TECNICA DE MOCVD

considerado crescimento por CVD, o processo onde pelo menos um dos componentes a ser
depositado sobre o substrato proveniente de um gs. Estes elementos possuem ligao
metal carbono, radicais carbonilados ou alquilas.
indicado para crescer filmes onde fazem presentes elementos refratrios. Tambm cresce
filmes cujos componentes apresentam baixa presso de valor tendo como vantagem o rpido
crescimento em relao tcnica MBE tendo a capacidade de crescimento de vrias pastilhas
no mesmo sistema bem como alta temperatura de crescimento.
Desvantagens: por apresentar reaes de fases no vapor, sendo essas de influncia
significativa na qumica de deposio, h uma dificuldade no controle das taxas de
crescimento. Tambm, no favorece a formao de interfaces abruptas comparadas a tcnica
de MBE; outro aspecto importante que libera os gases altamente txicos