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LaPTec

Aspectos
Fundamentais de
Gases Ionizados

Plasma Polymerization, H. Yasuda, Academic Press, 1995, cap.4.


Plasma Deposition, Treatment and Etching of Polymers, R. d’Agostino
(ed.), Academic Press, 1990.
LaPTec
Aspectos Fundamentais de
Gases Ionizados

1. Introdução
2. Tratamento Macroscópico de Descargas Luminescentes
3. Tratamento Microscópico de Descargas Luminescentes
4. Critério de Plasma
Introdução
Plasma

Gás ionizado: espécies carregadas positiva e Geração: altas temperaturas


negativamente como também neutras

Molécula a 10000 K - ionizada


Exemplos

Sol e outras estrelas – 5000 a 70000 K

Espaço entre as Galáxias: plasmas de baixa densidade

The remnant of Tycho's Supernova, a huge ball of expanding plasma.


The blue outer shell arises from X-ray emission by high-speed electrons.
Tochas e Chamas Northern Lights Fenômenos Naturais
Iluminação

Geração de energia

Propulsores

Desenvolvimento de Tecnologia
Definição Clássica

“Gás ou vapor que conduz a eletricidade e é, ao mesmo tempo,


eletricamente neutro, fluidico, quente e viscoso”.

Definição Moderna

“Gás consideravelmente ionizado”.

Complexo

* Elétrons
* Íons
* Átomos e Moléculas Neutros e Excitados
* Fótons - Plasmas de Descarga Luminescente

 Frio – Plasmas Frios


Meios de Excitação

* Calor, choques, radiação, combustão, reações nucleares e descargas elétricas

Manutenção

* Perda de energia para o ambiente: energia deve ser fornecida → na mesma taxa em que é
perdida

Meio mais comum: plasmas excitados por campos elétricos – Plasmas de descargas elétricas

Tipo: vários – presença de um campo elétrico e elétrons livres.

Descarga Luminescente: processamento de materiais


Plasmas de Descargas Luminescentes

Fonte de
Excitação Entrada
de Gases
Geração: gás ou composto
e- e- e- e- e orgânico a baixa pressão
e- e- e- e- e – Reator
e- e- e- e- e
ou câmara de vácuo
e- e- e- e- e
e- e- e- e- e
e- e- e- e- e- Início: elétrons livres do gás

Manutenção: mais elétrons, íons,


Bomba de radicais, espécies em estados neutros e
Vácuo excitados

Região entre os eletrodos:


luminescente – propriedades que
dependem da tensão e corrente da
descarga.
quantized
Tratamento Macroscópico de Descargas Elétricas

 Forma característica – 0,1 e


10 Torr.

Regiões Características

A: I é muito baixa: depende da velocidade


dos íons e elétrons
Gás – condutor Ohmico: condutividade
depende da velocidade
da produção, taxa de recombinação e
mobilidade das cargas.

B: I independe de V. Limitada pela


concentração de cargas.

C: aumentando-se V : I cresce
elétrons têm energia suficiente
ionizar – novos pares
avalanche de cargas origina tensão de
ruptura em resposta à variação brusca na
corrente.
Tratamento Macroscópico de Descargas Elétricas

E: Espécies bombardeiam catodo – elétrons


secundários: descarga auto-sustentada.
Novos pares são gerados pela aceleração de
elétrons secundários.

Gás – brilhante
Tensão constante
Descarga Luminescente

Tensão constante
Corrente aumenta:
Descarga luminescente normal
Tratamento Macroscópico de Descargas Elétricas

F: Aumentando-se a V: aumenta-se a I que


se torna uma função de V até um Vmáx
(anormal)

G: Aquecimento excessivo - emissão


termoiônica
I aumenta muito – descarga mantida a baixa
V e alta I: arco elétrico.

Descarga Luminescente
Zonas luminosas e diferença de potencial
constante.
O tamanho - pressão e distância entre os
eletrodos.
Descarga DC - Regiões Luminescentes

Catodo - Descarga Negativa – íons acelerados e elétrons repelidos.


* Diferença de Potencial – recai sobre esta região – espaço de Aston, luminescência do catodo e o
espaço escuro de Crooke.
* Espessura: distância média percorrida pelo elétron – colisão: 1/p e à ddp entre os
eletrodos.

 Coluna Negativa: alta concentração de íons positivos – moléculas em estados excitados –


luminescência – íons negativos – radicais livres.

 Coluna positiva: condutora de corrente – definição de plasma: cargas positivas, negativas e


neutros - Corrente: elétrons.
Perda de elétrons: reposição (campo elétrico) colisões ionizantes
Coluna Positiva: uniforme – não é essencial para a manutenção da descarga
Descarga DC - Regiões Luminescentes

Importância: determinar a contribuição – processamento de materiais

Descarga Negativa

 Maior luminescência – maior concentração de espécies.


 Bombardeamento intenso catodo – deposição preferencialmente
 Pode ser eliminada (variando-se parâmetros) – coluna positiva: deposição similar eletrodos
– plasma menos agressivo.
 Deposição na região intermediária – descarga negativa presente – deslocar a coluna negativa
(diminuindo-se a pressão) para o meio dos eletrodos.
Tratamento Microscópico de Descargas Luminescentes
 Ionização de uma Molécula por um Feixe de Elétrons

elétron: é de alguma forma produzido em um gás – sob ação de um E – acelerado pela ação
da força:

F = q.E

como a massa do elétron é me e

F = m.a me.a = q.E

Portanto

a = qE/me

Com esta energia, 3 diferentes interações podem ocorrer:

- Baixas energias: colisões elásticas


- Altas energias: colisões inelástica: alteram a Eint → processos de excitação
- Mais altas energias: colisões inelásticas ionizantes → processo essencial para
estabelecimento e manutenção do plasma
Seção de Choque da Colisão Elétron-Átomo
Expressa a frequência de colisões. Para estudá-la utiliza-se o sistema ilustrado a seguir.

A – A´: anodos separados pela distância x.


K: catodo térmico
E0: tensão de aceleração

1) Catodo A´ possui buraco no centro


2) Tubo preenchido com um gás à baixa pressão
3) Distância entre K e A´ é mantida pequena para não
haver colisões entre e- e átomos do gás

* Elétrons gerados em K são acelerado para A´ por E0. Alguns passam pelo furo → feixe

F =q.E0 a = q.E/me v = (K/2me)1/2

* Quando alcança A, o elétrons é coletado pelo anodo contribuindo com a I circuito.


* Se colide no percurso entre A´e A – elétron não contribui com I.
A corrente depende do número de elétrons que chegam em A e portanto da frequência de
colisões
Seção de Choque da Colisão Elétron-Átomo
Avaliar a dependência entre a frequência de colisões, p e E0.

Resultados experimentais mostram que:

1) E0 = cte e p =cte I = I0 e-ax com I0 = I em x = 0


2) Para um dado gás a  n onde n é a densidade do gás
3) O valor de a depende de E0, ou seja, da energia do elétron.

a = F(E0)

Modelamento – baseado na teoria clássica que considera átomos e elétrons como


partículas esféricas. Considera-se o sistema ilustrado a seguir.
Seção de Choque da Colisão Elétron-Átomo
* Feixe de elétrons percorre a distância x e encontra dV contendo gás.

dV tem área frontal A e comprimento dx.

quando elétrons feixe colide com átomo está fora do feixe

* Quando o feixe sai de x e vai para x+dx, o número de elétrons do feixe

N → N + dN (com dN < 0)

dN – número de elétrons perdidos e está relacionado à probabilidade de colisão pr do elétron


colidir com um átomo em seu percurso pela expressão:

dN = - N. pr

Considera-se um volume com área frontal de 1 cm2 e dx de comprimento contendo n átomos. A


área frontal contém

n.dx (átomos)

 = . r2, seção de choque de um átomo do gás de raio r.


Portanto, a área superficial ocupada por átomos do gás e não disponível para a passagem de
elétrons:
Seção de Choque da Colisão Elétron-Átomo
.n.dx

E a área disponível para a passagem do feixe é: 1 - .n.dx

Portanto

pr = (.n.dx)/1 Como

dN = - N.pr então

dN= -N.(.n.dx)

Então: N= N0e-(.n.x)

que é idêntica à I = I0 e-ax

Com a = .n

Que satisfazem às condições 1 e 2. Já o resultado 3 é baseado nos conceitos da figura:


Seção de Choque da Colisão Elétron-Átomo
Altas energias -  é praticamente cte com a energia do elétron
Baixas energias -  depende de V

Comportamento dual do elétron.


Comprimento de onda de um feixe de elétrons acelerado a um potencial V:

 = (h/mev)  = (150/V)1/2 (Å)


 = (h/mev)  = (150/V)1/2 (Å)

150 V →  = 1 Å
6V → =5Å

Dimensões atômicas: 2 a 3 Å

* Baixas energias:  torna-se comparável às dimensões


atômicas – aspecto ondulatório do elétrons torna-se
preponderante.

* Altas energias:  diminui e  torna-se


aproximadamente constante.
Efeito da Colisão Elétron-Átomo

Colisão: elétron-átomo → 1) energia é transferida p/ um elétron do átomo


2) transforma-se em energia cinética

Considerando-se
K: energia transferida p/ o elétron do átomo
q: carga do elétron
Vi: potencial de ionização

1. K > qVi – átomo ioniza – carga positiva


2. qVi > K > 0 – átomo promovido nível de maior energia: excitado
3. K = 0 – elétrons: mantêm no estado fundamental – não há
mudança na estrutura interna.

K = 0 → Colisão Elástica: não causa variação na energia


interna em contraste às inelásticas
Processo Colisão
* ionização
* excitação
* aumento da energia cinética – colisão elástica
Seção de Choque:
= i + ex + el
Colisões Ionizantes

Probabilidade de ionização: colisão elétron primário → depende da energia do elétron

* e1 < qVi → probabilidade nula


* e1 > qVi → probabilidade de ionização cresce
* e1 >> qVi → probabilidade diminui → diminuição tempo de interação
→ transferência de energia: menos efetiva
Colisões de Excitação

Níveis Energéticos em um Átomo

* Vários níveis entre o fundamental e o necessário p/ ionizar o átomo


* Energia do estado excitado: representada pelo excesso de energia acima do estado fundam.
* Neônio – 16,53 eV
Se e1 < 16,53 eV → colisão elástica
Se e1 = 16,53 eV → excitação: deslocamento do elétron dentro do poço
Se e1 > 16,53 eV → pode ocorrer ionização: deslocamento p/ fora do poço
Colisões de Excitação
Estados excitados → tempos de vida curtos → 10-8 s.
e- → retorna p/ níveis de menor E até → fundamental → emissão de luz.
fótons → freqüência característica:

E = Em – En

E = h

h = Em – En

Mas  = c/  onde c: velocidade da luz


: comprimento de onda da radiação

 = hc/(Em – En)

 = 1240/(Em – En)

[] = [Å]

????? Como se varia a cor do plasma????


??? Para um mesmo gás, como se varia a cor do plasma?????
Espectroscopia de Emissão óptica + Método
Actinométrico: propriedades do plasma
Colisões de Excitação

Estados Excitados Estáveis → estados metaestáveis

→ representados por degrau mais largo


→ probabilidade de retorno c/ emissão de luz é baixa.

Estados Metaestáveis → permanecem no gás: excesso qVm


Colisão: energia transferida → partícula ou superfície → metaestável: estado fundamental
* Não há emissão de fóton
* Não têm efeito direto sobre o processo de ionização
* Fundamental importância → processo de ionização indireta
Interação Elétron-Espécies em Estados Metaestáveis

Se

- e1 < qVi – colisão e- molécula: não produz ionização

- e- colide – metaestável com e=qVm


energia do metaestável = qVm + e1
se e1  q(Vi – Vm) → ionização do átomo: possível

Densidade de espécies em estados metaestáveis cresce com a corrente.


Efeito Penning
Descoberto em 1937 pelo cientista alemão Frans Michel Penning:

“Tensão necessária p/ o estabelecimento do plasma diminui consideravelmente quando 0,1%


de Ar é misturado ao Neônio”
Processos:

Ne + e- → Ne+ + 2e-
Ar + e- → Ar+ + 2e-

Formação do metaestável do Ne → Ne* a ionização do Ar pode ocorrer pela colisão com Ne*

Ne + e- → Ne*+ e-
Ne*+ Ar → Ne + Ar+ + e-
Redução na tensão necessária p/ iniciar plasma de Ne → probabilidade de ionização pelo
mecanismo de 2 passos é muito maior → ionização direta

Vma > Vib

onde Vma: energia de excitação do estado metaestável


Vib: energia de ionização do gás VmNe = 16,6 eV
ViAr = 15,8 eV