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![Plasmas and Polymers Volume 2 issue 3 1997 [doi 10.1007%2Fbf02766151] Ritalba Lamendola; Riccardo d’Agostino; Francesco Fracassi -- Thin film deposition from hexamethyldisiloxane fed glow discharges](https://imgv2-2-f.scribdassets.com/img/document/593666472/149x198/4a43d15712/1710537745?v=1)
