Instrumentação Industrial

Sensores de Grandezas
Mecânicas
Leonardo A. B. Tôrres

Janeiro de 2004

DELT/UFMG
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Resumo
Sensores capacitivos, piezoelétricos, piezoresistivos,

MEMS capacitivos.

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O Efeito Piezoelétrico
• Produção de um cristal piezoelétrico:
1. Monocristais e policristais

2. Orientação dos dipolos moleculares:

3. Efeito Piezoelétrico:

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Efeito Piezoelétrico  Aplicações

• Sensores de vibração,

• Acelerômetros:

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Efeito Piezoresistivo
Mudança na resistência de materiais semicondutores
(ex.: silício, germânio) em função da deformação (Smith,
1954).
• Sensor de pressão de calibração (gauge pressure
⇒ em relação à pressão atmosférica):

• Sensor de pressão diferencial:

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Outros Dispositivos MEMS

MEMS  Microelectromechanical devices .
• Acelerômetro capacitivo (ADXL202):

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Sensores de Velocidade Angular

• Magnéticos: efeito Hall; indutância variável.

• Ópticos: Encoder incremental; efeito estrobos-

cópico.

• Eletromecânicos: geradores DC ou AC; arrasto

eletromagnético.

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