Concepção de Circuitos Integrados 1

4 Regras de Projeto
Regras de Projeto

Acordo entre Projetista e Engenheiro

Projetista de Circuito:
Desenhos menores e mais “apertados” (alta performance)

Engenheiro responsável pela fabricação físico-química:

Yield elevado

2
Regras de Projeto
Regras lambda
REGRAS PARAMETRIZADAS 3
Valor de lambda é definido em função da tecnologia

1 lambda = X micra 3,5

N+ 5 N+

2,5
Poço N poço N
Area ativa(n+) 5
Area ativa(p+) 3
Polisilício
Metal1 3,5
Metal2 N+
Contatos e Vias P+ 5 P+

3
Regras de Projeto
Regras lambda
6 N+
4,5
12

5
10 3

N+
6 2,5
P+
P+ 3,5

poço N
12

N+

4
Regras de Projeto
Regras lambda

5 5 1

1 6
via
2,25
1 5 5
3 3
3 4 4
4 5
0,5
3 contato
2,5 4

5
Regras de Projeto
Regras lambda
3

6 1

2,5
2,25

5
6
Regras de Projeto
Regras lambda

VDD

6 1

2,5 6

2,25

3
VSS

7
Regras de Projeto
Camada Cor Representação
Poço n Verde
Poço p Bege
Area ativa(n+) Verde
Area ativa(p+) Amarelo
Implante p+ Laranja
Polisilício Vermelho
Metal1 Azul Escuro
Metal2 Magenta
Metal3 Violeta
Metal4 Azul Claro
Metal5 Vinho
Metal6 Azul água
Contatos e Vias Preto

8
Regras de Projeto
Regras 0,25 0,25 µm

0,3 µm
0,35 µm 0,3 µm
0,35 µm
0,5 µm
N+ N+
0,5 µm
P+ P+
poço N

0,5 µm

N+ P+

9
Regras de Projeto
Zonas ativas

N+
1,2 µm
0,6 µm
1,0 µm

0,6 µm 0,5 µm

P+ N+

poço N P+

1,2 µm 0,35 µm

N+

10
Regras de Projeto
Polisilício

0,25 µm 0,3 µm
0,25 µm
0,2µm

SiO2
0,45 µm 0,45 µm
0,35 µm Poli sobre
0,45 µm corner não
é permitido!

0,3 µm

0,25 µm

11
Regras de Projeto
Implante P+
0,5 µm
0,5 µm
0,5 µm

0,5 µm
0,25 µm
0,25 µm

0,25 µm 0,25 µm

12
Regras de Projeto
Contatos
0,5 0,1
0,5
0,1
0,225
0,5
0,3 µm
0,3
0,3 0,4
0,4
0,1 0,5 µm
0,3 µm
0,25 µm

13
Regras de Projeto
Metais
0,6 0,5

0,4 1µ
0,6 0,2 0,2
0,6 1µ
1,8 µm
1µ 0,05 contato
0,5 0,5

0,4 0,4

0,4 0,5 µm METAL

Via 1 M1
0,1 0,5 M2
0,6 M3
0,1 M4
0,5 0,5 0,5 M5
0,4 M6

14
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4 Regras de Projeto