrico Spindler&Hoyer pertencente ao LCO.

Bibliografia
[1]. T.J. Quinn, International report - Practical realization of the definition of the meter, including recommended radiations of other optical frequency standards (2001) Metrologia, 2003, 40, n2, 103-133. [2]. Bengt Edln, The Refractive Index of Air Metrologia, 1966, Vol.2, n2, 71-80. [3]. K.P. Birch and M.J. Downs, Correction of the Updated Edln Equation for the Refractive Index of Air, Metrologia, 1994, n31, 315-316. [4]. Eugene Hecht ptica 2 Edio, Fundao Caloust Gulbenkian. [5]. Genevire Lipinski,Measures dimensionnelles par interfermetria laser, Techniques de lIngnieur, trait Measures et Contrle. [6]. Jennnifer E.Decker and James R.Pekelsky, Uncertainty for the Measurement of the Gauge Blocks by Optical Interferometry, 1996 NRC n40001. [7]. Guia para a expresso da incerteza de medio no laboratrios de Calibrao IPQ , Maio (1998). [8]. 5528A Laser Measurement System User Guide, Hewlett Packard.

IPQ - LCO

Pg. 7/7