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Captulo II

Escoamento de Gases
Algumas definies
Como j descrito em relao Fig. 1.1, para a obteno de alto ou ultra-alto-vcuo temos
que partir da presso atmosfrica at chegar presso final desejada, e para isso o gs retirado da
cmara formar um fluxo que se movimentar em presses que vo da atmosfrica at a presso
final. Ou seja, o fluxo do gs se dar em diferentes regimes, definidos pelo valor da presso, que
sinnimo de densidade molecular, ou livre caminho mdio. Para se poder descrever o
comportamento de um sistema de vcuo como esse, essencial, portanto, descrever o fluxo de gs
nos diferentes regimes, e, para isso, precisamos escrever as equaes de movimento do fluido nestes
regimes. o que faremos a seguir.
Considere a Fig. 2.1, que ilustra um trecho de uma tubulao na qual, na seco tranversal
definida pela linha tracejada, temos um valor P para a presso e um fluxo de gs denominado Q.
Fig. 2-1: Esquema de tubo com seco com presso P e fluxo Q
Nesta seco transversal escoa um volume de gs V no intervalo de tempo t. Chamaremos de
velocidade de bombeamento relao
S=
A V
A t
(1) calculada na seco transversal considerada. Ao produto Q = PS (2) daremos o
nome de vazo de massa do gs. Podemos escrever, portanto, Q=P
A V
A t
(3). Em geral, S
medido em litro/s e Q em torr.litro/s. Q pode ser relacionado diretamente ao nmero de molculas
que atravessam a seco do tubo no intervalo de tempo unitrio. Para explicitar esta relao, vamos
derivar a equao de estado em relao ao tempo:
d
dt
( PV) =
d
dt
( N K T) - P
dV
dt
+V
dP
dt
=k T
dN
dt
(4).
Se o escoamento for em regime estacionrio, isto , P independente do tempo, teremos dP/dt =0, e
ento:
P
dV
dt
=Q=k T
dN
dt
(5). Nesta equao o termo dN/dt denominado corrente molecular.
Se em um tubo temos um fluxo de massa de gs, temos tambm uma diferena de presso
entre pontos deste tubo, com o fluxo se dando da presso maior para a menor. Considerando duas
1
P
Q
seces transversais A e B, para as quais as presses so P
A
e P
B
, respectivamente, e o fluxo de
massa Q, definimos a condutncia entre A e B como a razo do fluxo de massa pela diferena de
presso, ou seja:
C
AB
=
Q
P
A
-P
B
(6). A condutncia medida em litro/s. possvel fazer uma analogia entre o
que acontece em um sistema hidrulico (que o que temos) e o que acontece em um circuito
eltrico. Tubos e outros elementos correspondem aos fios, que apresentam uma certa condutncia
eltrica, o que anlogo condutncia hidrulica, a diferena de presso fica anloga diferena de
potencial, o fluxo de massa anlogo corrente eltrica e as bombas fazem o papel de foras
eletromotrizes. Anlogamente ao caso eltrico, chamamos de impedncia (ou resistncia) ao inverso
da condutncia:
Z
AB
=
1
C
AB
=
P
A
-P
B
Q
(7). A impedncia medida em s/litro.
Fisicamente o conceito de impedncia est associado dificuldade (resistncia) oferecida
pelo tubo passagem do gs. Quanto menor o dimetro do tubo e maior o seu comprimento, maior
ser essa resistncia. Pelo contrrio, quanto maior o dimetro e menor o comprimento, menor a
resistncia. Vemos que esse raciocnio baseia-se exclusivamente nas propriedades geomtricas do
tubo, mas veremos abaixo que outras variveis so importantes para determinar a condutncia de
um elemento, e que essas variveis dependem da natureza do gs e da presso em que o seu
movimento se d. importante notar que a vazo em massa Q tem o mesmo valor em qualquer
seco de uma tubulao (ou de tubos em srie). Isto expressa a lei de conservao da vazo em
massa, que equivalente lei de conservao de massa. preciso frizar tambm que, no caso de
tubulao em srie, enquanto Q constante, S e P variam continuamente ao longo do comprimento
da tubulao.
Condutncias em srie e em paralelo
Considere dois tubos ligados em srie, como na Fig. 2.2, tendo condutncias C
1
e C
2
.
Considere as presses nos pontos 1, 2 e 3 como P
1
, P
2
e P
3
, respectivamente. Podemos escrever:
Fig. 2.2: tubos em srie e em paralelo
P
1
-P
2
=
Q
C
1
; P
2
-P
3
=
Q
C
2
. Somando estas equaes, obtemos
P
1
-P
3
=
Q
1
C
1
+
1
C
2
,
2
P
1
Q
Q
P
2
P
3
C
1
C
2
C
1
C
2
Q
1
Q
2
P
1
P
2
ou seja, a condutncia equivalente :
1
C
eq
=
1
C
1
+
1
C
2
. Esta equao se generaliza para n tubos
como:
1
C
eq
=
1
C
1
+
1
C
2
+..... +
1
C
n
(8).
Considere agora dois tubos em paralelo, como na Fig. 2.2, tendo condutncias C
1
e C
2
.
Podemos escrever C
1
=
Q
1
P
1
-P
2
; C
2
=
Q
2
P
1
-P
2
. Somando estas equaes, obtemos
C
1
+C
2
=
Q
1
+Q
2
P
1
-P
2
. Colocando a condutncia equivalente como C
eq
=
Q
total
P
1
-P
2
, vemos que
C
eq
= C
1
+ C
2
, que pode ser generalizada para n tubos em paralelo como:
C
eq
=C
1
+C
2
+.... +C
n
(9).
Variao da velocidade de bombeamento ao longo de uma tubulao
Quando temos um sistema de vcuo como o ilustrado na Fig. 1.1, vemos que a bomba
difusora est ligada cmara atravs de um tubo e de uma vlvula. Uma das perguntas cruciais que
se faz em relao aos sistemas de vcuo o tempo que se levar para atingir a presso de trabalho
desejada. Para responder isso, precisamos conhecer as caractersticas da bomba de vcuo, em
particular, a sua capacidade de bombeamento, que medida pela velocidade de bombeamento.
Normalmente, esta caracterstica fornecida pelo fabricante. No entanto, esta especificao diz
respeito to somente velocidade de bombeamento na boca da bomba, ou seja, sem a adio de
tubos e vlvulas. mais ou menos intuitivo que a velocidade de bombeamento na boca da cmara
ser diferente (menor) que a velocidade de bombeamento na boca da bomba, pois tanto o tubo
quanto a vlvula so impedncias para o escoamento do gs. Qual esta influncia, e como
podemos determin-la ? A influncia de tubos e vlvulas (e outros elementos do circuito hidrulico)
ser medida pela sua condutncia. Evidentemente, quanto maior a condutncia, menor a influncia
do elemento na velocidade de bombeamento; pelo contrrio, quanto menor a condutncia (maior
resistncia) maior ser a sua influncia. Para poder determinar quantitativamente estas influncias,
vamos lanar mo do seguinte raciocnio:
Fig. 2.3: vazo de massa entre dois pontos de um tubo
Na seco A da Fig. 2.3 a velocidade de bombeamento S
A
=
Q
P
A
-
1
S
A
=
P
A
Q
(10), e na
seco B podemos colocar S
B
=
Q
P
B
-
1
S
B
=
P
B
Q
(11). Subtraindo a eq. 11 da eq. 10, obtemos:
3
P
A
Q
P
B
S
A
S
B
1
S
A
-
1
S
B
=
P
A
-P
B
Q
=
1
C
AB
(12). Esta equao pode ser re-escrita na forma:
S
A
=
S
B
C
AB
S
B
+C
AB
...(13).
Referindo-se Fig. 1.1, se A e B representam a boca da cmara e da bomba, respectivamente,
vemos que S
A
< S
B
, pois a frao do lado direito da eq. 13 menor que 1. Podemos ver o
comportamento, fazendo, em primeiro lugar a hiptese de que a condutncia C
AB
, que no caso da
Fig. 1.1 a combinao srie das condutncias dos tubos e da vlvula, muito maior que a
velocidade de bombeamento da bomba S
B
. Neste caso, temos que S
B
+ C
AB
C
AB
, e portanto S
A

S
B
. Ou seja, como antecipado, se a condutncia alta, sua interferncia muito pequena, e a
velocidade de bombeamento na boca da cmara praticamente idntica velocidade de
bombeamento da bomba, ou seja, temos uma situao equivalente a ligar a bomba diretamente na
cmara. Em segundo lugar, vejamos o outro extremo, em que a condutncia pequena comparada
com a velocidade de bombeamento. Neste caso, S
B
+ C
AB
S
B
, e portanto S
A
C
AB
. Ou seja, neste
caso a velocidade de bombeamento na cmara independente da velocidade de bombeamento da
bomba, e determinada exclusivamente pela condutncia dos elementos que ligam a cmara
bomba.
Portanto, a expresso 13 importante para se poder calcular a importncia das condutncias
frente s velocidades de bombeamento das bombas de vcuo. Estas comparaes so
importantssimas para se projetar sistemas de vcuo, onde necessrio fazer a especificao de
bombas e das tubulaes de modo a se atingir as presses de trabalho em tempos razoveis e
tambm com custos razoveis. Obviamente, temos a necessidade de saber calcular as condutncias a
partir das especificaes dos tubos, para poder fazer os clculos acima. o que veremos a seguir.
Regimes de Escoamento
J tratamos no captulo 1 da caracterizao dos regimes viscoso, molecular e intermedirio
(veja eqs. 33 a 36, Cap. 1), utilizando a razo entre o nmero de choques intermoleculares e o
nmero de choques molculas-paredes. Vamos tratar agora do mesmo assunto, mas utilizando
outros parmetros para distinguir os trs estados.
O escoamento viscoso, como o prprio nome indica, aquele em que o efeito da viscosidade
se faz presente. Isto ocorre quando o nmero de choques inter-moleculares muito maior que o
nmero de choques molcula-parede, ou, equivalentemente, quando o livre caminho mdio
pequeno comparado com as dimenses do recipiente em que o gs est. A experincia diz que o
escoamento viscoso, quando se d em baixas velocidades, pode ser descrito pelos conceitos da
hidrodinmica, como o de linhas de corrente e tubos de corrente, regime que denominado lamelar,
pois pode-se seguir a trajetria das "partculas" que definem o fluido. No entanto, em altas
velocidades, o escoamento no mais pode ser descrito desta maneira, pois aparecem fortes
perturbaes no fluxo na forma de vrtices, que impede a descrio do movimento do fluido pelos
conceitos acima referidos. Neste caso o escoamento chamado turbulento, e a sua descrio feita
atravz de parmetros adimensionais, que descrevem o movimento como um todo. Um desses
parmetros chamado nmero de Reynolds Re, dado por
Re =
j D v
j
..(14). Nesta expresso, a densidade do fluido, D o dimetro da tubulao, ou
uma dimenso tpica do recipiente em que o escoamento se d, v a velocidade do fluido e a
sua viscosidade. A experincia diz que escoamentos com Re > 2100 so totalmente turbulentos,
enquanto que escoamentos com Re < 1100 so totalmente lamelares. Para Re's intermedirios, o
escoamento parcialmente turbulento. claro que estes limites dependem do estado da superfcie
4
do tubo, mas descrevem bem a maior parte dos casos prticos. Esta expresso do nmero de
Reynolds pode ser colocada em termos de vazo de massa e de presso, utilizando os seguintes
argumentos: definimos Q=PS=P
A V
A t
=P v
n D
2
4
(15). Nesta equao, v a velocidade do
fluido. Como
j=n m=
M P
R T
- Re =
M P
R T
4 Q
n D
2
P
D
j
=
4 M
n R T j
Q
D
(16), que nos permite
obter o nmero de Reynolds utilizando os parmetros que definem o gs (M e ), a vazo de massa
e a tubulao (D). Para o ar a 20
o
C, = 1,829.10
-4
poise, R = 62,364 torr.litro/K e M = 28,98 g, de
modo que a eq. 16 torna-se:
Re =11,04
Q
D
(17) (Q expresso em Torr.litro/s e D em cm), o que uma maneira prtica de se
determinar o nmero de Reynolds, e portanto, o regime de escoamento viscoso, para o ar, que o
fluido mais importante para a tecnologia de vcuo. Utilizando os limites Re > 2100 e Re < 1100
para a definio de escoamentos turbulentos e lamelares, podemos re-escrever estes limites como: Q
> 200 D para escoamentos turbulentos e Q < 100 D para escoamentos lamelares.
O escoamento molecular, como j discutido antes, aquele caracterizado por livre caminho
mdio do gs maior que as dimenses das tubulaes ou recipientes em que o gs est. Para se ter
um critrio similar ao do nmero de Reynolds, que permite determinar se um escoamento viscoso
turbulento ou no, introduz-se o parmetro adimensional chamado nmero de Knudsen, definido
como sendo N
K
=
D
\
(18). A experincia indica que, para
N
K
> 110 Escoamento viscoso
1 < N
K
< 110 Escoamento intermedirio
N
K
< 1 Escoamento molecular
Utilizando a eq. 22A do captulo anterior, que diz que .P = 5.10
-3
para ar a 20
o
C, as condies
acima para o nmero de Knudsen tornam-se:
D

P>510
-1
Escoamento viscoso
510
-3
D

P510
-1
Escoamento intermedirio
D

P510
-3
Escoamento molecular
Nestas expresses D expresso em cm e

P , expresso em torr, a presso mdia na tubulao.


Condutncias
Vamos agora apresentar as condutncias de dois elementos importantes para sistemas de
vcuo, que so os tubos e orifcios. Para facilidade de compreenso, vamos apresentar primeiro as
frmulas das condutncias destes elementos para o regime molecular, em seguida para o regime
viscoso, e finalmente a formulao de Knudsen para o regime intermedirio.
5
Condutncia de orifcio no regime molecular de escoamento
Consideremos dois recipientes com presses P
1
> P
2
interligados por um orifcio de paredes
finas de rea A, como ilustrado na Fig. 2.4.
Fig. 2.4: Fluxo atravs de um orifcio
Estabelece-se um escoamento do recipiente 1 para o recipiente 2 porque existe uma diferena de
presso P
1
P
2
entre os dois lados do orifcio, e, se P
1
e P
2
so constantes, a diferena de presso
tambm o , e o escoamento estacionrio. Para calcular o escoamento, vamos levar em
considerao que o fluxo de molculas do lado 1 para o 2 dado por (ver eq. 11, Cap. 1)
Q
12
=k T+
1
A=
1
4
k T n
1

v A , enquanto o fluxo reverso dado por


Q
21
=k T+
2
A=
1
4
k T n
2

v A . O fluxo lquido Q dado pela diferena destes dois fluxos, ou


seja, Q=Q
12
-Q
21
=
1
4
k T

v A( n
1
-n
2
) (19). Utilizando a equao de estado dos gases ideais,
temos que n
1
=
P
1
kT
, n
2
=
P
2
kT
, e portanto, Q=
1
4

v A ( P
1
-P
2
) (20). Ou seja, a condutncia
do orifcio ser dada por C=
Q
P
1
-P
2
=
1
4

v A (21). Utilizando a expresso da velocidade
mdia (eq. 5, Cap. 1), essa condutncia pode ser escrita: C=
Q
P
1
-P
2
=
k T
2 n m
A (22).
Substituindo os valores numricos para o ar, obtemos C=3,64
T
M
A (23), com T em Kelvin,
M em gramas e A em cm
2
e C em litro/s. Para o ar a 20
o
C, temos a frmula prtica C=11,8 A
(24), com A em cm
2
e C em litros/s.
Condutncia de tubo no regime molecular
Vamos considerar inicialmente tubos longos. A condutncia obtida de consideraes sobre
a transferncia de momentum do gs para as paredes do tubo e de foras que atuam no gs devido a
6
Q
12
Q
21
Q
P
1
P
2
diferenas de presso (ver Roth), seguindo argumentos de Knudsen. O resultado para a condutncia
de tubo de seco cilndrica com dimetro D e comprimento L grande comparado com D dada
por:
C
m
=
8
3 n
2 k T
m
D
3
L
(25), com m a massa da molcula. Para o ar podemos colocar esta
expresso como
C
m
=3,81
T
M
D
3
L
(26), com T em Kelvin, M em gramas, D e L em cm e C
m
em litros/s. Para T = 20
o
C, esta expresso torna-se C
m
=12,1
D
3
L
(27), que uma frmula
prtica para o clculo de condutncias de tubos cilndricos longos no regime molecular.
No caso de tubos curtos necessrio introduzir uma correo para dar conta do efeito do
orifcio na ligao do tubo com a cmara (Roth), e a expresso para a condutncia de tubos curtos
fica
C
m,curto
=
C
m
(
1+
4
3
D
L
)
(28). Se o tubo longo, ou seja, se D << L, a expresso no denominador
aproxima-se da unidade e C C
m
. Ou seja, a eq. 28 d a expresso geral para a condutncia de tubos
de seco circular no regime molecular. A Fig. 2.5 mostra grficos da condutncia de tubos para o
ar a 20
o
C, calculados pela eq. 28, com os dimetros dos tubos dados em cm como parmetros das
curvas.
Fig. 2.5. Condutncia de tubos de seco circular no regime molecular.
Condutncia de orifcio no regime viscoso
Vamos examinar a situao de termos dois recipientes a presses P
1
> P
2
ligados por um
orifcio de paredes finas de rea A, e com os valores de presso tais que o livre caminho mdio
muito menor que as dimenses dos recipientes, ou seja, o escoamento ser no regime viscoso. Nesta
situao, a vazo de massa dada por (Lewin):
Q=
2 R T
M(-1)
r 1-r
-1

P
1
A (29), com r =
P
2
P
1
, =
c
p
c
v
. Como C=
Q
P
1
-P
2
, a
7
condutncia o orifcio fica: C=
9,31
1-r
r
1

2 T
M(-1)
(
1-r
-1

)
A (30), onde se colocou R =
62,36 torr.litro/K. Para o ar a 20
o
C, = 1,44 e M = 29 g, e a eq. 30 pode ser escrita como
C=
76,6
1-r
r
0,712
(1-r
0,286
) A (31). Esta equao vlida para r 0,52. Para r 0,52, vale a
expresso C-20
A
1-r
(32), e no caso especial em que r 0,1 esta expresso se reduz a
C-20 A (33). preciso notar que a condutncia do orifcio funo das presses em ambos os
lados, e somente fica independente das presses no limite r 0,1.
Condutncia de um tubo de seco circular no regime viscoso
A condutncia de um tubo de seco circular no regime viscoso ser dada pela equao de
Poiseuille, que vlida para escoamento lamelar e fluidos incompressveis. Para o caso de gases,
esta aproximao ser suficiente desde que seja obedecida a condio Q
10
-3
12
n D
2
P v
s
, em
que v
s
a velocidade do som em cm/s, D o dimetro em cm e P a presso em torr. A condutncia
de um tubo longo ser dada por C
v
=
n
128
D
4
j L

P (33). Nesta equao D o dimetro, L o
comprimento do tubo,

P a presso mdia do gs no tubo e a viscosidade do gs. Uma forma
prtica desta equao :
C
v
=3,2710
-2
D
4
j L

P (34), para a qual C em litro/s, D e L em cm,

P em torr e em poise.
Para o caso de um tubo curto, a expresso da condutncia deve ser corrigida, ficando
C
v
=3,2710
-2
D
4
j L
(
1
1+7,3110
4
M Q
j T L
)

P
(35).
O tubo ser considerado longo quando 7,3110
-4
M Q
j T L
<1 , caso em que as equaes 34 e 35
so aproximadamente iguais. A Tabela 2.I d a viscosidade de diversos gases a 20
o
C, e faz a
comparao com a viscosidade do nitrognio.
8
Tabela 2.I: Viscosidade de alguns gases a 20
o
C
Gs
( poise)
C
gas
/C
N
N
2
175 1
O
2
203 0,86
Ar 182 0,96
H
2
88 2
He 196 0,89
Argnio 222 0,79
CO
2
147 1,2
H
2
O 94 1,9
Hg 235 0,75
Condutncia de tubos longos no regime intermedirio
Knudsen colocou a seguinte relao entre a condutncia no regime intermedirio e as
condutncias nos regimes viscoso e molecular:
C
K
=C
v
+Z C
m
(36), para a qual C
v
e C
m
so dadas pelas equaes 34 e 25, respectivamente, e o
parmetro Z dado por Z=
1+1,25
D

\
1+1,55
D

\
(37), com

\ o livre caminho mdio correspondente
presso mdia. A equao 36 vale em todos os regimes de escoamento. No regime viscoso,
D

\
>1 , e o valor de Z 0,8. No regime molecular,
D

\
<1 , e o valor de Z 1. Ou seja,
0,8<Z<1
. A equao 36 pode ser escrita na forma C
K
=C
m
(
C
v
C
m
+Z
)
. Utilizando as
equaes 25 e 34 para o parnteses, obtemos C
K
=C
m
(
0,074
D

\
+Z
)
(38), de onde se conclui
que no regime molecular C
K
C
m
. Re-escrevendo a equao 36 na forma C
K
=C
v
(
1+Z
C
m
C
v
)
podemos concluir, por um procedimento anlogo ao usado para a equao 38, que no regime
viscoso C
K
C
v
.
As expresses acima colocadas permitem-nos calcular a condutncia de orifcios e tubos de
seco circular em todos os regimes de escoamento, com frmulas prticas para o caso do ar. No
entanto, outras geometrias de tubos, e tambm outros elementos de vcuo podem ser calculados.
Estes clculos, mais complexos, esto fora do escopo desta apostila. O leitor interessado poder
consultar os livros de Roth e de Wutz para estes outros clculos de condutncias.
9