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MICROSCOPIA ELETRNICA DE VARREDURA

(MEV)
SCANNING ELECTRON MICROSCOPY
(SEM)

UMA INTRODUO
O QUE E O MICROSCPIO ELETRNICO?
COMO FUNCIONA?
COMO OCORREM AS INTERAES?
O QUE SE PODE OBTER COM O MEV?
COMO PREPARAR AS AMOSTRAS?
QUAIS AS APLICAES NA GEOLOGIA?

PRINCPIO DE FUNCIONAMENTO DO MEV


SUAS PARTES
Coluna do microscpio
- Canho eletrnico
Emisso termoeletrnica (Leo 430i)
Catodo de LaB6
Canho de emisso de campo
- Lentes magnticas
- Aberturas
- Sistema de varredura
Porta amostra
Sistema de vcuo
Detetores
Detetor de estado slido (SiLi) para os raios X
Detetor de estado slido anular para os eltrons retroespalhados
Fotomultiplicadora para os eltrons secundrios
Monitor (Tubo de raios catdicos)
Computador
Interface
Impressora

INTERAO ELTRON MATRIA


Tipos de Interao
Radiaes que escapam da superfcie da amostra
Eltrons secundrios
Eltrons retroespalhados
Eltrons Auger
Eltrons no canalizados
Luz (catodoluminescncia)
Raios X caractersticos
Raios X do espectro continuo

Interaes dentro da amostra


Pares eltrons buraco
Corrente absorvida

Informaes de eltrons transmitidos


Eltrons transmitidos (caso de amostras finas)
Eltrons difratados

Modos de Imagens no MEV

Imagem formada a partir dos eltrons secundrios (SE)

Imagem formada a partir dos eltrons retroespalhados (BSE)

Imagem formada a partir da corrente na amostra (SC)

Imagem formada a partir dos eltrons transmitidos (TE)

Imagem formada pela corrente induzida pelo feixe de eltrons (EBIC)

Imagem formada Catoluminescncia (CL)

Imagem formada por meio de Onda acstico-termal (TAW)

Imagem formada a partir dos eltrons retroespalhados difratados (BSED ou


linhas Kikuche)

Imagem formada a partir dos raios X caractersticos (TRIX)

Modos de analise no MEV


o

Qualitativo

Semi-quantitativo
Quantitativo

Eltrons Auger
Eltrons secundrios
Eltrons retroespalhados

Raios X caractersticos
Raios X do continuo
Fluorecncia
secundaria de raios

catodoluminescncia

Identificao dos picos

O sinal (pulso) processado,


convertido a voltagem V em
sinal digital para representar
os raios X no espectro

Detetor de eltrons secundrios

Detetor de eletrons retroespalhados

composicional

topografico

Detetor de raios X

APLICACOES
Paleontologia
Morfologia de fssil
Classificao de micro-fsseis
Sedimentologia
Morfologia de gros individuais e relao
de intercrescimento
Tipos de cimentao
Mineralogia
Morfologia do cristal em micro-escala
MEV + EDS
Identificao mineral via informao composicional
Zonao
Localizao de fases raras
Etc.

Distancia de trabalho