F 640

Introduo Cincia e Tecnologia de Vcuo

Prof. Sergio Gama
Agosto/2002
1
Captulo I
Introduo
Vcuo um assunto que, desde que o homem adquiriu a faculdade de refletir sobre o mundo
que o rodeia, tem fascinado os filsofos e cientistas. Desde o tempo de Aristteles tem-se a noo
de que o vcuo, significando um espao vazio, uma impossibilidade lgica. Esta idia permaneceu
aceita desde o tempo dos gregos at meados do sculo XVII, quando Evangelista Torricelli realizou
sua famosa experincia de emborcar um tubo de vidro cheio de mercrio em um recipiente tambm
contendo mercrio, e observou uma coluna de aproximadamente 76 cm sustentar-se. Esta
experincia um marco porque mostrou, pela primeira vez, que poderia haver um espao "vazio"
acima da coluna de mercrio. Alm disso, foi prova indiscutvel de que o mar de ar que forma a
nossa atmosfera exerce uma presso, que poderia ser medida atravs da altura da coluna de
mercrio, o que foi magistralmente mostrado por Pascal e seu cunhado Perier ao levar um sistema
de Torricelli ao pico de uma montanha, anotando a variao da altura da coluna.
A crena de que o vcuo era impossvel ("a natureza tem horror ao vcuo") manteve-se, com
aceitao geral, desde Aristteles at Torricelli, por aproximadamente 1900 anos. A partir da
verdadeira revoluo cientfica e tecnolgica iniciada por Torricelli, vimos aproximadamente 350
anos de desenvolvimentos muito marcantes nesta rea, at chegarmos ao ponto em que a tecnologia
de vcuo imprescindvel cincia e tecnologia moderna. Abaixo, faremos um histrico dos
principais desenvolvimentos da cincia e da tecnologia de vcuo, desde Torricelli at os dias atuais.
Em relao ao nosso curso, ele tem o objetivo de introduzir ao aluno os fundamentos da
teoria e da prtica de vcuo, entendido principalmente como tecnologia, usada para se atingir um
fim, seja industrial (em processos) ou cientfico (experimentos). Neste contexto, no nos deteremos
na anlise detalhada dos conceitos e das dedues de frmulas que usaremos no curso, mas vamos
simplesmente apresent-los atravs de explicaes sucintas. No entanto, para os mais interessados,
segue, no final deste captulo, um conjunto de referncias para consulta, onde se poder encontrar os
detalhes que sero omitidos do nosso texto. Alm da parte terica, o curso consiste tambm em um
conjunto de experincias que visam ilustrar, de modo concreto, alguns dos principais conceitos da
tecnologia de vcuo. Estes experimentos so descritos em uma apostila separada desta.
Desenvolvimento histrico
Como colocado acima, os gregos colocaram a impossibilidade lgica da existncia de vcuo,
expressa no dito "a natureza tem horror ao vcuo". Esta noo foi aceita desde os tempos de
Aristteles at meados do sculo XVII, quando surgiram os primeiros experimentos mostrando que
o ar tem peso e que tambm exerce uma presso significativa. Torricelli foi o primeiro, em 1644, a
mostrar e explicar o experimento da sustentao da coluna de mercrio em um tubo de vidro
emborcado em um recipiente j contendo mercrio, como resultado do equilbrio entre duas
colunas, uma de ar e outra de mercrio, e que o espao livre acima do mercrio no tubo no estava
ocupado por nada vcuo, portanto, e este vcuo impedia a transmisso de som, mas permitia a
passagem de luz e da atrao magntica. Imediatamente em seguida, Pascal e seu cunhado Perier
mostraram, em 1648, que a presso atmosfrica varia com a altura. Este experimento mostrou, por
sua vez, que a coluna de Torricelli podia ser usada como um medidor de vcuo, o que ocorreu
durante muito tempo, tendo este mtodo sobrevivido at nossos dias. A utilizao do sistema
Torricelliano tambm constitui a primeira bomba de vcuo, de um nico movimento, e foi
aperfeioada mais tarde, resultando na chamada bomba de Sprengel, a ser descrita abaixo.
Iniciando em 1640, Otto von Guericke na Alemanha realizou diversos experimentos sobre
2
vcuo, que o levou ao desenvolvimento da primeira bomba mecnica de vcuo. Seus primeiros
experimentos usaram uma bomba d'gua adaptada para esvaziar um barril de gua. Dada a
dificuldade desta empreitada, von Guericke modificou a bomba para a retirada de ar do barril, mas a
impossibilidade de vedao levou-o a usar hemisfrios de cobre selados com tiras de couro
(molhadas com mistura de cera com terebentina). Com isso, von Guericke demonstrou a
possibilidade de usar vcuo para exercer grandes foras, como espetacularmente demonstrado pelo
seu famoso experimento dos hemisfrios de Magdeburgo, em 1654, em que duas parelhas de oito
cavalos no foram capazes de separar dois hemisfrios de dimetro de 119 cm. Com isso, von
Guericke aperfeiou a bomba mecnica de vcuo, melhorando sua vedao, aperfeioando a vlvula
de sada (cujo esquema ainda usado hoje, substituindo gua por leo) e diminuindo o espao
morto no corpo da bomba. Desenvolvimentos posteriores seguiram a trajetria de aperfeioar o
esquema de von Guericke, que se estendeu at o final do sculo XIX, seguido de um retorno ao
conceito torricelliano de bombas de "pisto" lquido de mercrio, seguido do aparecimento das
bombas mecnicas rotativas, e de adaptaes de bombas de jato de vapor, turbo-mecnicas e
finalmente bombas baseadas em ionizao, combinao qumica, adsoro e adsoro criognica.
O desenvolvimento das bombas de vcuo levou ao correspondente desenvolvimento de
medidores de vcuo. O primeiro deles foi a prpria coluna de mercrio de Torricelli (desenvolvida
por Boyle ao redor de 1660) capaz, com adaptao de verniers ou sistemas pticos, de medir
presses com preciso de 0,001 mm de Hg. Em seguida, em 1874, H. G. McLeod introduziu o seu
medidor, no qual se comprime um grande volume de gs a baixa presso no pequeno volume de um
capilar, e utilizando a lei de Boyle, pode determinar, com preciso, a presso inicial do gs. Este
tipo de medidor absoluto, e embora difcil (complicado) para usar, constitui at hoje um padro
primrio para medidas de presso desde 1 at 10
-6
mm Hg. No final do sculo XIX (1897) surgiram
os medidores baseados em viscosidade dos gases, cuja aceitao no foi muito grande. No incio do
sculo XX (Pirani, 1906) tivemos o desenvolvimento dos primeiros medidores de vcuo baseados
na medida da condutividade trmica de gases, que, devido facilidade de manuseio e sua robustez
e resistncia mecnica, tiveram ampla aceitao at os dias de hoje. Quase que simultaneamente
houve o desenvolvimento dos medidores de vcuo radiomtricos por Knudsen em 1910, cuja
aceitao, tal como aconteceu com os medidores base de viscosidade, foi menor que a dos
medidores de condutividade trmica. Tambm no incio do sculo XX tivemos o aparecimento dos
primeiros medidores de vcuo baseados em ionizao do gs residual, levando-se ao
desenvolvimento de medidores chamados de catodo quente (1916) ou catodo frio (1937). Os
medidores de ionizao de catodo quente sofreram diversos melhoramentos, chegando a um limite
inferior de medida de aproximadamente 10
-8
mm Hg, quando foi demonstrado que esse limite
advinha da gerao de raios X moles que forneciam uma foto-corrente cujo valor correspondia a
este limite de presso. Bayard e Alpert (1950) modificaram o projeto do medidor de modo a
minimizar esta foto-corrente, levando o limite do medidor a 10
-10
mm Hg, e permitindo, pela
primeira vez, medidas de vcuo no intervalo de presses que hoje denominamos de ultra-alto-vcuo.
Hoje em dia, modificaes deste tipo de medidor levam a medidas at o limite inferior de 10
-14
mm
Hg (Lafferty, 1961), podendo-se estender este limite para 10
-18
mm Hg. Tambm o medidor de
catodo frio sofreu diversas modificaes, tendo seu limite inferior levado para 10
-12
mm Hg. Estes
medidores so bastante robustos, e com os medidores de condutividade trmica, formam um par
para medidas de vcuo desde presses ambientes at 10
-7
mm Hg, de alta popularidade nos dias de
hoje.
A par do desenvolvimento de bombas e de medidores de vcuo, tivemos o desenvolvimento
muito importante dos assim denominados componentes de vcuo. O mais importante deles,
inicialmente, certamente foram os elementos de vedao entre as diversas partes que compunham
um sistema de vcuo. Como j colocado no caso da descrio dos experimentos de von Guericke
relativos aos hemisfrios de Magdeburgo, os primeiros elementos de vedao eram tiras de pano ou
couro embebidas com um lquido, gua ou leos, ou misturas como ceras com terebentina. Para o
caso de sistemas construdos com vidro, eram muito comuns juntas cnicas esmerilhadas ou
desbastadas (lixadas) molhadas com leo ou Hg, muitas vezes com uma certa quantidade de
3
mercrio no interstcio entre a parte externa e a interna da juno. Muitas vezes, a cmara de vcuo
de vidro era totalmente selada, por fuso do tubo de conexo ao sistema de bombeamento, aps se
atingir a presso final do sistema de bombeamento, sendo o vcuo ainda melhorado atravs do uso
de substncias absorsoras encapsuladas na cmara, e ativadas aps o selamento desta. J no final do
sculo XIX era muito bem apreciada a importncia de se aquecer um sistema de vcuo para se poder
atingir presses baixas, advindo da dessoro da parte gasosa presa s paredes da cmara de vcuo.
Esse procedimento padro hoje para se trabalhar na regio denominada de ultra-alto-vcuo. Outro
componente de vedao muito importante apareceu durante a II guerra mundial, aliado ao
desenvolvimento da aviao, e corresponde aos anis de borracha de tamanhos padronizados, o que
permitiu uma flexibilidade muito grande na montagem de sistemas de vcuo. Esses anis passaram
a ser fabricados em diversos tipos de plsticos, incluindo silicone e um plstico denominado Viton,
que permite um certo grau de aquecimento, permitindo um grau razovel de degaseificao de
sistemas de vcuo. Evidentemente, para aplicaes em ultra-alto-vcuo, todo o sistema construdo
em metal, incluindo os anis de vedao, os mais usuais fabricados de cobre de alta pureza. Um
terceiro componente extremamente importante para a tecnologia de vcuo so os passantes,
inicialmente construdos de um metal selado a algum tipo de vidro, e hoje contando com uma
multitude de materiais metlicos e de vidros, alm de passantes metal-cermicas. Tivemos tambm
o desenvolvimento de armadilhas e das conexes de vcuo, que tambm sofreram um processo de
padronizao, encontrando-se hoje conexes especficas para todas as regies de vcuo. Finalmente,
tivemos o desenvolvimento das vlvulas de vcuo, que inicialmente eram adaptadas de torneiras
comuns, e que hoje so fabricadas especificamente para esta finalidade, e de acordo com o intervalo
de presses, podendo ser muito simples no caso de baixo vcuo ou muito complicadas, fabricadas
todas em metal, no caso de aplicaes de ultra-alto-vcuo.
Coloca-se abaixo a Tabela I mostrando, de modo no exaustivo, os principais marcos do
desenvolvimento cientfico e tecnolgico de vcuo.
Tabela I:Principais marcos do desenvolvimento histrico da cincia e tecnologia de vcuo
Ano Autor Descoberta
1643-
44
Evangelista Torricelli Experimento da coluna de mercrio
1650 Blaise Pascal Variao da altura da coluna de mercrio com a altura
1654 Otto von Guericke Bomba mecnica de pisto, hemisfrios de Magdeburgo
1662 Robert Boyle, E. Mariotte Lei da presso e volume de gases ideais
1712 Thomas Newcomen Bomba de gua base de vapor d'gua
1775 A. L. Lavoisier Ar atmosfrico como mistura de nitrognio e oxignio
1783 Daniel Bernoulli Teoria Cintica dos Gases
1802 J. A. Charles, J. Gay-Lussac Lei do volume e temperatura dos gases ideais
1811 Amedeo Avogadro Nmero de Avogadro
1846 Isambard Brunel Trem de propulso atmosfrica (vcuo)
1852 W. R. Grove Primeira observao de evaporao catdica (sputtering)
1855/6
2
Geissler & Tpler Bomba de vcuo com coluna de mercrio alternante
1865/7
3
Sprengel Bomba de vcuo por gotejamento de mercrio
1874 H. G. McLeod Medidor de vcuo por compresso de gs
1879 T. A. Edison Lmpada incandescente de filamento de carbono
4
Ano Autor Descoberta
1879 W. Crookes Incio do estudo de descargas eltricas em gases rarefeitos
1880 Elster & Geitel Observao de emisso termo-inica
1881 J. van der Waals Equao de estado de gases reais
1883 Wroblewski & Olszewski Liquefao de oxignio e nitrognio
1892 James Dewar Recipiente de paredes duplas com vcuo neste espao (dewar)
1892 James Dewar Sugesto de bomba de vcuo por adsoro em carvo crio-resfriado
1895 W. K. Rntgen Descoberta dos Raios X
1902 A. Fleming Inveno do diodo a vcuo
1904 Arthur Wehnelt Catodo com xido para emisso termo-inica de eltrons
1905 Wofgang Gaede Bomba de vcuo rotativa de mercrio
1906 Marcelo Pirani Medidor de vcuo por condutividade trmica
1907 Lee De Forest Vlvula triodo a vcuo
1909 W. D. Coolidge Metalurgia do p de tungstnio, lmpada com filamento de W
1909 M. Knudsen Descrio do movimento molecular dos gases
1913 W. Gaede Sugesto de Bomba de vcuo por arraste molecular
1915 W. Gaede Sugesto de Bomba de vcuo difusora (mercrio)
1915 Irving Langmuir Lmpada incandescente com gs inerte
1916 Irving Langmuir Bomba de vcuo por condensao (mercrio)
1916 O. E. Buckley Medidor de ionizao de catodo quente
1917 W. W. Crawford Primeira bomba de vcuo difusora realmente operacional
1923 F. Holweck Bomba molecular (cilindro liso e carcaa tipo rosca varivel)
1935 W. Gaede Bomba mecnica com "gas balast" (lastro de gs)
1936 K. Hickman Bomba difusora de leo
1937 F. M. Penning Medidor de ionizao de catodo frio
1943 M. Siegbahn Bomba molecular (disco liso e carcaa tipo rosca varivel dupla)
1950 R. T. Bayard, D. Alpert Medidor de ionizao de catodo quente para ultra-alto vcuo
1952 P. della Porta Desenvolvimento do primeiro anel aprisionador de liga de Ba (getter ring)
1953 H.J. Schwartz, R.G. Herb Bomba de vcuo inica
1956 W. Becker Bomba turbomolecular (Arthur Pfeiffer GmbH)
1958 L. D. Hall Bomba por evaporao catdica (diode sputter-ion pump)
1959
W.E. Gifford, H.O.
McMahon
Mquina de refrigerao criognica Gifford-McMahon (GM)
1962 P. della Porta Bomba de aprisionador no evaporvel (Nonevaporable Getter Pump)
1964 G. Kippling Bomba criognica de fluxo contnuo
1965 R. A. Douglas Bomba de evaporao inica tipo "Orbitron"
1966 W. E. Gifford Bomba criognica base da mquina de refrigerao GM
Conceitos Fsicos Associados a Vcuo
5
Uma das grandes aplicaes de vcuo corresponde retirada de ar (ou outro gs) de uma
cmara na qual se quer realizar um processo industrial ou cientfico. Isto realizado acoplando-se a
esta cmara uma ou mais bombas de vcuo, utilizando-se tubulaes, vlvulas e conexes. Para se
conhecer o "grau de vcuo" necessrio agregar um ou mais medidores de vcuo. Este esquema
ilustrado pela Fig. 1.1 que mostra um sistema de alto vcuo, em que uma cmara bombeada por
uma bomba difusora, que por sua vez bombeada por uma bomba mecnica.
Fig. 1.1: Esquema de um sistema de alto vcuo com bomba difusora
Estes componentes so ligados entre si por tubulaes e por vlvulas, sendo que cmara so
acoplados dois medidores de vcuo. Note que as bombas esto ligadas em srie, embora o esquema
da figura permita o bombeamento inicial da cmara pela bomba mecnica independente da bomba
difusora. Isto se deve ao fato de que a bomba difusora iniciar o seu bombeamento em uma presso
que praticamente o limite final (a presso mais baixa) da bomba mecnica, e por isso a presso na
cmara deve ser abaixada a este limite antes de ela ser bombeada pela difusora. Naturalmente,
quando a bomba difusora ligada cmara, a mecnica dela isolada, e ligada sada da bomba
difusora. Esta operao pode ser feita manual ou automticamente.
Porque se monta um sistema de vcuo desta maneira ? Esta pergunta deve ser respondida
pelas necessidades do processo que se quer realizar na cmara. Por exemplo, uma aplicao
comercial poderia ser a evaporao de filmes protetores em lentes de culos. Em uma aplicao
6
Cmara
Medidores de Vcuo
Tubulao
Vlvula
Bomba de Vcuo
Secundria (Difusora)
Bomba de Vcuo
Primria (Mecnica)
B
A
cientfica, o pesquisador pode querer evaporar termicamente algum material para depositar em um
substrato apropriado, para poder estudar as propriedades fsicas deste material em forma de filme
fino. A escolha das bombas (tipo e capacidade de bombeamento) ditada pela presso mais baixa
que se necessita para tal processo, pelo tamanho da cmara e pelo tempo necessrio para atingir tal
presso. Estas especificaes tambm determinam os tipos dos medidores de vcuo e o tamanho das
tubulaes que ligam as bombas e vlvulas. Muitas vezes, apenas uma bomba e um medidor so
suficientes para um sistema de vcuo, enquanto em outros casos h a necessidade de mais que duas
bombas, algumas vezes trabalhando em paralelo. Veremos, a seguir, os principais conceitos
relativos a estes sistemas de vcuo, e como as caractersticas do sistema determinam a especificao
das bombas, tubulaes e medidores.
Alguns conceitos iniciais
Denominamos vcuo regio do espao em que a presso menor que a presso
atmosfrica. Como j colocado acima, o gs mais comumente tratado o ar, cuja composio dada
na Tabela II. Na esmagadora maioria das vezes, a presso de trabalho suficientemente baixa e a
temperatura suficientemente alta para considerarmos, com segurana, que o comportamento deste
gs pode ser descrito pela equao de estado dos gases perfeitos, ou seja:
PV=nRT (1)
Nesta equao P representa a presso, V o volume do gs, n a massa do gs medida em moles, T
a temperatura absoluta e R a constante universal dos gases.
Tabela II: Composio do ar
Componente Volume (%) Presso Parcial (Torr)
N2 78,08 5,95.10
2
O2 20,95 1,59.10
2
H2O 1,57 1,19.10
1
Ar 0,93 7,05
CO2 0,03 2,5.10
-1
Ne 1,8.10
-3
1,4.10
-2
He 5,24.10
-4
4.10
-3
Kr 1,1.10
-4
8,4.10
-4
CH4 2.10
-4
1,5.10
-3
H2 5,0.10
-5
3,8.10
-4
N2O 5,0.10
-5
3,8.10
-4
Xe 8,7.10
-6
6,6.10
-5
O3 7.10
-6
5,3.10
-5
Para esta frmula poder ser aplicada consistentemente, necessrio usar um sistema consistente de
unidades, que, obviamente, deve ser o Sistema Internacional (SI). Neste sistema, a unidade de
presso N/m
2
, tambm denominada Pascal (Pa), o volume expresso em m
3
, a temperatura em
graus Kelvin (K), a massa em moles, e R tem o valor de 8,314 J/(K.mol).
preciso colocar, todavia, que o uso e o costume cristalizam algumas unidades de presso
usadas antes da adoo do SI. o caso da praxis em vcuo. Nesta rea, predomina ainda a presso
medida em mm de altura de coluna de mercrio, ou mm Hg, que denominado Torr, em
7
homenagem a Torricelli, e o volume medido em litros. Tambm muito usada a unidade de presso
mbar, derivada de Bar, que corresponde a uma presso de 10
5
Pa, de modo que 1 mbar 100 Pa. O
Torr definido como a presso exercida por uma coluna de mercrio de altura 1 mm a 0
o
C, e dado
por:
1 Torr 133,3224 Pa 1,33 mbar
A equao de estado tambm pode ser escrita na forma: PV=NkT , em que N o
nmero de molculas e k denominada constante de Boltzmann, tendo o valor de 1,38.10
-23
J/K.
Lembramos que a relao entre a constante universal dos gases e a constante de Boltzmann
R=kN
A
, na qual N
A
o nmero de Avogadro, de valor 6,02.10
23
molculas/mol. A equao
acima tambm pode ser escrita como P=n kT (2), na qual n=
n
V
a densidade molecular,
expressa em molculas/m
3
, ou, mais comumente, em molculas/cm
3
. Note que a inversa de n o
volume molar especfico.
Distribuio de Maxwell de velocidades de molculas
Para um gs em equilbrio trmico e uniformemente distribudo em um volume, Maxwell
encontrou que a distribuio das velocidades das molculas dada por:
f
v
=
1
n
d n
v
dv
=
( 2m
3
)
(n( kT)
3
)
v
2
e
-(
mv
2
2kT
)
(3)
Nesta equao, f
v
d a frao de molculas com velocidade absoluta v no intervalo entre v e v + dv,
por unidade de velocidade, n a densidade molecular e m a massa da molcula. A Fig. 1.2 mostra
essa distribuio para duas temperaturas diferentes para N
2
.
Fig. 1.2: Distribuio de Maxwell para N
2
para trs temperaturas
A partir desta distribuio, podemos encontrar os seguintes conceitos:
velocidade mais provvel da distribuio: v
mx
=
2kT
m
(4)
8
velocidade mdia das molculas:

v=
8kT
nm
= 1,13 v
mx
(5)
velocidade quadrtica mdia: v
rms
=
3kT
m
= 1,22 v
mx
(6)
Usando as idias da teoria cintica dos gases, mostra-se que a presso do gs pode ser escrita como:
P=
1
3
n m v
rms
2
(7), e utilizando a equao de estado, temos P=n kT , ou seja, obtemos que a
energia por molcula
E=
m v
rms
2
2
=
3
2
k T
(8), que a expresso do teorema de equipartio da
energia.
Outro resultado importante que se obtm o nmero de colises por unidade de rea por
unidade de tempo das molculas com as paredes do recipiente, tambm denominada frequncia de
colises:
+=
1
4
n

v (9).
Utilizando a expresso para a velocidade mdia, podemos colocar:
+=
1
4
n
8kT
nm
=3,51310
22
|
P
MT

(10).
Nesta ltima expresso, P deve ser dada em Torr, T em Kelvin e M em gramas, obtendo-se em
colises/(cm
2
.s).
Se um orifcio de rea A cortado na parede do recipiente, de modo que suas bordas sejam
finas, e supondo que do outro lado a presso do gs zero, podemos colocar que a taxa de sada de
molculas do recipiente
q=
d N
d t
=+A=
1
4
n

v A (11)
, que, novamente substituindo a expresso da velocidade mdia, resulta em
q=
d N
d t
=3,6410
3
T
M
n A (12),
o que nos fornece q em molculas/s.
Podemos, assim, obter o volume de gs presso P que escapa do recipiente na unidade de tempo,
dividindo o fluxo q pela densidade molecular n, obtendo:
dV
dt
=
q
n
=
1
4

v A=3,6410
3
T
M
A cm
3
/s (13),
que, para ar a 25
o
C pode ser escrito:
dV
dt
=11,671 A litros/s (14)
9
Usando a expresso de (eq. 9) e a relao
m=
M
N
A
, podemos colocar que a variao de massa
correspondente a esse volume de molculas que escapa do recipiente :
dW
dt
=
1
4
m n

v=
1
4
M
N
A
n

v
(15)
Como n=
P
kT
, podemos colocar
dW
dt
=
1
4
PM

v
RT
=
1
4
P
8M
RT
(16),
que pode ser escrita como
dW
dt
=5,8310
-2
P
M
T
g/(s.cm
2
) (17).
Presso e livre caminho mdio
Durante seu movimento as molculas de um gs sofrem colises entre si e com as paredes do
recipiente que as contm. Vamos considerar a situao dos choques das molculas entre si. A
distncia percorrida por uma molcula entre colises sucessivas o seu livre caminho. Uma vez que
a magnitude desta distncia funo das velocidades das molculas, usamos o conceito de livre
caminho mdio, que definido como a distncia mdia viajada por todas as molculas entre
colises sucessivas umas com as outras, ou como a mdia das distncias viajadas entre colises
sucessivas de uma mesma molcula, em um dado tempo.
Uma molcula com dimetro e velocidade v move-se uma distncia vdt no intervalo de
tempo dt. A molcula sofrer uma coliso com outra molcula se o seu centro estiver em alguma
distncia menor que do centro de outra molcula, ou seja, ela varrer o cilindro de dimetro 2 e
comprimento vdt antes de colidir com outra molcula. Este cilindro tem o volume:
6 V=
n
4
( 2 )
2
v dt (18).
Como temos n molculas/cm
3
, o volume associado com uma molcula , na mdia, 1/n cm
3
.
Quando o volume V igual a 1/n, ele deve conter, na mdia, outra molcula, e assim, certamente
teremos uma coliso ocorrendo. Se = t o tempo entre colises, podemos colocar:
1
n
=n
2
v t (19),
e o livre caminho mdio pode ser escrito como:
\=v t=
1
n n
2
(20).
Se se leva em conta a distribuio de Maxwell-Boltzmann para as velocidades, podemos escrever:
10
\ =
1
2 n n
2
=
kT
2 n
2
P
(21).
Quando P expresso em torr, em cm e T em Kelvin, esta expresso se torna:
\ =2,3310
-20
T

2
P
(22).
Esta expresso mostra que o livre caminho mdio inversamente proporcional presso, ou seja,
quando a presso alta o livre caminho mdio baixo, e vice-versa. Para ar a 20
o
C esta equao
fica
\=
510
-3
P
(22A),
com expresso em cm e P em torr.
Fenmenos de transporte no regime viscoso:
Viscosidade de um gs
Um gs fluindo em um tubo relativamente fino experimenta uma resistncia ao fluxo, de
modo que a velocidade na direo perpendicular ao fluxo decresce uniformemente do eixo do tubo
at a parede (distribuio parablica de velocidades), onde atinge o valor zero. Analogamente, no
caso de gs fluindo entre duas placas planas (Fig. 1.3), uma em repouso e outra puxada com
velocidade u paralelamente ao seu plano, o gs que est em contacto com a placa estacionria tem
velocidade zero, enquanto que o que est em contacto com a placa mvel tem a sua velocidade.
Cada camada de gs paralela direo do fluxo exerce uma fora tangencial nas camadas
adjacentes, tendendo a diminuir a velocidade da camada mais rpida e aumentar a velocidade da
mais lenta. Esta propriedade do fluido chamada de viscosidade. Pode-se afirmar que as foras
viscosas so diretamente proporcionais ao gradiente de velocidade no fluido, perpendicularmente
direo do movimento.
Fig. 1.3: Distribuio de velocidades devido viscosidade entre duas placas com movimento relativo
Considere o gs entre as duas placas separadas pela distncia y, como na Fig. 3, e a placa
superior com velocidade u em relao placa estacionria. A camada de gs em contacto com a
11
placa inferior ficar estacionrio, enquanto a camada em contacto com a placa superior ter a sua
velocidade, u. A uma altura y' a velocidade do gs u' ser dada por u' =u
y'
y
(23). O coeficiente
de viscosidade definido como a fora tangencial por unidade de rea que provoca a taxa unitria
de decrscimo da velocidade com a distncia. Imaginando o g dividido em camadas paralelas
superfcie, cada uma com espessura (o livre caminho mdio, ou seja, camadas em que as
molculas do gs no sofrem colises), a fora tangencial entre camadas adjacentes de rea A dada
por
F=j A
u
y
(24), sendo o coeficiente de viscosidade.
De acordo com a teoria cintica, a fora tangencial por unidade de rea dada pela taxa
qual momentum transferido entre camadas adjacentes. Molculas de uma distncia acima
movem-se para uma camada com velocidade u' com momentum
( mu')
+
=m ( y' +\)
u
y
(25),
enquanto aquelas de uma distncia abaixo movem-se para a camada com momentum
( mu')
-
=m ( y' -\)
u
y
(26).
O nmero de molculas que cruzam uma rea unitria por unidade de tempo em qualquer direo
1
6
n

v , e portanto, a taxa mdia lquida de transferncia de momentum atravs da rea A :

F=
1
6
A n

v|( mu')
+
-( mu')
-
=
1
3
A n m \
u
y
(27).
Comparando com a equao que define o coeficiente de viscosidade, obtemos:
j=
1
3
n m

v \=
1
3
j

v \ (28),
com j=n m sendo a densidade do gs. Esta equao aproximada; levando em conta a
distribuio de velocidades e a distribuio de livres caminhos, o resultado do clculo d:
j=0,499 n m

v \ (29).
Esta equao pode ser escrita como:
j=
0,499 m

v \
2 n
2
=
0,988
n
2
(
m k T
n
)
(30).
No sistema CGS a unidade de viscosidade 1 poise = 1 g.cm
-1
.s
-1
= 1 dina. s.cm
-2
, enquanto que no
sistema SI a unidade 1 Pa.s = 1 kg.m
-1
.s
-1
, e no tem nome especfico. Vale a relao 1 Pa.s = 10
poise. De acordo com a relao 30, a viscosidade de um gs aumenta com a temperatura, ao
contrrio do que acontece com os lquidos. As relaes acima so vlidas em um longo intervalo de
presso, mas deixam de ser obedecidas para presses muito altas ou muito baixas. No primeiro
caso, a distncia mdia das molculas torna-se to pequena que as foras intermoleculares tornam-
se importantes, e a transferncia de momentum diferente da descrita no argumento acima. Para
presses muito baixas, para as quais o livre caminho mdio excede as dimenses do recipiente que
contm o gs, praticamente no ocorrem colises entre molculas, e a transferncia de momentum
se d apenas entre as molculas e as paredes do recipiente.
12
Tabela III: Viscosidades de alguns gases
Os regimes viscoso e molecular para gases
Como colocado acima quando da descrio de um tpico sistema de vcuo consistindo de
uma cmara bombeada por uma bomba difusora e por uma bomba mecnica, temos a situao em
que a presso do gs na cmara passa da ambiente 760 torr, at o valor final, que, no caso de
bomba difusora, dever ser da ordem de 10
-6
torr. Ou seja, neste processo a presso sofre uma
variao de aproximadamente 9 ordens de grandeza, e o mesmo acontece com a densidade
molecular. Essa variao de presso se d atravs do escoamento do gs pelas tubulaes, vlvulas e
bombas, que, no caso da montagem acima, podero atuar szinhas (caso da bomba mecnica no
incio do bombeamento) ou em srie, que o que se verifica quando se aciona a bomba difusora.
Temos, portanto, o escoamento do gs em altas presses, e tambm em baixas presses.
Evidentemente, o comportamento do gs dever ser diferente em limites to dspares (760 torr
versus 10
-6
torr). De fato, dizemos que o escoamento do gs quando em presses altas viscoso, ou
seja, pode-se observar o fenmeno de dissipao interna. Por outro lado, em baixas presses, o
fenmeno da viscosidade no mais definido como fizemos acima, e o escoamento seguir
equaes diferentes das do regime viscoso. Este ltimo caso chamamos de escoamento molecular,
para diferenciar do regime viscoso. Em geral, usa-se o conceito de livre caminho mdio para
caracterizar estes regimes de escoamento. No caso viscoso, em que a presso alta, dizemos que o
livre caminho mdio pequeno comparado com as dimenses da cmara e das tubulaes em que o
gs se move. No caso do regime molecular, dizemos que o livre caminho mdio maior que essas
dimenses. Por extenso, quando o livre caminho mdio for da ordem das dimenses da cmara e
das tubulaes, dizemos que estamos no regime intermedirio. Estas observaes tero um
tratamento quantitativo nas seces futuras.
Aqui, queremos introduzir outro conceito para definir os regimes viscoso e molecular de um
gs, usando para isso a comparao entre o nmero de choques intermoleculares e o nmero de
choques das molculas com as paredes do recipiente. Em um recipiente de volume V, utilizando o
conceito de livre caminho mdio (eq. 21), o nmero X de colises intermoleculares por unidade de
tempo dado por
13
X=
n V

v
\
= 2 n
2
n
2

v V (31)
Se o recipiente tem uma superfcie interna A, o nmero de molculas chocando-se com as paredes
Y=A +=
1
4
n

v A (32)
A razo entre o nmero de colises intermoleculares e o de colises molculas-paredes dada por:
X
Y
=4 2 n
2
V
A
(33)
Esta razo ser usada para delimitar os regimes viscoso e molecular, uma vez que uma funo de
n, e assim da presso, de , ou seja, da natureza do gs, e das dimenses do recipiente V/A.
Considere-se o modelo de um recipiente cilndrico com dimetro D e comprimento L grande
comparado a D. A razo V/A ser dada por:
V
A
=
n
(
D
2
)
2
L
n D L
=
D
4
(34). Assim,
X
Y
= 2 n n
2
D (35). Para o ar, em unidades SI,
podemos colocar
X
Y
=6,2810
-19
n D (36). A Tabela IV mostra o livre caminho mdio, a
densidade molecular e a razo X/Y para o ar em um recipiente cilndrico de raio R = 1 m como
funo da presso. Podemos ver que, na presso atmosfrica, o nmero de colises molculas-
molculas 15 milhes de vezes maior que o nmero de colises molcula-parede. A presso deve
cair a aproximadamente 10
-5
torr para que seu nmero se iguale, X/Y = 1.
Tabela IV: Razo X/Y como funo de P para D = 1 m
P(torr)
(m)
n (molculas/m
3
) X/Y Regime
760 6,7.10
-8
2,46.10
25
1,5.10
7
Viscoso
10 5,0.10
-6
3,24.10
23
2,0.10
5
10
-1
5,0.10
-4
3,24.10
21
2,0.10
3
10
-3
5,0.10
-2
3,24.10
19
20
10
-5
5 3,24.10
17
2,0.10
-1
Molecular
10
-7
500 3,24.10
15
2,0.10
-3
10
-9
5,0.10
4
3,24.10
13
2,0.10
-5
Como j falado acima, o estado viscoso passa continuamente para o estado molecular, de
modo que haver um intervalo de presses em que o livre caminho mdio comparvel com as
dimenses do recipiente, ou, equivalentemente, o nmero de colises molcula-molcula ser da
mesma ordem que o nmero de colises molcula-parede. Este regime ser denominado regime
intermedirio. O tratamento quantitativo destes regimes ser dado abaixo.
14
Arraste molecular
No regime viscoso, todas as colises foram supostas serem perfeitamente elsticas, de modo
que uma molcula, ao atingir uma superfcie, reflete-se dela como uma esfera elstica. A baixas
presses, todavia, esta imagem no confirmada por resultados experimentais. Pelo contrrio, os
experimentos mostram que, ao se chocar com uma superfcie, uma molcula adere a ela
temporariamente, como se sofresse o fenmeno de condensao, permanecendo na superfcie um
dado tempo, e sendo re-emitida, ou re-evaporada, em uma direo independente da de incidncia.
Este fenmeno est intimamente ligado ao fenmeno de adsoro, que ser tratado em maior detalhe
mais frente.
Supondo uma parede inicialmente limpa (livre de gs) colocada em presena de gs a uma
determinada presso, observa-se que as molculas de gs condensam-se na superfcie,
permanecendo um certo tempo antes de re-evaporar. O nmero de molculas chocando-se com a
unidade de superfcie na unidade de tempo dado pela eq. 9, e o nmero de molculas necessrio
para cobrir a superfcie formando uma monocamada :

m
=
1

2
(37), ou seja, o tempo para
formar esta monocamada :
t
m
=

m
+
=
4
n
2

v
2
=
(
2 n

2
n
)
M
R T
(38)
e assim, para formar a monocamada, as molculas tm que permanecer na superfcie no mnimo este
tempo. Para o nitrognio a 20
o
C, a equao 38 pode ser escrita na forma t
m
=
1,7210
-6
P
(39),
em que
m
dado em segundos e P em torr. Assim, para P = 10
-4
torr,
m
= 1,7.10
-2
s, tempo
suficiente para transferir energia para a molcula. Se a superfcie est em movimento ela pode
transferir uma componente de velocidade para a molcula. Este o princpio de funcionamento das
bombas moleculares, a serem discutidas na seco sobre bombas de vcuo.
Transpirao trmica
A taxa qual molculas deixam um recipiente atravs de uma abertura em uma parede fina
dada por q =+ A=
1
4
n

v A , e a massa do gs saindo do recipiente :
W=m q =
1
4
m n

v A=
1
4
j

v A=j
R T
2 n M
A
(40).
Se temos duas cmaras A e B separadas por um plug poroso, e o gs nas cmaras est em
diferentes temperaturas T
A
e T
B
, haver um fluxo de gs entre as duas cmaras at se estabelecer
uma situao estcionria em que a massa do gs deixando o recipiente A iguala que entra vinda
do recipiente B, ou seja, temos a condio: j
A
T
A
=j
B
T
B
(41). Este fenmeno chamado
de transpirao trmica. Como proporcional presso e inversamente proporcional
temperatura (eq. 2), podemos escrever:
P
A
P
B
=
T
A
T
B
(42). Esta expresso importante para
sistemas de vcuo que utilizam baixas temperaturas em seus componentes, como armadilhas e
bombas criognicas. Assim, se a cmara A est na temperatura do ar lquido, 90 K, e a presso
obtida por um medidor na temperatura ambiente (300 K), ento o valor real de P
A
dado por
15
P
A
=
90
300
P
B
=0,55 P
B
(43). Se as duas cmaras esto ligadas por um tubo de grande
dimetro, ou a presso suficientemente alta para o livre caminho mdio ser muito menor que o
dimetro do tubo, de modo que as colises molculas-molculas sejam predominantes, a condio
de equilbrio P
A
= P
B
, ao invs da condio dada pela equao 42.
Condutividade trmica de gases rarefeitos
Tal como no caso da viscosidade, o processo de transferncia de calor por gases no regime
viscoso diferente do caso do regime molecular. No primeiro caso a totalidade das molculas
responsvel pela transferncia de calor, enquanto no segundo caso as molculas individualmente
carregam o calor de parede a parede.
Vamos tratar inicialmente do caso do regime viscoso. Podemos considerar camadas de
fluido de espessura , o livre caminho mdio, entre duas placas que esto s temperaturas T
1
e T
2
, e
colocadas a uma distncia y. A queda de temperatura entre as camadas, analogamente ao que
acontece no caso da viscosidade (eq. 27), pode ser escrita como 2 ( T
1
-T
2
)
\
y
. Se o calor
especfico a volume constante c
v
, o calor transferido por unidade de rea :
E=
1
6
n

v ( 2 m) ( T
1
-T
2
)
\
y
=
1
3
j

v c
v
\ ( T
1
-T
2
)
y
(44).
Portanto, a condutividade trmica dada por: k
c
=
1
3
j

v \ c
v
(45). Comparando esta ltima
equao com a equao 28 para , podemos escrever
k
c
=j c
v
(46). Tal como no caso da
viscosidade, uma anlise mais detalhada do mecanismo de transferncia de calor modifica esta
expresso para k
c
=
1
4
( 9 -5) j c
v
(47), em que =
c
p
c
v
. Se c
v
expresso em cal/(g.K), k
c
dado em cal/(cm.s.K). Para gases monoatmicos (He, Ar, Hg,...) = 5/3, para gases diatmicos
(O
2
, H
2
, N
2
,...) = 7/5 e para gases triatmicos (CO
2
,...) = 4/3. A Tabela V d a condutividade
trmica para diferentes gases.
Tabela V: condutividade trmica para gases a 0
o
C (cal/(cm.s.K)
Gs k
c
Gs k
c
Hidrognio 4,19.10
-1
Hlio 3,43.10
-4
Nitrognio 5,7.10
-5
Nenio 1,09.10
-4
Oxignio 5,8.10
-5
Argnio 3,9.10
-5
Ar 5,8.10
-5
Criptnio 2,1.10
-5
Monxido de Carbono 5,3.10
-5
Mercrio 1,2.10
-5
Dixido de Carbono 3,4.10
-5
Como a viscosidade no funo da presso, segue-se da eq. 47 que a condutividade trmica
dos gases independente da presso. Isto vlido no regime viscoso (lembramos que se trata de
conduo trmica como para um slido; isto muda quando levamos em conta o mecanismo de
conduo por conveco).
16
No caso do regime molecular, para o qual o livre caminho mdio da ordem de, ou maior
que, as dimenses do recipiente, o gs no mais caracterizado por uma viscosidade, e neste caso a
eq. 47 no mais vlida, e a condutividade passa a ser uma funo da presso do gs. O processo de
conduo nesta condio denominado conduo molecular livre, e para poder exprimi-lo
necessrio introduzir o conceito de coeficiente de acomodao. Este coeficiente definido como a
razo entre a energia que efetivamente transferida entre molculas atingindo uma superfcie e a
superfcie, e a energia que teoricamente seria transferida se as molculas atingissem o equilbrio
trmico com a parede, aps atingi-la.
Quando molculas originalmente temperatura T
i
atingem uma superfcie quente
temperatura T
s
> T
i
, em geral a temperatura das molculas no atinge T
s
nas primeiras colises, mas
o fazem aps vrias colises. Assim, as molculas que re-evaporam da superfcie tm uma energia
mdia menor que T
s
, que ser designada por T
r
. O coeficiente de acomodao definido por
o=
T
r
-T
i
T
s
-T
i
(48).
Se as molculas atingem o equilbrio trmico com a superfcie antes dela escapar, T
r
= T
s
e = 1.
Por outro lado, se as molculas so refletidas elsticamente sem qualquer mudana na sua energia,
T
r
= T
i
e = 0. A Tabela VI d alguns valores de para diversos gases e superfcies, levando em
conta os graus de liberdade de rotao e translao.
Tabela VI: Alguns valores do coeficiente de acomodao
Superfcie W Pt Ni Fe
Gs Ordinria Preta
Hidrognio 0,36 0,28 - 0,29
0,2 0,36 0,71 0,82
Nitrognio 0,57 0,89 -
0,87 0,81 -
Ar - 0,9 -
Oxignio 0,9 0,85 0,95 0,86
Dixido de
Carbono
-
0,97
Mercrio 0,95
Hlio 0,02
Neon - 0,82 0,1
- 0,4
Argnio 0,85 0,89 0,93
0,09
Criptnio - 0,69
De acordo com a eq. 9 o nmero de molculas com velocidade entre v e v + dv que atingem
uma rea unitria na unidade de tempo d +=
1
4
dn
dv
v dv =
1
4
v dn (49). Como cada molcula
tem energia cintica mv
2
, a energia transferida d E=
1
8
m v
3
dn (50), e assim,
17
E=
1
8
|
v = 0
v =
v
3
dn (51), que, resolvida usando a distribuio de Maxwell-Boltzman, resulta em
E=
1
8
m
4
3

v

v
2
=
1
6
n m

v

v
2
(52). Esta a energia transferida por todas as molculas que
atingem a superfcie na unidade de tempo. Uma vez que o seu nmero +=
1
4
n

v (9), temos
que a energia mdia transferida por molcula
E
m
=
E
+
=
4
6
n m

v

v
2
n

v
=
2
3
m

v
2
=2 k T
(53),
ao invz de
E
m
=
3
2
k T
, que a energia mdia das molculas em um volume. Para gases
monoatmicos a baixas presses, a transferncia de energia da placa quente para a fria ser
(utilizando as eq. 9 e 53)
E
0
=
E
+
=
1
4
n

v
i
2 k ( T
r
-T
i
) (54),
e, utilizando as eq. 2 e 48, temos:
E
0
=
1
2
(
P

v
i
T
i
) ( T
r
-T
i
) =
o
2
P

v
i
T
i
( T
s
-T
i
) (55),
em que o coeficiente de acomodao, P a presso do gs, v
i
a velocidade mdia na
temperatura T
i
e T
s
a temperatura da superfcie quente. Assim, a taxa de transferncia de energia
em baixas presses proporcional presso e diferena de temperatura entre as superfcies.
Para gases diatmicos e poliatmicos, as molculas atingindo a superfcie quente aumentam
no apenas a energia translacional, mas tambm a rotacional e a vibracional. A quantidade de
energia vibracional possuda pelas molculas, comparada com a energia translacional, medida
pelo valor de . Um clculo detalhado leva seguinte expresso para a energia transferida:
E
0
=
o
8
|
+1
-1

P

v
i
T
i
( T
s
-T
i
) (56),
que, no caso de = 5/3 (caso dos gases monoatmicos), transforma-se na eq. 55. Explicitando
v
i
em funo da temperatura T
i
e M, a massa molecular, a eq. 56 fica:
E
0
=
o
2
+1
-1
R
2 n M 273
273
T
i
( T
s
-T
i
) P=A
0
o
273
T
i
( T
s
-T
i
) P
(57).
Nesta expresso
0
chamada condutividade molecular livre a 0
o
C, e dada por:
A
0
=
+1
2 (-1)
R
2 n M 273
=
110
M
+1
-1
(58),
sendo que nesta ltima equao
0
expressa em ergs/(s.cm
2
.
o
C.bar). Podemos ter tambm
A
0
=
1,4710
-2
M
+1
-1
(59),
com
0
expressa em W/(cm
2
.
o
C.torr). Para ar, para o qual = 7/5 e M = 28,98 g,
0
= 1,64.10
-2
W/(cm
2
.
o
C.torr).
Assim, a conduo trmica por unidade de rea de uma superfcie temperatura T
s
= 100
o
C
para uma superfcie a T
i
= 20
o
C por ar presso de 10
-2
torr e com = 0,8 ser dada por E
0
10
-2
W/cm
2
. A Tabela VII d valores de e
0
para vrios gases.
18
Tabela VII: valores da condutividade trmica livre
0
(W/(cm
2
.K.Torr))
Gs M(g) 0
Hidrognio 2,02 1,41 6,07.10
-2
Hlio 4,00 1,67 2,93.10
-2
Vapor d'gua 18,02 1,30 2,65.10
-2
Nenio 20,18 1,67 1,31.10
-2
Nitrognio 28,02 1,40 1,66.10
-2
Oxignio 32,00 1,40 1,56.10
-2
Argnio 39,94 1,67 9,29.10
-2
Dixido de carbono 44,01 1,30 1,69.10
-2
Mercrio 200,60 1,67 4,15.10
-3
A condutividade trmica a baixas presses usada para medir a presso, dando origem aos
medidores de vcuo por condutividade trmica. Estes medidores sero discutidos na seco sobre
medidores de vcuo.
19
Bibliografia:
1) Saul Dushman (J. M. Lafferty, ed.), "Scientific Foundations of Vacuum Technique", 2
a
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Wiley & Sons, Inc., 1962 (originalmente publicado em 1949)
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11)Walter H. Kohl, "Handbook of Materials and Techniques for Vaccum Devices", American
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20