27 A 30 DE NOVEMBRO DE 2018

ANÁLISE ESTRUTURAL E ELETRÔNICA DE FILMES FINOS DE AZO

DEPOSITADOS POR CÁTODO OCO

José César Augusto de Queiroz1,3, Thércio H. de Carvalho Costa2,3

1Estudante de pós-graduação em Engenharia Mecânica, Universidade

Federal do Rio Grande do Norte, Natal-RN, Brasil;

2Professor na pós-graduação em Engenharia Mecânica, Universidade Federal

do Rio Grande do Norte, Natal-RN, Brasil;

3Laboratório LabPlasma, Departamento de Engenharia Mecânica, UFRN,

Natal-RN, Brasil
 SUMÁRIO

INTRODUÇÃO
ÓXIDOS CONDUTORES TRANSPARENTES – FILMES FINOS
MATERIAIS E MÉTODOS
RESULTADOS E DISCUSSÕES
RESULTADO EXPERIMENTAL
RESULTADO TEORICO
CONCLUSÕES
REFERÊNCIAS
AGRADECIMENTOS
1
 INTRODUÇÃO

ENVOLVIMENTO INDUSTRIAL DO SETOR DE FILMES FINOS

(B) (C)

(D)

2
 ÓXIDOS CONDUTORES TRANSPARENTES – FILMES
FINOS

Display de Células Solares de Diodos Emissores de Transistores de Film

stal Líquido Filmes Finos Luz Finos Transparente

O TCO tradicional, como o FTO e o ITO, não podem satisfazer o rápido desenvolvimen
sse campo.
O TCO baseado em ZnO é promissor e atraiu muita atenção: Barato, não tóxico, etc.

3
 ÓXIDOS CONDUTORES TRANSPARENTES – FILMES
FINOS
Figura 1: Espaço de composição dos TCOs.
TCOs – Óxidos Condutores Transparentes;
 Baixa resistividade elétrica (10-4 Ω.cm)

 Elevada transmitância óptica (~ 90%)

 Band gap largo (> 3 eV)

Dopagem dos TCOs;

 Tipo n (Sítios intersticiais)

 Tipo p (Vacâncias)

 Dopagem elevada (Aglomerados iônicos)

Fonte: (PASQUARELLI et al., 2011, p. 5409).

O TCO tradicional, como o FTO e o ITO, não podem satisfazer o rápido desenvolvimen
sse campo.
O TCO baseado em ZnO é promissor e atraiu muita atenção: Barato, não tóxico,3 etc.
 2: Valores de concentração de carga, mobilidade e espessura do
finos de AZO em relação ao fluxo de gás oxigênio. Figura 3: Espectro de transmitância e refletância dos filmes finos de A

Fonte: (DELAHOY, Alan E. et al, 2016, p. 1445). Fonte: (DELAHOY, Alan E. et al, 2016, p. 1445).
 MATERIAIS E MÉTODOS
Figura 4: Fluxograma do processo de deposição de filmes finos por catodo oco.

3
Fonte: (Elaborada pelo autor).
 MATERIAIS E MÉTODOS

a 5: Sistema de deposição de filmes finos por jato de plasma. Figura 6: Corte transversal do sistema de cátodo oco do reator de dep

3
Fonte: (FEITOR, 2010, p. 64). Fonte: (FEITOR, 2010, p. 65).
 MATERIAIS E MÉTODOS

Figura 7: Efeito de cátodo oco no interior no furo interno de um cátodo cilíndrico.

3
Fonte: (ALMEIDA, 2008, p. 76).
 RESULTADOS E DISCUSSÕES

• RESULTADO EXPERIMENTAL

• RESULTADO TEÓRICO

4
 RESULTADOS E DISCUSSÕES

ULTADO EXPERIMENTAL - DRX Figura 8: Padrões de difração de raio X para os filmes AZO1 (30 minutos) e
(60 minutos).

ela 1: Valores de FWHM e tamanho de cristalito relativos

pico (002).

in Film Time FWHM Crystallite size

(min) (rad) (nm)
O1 30 0.00347 43.1
O2 60 0.01072 13.9
Fonte: Elaborada pelo autor.

4
Fonte: Elaborada pelo autor.
 RESULTADOS E DISCUSSÕES

ULTADO TEÓRICO – Estrutura do Cristal

Figura 9: Célula unitária da ZnAl2O4 com estrutura otimizada.

bela 2: Valores de FWHM e tamanho de cristalito relativos

pico (002).

élula Grupo Energia interna

nitária espacial (eV)
Al2O4 Cubic Fd-3m -28,716.54
Fonte: Elaborada pelo autor.

4
Fonte: Elaborada pelo autor.
 RESULTADOS E DISCUSSÕES

ULTADO TEÓRICO – Estrutura do Cristal

Figura 10: Supercélula 2x2x2 do ZnO (a) e dopada ZnO:Al em
(b).
gura 3 (a), estrutura otimizada e
espacial Triclinic P1 e energia
a de -34,552.33;
gura 3 (b): supercelula dopada
tomos de Al (ZnO:Al);

tequiometria da supercelula 2x2x2

pada:
Zn (0.9375), Al (0.0625) O

4
Fonte: Elaborada pelo autor.
 RESULTADOS E DISCUSSÕES

ULTADO TEÓRICO – Estrutura do Cristal

Tabela 3: Valores de energia e parâmetros de rede das células experimental, otimizada e supercélula.

E (eV) Space group a = b (Å) c (Å) α=β γ V (Å3)

erimental
8.0660 8.0660 90 90 524.7768
cell Cubic Fd-3m

ptimized
-28,716.54 8.1140 8.1140 90 90 534.2729
cell Cubic Fd-3m

upercell
-34,552.33 Triclinic P1 6.5770 10.5870 90 120 396.5661
(ZnO)

upercell
-32,888.86 6.5620 10.6030 90 120 396.4317
ZnO:Al) Triclinic P1
4
Fonte: Elaborada pelo autor.
 RESULTADOS E DISCUSSÕES

ULTADO TEÓRICO – Estrutura de Bandas de Energia

Figura 4 (a): ZnO (Puro) Figura 4 (b): ZnO:Al (Dopado)

 Natureza do gap: Direto em Γ  Natureza do gap: Direto em Γ
(gama) ; (gama) ;
 Energia de gap igual a 3.40 eV;  Energia de gap igual a 2.70 eV;

4
Figura 11: Estrutura em bandas do ZnO (a) e ZnO:Al (b).

Fonte: Elaborada pelo autor.

 CONCLUSÕES

 Técnica de deposição por cátodo oco eficaz para deposição de

filmes finos óxidos;
 Construção de modelo teórico importante, para orientação dos
processo experimentais;
 Filmes finos depositados por cátodo oco com alto grau de
cristalinidade;
 Modelo teórico proporciona um estudo detalhado das
propriedades estruturais;

5
 REFERÊNCIAS

PASQUARELLI, R.; GINLEY, D.; RYAN, O. Solution processing of transparent conductors from flask to film
emical Society Reviews, v. 40, n. 11, p. 5406–5441, 2011. Disponível em
ttp://pubs.rsc.org/en/Content/ArticleLanding/2011/CS/C1CS15065K>.
DELAHOY, Alan E. et al. Metal oxides produced by hollow cathode sputtering, their utility in thin film
otovoltaics, and results for AZO. In: Photovoltaic Specialists Conference (PVSC), 2016 IEEE 43rd. IEEE
16. p. 1443-1448.
FEITOR, Michele Cequeira. Efeito antibacteriano de tecidos têxteis revestidos por prata através d
cnica de deposição por plasma. 2010.
ALMEIDA, Edalmy Oliveira de. Construção, caracterização e aplicação de eletrodos para descarga po
co de cátodo oco. 2008.
KIM, Jongbum et al. Optical properties of gallium-doped zinc oxide—a low-loss plasmonic material: firs
nciples theory and experiment. Physical Review X, v. 3, n. 4, p. 041037, 2013.
LI, Luyan et al. First principles calculations of electronic band structure and optical properties of C
ped ZnO. The Journal of Physical Chemistry C, v. 113, n. 19, p. 8460-8464, 2009.

6
 AGRADECIMENTOS

Ao laboratório de processamento de materiais por plasma d

departamento de Engenharia Mecânica, ao laboratório de química do estad
olido do Instituto de Química e ao laboratório de caracterização da Escola d
Ciência e Tecnologia, UFRN-Brasil, pelas análises realizadas. A Capes pe
bolsa de estudos.

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