Datasheet Leitor de Altura de Plasma THCAD

O THCAD um conversor analgico/digital do tipo frequncia para voltagem, projetado para ambientes de alto rudo como monitoramento de plasma para sistemas de controle de altura de plasma. O THCAD disponibilizado em duas verses: 0-10V e 0-300V. Quando usado para monitoramento de tenso de plasma, a verso de 10V requer um resistor de alta voltagem externo. A vantagem do resistor externo que ele pode ser selecionado para trabalhar com tochas de alta frequncia. A verso de 300V tem todos os resistores para diviso de tenso na placa e pode ser conectado diretamente com tochas do tipo start touch. A frequncia de sada trabalha na faixa de 100Khz 1Mhz. Ela pode ser contada diretamente pelas placas FPGA ou microcontroladores para converso do sinal de tenso. A frequncia pode ser dividida por 32, 64 ou 128 caso ela precise ser contada em software. As sadas disponveis so frequncia e frequncia de referncia. Ambas sadas so diferenciais para alta imunidade rudo, mas pode ser utilizadas em modo TTL caso desejado. O conversor A/D tem entradas isoladas galvanicamente (2500V de isolao de modo comum). A verso de 10V pode suportar uma sobretenso de 500V indefinidamente. A verso 300V pode suportar sobretenso de 2500V indefinidamente. Por ser um A/D do tipo frequncia para voltagem, a resoluo dependente da taxa de amostragem, sendo aproximadamente 10 bits 1Khz e 12 bits 250 Hz. O THCAD normalmente usado em modo unipolar, porm pode ser configurado para modo bipolar para ser usado em outras aplicaes alm de controle de tenso de plasma. O THCAD requer 5V 150mA para operao. Todas as conexes so feitas por bornes plugveis.

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Jumpers de Configurao

A verso do THCAD para 10V (THCAD-10) aceita entradas de 0V a 10V em modo unipolar e -5V a +5V em modo bipolar. A verso de 300V (THCAD-300) funciona na faixa de 0 a 300V em modo unipolar e -150V a +150V em modo bipolar. Jumper W1 W2, W3, W4, W5 Funo Selecionar entre modo unipolar e bipolar Divisor de frequncia Valores Para cima: bipolar Para baixo: unipolar (padro) W1=F/1 (padro) W2=F/32 W3=F/64 W4=F/128

Frequncia de Sada
A sada de frequncia do THCAD est disponvel nos pinos FOUT+ e FOUT-. Esses dois pinos compem um par diferencial (isto , uma sada sempre a cpia invertida da outra). Para melhor imunidade rudo, a sada diferencial deve acionar um receptor RS-422 terminado. Caso sada diferencial no seja necessria, tanto FOUT+ quando FOUT- podem ser usados com nveis de sinalizao TTL. O THCAD tambm produz uma frequncia de referncia de sada (FREF+ e FREF-) de aproximadamente 1MHz que sncrona com o trem de pulso de sada. Essa sada pode ser usada como referncia para o contador da frequncia do THCAD. A vantagem de usar essa frequncia de referncia (ao invs de um cristal externo) que ela sincronizada com a sada da placa, eliminando a incerteza de +-1 pulso da contagem normal. Na maioria dos casos, essa resoluo extra no necessria. No caso da utilizao da configurao Hostmot 2 para medio de frequncia, a sada de velocidade de um dos mdulos de encoder proporcional medida de tenso lida pelo THCAD. Nesse caso, o encoder (do Hostmot 2) deve ser configurado para trabalhar em modo contador (up/down) e o canal A deve ser conectado na sada de frequncia do THCAD. A sada de velocidade deve ser escalonada para obter o valor correto da tenso.

Calibragem
O THCAD fornecido com uma etiqueta com informaes de calibragem. Essa etiqueta fornece a frequncia de sada quando a entrada de 0V (FZERO) e a frequncia de sada para entrada mxima em modo unipolar (FFS). A voltagem medida pelo THCAD pode ser calculada pela frequncia de sada do THCAD usandose a seguinte frmula: V = VFS * (FOUT - FZERO) / (FFS - FZERO)
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Onde FOUT a frequncia de sada do THCAD, VFS a tenso mxima em modo unipolar (10V, 300V ou outro valor mximo determinado por resistores externos), FFS a frequncia mxima de sada e FZERO a frequncia de sada com tenso de 0V.

Aumentando a faixa de entrada

O THCAD-10 pode ter sua faixa de entrada extendida adicionando-se resistncia em srie com suas entradas. O circuito de entrada do THCAD-10 consiste em um conversor de corrente para tenso com uma escala mxima de 100uA. O THCAD-10 tem um total de 100K de impedncia na entrada do divisor de entrada, dando uma escala de entrada total de 100K * 100uA = 10V. Quando resistores externos so conectados em srie para extender a tenso de operao, a resistncia necessria : REXT = (VFS - 10V) / 100uA Onde VFS a nova escala mxima de entrada e REXT a resistncia externa. Por exemplo, para extender a tenso do THCAD-10 para 500V, um resistor de (500-10)/100uA = 4.9Mohms necessrio.

Modo Bipolar
O THCAD normalmente usado para medir sinais unipolares, porm atravs do jumper W1 ele pode ser configurado para realizar um offset do circuito de entrada em metade da sua faixa de trabalho, permitindo medio de circuitos bipolares. A calibragem do offset tem tolerncia de 2%. Quando configurado para modo bipolar, o THCAD-10 tem uma faixa de entrada de -5V +5V e o THCAD-300 de -150V +150V.

Resoluo
Como a sada do THCAD um sinal de frequncia proporcional ao sinal de entrada, a maneira mais simples de recuperar a leitura de voltagem com um contador de frequncia. Isto , um dispositivo que mede o nmero de bordas de transio (subidas ou descidas) do sinal para uma janela de leitura fixa. Nesse caso, a resoluo o nmero de pulsos por janela de leitura para uma entrada no valor mximo, menos o nmero de pulsos para uma entrada no valor mnimo (zero). Esse nmero tipicamente 800.000 (por segundo). Portanto, a resoluo com uma janela de 1ms seria aproximadamente 800 pulsos (cerca de 9,5 bits). Com uma janela de 10ms, a resoluo seria cerca de 8000 pulsos (13 bits de resoluo). Janelas de leitura maiores resultam em melhor resoluo, porm a linearidade do THCAD cerca de 12 bits (1 parte em 4000), portanto existe pouca vantagem em utilizar janelas com tempo maior de 10ms. Note que medidas de perodo (ao invs de frequncia) na sada de 1x no produzem resultados precisos. Isso acontece porque o conversor V-F usado no THCAD do tipo sncrono. Medidas de perodo das sadas divididas (32, 64 ou 128) podem ser usadas por um dispositivo de medio de perodos porque nesses modos a sada feita atravs de uma mdia do perodo bsico.

Isolao e Filtro RFI

As entradas analgicas do THCAD flutuam livremente com um teste de 2500V RMS (1 minuto). Essa medida tambm pode ser especificada como pico contnuo de 425V com vida-til de 50 anos. A entrada analgica conectada um filtro RFI de modo comum no THCAD. Os conectores identificados como SHIELD devem ser conectados a um terra (por exemplo, chassis metlico) para anularem os rudos de alta frequncia produzidos pela tocha plasma. Esse filtro limita a entrada analgica 3dB de aproximadamente 2.5Khz. A largura de banda de entrada reduzida tambm pela taxa de amostragem (janela de leitura da frequncia).

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LEDs
O THCAD contm um LED (CR2) que monitora a frequncia de sada e outro que exibe o status da entrada de 5V. Durante a operao normal o LED de energizao deve permanecer aceso enquando o LED de sada deve piscar. A frequncia de pulsao do LED a frequncia de sada dividida por 262144, ou seja, aproximadamente 0.5Hz para entrada 0 volts e 3.3Hz para entrada no valor mximo.

Conectores
Sada e Alimentao
O Conector P1 do lado esquerdo do THCAD utilizado para alimentao e sada digital da placa. Esse conector um borne de 3.5mm plugvel com a seguinte pinagem: Pino 1 2 3 4 5 6 Sinal +5V FOUT+ FOUTFREF+ FREFGND Funo Fornece alimentao ao THCAD Sada de frequncia + Sada de frequncia Frequncia de referncia + Frequncia de referncia Comum (GND) da alimentao

Entrada analgica
O conector P2 do lado direito do THCAD a entrada analgica. Ele um borne plugvel de 3.5mm com 6 pinos. Pinos 2 e 5 so removidos para permitir alta isolao no caminho de alta voltagem. A pinagem do conector P2 a seguinte: Pino 1 2 3 4 5 6 Sinal IN+ XX SHIELD SHIELD XX INFuno Entrada analgica + No utilizado GND de proteo GND de proteo No utilizado Entrada analgica -

Especificaes
Alimentao Consumo de energia Preciso em modo unipolar Linearidade Preciso sem calibragem Impedncia de entrada do THCAD-10 Impedncia de entrada do THCAD-300 Mnimo 4.75V -.7% -0.05% -5% 100K 3M Mximo 5.25V 250mA +.7% +0.05% +5% 100K 3M Notas 5V 5% Tipicamente 150mA +- 100PPM/C Tipicamente 0.025% Variao entre placas dos valores projetados Ohms 2% Ohms 2%

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Voltagem de isolao para trabalho Voltagem de isolao de teste Temperatura de operao Umidade de operao

425V 2500V 0 0 +70 95%

Connua em pico RMS, mx 1 min. C No condensante

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