DefeitosMecnicosProduzidosporIdentao.

Dispositivossemicondutorestmsetornadomuitoimportantesparaaindstriaporsuagrande
variedadedeaplicaescomo,porexemplo,emdispositivosemissoresdeluz(LEDs)eclulas
fotovolticas.Emgeral,duranteoprocessodeutilizaooufabricaodestesdispositivos,defeitos
mecanicossointroduzidos.Estesdefeitospodemnasuagrandemaioriaprovocaradeterioraoou
afetarofuncionamentodestesdisposivos.Emgeral,observaseemmateriaiscristalinos,quea
deformaoplsticainicialocorreatravsdepequenosdeformaes,emescalananomtrica,deplanos
atmicosdoscristaisformandodefeitoschamadosdediscordncias.Estasdiscordnciaspodemser
estveisounodependendodesuaextensoedatensomecnicapresentenadeformaoelsticaao
seuredor.Aevoluodestadeformaoplsticadependedadistribuiodetensoedataxade
deformao.Nocasodesemicondutores,suaspropriedadesmecnicasemecanismosdedeformao
temsidoestudadosbasicamentecomtcnicasdenanoindentao.Estesprocessosdedeformaoso
correlacionadoscomdescontinuidadesobservadasnascurvasdenanoindentaoeconsideraseque
marcam,ento,oinciodoprocessodedeformaoplsticadestesmateriais.Estadescontinuidadesso
chamadasdepopins.Humestudoestatsticodosdefeitosmecnicosintroduzidosnosemicondutor
GaN(nitretodeglio)atravsdatcnicadenanoindentao.Osdefeitossovisualizadospor
microscopiadeforaatmica(AFM)emicroscopiaeletrnicadetransmisso(TEM).Aprobabilidade
deformaodosdefeitospornanoindentaoanalisadacomoauxliodemodelosquepreveema
ativaotrmicadediscordnciasduranteoprocessodedeformaomecnica.Comestaanlise,
possveldeterminaraenergianecessriaparaaintroduodasprimeirasdiscordnciasno
semicondutoreovolumedeativaodestasdiscordncias.Asdeformaesplsticasnocristalso
estudadasatravsdoprocessodenanoindentaocomumnanoindentador(Triboscope,Hysitron).Esse
processoconsisteempressionarumapontaconoesfricadediamantecontraocristal.Ogrficode
foraemfunodotempoparaumaindentaogenricaapresentadonafigura1.

Apartirdogrfico,fcilnotarqueataxadevariaodaforaaplicadafoimantidaconstantedurante
ocarregamentoedescarregamentodocristal.Paracadaindentaorealizada,oequipamentogeraum
arquivodetextocontendoparesordenadosdeprofundidadedapontaefora.Opopinpodeser
visualmentepercebidocomoumadescontinuidadeemumgrficodeformaaplicadaemfunoda
profundidade.Aextensodopopin,porsuavez,definidacomoocomprimentodadescontinuidade,
ouseja,adiferenaentreosvaloresdeprofundidadeantesedepoisdadescontinuidade.Afigura2
ilustraogrficodeforaemfunodaprofundidadedapontaparaumadascentenasdeindentaes
realizadas.Adescontinuidadepresentenacurvadecorredaocorrnciadoeventodepopin.Aatual
interpretaoparaaexistnciadesseeventoodeslocamentodeumoumaisplanosatmicosgerando

umdefeitonocristal.Nessemomento,adeformaocristalinaabandonaoregimeelsticoepassaaser
plstica.Issoevidenciadonogrficopelofatodeacurvadedescarganaoretornarparaaorigem.